本發(fā)明涉及真空紫外光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種真空紫外光管照明裝置。

背景技術(shù)：

在對(duì)光學(xué)載荷進(jìn)行校準(zhǔn)測(cè)試過(guò)程中，通常需要為被校光學(xué)載荷提供準(zhǔn)直照明光束，常見(jiàn)的照明方式為光管照明方式，光管照明系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)入射光的準(zhǔn)直功能，供被校光學(xué)載荷進(jìn)行不同參數(shù)的校準(zhǔn)測(cè)試。光管照明系統(tǒng)可以采用透射式、透反式等方式來(lái)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)，在可見(jiàn)光及紅外波段多采用透射式方法來(lái)實(shí)現(xiàn)光管照明功能，由于真空紫外波段的特殊性，透射式及透反式較難實(shí)現(xiàn)光管照明功能，并且在真空紫外波段可用的透射光學(xué)材料較少，并且對(duì)能量具有較大吸收，降低了光學(xué)載荷校準(zhǔn)測(cè)試的靈敏度和準(zhǔn)確度，進(jìn)而影響整機(jī)性能指標(biāo)，另外針對(duì)110nm～400nm的寬波段范圍，需采用組合設(shè)計(jì)方式，分成了四段來(lái)進(jìn)行設(shè)計(jì)，分別為110nm～130nm、130nm～150nm、150nm～200nm、200nm～400nm，這樣會(huì)造成光管照明系統(tǒng)的復(fù)雜化，增加了成本負(fù)擔(dān)，裝調(diào)精度難以保證。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

在下文中給出關(guān)于本發(fā)明的簡(jiǎn)要概述，以便提供關(guān)于本發(fā)明的某些方面的基本理解。應(yīng)當(dāng)理解，這個(gè)概述并不是關(guān)于本發(fā)明的窮舉性概述。它并不是意圖確定本發(fā)明的關(guān)鍵或重要部分，也不是意圖限定本發(fā)明的范圍。其目的僅僅是以簡(jiǎn)化的形式給出某些概念，以此作為稍后論述的更詳細(xì)描述的前序。

為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提出一種真空紫外光管照明裝置，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，有效降低光管照明系統(tǒng)成本，保證裝調(diào)精度。

一種真空紫外光管照明裝置，包括：

真空紫外光源，用于提供紫外光；

設(shè)置在所述紫外光出射光路上的平面反射鏡，用于將所述紫外光進(jìn)行反射處理，形成反射紫外光；

設(shè)置在所述反射紫外光出射光路上的離軸拋物面反射鏡，用于將所述反射紫外光進(jìn)行準(zhǔn)直處理后輸出。

本發(fā)明提供的真空紫外光管照明裝置，采用全反射的方式實(shí)現(xiàn)光管照明，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，有效降低光管照明系統(tǒng)成本，保證裝調(diào)精度。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明提供的真空光管照明裝置一種實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本發(fā)明提供的真空光管照明裝置中平面反射鏡一種實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本發(fā)明提供的真空光管照明裝置中離軸拋物面反射鏡一種實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面參照附圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例。在本發(fā)明的一個(gè)附圖或一種實(shí)施方式中描述的元素和特征可以與一個(gè)或者更多個(gè)其他附圖或?qū)嵤┓绞街惺境龅脑睾吞卣飨嘟Y(jié)合。應(yīng)當(dāng)注意，為了清楚目的，附圖和說(shuō)明中省略了與本發(fā)明無(wú)關(guān)的、本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的部件和處理的表示和描述。

參考圖1、圖2和圖3，本實(shí)施例提供一種真空紫外光管照明裝置，包括：

真空紫外光源101，用于提供紫外光；

設(shè)置在紫外光出射光路上的平面反射鏡102，用于將紫外光進(jìn)行反射處理，形成反射紫外光；

設(shè)置在反射紫外光出射光路上的離軸拋物面反射鏡103，用于將所述反射紫外光進(jìn)行準(zhǔn)直處理后輸出。

本實(shí)施例提供的真空紫外光管照明裝置，采用全反射的方式實(shí)現(xiàn)光管照明，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，有效降低光管照明系統(tǒng)成本，保證裝調(diào)精度。

進(jìn)一步地，平面反射鏡102與水平夾角為45°，離軸拋物面反射鏡103與水平夾角為90°，經(jīng)平面反射鏡102輸出的反射紫外光再經(jīng)離軸拋物面反射鏡103反射，形成平行光輸出。

進(jìn)一步地，平面反射鏡102和離軸拋物面反射鏡103均采用微晶材料制成。作為一種可選的實(shí)施方式，離軸拋物面反射鏡103的反射面conic系數(shù)為-1，曲率半徑為-4000mm，中心厚度為39±0.1mm，近光軸端面厚度為25±0.1mm，遠(yuǎn)光軸端面厚度為55±0.1mm，有效通光口徑為φ220mm；平面反射鏡102反射表面半徑為∞mm，厚度為15±0.1mm，有效通光口徑為φ135mm；平面反射鏡中心與所述離軸拋物面反射鏡中心的水平方向距離為1490±5mm，平面反射鏡中心與所述離軸拋物面反射鏡中心的垂直方向距離為162±2mm。

進(jìn)一步地，平面反射鏡102和離軸拋物面反射鏡103表面設(shè)有反射膜，作為一種可選的實(shí)施方式，該反射膜的工作波段為110nm～400nm，滿(mǎn)足真空紫外波段的使用要求。

本發(fā)明提供的真空紫外光管照明裝置，通過(guò)采用全反射式設(shè)計(jì)方法，合理選擇反射鏡的材料及面型參數(shù)，使光管照明裝置在110nm～400nm波段范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)功能要求，簡(jiǎn)化了光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，提高了系統(tǒng)反射率及可靠性。使真空紫外光管照明系統(tǒng)的波段范圍、溫度范圍和性能參數(shù)得到合理匹配，降低了成本，簡(jiǎn)化了系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，滿(mǎn)足系統(tǒng)使用要求。

雖然已經(jīng)詳細(xì)說(shuō)明了本發(fā)明及其優(yōu)點(diǎn)，但是應(yīng)當(dāng)理解在不超出由所附的權(quán)利要求所限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下可以進(jìn)行各種改變、替代和變換。而且，本申請(qǐng)的范圍不僅限于說(shuō)明書(shū)所描述的過(guò)程、設(shè)備、手段、方法和步驟的具體實(shí)施例。本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員從本發(fā)明的公開(kāi)內(nèi)容將容易理解，根據(jù)本發(fā)明可以使用執(zhí)行與在此所述的相應(yīng)實(shí)施例基本相同的功能或者獲得與其基本相同的結(jié)果的、現(xiàn)有和將來(lái)要被開(kāi)發(fā)的過(guò)程、設(shè)備、手段、方法或者步驟。因此，所附的權(quán)利要求旨在它們的范圍內(nèi)包括這樣的過(guò)程、設(shè)備、手段、方法或者步驟。