專利名稱：石英管裝載裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，特別涉及一種石英管裝載裝置。
背景技術(shù)：
爐管設(shè)備作為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域廣泛使用的擴散設(shè)備，具有結(jié)構(gòu)簡單，占用空間小，生產(chǎn)效率高等諸多優(yōu)點。但是，爐管設(shè)備的特點也增加了其在維護保養(yǎng)過程中的難度。通常，爐管設(shè)備的反應(yīng)腔體由石英管構(gòu)成，經(jīng)過一段時間的爐管工藝后，作為反應(yīng)腔體的石英管無可避免會有副產(chǎn)物的結(jié)晶形成并且附著在其表面，因此需要定期拆卸設(shè)備的石英管進行清洗和更換，以此來保證下次使用時的潔凈度。然而，目前為止，對石英管的更換仍然采用的是人工操作的方式，這種方式不但費時費力而且安裝的效果因人而異，沒有統(tǒng)一的標準，一旦安裝的位置產(chǎn)生偏差將會導(dǎo)致后期測漏失敗，最終影響維護成功率甚至影響產(chǎn)品的良率。對于業(yè)界領(lǐng)先的300mm爐管設(shè)備而言，具有更大尺寸的石英管，無論尺寸還是重量都無法輕易的安裝和拆卸。目前，更換石英管的困難之處在于需要三人將石英管抱住并維持在離地半米以上的高度，由另一人觀察并指揮三人將其緩慢放置在基座(manifold)上。由于基座上設(shè)置有0型密封圈的緣故，要求石英管必須被水平的放置，才能保證石英管的密封面和0型密封圈完全且有效的接觸。這種方法不但費時費力，而且沒有標準化的統(tǒng)一手法，必然給頻繁的保養(yǎng)工作帶來隱患。同時由于工藝的需要，在石英管的底部增加一底座隔熱片(manifold cover),如果在安裝過程中造成石英管與底座隔熱片的摩擦，會產(chǎn)生顆粒物帶入石英管內(nèi)，嚴重影響產(chǎn)品的質(zhì)量，所以在石英管安裝過程中安裝位置的準確性至關(guān)重要。因此，如何設(shè)計一套標準化的適于更大尺寸的石英管安裝及拆卸的裝置，從而通過省時省力的方式取代繁重的人工操作，成了設(shè)備維護人員所面臨的一個難題。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種石英管裝載裝置，以提高石英管安裝過程中安裝位置的準確性，適于更大尺寸的石英管安裝及拆卸，同時減輕維護人員的勞動強度。本實用新型的技術(shù)解決方案是提供一種石英管裝載裝置，包括底座；支撐臂，垂直固定在所述底座上；伸縮桿，一端通過一液壓活塞裝置固定在所述支撐臂底部，另一端從所述支撐臂的頂部橫向向外延伸，所述伸縮桿能在液壓活塞裝置的驅(qū)動下沿豎直方向伸縮；夾具，固定在所述伸縮桿上，用于裝載一石英管。作為優(yōu)選所述伸縮桿呈倒L形，其中所述伸縮桿豎直向上的部分為第一桿，所述伸縮桿橫向向外延伸的部分為第二桿。作為優(yōu)選所述夾具包括吸盤和懸臂，所述吸盤開口向下固定在所述伸縮桿的第二桿上，所述吸盤的橫截面平行于水平面，所述懸臂固定在所述伸縮桿的第一桿上。[0014]作為優(yōu)選所述懸臂由兩個半圓弧臂組成，所述懸臂所在的平面與水平面平行。作為優(yōu)選所述半圓弧臂的外側(cè)具有擋塊，內(nèi)側(cè)具有墊圈，所述伸縮桿上相對于懸臂上擋塊的位置設(shè)有螺紋孔，且螺紋孔內(nèi)設(shè)有一長度可調(diào)的螺桿，所述螺桿一端抵頂在所述擋塊上。作為優(yōu)選所述夾具包括兩個懸臂，上下間隔設(shè)置在所述伸縮桿的第一桿上。作為優(yōu)選所述墊圈由橡膠材料制成。作為優(yōu)選所述液壓活塞裝置包括活塞、腳踏板、泄壓手柄，所述腳踏板和泄壓手柄分別連接于所述活塞。作為優(yōu)選所述底座上設(shè)有車輪。作為優(yōu)選所述車輪上設(shè)有制動裝置。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型石英管裝載裝置采用車載裝置、液壓活塞裝置配合伸縮桿以及固定在伸縮桿上的夾具，結(jié)構(gòu)簡單，使得石英管安裝位置準確，同時省時省力，能適用于更大尺寸的石英管安裝及拆卸。

圖I是本實用新型石英管裝載裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是石英管裝載裝置的懸臂的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是本實用新型裝載石英管時的示意圖。
具體實施方式
本實用新型下面將結(jié)合附圖作進一步詳述在下面的描述中闡述了很多具體細節(jié)以便于充分理解本發(fā)明。但是本發(fā)明能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本發(fā)明內(nèi)涵的情況下做類似推廣，因此本發(fā)明不受下面公開的具體實施的限制。其次，本發(fā)明利用示意圖進行詳細描述，在詳述本發(fā)明實施例時，為便于說明，表示器件結(jié)構(gòu)的剖面圖會不依一般比例作局部放大，而且所述示意圖只是實例，其在此不應(yīng)限制本發(fā)明保護的范圍。此外，在實際制作中應(yīng)包含長度、寬度及深度的三維空間尺寸。圖I示出了本實用新型的石英管裝載裝置的示意圖。請參閱圖I所示，在本實施例中，一種石英管裝載裝置，包括底座I ;支撐臂2，垂直固定在所述底座I上；液壓活塞裝置3，固定在所述支撐臂2底端；伸縮桿4，一端連接于所述液壓活塞裝置3，另一端從所述支撐臂2的頂部橫向向外延伸，所述伸縮桿能在液壓活塞裝置3的驅(qū)動下沿豎直方向伸縮；夾具5，固定在所述伸縮桿4上，用于裝載石英管。于本實施例中，所述伸縮桿4呈倒L形，其中所述伸縮桿4豎直向上即平行于支撐臂2設(shè)置的部分為第一桿41，所述第一桿41倚靠在支撐臂2上，以獲得足夠的支撐力，所述伸縮桿4橫向向外延伸的部分為第二桿42，且所述第二桿42的長度大于所要裝載的石英管的直徑。所述夾具5包括吸盤51和懸臂52,所述吸盤51開口向下固定在所述伸縮桿4的第二桿42上，所述吸盤51的橫截面平行于水平面，所述懸臂52固定在所述伸縮桿4的第一桿41上，本實施例中采用兩個懸臂52，上下間隔設(shè)置在第一桿41上，當然，懸臂52的數(shù)量也可以根據(jù)石英管的長度來決定，當懸臂的數(shù)量較多時，容易精確調(diào)節(jié)石英管的水平位置并且使石英管的夾持更穩(wěn)固，但是懸臂數(shù)量過多也會帶來操作不便的問題。[0036]所述液壓活塞裝置3包括活塞31、腳踏板32、泄壓手柄33。所述腳踏板32和泄壓手柄33分別連接于所述活塞31。如圖2所示，所述懸臂52包括由一個頂絲521相連接的兩個半圓弧臂522，所述半圓弧臂522的外側(cè)上具有擋塊523，所述伸縮桿4上相對于每個半圓弧臂522上擋塊523的位置設(shè)有螺紋孔(圖中未示)，且螺紋孔內(nèi)設(shè)有一長度可調(diào)的螺桿(圖中未示)，所述螺桿一端抵頂在所述擋塊523上。當頂絲521松開時，可以通過調(diào)節(jié)螺桿的長度來調(diào)整兩個半圓弧臂522之間的張開角度，從而調(diào)節(jié)石英管的水平位置；當兩個半圓弧臂522的張角調(diào)整完畢后，通過鎖緊頂絲521固定住半圓弧臂522，從而確保張角不變。為了增加所述懸臂對石英管的摩擦力且不劃傷石英管，所述每個半圓弧臂522的內(nèi)側(cè)還設(shè)有由橡膠材料制成的墊圈(圖中未示)。為了方便吸盤51破真空，所述吸盤51上還設(shè)有破真空裝置(圖中未示)，為了實現(xiàn)多方向的旋轉(zhuǎn)和前后移動，所述底座I上設(shè)有兩組車輪11。所述車輪11上設(shè)有制動裝置(圖中未示)，所述車輪以及車輪上的制動裝置使得本實用新型石英管裝載裝置既可靈活的轉(zhuǎn)移位置又可固定住。如圖3所示，采用本實用新型的石英管裝載裝置進行石英管裝配的過程如下移動石英管裝載裝置到清洗完畢的石英管6附近并固定住石英管裝載裝置，再通過所述裝置的夾具裝載石英管，即用吸盤51吸住石英管6的尾部，懸臂52圍住石英管管身，松開頂絲521，再通過調(diào)節(jié)螺桿的長度縮小兩個半圓弧臂522的張開角度使懸臂52摟緊石英管6，在此過程中，調(diào)整兩個半圓弧臂522的位置來調(diào)節(jié)石英管6的水平位置，接著縮緊頂絲521確保兩個半圓弧臂522的張角不變。當石英管由夾具準確固定住后，再腳踩液壓活塞裝置3的腳踏板32，使液壓活塞裝置3的活塞向上推，帶動伸縮桿4向上拉伸，提起石英管6。然后，通過石英管裝載裝置將石英管6移動至爐管設(shè)備處，再通過前后移動和左右旋轉(zhuǎn)使具有一底座隔熱片61的石英管6準確對準于基座7的上方，再拉動泄壓手柄33使石英管落在基座7上進行裝配，裝配完后，對吸盤51破真空，通過調(diào)節(jié)螺桿的長度增大兩個半圓弧臂的張開角度使懸臂松開石英管。再利用液壓活塞裝置3提伸伸縮桿4，移走石英管裝載裝置。拆卸所述石英管6時同樣適用。本實用新型石英管裝載裝置采用車載裝置、液壓活塞裝置配合伸縮桿以及固定在伸縮桿上的夾具，結(jié)構(gòu)簡單，使得石英管安裝位置準確，同時省時省力，能適用于更大尺寸的石英管安裝及拆卸。以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，凡依本實用新型權(quán)利要求范圍所做的均等變化與修飾，皆應(yīng)屬本實用新型權(quán)利要求的涵蓋范圍。
權(quán)利要求1.一種石英管裝載裝置，其特征在于包括 底座； 支撐臂，垂直固定在所述底座上； 伸縮桿，一端通過一液壓活塞裝置固定在所述支撐臂底部，另一端從所述支撐臂的頂部橫向向外延伸，所述伸縮桿能在液壓活塞裝置的驅(qū)動下沿豎直方向伸縮； 夾具，固定在所述伸縮桿上，用于裝載一石英管。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述石英管裝載裝置，其特征在于所述伸縮桿呈倒L形，其中所述伸縮桿豎直向上的部分為第一桿，所述伸縮桿橫向向外延伸的部分為第二桿。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述石英管裝載裝置，其特征在于所述夾具包括吸盤和懸臂，所述吸盤開口向下固定在所述伸縮桿的第二桿上，所述吸盤的橫截面平行于水平面，所述懸臂固定在所述伸縮桿的第一桿上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述石英管裝載裝置，其特征在于所述懸臂由兩個半圓弧臂組成，所述懸臂所在的平面與水平面平行。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述石英管裝載裝置，其特征在于所述半圓弧臂的外側(cè)具有擋塊，內(nèi)側(cè)具有墊圈，所述伸縮桿上相對于半圓弧臂上擋塊的位置設(shè)有螺紋孔，且螺紋孔內(nèi)設(shè)有一長度可調(diào)的螺桿，所述螺桿一端抵頂在所述擋塊上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述石英管裝載裝置，其特征在于所述墊圈由橡膠材料制成。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述石英管裝載裝置，其特征在于所述夾具包括兩個懸臂，上下間隔設(shè)置在所述伸縮桿的第一桿上。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述石英管裝載裝置，其特征在于所述液壓活塞裝置包括活塞、腳踏板、泄壓手柄，所述腳踏板和泄壓手柄分別連接于所述活塞。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述石英管裝載裝置，其特征在于所述底座上設(shè)有車輪。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述石英管裝載裝置，其特征在于所述車輪上設(shè)有制動裝置。
專利摘要本實用新型涉及一種石英管裝載裝置，包括底座；支撐臂，垂直固定在所述底座上；伸縮桿，一端通過一液壓活塞裝置固定在所述支撐臂底部，另一端從所述支撐臂的頂部橫向向外延伸，所述伸縮桿能在液壓活塞裝置的驅(qū)動下沿豎直方向伸縮；夾具，固定在所述伸縮桿上，用于裝載一石英管。本實用新型石英管裝載裝置采用車載裝置、液壓活塞裝置配合伸縮桿以及固定在伸縮桿上的夾具，結(jié)構(gòu)簡單，使得石英管安裝位置準確，同時省時省力，能適用于更大尺寸的石英管安裝及拆卸。
文檔編號B23P19/00GK202367401SQ20112051075
公開日2012年8月8日 申請日期2011年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月8日
發(fā)明者曹肖肖, 楊文 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司