射頻燈以及操作射頻燈的方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種具有玻璃燈泡和用于提供高頻信號的裝置的高頻燈?，F(xiàn)有技術(shù)中已知的高頻燈或者受限于玻璃燈泡的材料的有限選擇或者依賴于使用螺旋狀燈絲等的加熱處理。本發(fā)明的目的是提供一種廉價的并且更高效的高頻燈。具體而言其實現(xiàn)方式是，由例如窗玻璃制作玻璃燈泡，以便可由玻璃燈泡中的高頻信號的熱損耗來加熱，這樣甚至例如金屬鹵化物都可以在沒有額外加熱處理的情況下蒸發(fā)。
【專利說明】射頻燈以及操作射頻燈的方法
[0001]說明書
[0002]本發(fā)明涉及如權(quán)利要求1所述的射頻燈、如權(quán)利要求9所述的一種用于操作射頻燈的方法、如權(quán)利要求13所述的玻璃的使用以及如權(quán)利要求14所述的射頻信號的使用。
[0003]燈通常用于以最可能好的色譜盡量高效地發(fā)光。每種燈都將能量以相當良好的效率轉(zhuǎn)換為光。在轉(zhuǎn)換過程中經(jīng)常出現(xiàn)大量熱損耗。一般而言，所發(fā)射的光譜及其發(fā)射行為根據(jù)使用的目的是有幫助的。熒光燈和氣體放電燈在現(xiàn)有技術(shù)中是眾所周知的。
[0004]氣體放電燈是使用氣體放電的光源并且在這種情況下利用了由原子或分子電子躍遷產(chǎn)生的自發(fā)輻射以及由放電產(chǎn)生的等離子體的復合輻射。包含在石英玻璃燈泡(電離室)中的氣體通常是金屬蒸汽(例如水銀)和稀有氣體(例如氬)以及其他氣體(例如鹵素)(如果存在的話)的混合體。氣體放電燈再分為低壓和高壓放電燈兩類。前一類采用電暈放電，而后一類采用電弧放電。
[0005]這些燈都需要鎮(zhèn)流器。熒光燈的常規(guī)鎮(zhèn)流器包含電感器和作為啟動器電路的雙金屬觸點。電感器作為日光燈管(本文經(jīng)常稱為電離室)的一連串電阻用于啟動。這種簡單的電路被設(shè)計成用于在50Hz下工作。
[0006]現(xiàn)代的緊湊型節(jié)能燈使用電子鎮(zhèn)流器。所述電子鎮(zhèn)流器提供很多優(yōu)于傳統(tǒng)鎮(zhèn)流器的優(yōu)點。尤其是結(jié)構(gòu)尺寸縮小了并且效率得到提高。電子鎮(zhèn)流器由例如橋式整流器、控制電子裝置、具有兩個功率晶體管的逆變器以及一個共振電路組成。逆變器的兩個功率晶體管以大約45%的開啟時間工作，目的是短路電流不可能接地。這45%的時間需要特殊的控制電子裝置。逆變器的轉(zhuǎn)換次數(shù)是在kHz范圍內(nèi)的。因此，相比于常規(guī)鎮(zhèn)流器的感應器，共振器的組件尺寸大大地縮小了。效率上的提高主要因為以下事實:由于頻率較高，很少出現(xiàn)損耗復合。這種效果也稱為RF增益(RF =射頻)。
[0007]氣體放電燈的一種特殊形式是硫燈。它由填充了硫和氬的石英玻璃球組成。在玻璃球中，射頻輻射產(chǎn)生了等離子體。鎮(zhèn)流器包含磁控管，由于大幅加熱的陰極的壽命有限，磁控管的耐用性低于其他燈鎮(zhèn)流器技術(shù)。
[0008]硫燈與其他氣體放電燈形成了鮮明對比，原因是它有非常高的色溫，并且因此具有幾乎白色的光譜。然而，這種燈的技術(shù)十分復雜，并且因此較為昂貴。而且，它僅適用于功率燈的瓦特數(shù)為kW范圍的情況。
[0009]此外，射頻燈(RF燈)是眾所周知的，它常常工作在2.45GHz上。這些燈以低射頻功率(30-200W)工作并使用通過橫向電磁線(同軸線)連接至內(nèi)部導體電極的耦合，而不是波導耦合。由于這些燈使用氣體放電燈的長線作為天線，因此下文更適合于稱這些燈為RF天線燈。當這些燈的情況與硫燈的情況一樣時，在RF生成器的頻率穩(wěn)定性方面的要求是較低的。盡管RF天線燈不需要用于點火的電路來運行，但它們需要非常大的功率(高于30W微波功率)。而且，這兩種理念都使用常規(guī)的天線形式的氣體放電燈。在將射頻輻射發(fā)射至更大范圍時，這種方式具有嚴重的缺陷。
[0010]利用具有高效的阻抗變壓器的RF燈可以獲得明顯更高的等離子體效率，并因此還獲得更高的發(fā)光效率(以每瓦特流明測量)。利用這些變壓器，電壓在入耦合(coupling-1n)中升級并因此以較低的電功率實現(xiàn)了電離。例如，這種RF燈從DElO 2007057 581A1 可知。
[0011]傳統(tǒng)的氣體放電燈使用電弧放電，并且尤其在低壓燈的情況中，將電離等離子體用作電阻負載，用于kHz范圍的低頻信號。
[0012]可以將RF燈配置為微等離子體燈。等離子體常常在2.45GHz上產(chǎn)生。在經(jīng)常選用的非對稱電源的情況下，等離子體圍繞供電電極形成為一個球體。接地的連接體是純電容性的。
[0013]有關(guān)基礎(chǔ)物理原理的書籍所傳授的是氣體的電離只有借助于電子碰撞電離才發(fā)生，而電子碰撞電離是由電子束注入、極高溫度(IO6K)下的熱電離或通過紫外光的光化電離作用而激發(fā)出來。而且，根據(jù)實驗物理學，在GHz范圍內(nèi)本發(fā)明人已經(jīng)實現(xiàn)了很多裝置，借助于這些裝置通過提供相對較少的2.45GHz的射頻功率就可以出現(xiàn)電離區(qū)域。
[0014]如果電離的氣體具有相同數(shù)量的電子和離子，那么它在平均值上是無空間電荷并且稱為等離子體的氣體。
[0015]而且，麥克斯韋爾方程式可用于表明以下數(shù)學關(guān)系對于電離氣體是適用的:
[0016]相對介電常數(shù):
[0017]ε=1- (Ne2/ ε 0/m/ ( υ 2+ ω2) (I)
[0018]相對電導率:
[0019]κ = (Ne2 υ )/m/ ( υ 2+ω2) (2)
[0020]等離子體頻率:
[0021]
ωρ - yj{Ne21m/ε0)(3)
[0022]利用以下變量:
[0023]N:每體積的電子數(shù)量，
[0024]e:電子的電荷，
[0025]m:電子的質(zhì)量，
[0026]Etl:電場常數(shù)，
[0027]υ:電子與氣體分子碰撞的頻率，
[0028]ω:射頻信號的頻率。
[0029]詳細調(diào)查表明，在等離子體頻率以下電磁能不能在等離子體中傳播并且在等離子體中不會出現(xiàn)損耗。相比之下，空間具有高于等離子體頻率的實場波阻抗zf。&落向更高的頻率并且以指數(shù)方式接近Ztl大約377 Ω的自由空間阻抗。也就是說，需要在更高頻率上實現(xiàn)相同功率所需的電壓低于在更低頻率上所需的電壓。
[0030]等式(2)表明，隨著頻率增加，(小阻值)電阻和因此帶來的損耗會上升。因此，可以在較高頻率上更好地加熱氣體。在針對RF信號的傳輸特性的大氣分析中，顯然在2-3位數(shù)的MHz范圍內(nèi)輻射實際上并未被完全吸收，而在50GHz上全部輻射由于氫和/或氧中的分子吸收而被衰減。
[0031]在更低的MHz范圍中，有可能使用所謂的特斯拉變壓器以便制造具有5kV輸出電壓的100W發(fā)電機并因此在空氣中產(chǎn)生具有IOcm長度的火花隙。通過IOW發(fā)射機和2kV電壓，本發(fā)明人已經(jīng)在2.45GHz上產(chǎn)生了 Icm長度的微等離子體區(qū)域。[0032]DElO 2007 057 581A1描述了一種包括電離室和第一電極的射頻燈，該第一電極伸入電離室中。該電離室包含一種適合于被激勵而發(fā)光的氣體。電極將電信號傳輸至電離室中的氣體以便在電離室中產(chǎn)生等離子體。用于產(chǎn)生電信號的控制電子設(shè)備連接至第一電極。所述控制電子設(shè)備包括射頻振蕩器，在射頻振蕩器的輸出上設(shè)置了用于提高射頻信號功率的功率放大器。阻抗變壓器連接至該功率放大器的下端，電信號通過電極傳輸至位于所述阻抗變壓器的輸出上的氣體。
[0033]根據(jù)DElO 2007 057 581A1的射頻燈的玻璃燈泡由石英玻璃制成，正如傳統(tǒng)氣體放電燈的情況。金屬蒸汽混合體位于這種石英玻璃燈泡內(nèi)。未對氣體金屬蒸汽混合體的成分作進一步的規(guī)定；原則上，水銀是適合的，然而在傳統(tǒng)氣體放電燈中水銀也用作標準材料。水銀在室溫下就已經(jīng)蒸發(fā)了并且尤其在氣態(tài)時是有毒的。而且，水銀原子發(fā)射的光被認為令人感覺不舒適且不自然。因此，人們試圖通過例如金屬鹽來取代水銀，比如氯化鈉。與這種作為發(fā)光體的金屬鹽一起工作的射頻燈不包含有毒物質(zhì)并且發(fā)射多線譜。所發(fā)射的光被認為感覺舒適(由于它的連續(xù)性)并且同樣提高了色顯指數(shù)，色顯指數(shù)對于色彩的逼真渲染而言是很重要的。與其相反的是，傳統(tǒng)的氣體放電燈(尤其是低壓放電燈)是不發(fā)射連續(xù)譜的線發(fā)射器。
[0034]然而與射頻燈(與作為發(fā)光體的金屬鹽一起工作)有關(guān)的問題是需要高溫以便將鹽轉(zhuǎn)換為氣態(tài)。為此目的，有必要加熱射頻燈的玻璃燈泡，金屬鹽位于所述玻璃燈泡中。在這種情況中，例如通過熱輻射來加熱玻璃燈泡在原則上是可能的。然而，這種加熱的效率較低。具體而言，有必要開發(fā)一種附加裝置，除了燈泡的常規(guī)點火和工作以外，該裝置加熱玻璃燈泡壁。例如，借助于白熾燈絲的加熱也是相對復雜的。
[0035]為了使射頻燈工作，轉(zhuǎn)化為氣態(tài)無論如何是絕對有必要的，因為只有在能級相應地上升時能量才擴散以便激發(fā)氣體或鹽，從而發(fā)射出光。
[0036]本發(fā)明基于該問題而提出了一種射頻燈和一種用于操作該射頻燈的方法，該射頻燈對環(huán)境產(chǎn)生較低的負擔，具體而言可以利用較少成本進行制造和操作。
[0037]該問題的解決是通過如權(quán)利要求1所述的一種射頻燈、如權(quán)利要求9所述的一種用于操作射頻燈的方法以及如權(quán)利要求13所述的一種玻璃的使用和如權(quán)利要求14所述的射頻信號的使用。
[0038]具體而言該問題的解決是通過一種射頻燈，該射頻燈包括至少一個玻璃燈泡和至少一個射頻信號饋送裝置，該射頻燈信號饋送裝置將具有優(yōu)選IOMHz至IOOGHz的預定頻率的一個射頻信號饋送到至少一個玻璃燈泡的至少一個接觸區(qū)域，其中該玻璃燈泡包含一種在氣態(tài)下通過該射頻信號可電離的物質(zhì)，并且所述玻璃燈泡至少分段地包含一種玻璃，該玻璃具有至少2 X 10_4的平均損耗因數(shù)tan δ，優(yōu)選地至少5 X 10_4，更為優(yōu)選地至少20 X 10Λ甚至更為優(yōu)選地至少50 X 10_4，該損耗因數(shù)在參考溫度20°C下并以IMHz的參考信號測得。而且，提供了一個透明殼體，具體而言該透明殼體是一個第二外部玻璃燈泡，該第一玻璃燈泡設(shè)置在該第二外部玻璃燈泡中。
[0039]本發(fā)明的中心概念是使用一種具有較高損耗因數(shù)的玻璃以用于該玻璃燈泡，具體而言該損耗因數(shù)至少是2 X IO-4,而不是使用現(xiàn)有技術(shù)中使用的且具有(大約)I X IO-4損耗因數(shù)tan δ的石英玻璃。因此，該玻璃燈泡可以由該射頻信號加熱到某一溫度，例如至少40°C，具體而言是至少120°C，優(yōu)選地是至少150°C，更優(yōu)選地是至少20(TC，在該溫度下金屬鹽(例如鈉鹽或碘化鋰)開始蒸發(fā)，這對燈的工作是至關(guān)重要的。在這種情況的玻璃中，加熱玻璃的原因在于頻率以及電介質(zhì)的損耗因數(shù)tan δ。頻率越高并且損耗因數(shù)越高，在玻璃中更多的電能就會轉(zhuǎn)換為熱。這種現(xiàn)象可以在微波爐中觀察到，在微波爐中電磁波相當均勻地對玻璃進行加熱。在此情況下，有可能通過旋轉(zhuǎn)使得整個玻璃產(chǎn)品中的溫度幾乎毫無阻礙地上升。特別是由于提供熱絕緣，通過該透明殼體可以進一步增強加熱過程。因此，射頻燈的工作過程中的效率可以進一步提高。
[0040]射頻信號的功率可以是例如在0.1W至100W范圍內(nèi)，具體而言是5W至80W，優(yōu)選地是IOW至30W。玻璃燈泡的表面積可以優(yōu)選地是4cm2至200cm2，更優(yōu)選地是IOcm2至100cm2。玻璃燈泡壁的厚度可以例如是0.1mm至2.0mm,優(yōu)選地是0.2mm至5.0mm。
[0041]該物質(zhì)可以包括至少一種金屬和/或至少一種鹵化物和/或至少一種惰性氣體，具體而言可以由金屬-鹵素-惰性氣體的混合物組成。
[0042]對于至少2X10_4的tanS的玻璃損耗角，可以考慮不同的玻璃變體。一般而言，術(shù)語“玻璃”還可以包括具有相應高損耗角(例如，由雜質(zhì)產(chǎn)生)的特種陶瓷或石英玻璃。
[0043]根據(jù)本發(fā)明的一個更為通用的概念(獨立聲明的)，提出了一種射頻燈，該射頻燈配備有一個射頻信號產(chǎn)生裝置和一個玻璃燈泡，其中可以饋送至于該玻璃燈泡的該射頻信號的可生成功率和頻率與該玻璃燈泡的結(jié)構(gòu)設(shè)計彼此相互配合，具體而言是在其面積、其幾何結(jié)構(gòu)、其厚度和/或其材料成分方面，以此方式該射頻信號可以將該玻璃燈泡至少分區(qū)段地加熱到至少40°C的溫度，具體而言是至少120°C，優(yōu)選地是至少150°C，更優(yōu)選地是至少200 °C
[0044]利用kHz范圍的低頻信號(用于常規(guī)的氣體放電燈的工作)，可能不會產(chǎn)生高效的加熱，因為在低頻率上玻璃損耗太小，而且具有十分低的損耗因數(shù)tan δ = 1X10_4的石英還作為常規(guī)氣體放電燈中的標準物質(zhì)來使用。
[0045]在根據(jù)本發(fā)明的射頻燈的情況中，相比于已知的射頻燈，現(xiàn)在射頻信號不僅用于電離和激發(fā)玻璃燈泡中的氣體，還同時用于將玻璃燈泡壁加熱到所需的至少40 V的溫度。因此，可以采用相對簡單的方式來制造和操作該射頻燈。水銀的使用并不是絕對必要的。因此還降低了對環(huán)境和人類的危害。在這一點上，還有意地提供了使用與現(xiàn)有技術(shù)中的趨勢相反的“較低質(zhì)量的”玻璃(例如“窗玻璃”)，這種玻璃的損耗因數(shù)tanS至少為2X10_4，其中石英玻璃在氣體放電燈和射頻燈領(lǐng)域中的接受度越來越高。因此，由于這種“較低質(zhì)量的”玻璃，應當謹慎地接受缺點一這與現(xiàn)有技術(shù)中的趨勢相反，以便能夠?qū)崿F(xiàn)所提及的優(yōu)點。
[0046]優(yōu)選地，平均的預定損耗因數(shù)tan δ小于100 X 10_4，更優(yōu)選地小于80Χ 10_4，甚至更為優(yōu)選地小于60 X IO-4,甚至更加為優(yōu)選地小于或等于50 X 10_4。由此，具體而言確保玻璃燈泡不加熱或不加熱到遠超所需溫度是可能的，這提高了射頻燈的效率。
[0047]玻璃燈泡的玻璃的損耗因數(shù)tan δ可以至少在分段上是常數(shù)和/或隨著到射頻信號饋送裝置的距離增加而增加，具體而言至少是區(qū)段連續(xù)地和/或離散分段地提高?？商娲鼗蚋郊拥?，玻璃燈泡的玻璃的厚度也可以是常數(shù)和/或隨著到射頻信號饋送裝置的距離增加而增加，具體而言至少是區(qū)段連續(xù)地和/或離散分段地增加。在常數(shù)設(shè)計的情況下，生產(chǎn)成本降低。具有變化厚度和/或變化損耗因數(shù)tan δ的設(shè)計有可能使得距離射頻信號饋送裝置的更遠區(qū)段上的玻璃燈泡的溫度的絕對值近似于或(大約)等于射頻信號饋送裝置附近的區(qū)域中或者接觸部分的附近或內(nèi)部的區(qū)域中的溫度。因此溫度梯度可以降低或甚至設(shè)置為零。具體而言，損耗因數(shù)和/或厚度上的增加可以是線性的。距離該射頻信號饋送裝置最遠一點上的玻璃的損耗因數(shù)和/或厚度的量級是距離射頻信號饋送裝置最近(尤其是位于接觸區(qū)域內(nèi)的)一點上的量級的至少1.5倍，更為優(yōu)選地是至少2倍，更加優(yōu)選地是至少3倍。以此方式，也有可能使例如接觸區(qū)域內(nèi)部和外部的加熱相匹配，這提高了射頻燈的工作過程中的效率。由于玻璃燈泡上的相對高的溫度梯度帶來的損壞風險也可以得到降低。
[0048]可替代地，可以設(shè)置玻璃燈泡的玻璃的損耗因數(shù)tan δ隨著到射頻信號饋送裝置的距離的增加而下降，具體而言是至少是區(qū)段連續(xù)地和/或離散分段地下降。而且，玻璃燈泡的玻璃的厚度還可以隨著到射頻信號饋送裝置的距離增加而下降，具體而言至少是區(qū)段連續(xù)地和/或離散分段地下降。具體而言，損耗因數(shù)和/或厚度上的降低可以是線性的。距離該射頻信號饋送裝置最遠一點上的玻璃的損耗因數(shù)和/或厚度的量級是距離射頻信號饋送裝置最近一點(具體而言位于接觸區(qū)域內(nèi))上的量級的最多0.8倍，優(yōu)選地是最多0.5倍。
[0049]損耗因數(shù)tan δ可以通過復阻抗Z或射頻下的玻璃燈泡內(nèi)的電流和電壓之間的射頻相移φ 十算，如下所示:
[0050]tan δ = tanReZ/ (ImZ)；
【權(quán)利要求】
1.一種射頻燈，包括: 至少一個玻璃燈泡(10)以及至少一個射頻信號饋送裝置(11)，該射頻信號饋送裝置用于將一個射頻信號饋送至至少一個玻璃燈泡(10)的至少一個接觸區(qū)域(14)，該射頻信號具有優(yōu)選地IOMHz至IOOGHz的一個預定頻率，其中該玻璃燈泡(10)包含一種在氣態(tài)下可由該射頻信號電離的物質(zhì)，并且所述玻璃燈泡至少分區(qū)段地由一種玻璃組成，該玻璃具有至少2X 10_4的平均損耗因數(shù)tan δ，優(yōu)選地是至少5 X 10_4，更為優(yōu)選地是至少20Χ 10_4，甚至更為優(yōu)選地是至少50Χ10Λ該損耗因數(shù)在參考溫度20°C下并以一個IMHz的參考信號測得，其中提供一個透明殼體，具體而言是一個第二外部玻璃燈泡(50)，該第一玻璃燈泡(10)設(shè)置在該第二外部玻璃燈泡中。
2.如權(quán)利要求1所述的射頻燈， 其特征在于 該平均的預定損耗因數(shù)tan δ小于100Χ 10_4，優(yōu)選地小于80 X 10_4，甚至更為優(yōu)選地小于或等于50X10'
3.如權(quán)利要求1或2所述的射頻燈， 其特征在于 該玻璃燈泡(10)的玻璃的損耗因數(shù)tan δ和/或厚度可以至少分區(qū)段地是恒定的或隨著到該射頻信號饋送 裝置(11)的距離增加而提高，具體而言至少是線性地和/或離散分段地提聞。
4.如前述權(quán)利要求中任一項所述的射頻燈， 其特征在于 距離該射頻信號饋送裝置(11)最遠一點上的該玻璃燈泡(10)的玻璃的損耗因數(shù)tan δ和/或厚度的量級是距離該射頻信號饋送裝置最近一點上的量級的至少1.5倍，優(yōu)選地是至少2倍，甚至更為優(yōu)選地是至少3倍，具體而言該最近一點位于該接觸區(qū)域(14)之內(nèi)。
5.如前述權(quán)利要求中任一項所述的射頻燈， 其特征在于 提供至少兩個射頻信號饋送裝置(11，31)，具體而言是兩個，這些裝置被設(shè)計成用于在每種情況下將優(yōu)選為IOMHz至IOOGHz的一個射頻信號饋送到該玻璃燈泡(10)的至少一個接觸區(qū)域(14)并且優(yōu)選地彼此相對地設(shè)置，其方式為該玻璃燈泡(10)基本上位于這些射頻信號饋送裝置(11，31)之間的中點。
6.如前述權(quán)利要求中任一項所述的射頻燈， 其特征在于 位于該透明殼體和該第一玻璃燈泡(10)之間的一個間隙(51)是可排空的或被排空。
7.如前述權(quán)利要求中任一項具體所述的射頻燈， 其特征在于 具體而言是在該接觸區(qū)域(14)外側(cè)的一個外部區(qū)域(56)內(nèi)至少分區(qū)段地為該玻璃燈泡(10)的玻璃涂覆一種導電層，具體而言是薄金屬層(57)，具體而言通過氣相沉積法來涂覆。
8.如前述權(quán)利要求中任一項所述的射頻燈，其特征在于 一個用于產(chǎn)生該射頻信號的射頻產(chǎn)生器，該射頻信號具有該預定的頻率，其中如果適合的話該頻率是單頻的或調(diào)制的和/或脈沖的。
9.一種用于操作如前述權(quán)利要求中任一項所述的射頻燈的方法， 其中以此方式提供一個玻璃燈泡(10)，并且產(chǎn)生具有至少一個預定頻率和功率的一個射頻信號并將其饋送至該玻璃燈泡(10)，其方式是將該玻璃燈泡(10)加熱至一個預定溫度，在該溫度上可由該射頻信號在氣態(tài)下電離的一種物質(zhì)從該玻璃燈泡(10)的內(nèi)壁上蒸發(fā)。
10.如權(quán)利要求9所述的方法， 其特征在于 產(chǎn)生一個單頻或調(diào)制的以及在適合情況下的脈沖的射頻信號并作為該射頻信號來饋送。
11.如權(quán)利要求9或10所 述的方法， 其特征在于 該預定溫度至少是40°C，優(yōu)選地至少是120°C，甚至更為優(yōu)選地至少是150°C，甚至更加優(yōu)選地至少是200°C。
12.如權(quán)利要求9至11所述的方法， 其特征在于 以此方式提供該玻璃燈泡(10)并且產(chǎn)生并饋送具有至少一個預定頻率和功率的該射頻信號，其方式是該預定溫度基本上在時間上和/或在空間上是恒定的，具體而言該預定溫度的一個預定空間的和/或時間的平均值的時間和/或空間差異小于30%、20%，優(yōu)選地小于10%，更優(yōu)選地小于5%。
13.使用損耗因數(shù)tanS大于2X10_4優(yōu)選地大于5X 10_4、甚至更為優(yōu)選地大于20X 10_4、甚至更加優(yōu)選地大于50X 10_4的玻璃，以產(chǎn)生如權(quán)利要求1至8具體所述的射頻燈的一個玻璃燈泡(10)，優(yōu)選地用以執(zhí)行如權(quán)利要求9至12中任一項所述的方法。
14.使用一個射頻信號，以加熱如權(quán)利要求1至8中任一項具體所述的射頻燈的一個燈泡(10)，具體而言加熱到至少40°C，優(yōu)選地至少是120°C，甚至更為優(yōu)選地是150°C，優(yōu)選地用以執(zhí)行如權(quán)利要求9至12中任一項所述的方法。
【文檔編號】H01J65/04GK103947297SQ201280056428
【公開日】2014年7月23日 申請日期:2012年11月16日 優(yōu)先權(quán)日:2011年11月18日
【發(fā)明者】H·霍伊爾曼, 瑞納·克林, 斯特凡·霍爾魯普 申請人:第三專利投資有限兩合公司