用于微波組件封焊的雙工作臺(tái)激光封焊機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明主要涉及到微波組件焊接封裝設(shè)備領(lǐng)域,特指一種用于微波組件封焊的雙 工作臺(tái)激光封焊機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002] 隨著微電子技術(shù)和SMT表面組裝技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體芯片、器件和微波組件的內(nèi) 部焊點(diǎn)的腐蝕問題更為突出,封裝內(nèi)高濕氣含量造成的失效占總失效數(shù)的26%以上。為了 保證微波組件能夠承受航空航天惡劣的使用環(huán)境,降低封裝內(nèi)水氧含量,在地面和空間同 樣具有良好的微波性能和高可靠性,必須對(duì)微波組件進(jìn)行氣密性封裝,這對(duì)用于航空航天 相控陣?yán)走_(dá)的微波組件密封技術(shù)提出新的挑戰(zhàn)。
[0003] 密封的方法有多種,共晶焊接、平行縫焊、膠封以及激光密封焊接、離子焊、電子束 焊等。其中激光焊接技術(shù)相對(duì)比其他焊接技術(shù)具有無需接觸工件、加熱集中迅速、熱應(yīng)力 低、可焊材質(zhì)種類范圍大等優(yōu)點(diǎn),并且由于激光的沖擊韌性與凈化作用,使得焊縫強(qiáng)度常大 于殼體材料的本體,可獲得較好的氣密性。
[0004] 由于微波組件焊接封裝要求高,目前傳統(tǒng)使用的激光器價(jià)格昂貴,生產(chǎn)效率較為 低下,且激光器利用率低,造成資源閑置,給微波組件生產(chǎn)單位造成了沉重的負(fù)擔(dān),不利于 節(jié)約成本、擴(kuò)大生產(chǎn)。因此迫切需要研發(fā)出一種能夠提高生產(chǎn)效率、降低成本的微波組件焊 接封裝設(shè)備和提高激光器利用效率的方法。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005] 本發(fā)明要解決的技術(shù)問題就在于:針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的技術(shù)問題,本發(fā)明提供一 種能夠節(jié)約成本、提高整體利用率、提高整機(jī)效率的用于微波組件封焊的雙工作臺(tái)激光封 焊機(jī)。
[0006] 為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明采用以下技術(shù)方案: 一種用于微波組件封焊的雙工作臺(tái)激光封焊機(jī),包括: 氣密性封焊系統(tǒng),包括氣氛手套箱以及安裝于氣氛手套箱內(nèi)的封焊組件; 第一封焊系統(tǒng),包括箱體以及安裝于箱體內(nèi)的封焊組件; 所述氣密性封焊系統(tǒng)和第一封焊系統(tǒng)均通過光纖與一臺(tái)激光器相連;所述激光器配置 有兩路光路,經(jīng)光纖引入封焊組件,分別由兩個(gè)激光頭出射激光至工作臺(tái)上的工件,并通過 繼電器控制組件來進(jìn)行分時(shí)復(fù)用的切換操作。
[0007] 作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn):所述封焊組件包括精密工作臺(tái)、激光焊接頭、同軸CCD 系統(tǒng)、旁軸視覺識(shí)別系統(tǒng)及CNC控制系統(tǒng),所述同軸CCD系統(tǒng)安裝在激光焊接頭上,所述旁 軸視覺識(shí)別系統(tǒng)安裝在激光焊接頭的旁側(cè);所述激光焊接頭上安裝的同軸CCD系統(tǒng)用來實(shí) 時(shí)監(jiān)控焊接過程,所述CNC控制系統(tǒng)用來控制精密工作臺(tái)和激光焊接頭以完成工件的封裝 焊接。
[0008] 作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn):所述氣氛手套箱中設(shè)置真空烘箱、氣體純化系統(tǒng)、水分 析儀和氧分析儀,所述真空烘箱用來完成工件的預(yù)先清洗、烘烤功能,所述氣體純化系統(tǒng)在 手套箱中提供焊接所需的氣氛要求,所述水分析儀和氧分析儀用來監(jiān)測手套箱中的水氧含 量。
[0009] 作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn):還包括電控柜,所述繼電器控制組件和CNC控制系統(tǒng) 安裝于電控柜內(nèi)。
[0010] 作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn):所述繼電器控制組件包括第一繼電器、第二繼電器、第 三繼電器和第四繼電器,所述激光器的數(shù)字量控制信號(hào)與第一繼電器、第二繼電器、第三繼 電器和第四繼電器觸點(diǎn)的公共端C相連,常閉觸點(diǎn)NC與氣密性封焊系統(tǒng)的第一數(shù)字量輸 入模塊、第一數(shù)字量輸出模塊相連,常開觸點(diǎn)N0與所述第一封焊系統(tǒng)的數(shù)字量第二輸入模 塊、第二數(shù)字量輸出模塊相連。
[0011] 作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn):所述第一繼電器、第二繼電器、第三繼電器和第四繼電 器的控制線包一端接0V網(wǎng)絡(luò),一端經(jīng)繼電器K3常開觸點(diǎn)接至24V網(wǎng)絡(luò),繼電器K1常閉觸 點(diǎn)串接繼電器K2常開觸點(diǎn),繼電器K1常開觸點(diǎn)串接繼電器K2常閉觸點(diǎn),兩組串聯(lián)電路并 聯(lián)后一端接24V網(wǎng)絡(luò),另一端接繼電器K3線包,再接至0V網(wǎng)絡(luò);繼電器K1線包一端與氣密 性封焊系統(tǒng)的第一數(shù)字量輸出模塊相連,另一端接至0V網(wǎng)絡(luò);繼電器K2線包一端與第一封 焊系統(tǒng)的第二數(shù)字量輸出模塊相連,另一端接至0V網(wǎng)絡(luò)。
[0012] 與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于:本發(fā)明用于微波組件封焊的雙工作臺(tái)激光 封焊機(jī),采用激光分時(shí)復(fù)用方法,這是根據(jù)電路互鎖的原理,進(jìn)行巧妙的電路設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)在 氣密性封焊系統(tǒng)和常規(guī)封焊系統(tǒng)之間任意切換激光器的使用,保障了雙工作臺(tái)激光封焊系 統(tǒng)正??煽窟\(yùn)行,整個(gè)激光器的利用率得到提高,節(jié)約了設(shè)備成本。
【附圖說明】
[0013] 圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)原理示意圖。
[0014] 圖2是本發(fā)明在具體應(yīng)用實(shí)例中封焊組件的結(jié)構(gòu)原理示意圖。
[0015] 圖3是本發(fā)明在具體應(yīng)用實(shí)例中繼電器控制組件的控制電路示意圖。
[0016] 圖例說明: 1、激光器;2、光纖;4、手套箱;5、氣體純化系統(tǒng);6、電控柜;7、過渡艙;8、氧分析儀;9、 水分析儀;10、真空烘箱;11、箱體;12、精密工作臺(tái);13、激光焊接頭;14、同軸(XD系統(tǒng);15、 旁軸視覺識(shí)別系統(tǒng);16、第一數(shù)字量輸入模塊;17、第一數(shù)字量輸出模塊;18、第二數(shù)字量輸 入模塊;19、第二數(shù)字量輸出模塊;20、第一繼電器;21、第二繼電器;22、第三繼電器;23、第 四繼電器;24、繼電器K1線包;25、繼電器K2線包;26、繼電器K3線包;27、繼電器K3常開 觸點(diǎn);28、繼電器K1常閉觸點(diǎn);29、繼電器K2常開觸點(diǎn);30、繼電器K1常開觸點(diǎn);31、繼電器 K2常閉觸點(diǎn)。
【具體實(shí)施方式】
[0017] 以下將結(jié)合說明書附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0018] 如圖1和圖2所示,本發(fā)明的用于微波組件封焊的雙工作臺(tái)激光封焊機(jī),包括: 氣密性封焊系統(tǒng),包括氣氛手套箱4以及安裝于氣氛手套箱4內(nèi)的封焊組件; 第一封焊系統(tǒng),包括箱體11以及安裝于箱體11內(nèi)的封焊組件; 上述氣密性封焊系統(tǒng)和第一封焊系統(tǒng)均通過光纖2與一臺(tái)激光器1相連;該激光器1 配置有兩路光路,經(jīng)光纖2引入封焊組件,分別由兩個(gè)激光頭出射激光至工作臺(tái)上的工件, 并通過繼電器控制組件來進(jìn)行分時(shí)復(fù)用的切換操作。上述激光分時(shí)復(fù)用控制所采用方法 是:通過繼電器和CNC控制系統(tǒng)中的數(shù)字量輸入、輸出模塊實(shí)現(xiàn)。
[0019] 參見圖2,本實(shí)施例中,封焊組件包括精密工作臺(tái)12、激光焊接頭13、同軸C⑶系 統(tǒng)14、旁軸視覺識(shí)別系統(tǒng)15及CNC控制系統(tǒng),同軸CCD系統(tǒng)14安裝在激光焊接頭13上,旁 軸視覺識(shí)別系統(tǒng)15安裝在激光焊接頭13的旁側(cè)。在氣密性封焊系統(tǒng)中,激光焊接頭13上 安裝的同軸C⑶系統(tǒng)14用來實(shí)時(shí)監(jiān)控焊接過程,CNC控制系統(tǒng)用來控制精密工作臺(tái)12和 激光焊接頭13以完成工件的封裝焊接;氣氛手套箱4中設(shè)置真空烘箱10、氣體純化系統(tǒng)5、 水分析儀9和氧分析儀8,真空烘箱10用來完成工件的預(yù)先清洗、烘烤功能,氣體純化系統(tǒng)