閘流管充氣系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種閘流管充氣系統(tǒng)，包括置于密封腔內(nèi)的閘流管，所述閘流管通過管道連通一儲氫罐，且在閘流管和儲氫罐之間的管道上依次設(shè)有工位閥和充氫微調(diào)閥；所述儲氫罐又通過管道連接到一第一金屬氫化物儲氫器，在該儲氫罐和第一金屬氫化物儲氫器之間的管道上依次設(shè)有進氫閥、第一隔離閥和第一儲氫閥；在所述進氫閥和第一隔離閥之間的管道上依次設(shè)有兩管道支路，該兩管道支路上分別設(shè)有連接閥和清空閥；所述儲氫罐上設(shè)有第一薄膜真空計；所述閘流管和工位閥之間的管道上設(shè)有第二薄膜真空計。該閘流管充氣系統(tǒng)，可實現(xiàn)向閘流管內(nèi)充高純度、壓力可控的氫氣或氘氣等。
【專利說明】閘流管充氣系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種閘流管充氣系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著閘流管生產(chǎn)量的增長及閘流管生產(chǎn)效率的提高，傳統(tǒng)的鈀合金膜擴散法純化氫氣的方法越來越具有一定的局限性，特別是在工藝需求大量氫氣時，目前鈀合金膜擴散法的純化速度無法滿足。為了提高鈀合金膜擴散法純化氫氣的速度和效率，可以減小鈀合金管的厚度、提高鈀合管的工作溫度、升高鈀合金管兩端的壓差，但是這樣就容易造成鈀合金管漏氣壽命嚴(yán)重縮短。同時鈀是一種貴金屬，價格昂貴，造成成本較高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了克服上述缺陷，本發(fā)明提供了一種閘流管充氣系統(tǒng)，可實現(xiàn)向閘流管內(nèi)充高純度、壓力可控的氫氣或氘氣等。
[0004]本發(fā)明為了解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種閘流管充氣系統(tǒng)，包括置于密封腔內(nèi)的閘流管，所述閘流管通過管道連通一儲氫罐，且在閘流管和儲氫罐之間的管道上依次設(shè)有工位閥和充氫微調(diào)閥；所述儲氫罐又通過管道連接到一第一金屬氫化物儲氫器，在該儲氫罐和第一金屬氫化物儲氫器之間的管道上依次設(shè)有進氫閥、第一隔離閥和第一儲氫閥；在所述進氫閥和第一隔離閥之間的管道上依次設(shè)有兩管道支路，該兩管道支路上分別設(shè)有連接閥和清空閥；所述儲氫罐上設(shè)有第一薄膜真空計；所述閘流管和工位閥之間的管道上設(shè)有第二薄膜真空計。
[0005]作為本發(fā)明的進一步改進，所述儲氫罐還通過管道連通到第二金屬氫化物儲氫器。
[0006]作為本發(fā)明的進一步改進，在所述進氫閥和第一隔離閥之間設(shè)一管道支路連通到所述第二金屬氫化物儲氫器，且在該進氫閥到第二金屬氫化物儲氫器之間的管道上依次設(shè)有第二隔離閥和第二儲氫閥。
[0007]作為本發(fā)明的進一步改進，在所述第二隔離閥和第二儲氫閥之間的管道上設(shè)有第
二微調(diào)閥。
[0008]作為本發(fā)明的進一步改進，在所述第一隔離閥和第一儲氫閥之間的管道上設(shè)有第
一微調(diào)閥。
[0009]作為本發(fā)明的進一步改進，在工位閥和儲氫罐之間的管道上還設(shè)有一充氫閥；在所述工位閥和充氫閥之間的管道上設(shè)一管道支路連通到所述密封腔內(nèi)，且該管道支路上依次設(shè)有抽氫閥和鐘罩電磁閥，另在該抽氫閥和鐘罩電磁閥之間的管道上設(shè)有第一機械泵。
[0010]作為本發(fā)明的進一步改進，在所述工位閥和充氫微調(diào)閥之間的管道上還設(shè)有一管道支路，該管道支路上依次設(shè)有總閥、分子泵和第二機械泵。
[0011]作為本發(fā)明的進一步改進，在所述密封腔內(nèi)還設(shè)有兩支路管道，該兩支路管道上分別設(shè)有充氣電磁閥和放氣電磁閥。[0012]作為本發(fā)明的進一步改進，所述密封腔為金屬烘箱形成。
[0013]本發(fā)明的有益效果是:閘流管加燈絲電壓后氣體壓力能夠得到監(jiān)控，可實現(xiàn)對閘流管進行氫氣和氘氣等氣體的轉(zhuǎn)換充氣，而且氣體純度高，儲氣量大，使用壽命長，經(jīng)濟實惠。同時，對閘流管的性能起到了重要作用。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1為本發(fā)明實施例所述閘流管充氣系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]結(jié)合附圖，作以下說明:
[0016]I—密封腔2—閘流管
[0017]3-工位閥4-充氫微調(diào)閥
[0018]5——儲氫罐6——進氫閥
[0019]7——第一隔離閥8——第一儲氫閥
[0020]9——第一金屬氫化物儲氫器10——連接閥
[0021]11—清空閥12 —第一薄膜真空計
[0022]13——第二薄膜真空計14——第二隔離閥
[0023]15——第二儲氫閥17——第二微調(diào)閥
[0024]16——第二金屬氫化物儲氫器18——第一微調(diào)閥
[0025]19-充氫閥20-抽氫閥
[0026]21——鐘罩電磁閥22——第一機械泵
[0027]23——總閥24——分子泵
[0028]25——第二機械泵26——充氣電磁閥
[0029]27——放氣電磁閥
【具體實施方式】
[0030]結(jié)合附圖，對本發(fā)明作詳細(xì)說明，但本發(fā)明的保護范圍不限于下述實施例，即但凡以本發(fā)明申請專利范圍及說明書內(nèi)容所作的簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發(fā)明專利涵蓋范圍之內(nèi)。
[0031]如圖1所示，一種閘流管充氣系統(tǒng)，包括置于金屬烘箱形成的密封腔I內(nèi)的閘流管2(此處閘流管可根據(jù)密封腔而設(shè)置一只或多只，且每只閘流管需要設(shè)置一只工位閥進行控制)，該閘流管通過管道連通一儲氫罐5，且在該閘流管和儲氫罐之間的管道上依次設(shè)有工位閥3和充氫微調(diào)閥4 ;儲氫罐5又通過管道連接到一第一金屬氫化物儲氫器9，在該儲氫罐和第一金屬氫化物儲氫器之間的管道上依次設(shè)有進氫閥6、第一隔離閥7和第一儲氫閥8;在進氫閥和第一隔離閥之間的管道上依次設(shè)有兩管道支路，該兩管道支路上分別設(shè)有連接閥10和清空閥11 ;儲氫罐5上設(shè)有第一薄膜真空計12 ;閘流管和工位閥之間的管道上設(shè)有第二薄膜真空計13。
[0032]其中，儲氫罐5還通過管道連通到第二金屬氫化物儲氫器16 (此處可以根據(jù)需要設(shè)置多路連接到多個金屬氫化物儲氫器)。本例為在進氫閥6和第一隔離閥7之間設(shè)一管道支路連通到第二金屬氫化物儲氫器16，且在該進氫閥到第二金屬氫化物儲氫器之間的管道上依次設(shè)有第二隔離閥14和第二儲氫閥15。[0033]另在第二隔離閥14和第二儲氫閥15之間的管道上設(shè)有第二微調(diào)閥17，在第一隔離閥7和第一儲氫閥8之間的管道上設(shè)有第一微調(diào)閥18。
[0034]上述系統(tǒng)在工位閥和儲氫罐之間的管道上還設(shè)有一充氫閥(19);在工位閥和充氫閥之間的管道上設(shè)一管道支路連通到所述密封腔內(nèi)，且該管道支路上依次設(shè)有抽氫閥20和鐘罩電磁閥21，另在該抽氫閥和鐘罩電磁閥之間設(shè)有第一機械泵22。
[0035]在上述工位閥和充氫微調(diào)閥之間的管道上還設(shè)有一管道支路，該管道支路上依次設(shè)有總閥23、分子泵24和第二機械泵25。
[0036]在上述密封腔內(nèi)還設(shè)有兩支路管道，該兩支路管道上分別設(shè)有充氣電磁閥26和放氣電磁閥27。
[0037]該系統(tǒng)工作過程如下:純化氣體前對金屬氫化物儲氫器、儲氫罐及管道進行抽真空。將連接閥的一端與氫氣鋼瓶連接(純化氘氣時與氘氣鋼瓶連接)，打開氫氣鋼瓶減壓閥，并使其維持一定壓力，依次打開連接閥10、清空閥11，清空2?3秒鐘，然后關(guān)閉清空閥11，打開圖1左面第一隔離閥7、第一微調(diào)閥18、第一儲氫閥8 (純化氣氣打開圖1右面第二隔離閥14、第二微調(diào)閥17、第二儲氫閥15)，開始純化氫氣，純化的進行時第一金屬氫化物儲氫器9罐體有發(fā)熱現(xiàn)象，隨著反應(yīng)不斷的進行，當(dāng)罐體表面溫度趨于室溫時，表明純化已結(jié)束，關(guān)第一儲氫閥8、連接閥10、氫氣鋼瓶減壓閥，開進氫閥6向儲氫罐充氣，開第一機械泵22、抽氫閥20、充氫閥19，對儲氫罐5及管道抽真空，當(dāng)?shù)驼婵斩冗_到要求后關(guān)抽氫閥20、第一機械泵22，開第二機械泵25、總閥23、分子泵24，當(dāng)高真空度達到要求后關(guān)充氫閥19、總閥23、分子泵24、第二機械泵25，開第一儲氫閥8向儲氫罐充氫，當(dāng)儲氫罐5第一薄膜真空計12指示滿足工藝要求后，然后關(guān)進氫閥6、第一隔離閥7、第一微調(diào)閥18、第一儲氫閥8。向工件(閘流管)充氣時，閘流管加上工藝要求燈絲電壓，打開充氫微調(diào)閥4向管內(nèi)充氣，當(dāng)?shù)诙∧ふ婵沼?3壓力指示滿足工藝要求并且穩(wěn)定后關(guān)閉充氫微調(diào)閥4。
[0038]其中分子泵和第二機械泵可對閘流管進行抽真空，第一機械泵可對密封腔抽真空，充氣電磁閥和放氣電磁閥可實現(xiàn)對密封腔內(nèi)充氣和放氣，利于開啟密封腔。
【權(quán)利要求】
1.一種閘流管充氣系統(tǒng)，包括置于密封腔(I)內(nèi)的閘流管(2)，其特征在于:所述閘流管通過管道連通一儲氫罐(5),且在閘流管和儲氫罐之間的管道上依次設(shè)有工位閥(3)和充氫微調(diào)閥(4);所述儲氫罐又通過管道連接到一第一金屬氫化物儲氫器(9)，在該儲氫罐和第一金屬氫化物儲氫器之間的管道上依次設(shè)有進氫閥(6)、第一隔離閥(7)和第一儲氫閥(8);在所述進氫閥和第一隔離閥之間的管道上依次設(shè)有兩管道支路，該兩管道支路上分別設(shè)有連接閥(10)和清空閥(11);所述儲氫罐上設(shè)有第一薄膜真空計(12);所述閘流管和工位閥之間的管道上設(shè)有第二薄膜真空計(13)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閘流管充氣系統(tǒng)，其特征在于:所述儲氫罐還通過管道連通到第二金屬氫化物儲氫器(16)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的閘流管充氣系統(tǒng)，其特征在于:在所述進氫閥和第一隔離閥之間設(shè)一管道支路連通到所述第二金屬氫化物儲氫器，且在該進氫閥到第二金屬氫化物儲氫器之間的管道上依次設(shè)有第二隔離閥(14)和第二儲氫閥(15)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的閘流管充氣系統(tǒng)，其特征在于:在所述第二隔離閥和第二儲氫閥之間的管道上設(shè)有第二微調(diào)閥(17 )。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的閘流管充氣系統(tǒng)，其特征在于:在所述第一隔離閥和第一儲氫閥之間的管道上設(shè)有第一微調(diào)閥(18 )。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的閘流管充氣系統(tǒng)，其特征在于:在工位閥和儲氫罐之間的管道上還設(shè)有一充氫閥(19);在所述工位閥和充氫閥之間的管道上設(shè)一管道支路連通到所述密封腔內(nèi)，且該管道支路上依次設(shè)有抽氫閥(20)和鐘罩電磁閥(21)，另在該抽氫閥和鐘罩電磁閥之間的管道上設(shè)有第一機械泵(22 )。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的閘流管充氣系統(tǒng)，其特征在于:在所述工位閥和充氫微調(diào)閥之間的管道上還設(shè)有一管道支路，該管道支路上依次設(shè)有總閥(23)、分子泵(24)和第二機械泵(25)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的閘流管充氣系統(tǒng)，其特征在于:在所述密封腔內(nèi)還設(shè)有兩支路管道，該兩支路管道上分別設(shè)有充氣電磁閥(26)和放氣電磁閥(27)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的閘流管充氣系統(tǒng)，其特征在于:所述密封腔為金屬烘箱形成。
【文檔編號】H01J9/395GK103681167SQ201210332971
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2012年9月11日 優(yōu)先權(quán)日:2012年9月11日
【發(fā)明者】黃俊杰 申請人:昆山國力真空電器有限公司