一種用于電極桿固定的支架的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明講述的是一種用于管式PECVD設備爐尾電極桿固定的支架。說明書對支架的設計進行了詳細的說明，并給出具體實施方案。
【專利說明】—種用于電極桿固定的支架

【技術(shù)領域】
[0001]本發(fā)明是一種用于電極桿固定的支架，用于管式PECVD石英管尾部的固定部件。支架的結(jié)構(gòu)可以有效預防電極桿的型變；其耐高溫的特性使其工作溫度在400-500°C ;不易碎的特性是在爐體內(nèi)石英管移位時無碎片與石英管碰撞致使石英管破損；支架部分①之間、支架部分①與PECVD爐尾端蓋之間均有石棉橡膠材料的支架部分②做間隔，可以有效降低溫度的散失，降低PECVD運行時的用電量以達到節(jié)能的目的。

【背景技術(shù)】
[0002]太陽能具有可再生和環(huán)保等方面的特點，這種優(yōu)勢讓包括中國在內(nèi)的許多國家將太陽能作為重點發(fā)展的新能源產(chǎn)業(yè)。中國光伏產(chǎn)品主要供應給歐美市場，國內(nèi)市場份額很小。近年來，由于歐美各國市場需求的增大，我國光伏產(chǎn)業(yè)取得了快速的發(fā)展，最近5年的年均增長速度極快。在政策進一步加大扶持力度的背景下，未來光伏產(chǎn)業(yè)的增長前景將更為廣闊。
[0003]光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)鏈從上游到下游，主要包括的產(chǎn)業(yè)鏈條包括多晶硅、硅片、電池片以及電池組件。在產(chǎn)業(yè)鏈中，多晶硅電池，生產(chǎn)的技術(shù)門檻越來越低，相應地，公司數(shù)量分布也越來越多，利潤越來越地。
[0004]而PECVD作為太陽能電池制造中的重要一環(huán)，其有效減少用電損耗、降低維修成本和維修時間有著至關重要的意義。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明針對PECVD石英管尾部的固定部件。利用支架的結(jié)構(gòu)可以有效預防電極桿的型變；其耐高溫的特性使其工作溫度在400-500°C;不易碎的特性是在爐體內(nèi)石英管移位時無碎片與石英管碰撞致使石英管破損；支架部分①之間、支架部分①與PECVD爐尾端蓋之間均有石棉橡膠材料的支架部分②做間隔，可以有效降低溫度的散失，降低PECVD運行時的用電量以達到節(jié)能的目的。本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實現(xiàn):
[0006]1.一種用于固定電極桿的支架，包括:支架部分①、支架部分②、尺寸及結(jié)構(gòu)。
[0007]2.如權(quán)利要求1所述的一種用于固定電極桿的部件，其特征在于，其中所述的支架部分①材質(zhì)為耐高位、耐腐蝕、不易變形的不銹鋼材料。
[0008]3.如權(quán)利要求2所述的一種用于固定電極桿的部件，其特征在于，其中所述的支架部分②材質(zhì)為耐高溫、耐腐蝕且不易碎的石棉橡膠材料。
[0009]4.如權(quán)利要求3所述的一種用于固定電極桿的部件，其特征在于，其中所述的支架部分①尺寸為:Φ350_Χ5_。
[0010]5.如權(quán)利要求4所述的一種用于固定電極桿的部件，其特征在于，其中所述的支架部分①尺寸為:外徑75_、內(nèi)徑30_、高度50_。
[0011]6.如權(quán)利要求5所述的一種用于固定電極桿的部件，其特征在于，其中所述的結(jié)構(gòu)為支架部分①之間、支架部分①與PECVD爐尾端蓋之間均有石棉橡膠材料的支架部分②做間隔。
[0012]本發(fā)明具有如下優(yōu)點:
[0013]1.有效保護電極桿；
[0014]2.部件牢固，耐高溫，不易碎；
[0015]3.壽命長；
[0016]4.節(jié)約成本，能在石英管移位是避免石英管破損；
[0017]5.減少能量損耗.

【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]圖1固定支架的側(cè)視圖。
[0019]圖2支架部分①

【具體實施方式】
[0020]下面結(jié)合具體實施例對本發(fā)明作進一步介紹，這些描述都是說明性的，本發(fā)明不限于此。本發(fā)明的范圍僅由所附權(quán)利要求的范圍所限定。
[0021]一種用于固定電極桿的支架，包括:支架部分①、支架部分②、尺寸及結(jié)構(gòu)。
[0022]利用支架的結(jié)構(gòu)可以有效預防電極桿的型變；其耐高溫的特性使其工作溫度在400-5000C ;不易碎的特性是在爐體內(nèi)石英管移位時無碎片與石英管碰撞致使石英管破損；支架部分①之間、支架部分①與PECVD爐尾端蓋之間均有石棉橡膠材料的支架部分②做間隔，可以有效降低溫度的散失，降低PECVD運行時的用電量以達到節(jié)能的目的。
[0023]以上所述已對本發(fā)明的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構(gòu)成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔相應的法律。
【權(quán)利要求】
1.一種用于電極桿固定的支架，包括:支架部分①、支架部分②、尺寸及結(jié)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種用于固定電極桿的部件，其特征在于，其中所述的支架部分①材質(zhì)為耐高位、耐腐蝕、不易變形的不銹鋼材料。
3.如權(quán)利要求2所述的一種用于固定電極桿的部件，其特征在于，其中所述的支架部分②材質(zhì)為耐高溫、耐腐蝕且不易碎的石棉橡膠材料。
4.如權(quán)利要求3所述的一種用于固定電極桿的部件，其特征在于，其中所述的支架部分①尺寸為:Φ350_Χ5_。
5.如權(quán)利要求4所述的一種用于固定電極桿的部件，其特征在于，其中所述的支架部分①尺寸為:外徑75mm、內(nèi)徑30mm、高度50mm。
6.如權(quán)利要求5所述的一種用于固定電極桿的部件，其特征在于，其中所述的結(jié)構(gòu)為支架部分①之間、支架部分①與PECVD爐尾端蓋之間均有石棉橡膠材料的支架部分②做間隔。
【文檔編號】H01J37/32GK104299876SQ201310303708
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2013年7月18日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月18日
【發(fā)明者】李楠 申請人:北京中科信電子裝備有限公司