一種激光分束裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種激光分束裝置，包括鏡架、擴(kuò)束輸入鏡、擴(kuò)束輸出鏡、光闌、擴(kuò)散性衍射光學(xué)元件和聚焦鏡，所述擴(kuò)束輸入鏡和所述聚焦鏡分別設(shè)置于所述鏡架的兩端，所述擴(kuò)束輸出鏡、所述光闌和所述擴(kuò)散性衍射光學(xué)元件依次設(shè)置于所述鏡架內(nèi)。本實(shí)用新型通過(guò)將一束激光分為兩束或多束激光，分束后的光斑可以為一維或者二維分布，光斑間距離可調(diào)；本實(shí)用新型主要用于激光打標(biāo)機(jī)和切割機(jī)等用途。
【專(zhuān)利說(shuō)明】 一種激光分束裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種分束裝置，尤其涉及一種激光分束裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]衍射光學(xué)元件(DOE:Diffractive Optical Elements)，是基于光波的衍射理論，利用計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)，并通過(guò)半導(dǎo)體芯片制造工藝，在基片上(或傳統(tǒng)光學(xué)器件表面)刻蝕產(chǎn)生臺(tái)階型或連續(xù)浮雕結(jié)構(gòu)，形成同軸再現(xiàn)、且具有極高衍射效率的一類(lèi)光學(xué)元件，而現(xiàn)階段的衍射光學(xué)元件不能夠進(jìn)行激光分束，給科學(xué)實(shí)驗(yàn)帶來(lái)了不便。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的就在于為了解決上述問(wèn)題而提供一種激光分束裝置。
[0004]本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)上述目的:
[0005]本實(shí)用新型包括鏡架、擴(kuò)束輸入鏡、擴(kuò)束輸出鏡、光闌、擴(kuò)散性衍射光學(xué)元件和聚焦鏡，所述擴(kuò)束輸入鏡和所述聚焦鏡分別設(shè)置于所述鏡架的兩端，所述擴(kuò)束輸出鏡、所述光闌和所述擴(kuò)散性衍射光學(xué)元件依次設(shè)置于所述鏡架內(nèi)。
[0006]本實(shí)用新型的有益效果在于:
[0007]本實(shí)用新型通過(guò)將一束激光分為兩束或多束激光，分束后的光斑可以為一維或者二維分布，光斑間距離可調(diào)；本實(shí)用新型主要用于激光打標(biāo)機(jī)和切割機(jī)等用途。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0008]圖1是本實(shí)用新型所述一種激光分束裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0009]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明:
[0010]如圖1所示:本實(shí)用新型包括鏡架2、擴(kuò)束輸入鏡1、擴(kuò)束輸出鏡3、光闌4、擴(kuò)散性衍射光學(xué)元件5和聚焦鏡6，擴(kuò)束輸入鏡I和聚焦鏡6分別設(shè)置于鏡架2的兩端，擴(kuò)束輸出鏡3、光闌4和擴(kuò)散性衍射光學(xué)元件5依次設(shè)置于鏡架2內(nèi)。
[0011]本實(shí)用新型的工作原理如下:
[0012]本實(shí)用新型包括一組擴(kuò)束鏡，一個(gè)光闌，一個(gè)分束型衍射光學(xué)元件，一個(gè)聚焦鏡組成，其中擴(kuò)束透鏡包括擴(kuò)束輸入鏡、擴(kuò)束輸出鏡。擴(kuò)束鏡的作用是擴(kuò)束和準(zhǔn)直，光闌的作用是獲得面積合適的光斑，分束型衍射光學(xué)元件的作用是按照設(shè)計(jì)將一束光分成特定排列的幾束光，聚焦鏡的作用是通過(guò)聚焦獲得目標(biāo)光斑大小。
[0013]首先根據(jù)入射激光的波長(zhǎng)，工作距離等參數(shù)，通過(guò)衍射光學(xué)設(shè)計(jì)出相應(yīng)的全息結(jié)構(gòu)，然后利用光刻和刻蝕的方法將其轉(zhuǎn)移和制作在石英基材表面上，得到分束型衍射光學(xué)元件。
[0014]工作時(shí)，一束激光通過(guò)擴(kuò)束鏡，經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直的激光通過(guò)光闌形成面積合適的光斑，再通過(guò)分束型衍射光學(xué)元件后形成多束激光，最后通過(guò)聚焦鏡將光束聚焦成目標(biāo)面積的光斑。
[0015]本領(lǐng)域技術(shù)人員不脫離本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)和精神，可以有多種變形方案實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型，以上所述僅為本實(shí)用新型較佳可行的實(shí)施例而已，并非因此局限本實(shí)用新型的權(quán)利范圍，凡運(yùn)用本實(shí)用新型說(shuō)明書(shū)及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)變化，均包含于本實(shí)用新型的權(quán)利范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種激光分束裝置，其特征在于:包括鏡架、擴(kuò)束輸入鏡、擴(kuò)束輸出鏡、光闌、擴(kuò)散性衍射光學(xué)元件和聚焦鏡，所述擴(kuò)束輸入鏡和所述聚焦鏡分別設(shè)置于所述鏡架的兩端，所述擴(kuò)束輸出鏡、所述光闌和所述擴(kuò)散性衍射光學(xué)元件依次設(shè)置于所述鏡架內(nèi)。
【文檔編號(hào)】B23K26/067GK204262588SQ201420618500
【公開(kāi)日】2015年4月15日 申請(qǐng)日期:2014年10月24日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月24日
【發(fā)明者】馬衍強(qiáng) 申請(qǐng)人:北京潤(rùn)和微光科技有限公司