專利名稱:全自動(dòng)玻璃真空系統(tǒng)排氣臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及光源的生產(chǎn)裝置,特別涉及光源制造中的關(guān)鍵設(shè)備-排氣臺(tái)。
背景技術(shù):
電光源的生產(chǎn),如普泡,熒光燈,緊湊形熒光燈和鹵素?zé)舻鹊龋?都離不開(kāi)排氣臺(tái)。排氣工序是決定電光源品質(zhì)的最為重要的工序。排 氣臺(tái)一般分園排機(jī)和長(zhǎng)排機(jī)兩種,園排機(jī)一般都是全自動(dòng)的,長(zhǎng)排機(jī) 一般都是手動(dòng)的,長(zhǎng)排機(jī)做出來(lái)的產(chǎn)品其品質(zhì)受人為因素的影響很 大。本發(fā)明的全自動(dòng)玻璃真空系統(tǒng)排氣臺(tái)是全自動(dòng)的長(zhǎng)排機(jī),完全排 除了人為因素的影響。排氣工序一般由烘烤除氣,分解激活,洗氬,充氬等幾大步驟 組成,每個(gè)大步驟又分若干小步驟。各種園排機(jī)上都設(shè)有二三十個(gè)到 六七十個(gè)工位不等,每個(gè)工位只完成一個(gè)特定的步驟。待排氣的燈插 上園排機(jī)后, 一個(gè)工位一個(gè)工位的依次轉(zhuǎn)動(dòng),直到轉(zhuǎn)到最后一個(gè)工位 為止,就完成了排氣的各個(gè)步驟,而后將燈燒封下來(lái)。本發(fā)明則不同, 我們將二三十個(gè)待排氣的燈一起燒接到全自動(dòng)玻璃真空系統(tǒng)排氣臺(tái) 上,由控制器同時(shí)對(duì)這二三十個(gè)燈一個(gè)步驟一個(gè)步驟地往下進(jìn)行,直 到最后一個(gè)步驟完成為止,將燈燒封下來(lái)。園排機(jī)結(jié)構(gòu)復(fù)雜,機(jī)械零部件多。金屬真空系統(tǒng)和燈之間的封接不得不采用橡膠密封圈,在烘烤除氣階段,橡膠密封圈必須經(jīng)過(guò)300x:—4ocrc的高溫烘烤,加速了橡膠密封圈的老化,降低了氣密性。 真空部件之間大都采用發(fā)蘭盤和橡膠密封圈進(jìn)行連接,滲漏較為嚴(yán) 重,園排機(jī)的工作臺(tái)是轉(zhuǎn)動(dòng)的,動(dòng)盤和靜盤之間不僅有相對(duì)運(yùn)動(dòng)而且 要保持很高的氣密性,為此,不得不付出額外的代價(jià)。所以,園排機(jī) 不僅價(jià)格昂貴,而且可靠性遠(yuǎn)不如本發(fā)明。園排機(jī)不僅維修保養(yǎng)十分困難,而且維修保養(yǎng)的費(fèi)用遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于本發(fā)明。全自動(dòng)玻璃真空系統(tǒng) 排氣臺(tái)采用了電控玻璃閥,光電讀出U形玻璃壓力計(jì)和控制器,實(shí)現(xiàn) 了玻璃真空系統(tǒng)的自動(dòng)化。全程實(shí)現(xiàn)溫度和真空度的監(jiān)控。本發(fā)明的 全自動(dòng)玻璃真空系統(tǒng)排氣臺(tái)不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,價(jià)格低廉,可靠性高,合 格率高,生產(chǎn)效率高,而且維修保養(yǎng)十分方便。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提供一種全自動(dòng)玻璃真空系統(tǒng)排氣臺(tái),該排氣臺(tái)的核心是 能自動(dòng)控制的玻璃真空系統(tǒng),玻璃真空系統(tǒng)包括全玻璃真空管路、連 接待排氣燈的玻璃耙子、四個(gè)電控玻璃閥門、玻璃氬氣瓶、光電讀出u形玻璃壓力計(jì)。所有這些部件的連接都是玻璃燒接的,氣密性很好。燈管直接燒接在玻璃耙子上,整個(gè)系統(tǒng)中避免使用金屬研磨偶件和橡膠密封元件,解決了現(xiàn)有技術(shù)中金屬自動(dòng)設(shè)備造價(jià)昂貴v密封件不耐 高溫、更換頻繁以及氣密性較差的問(wèn)題,解決了全玻璃真空系統(tǒng)實(shí)現(xiàn) 自動(dòng)化的技術(shù)問(wèn)題。本發(fā)明是一種全自動(dòng)玻璃真空系統(tǒng)排氣臺(tái)。其烘烤除氣用的烘箱 采用電加熱,烘箱可以自動(dòng)上下移動(dòng),工作時(shí),烘箱下移到工作臺(tái)面, 與臺(tái)面隔熱板相接觸,形成一個(gè)密封的加熱空間對(duì)被排氣的燈進(jìn)行烘 烤,不僅節(jié)能而且溫度恒定又均勻。工作完畢烘箱自動(dòng)升起,烘箱保 溫門隨即自動(dòng)合上,防止熱量流失,節(jié)能又省時(shí),操作工的手也不會(huì) 被灼熱烘烤,改善了工作條件,提高了生產(chǎn)效率。分解墩活儀是時(shí)序 控制的恒流源,它按照設(shè)定的程序依次對(duì)燈絲上的電子粉進(jìn)行分解, 激活和輝放,根據(jù)排氣工藝的要求可以設(shè)置多檔電流和通電時(shí)間,大 大改善了分解過(guò)程,使電子粉充分分解。控制器按設(shè)定的程序?qū)ε艢?過(guò)程進(jìn)行控制。帶輸出的數(shù)字溫控儀和真空計(jì)對(duì)烘烤溫度和真空系統(tǒng) 的真空度實(shí)行全程監(jiān)控。充輝放氬,洗氬和充工作氬的充氬系統(tǒng)由真空閥、壓力計(jì)閥、充氬閥、光電讀出U形玻璃壓力計(jì)和控制器組成。所有充氬氣程序中, 由光電讀出U形玻璃壓力計(jì)直接讀出真空系統(tǒng)中的充氬壓強(qiáng),沒(méi)有任 何流量或容積到壓強(qiáng)的轉(zhuǎn)換,充氬氣的壓強(qiáng)準(zhǔn)確性高,確保了產(chǎn)品的 品質(zhì)。本發(fā)明解決上述技術(shù)問(wèn)題的方案是設(shè)計(jì)一種全自動(dòng)玻璃真空系 統(tǒng)排氣臺(tái),該排氣臺(tái)的核心是能自動(dòng)控制的玻璃真空系統(tǒng),玻璃真空 系統(tǒng)包括全玻璃真空管路、連接待排氣燈的玻璃耙子、四個(gè)電控玻璃 閥門、玻璃氬氣瓶、光電讀出U形玻璃壓力計(jì)。所有這些部件的連接 都是玻璃燒接的,氣密性很好。電控玻璃閥門分別是充氬閥,連接玻 璃氬氣瓶和玻璃耙子;玻璃壓力計(jì)閥;真空閥,連接抽真空機(jī)械和玻 璃真空系統(tǒng);和放氣閥,連接真空系統(tǒng)和大氣。充氬管路和抽氣管路 分開(kāi)。本排氣臺(tái)還配有溫度自動(dòng)控制的烘箱,烘箱保溫門以及烘箱自 動(dòng)升降的控制系統(tǒng)。所述控制器按設(shè)定的排氣工藝流程分別電連接四 個(gè)電控玻璃閥門、光電讀出U形玻璃壓力計(jì)、真空泵和烘箱控制系統(tǒng)。 該控制器可以是單片機(jī)、單板機(jī)、可編程控制器或一組繼電器組成的 控制器。帶輸出真空計(jì)的玻璃真空規(guī)接入真空系統(tǒng),并和控制器電連 接,實(shí)現(xiàn)全程真空度監(jiān)控。所述溫度自動(dòng)控制的烘箱包括烘箱箱體、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)電機(jī)、 烘箱保溫門以及限位系統(tǒng),所述受控制器控制的驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)機(jī) 構(gòu)動(dòng)作,控制烘箱箱體位移,所述烘箱保溫門受控制器控制,實(shí)現(xiàn)開(kāi) 啟或關(guān)閉,所述限位系統(tǒng)包括電連接控制器的第一限位開(kāi)關(guān)和第二限 位開(kāi)關(guān),所述烘箱箱體可以在這兩個(gè)限位開(kāi)關(guān)之間移動(dòng)并可以分別停 在由這兩個(gè)限位開(kāi)關(guān)確定的位置上。所述烘箱保溫門包括支架、連桿機(jī)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)裝置和門體,驅(qū)動(dòng)裝 置驅(qū)動(dòng)連桿機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)門體的開(kāi)啟或關(guān)閉,所述門體限位系統(tǒng)還 包括有電連接控制器的第三限位開(kāi)關(guān)和第四限位開(kāi)關(guān),所述門體在第三限位開(kāi)關(guān)和第四限位開(kāi)關(guān)之間移動(dòng)并可以分別停在由這兩個(gè)限位 開(kāi)關(guān)確定的位置上。所述所述四個(gè)電控玻璃閎門均包括閥座、玻璃閥、驅(qū)動(dòng)步進(jìn)電機(jī)、 傳動(dòng)系統(tǒng)和閥門零位校準(zhǔn)用的光電開(kāi)關(guān),所述驅(qū)動(dòng)步進(jìn)電機(jī)受控于控制器,每次指令驅(qū)動(dòng)步進(jìn)電機(jī)帶動(dòng)閥芯轉(zhuǎn)動(dòng)90°來(lái)實(shí)現(xiàn)閥門的開(kāi)和關(guān)。所述充氬閥的閥芯通孔必須足夠的小,使得充氬時(shí)氬氣釋放的速 度與電控玻璃閥、光電讀出U形玻璃壓力計(jì)和控制器組成的充氬系統(tǒng) 的響應(yīng)時(shí)間相匹配,使充氬誤差小到可以接受的程度。所述四個(gè)電控玻璃閥門除了受控于控制器外,故障時(shí)還可以實(shí)現(xiàn) 手動(dòng);工作結(jié)束關(guān)閉電源時(shí),或者工作中出現(xiàn)故障性斷電時(shí),機(jī)器備 用直流電源會(huì)給控制器供電,控制器會(huì)立即控制這四個(gè)閥門復(fù)零。所述光電讀出U形玻璃壓力計(jì)包括U形玻璃管、工作液體、光電 感應(yīng)器以及漂浮物;所述工作液體置于U形玻璃管中,所述漂浮物置 于管內(nèi)工作液體的一個(gè)液面上,所述光電感應(yīng)器設(shè)置于U形玻璃管的 管體外面,并電連接控制器。所述全自動(dòng)玻璃真空系統(tǒng)排氣臺(tái)設(shè)有總電源開(kāi)關(guān)、機(jī)械泵開(kāi)關(guān)、 擴(kuò)散泵開(kāi)關(guān)和燈絲接通檢驗(yàn)按鈕。
這種全自動(dòng)玻璃真空系統(tǒng)排氣臺(tái)的排氣和充氬氣包括以下步驟-A. 上燈預(yù)檢將燈管燒結(jié)于耙子上,絞接好導(dǎo)絲,將所有待排氣 燈的燈絲串接起來(lái),按下燈絲接通檢驗(yàn)按鈕,檢査所有燈絲是 否連通,關(guān)閉放氣閥,打開(kāi)真空閥,預(yù)抽真空,檢査系統(tǒng)真空 情況,保證系統(tǒng)無(wú)滲漏。B. 烘烤除氣按控制器的啟動(dòng)按鈕,控制器按設(shè)定的程序工作, 打開(kāi)烘箱保溫門,烘箱下移到設(shè)定位置,罩住全部待排氣的燈,啟動(dòng)烘箱內(nèi)的加熱裝置,將待排氣的燈進(jìn)行加熱烘烤。C. 通電分解烘箱內(nèi)的溫度達(dá)到設(shè)定的溫度,真空系統(tǒng)內(nèi)的真空 度達(dá)到設(shè)定的真空度,控制器啟動(dòng)分解儀給燈管電極通電,對(duì) 電子粉進(jìn)行分解激活;分解激活結(jié)束后,關(guān)閉真空閥和壓力計(jì) 閥,而后打開(kāi)充氬閥充氬氣;氬氣壓強(qiáng)達(dá)到設(shè)定壓強(qiáng)時(shí),關(guān)閉 充氬閥,打開(kāi)壓力計(jì)閥,分解儀開(kāi)始輝放。D. 洗氬輝放結(jié)束,打開(kāi)真空閥門抽去輝放產(chǎn)生的殘余雜氣,經(jīng) 過(guò)一段設(shè)定時(shí)間后,關(guān)閉真空閥和壓力計(jì)閥,打開(kāi)充氬閥,充 入氬氣的壓強(qiáng)達(dá)到設(shè)定壓強(qiáng)后,關(guān)閉充氬閥,打開(kāi)壓力計(jì)閥和 真空閥,抽去充入的氬氣,這是第一次洗氬,經(jīng)過(guò)一段設(shè)定時(shí) 間后,重復(fù)上述過(guò)程,進(jìn)行第二次洗氬。E. 充工作氬氣第二次洗氬結(jié)束后,當(dāng)真空系統(tǒng)內(nèi)的真空度達(dá)到 設(shè)定真空度時(shí),關(guān)閉真空閥和壓力計(jì)閥,打開(kāi)充氬閥,充工作 氬氣;當(dāng)氬氣壓強(qiáng)達(dá)到設(shè)定值時(shí),關(guān)閉充氬閥,打開(kāi)壓力計(jì)閥。 烘箱上移到設(shè)定位置,烘箱保溫門關(guān)閉。F. 封離下燈。所述步驟A的上燈程序中,導(dǎo)絲絞接處掛上重物墜,使導(dǎo)絲的連 接既快捷又可靠,接觸電阻穩(wěn)定,確保電子粉分解良好。所述步驟B的烘烤除氣程序中,烘箱下移至設(shè)定位置并與工作臺(tái) 面緊密接觸,形成一個(gè)密封的熱環(huán)境,不僅烘箱內(nèi)的溫度均勻一致, 而且節(jié)能,確保烘烤除氣的良好效果。所述步驟E的充工作氬氣程序中,烘箱上移到設(shè)定位置時(shí),烘箱 保溫門隨即關(guān)閉,防止熱量流失,不僅上下燈員工的手不受灼熱烘烤, 改善了勞動(dòng)條件,提高了生產(chǎn)效率,而且節(jié)能。所述步驟E的充工作氬氣程序中,由光電讀出U形玻璃壓力計(jì)直接讀出真空系統(tǒng)中的充氬壓強(qiáng),沒(méi)有任何流量或容積到壓強(qiáng)的轉(zhuǎn)換, 充工作氬氣的壓強(qiáng)準(zhǔn)確性高,確保了產(chǎn)品的品質(zhì)。全自動(dòng)玻璃真空系統(tǒng)排氣臺(tái)采用了電控玻璃閥,光電讀出U形玻 璃壓力計(jì)和控制器,實(shí)現(xiàn)了玻璃真空系統(tǒng)的自動(dòng)化。全程實(shí)現(xiàn)溫度和 真空度的監(jiān)控。本發(fā)明的全自動(dòng)玻璃真空系統(tǒng)排氣臺(tái)不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單, 價(jià)格低廉,可靠性高,合格率高,生產(chǎn)效率高,而且維修保養(yǎng)十分方 便。
圖1-全自動(dòng)玻璃真空系統(tǒng)排氣臺(tái)示意主視圖。圖2-玻璃真空系統(tǒng)原理圖。 圖3-烘箱升降系統(tǒng)示意圖。 圖4-控制器流程圖-1。 圖5-控制器流程圖-2。 圖6-控制器流程圖-3。 圖7-相鄰燈導(dǎo)線鉸絲示意圖。
具體實(shí)施方式
結(jié)合上述附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的具體實(shí)施例。參考圖1至圖7,排氣開(kāi)始時(shí)先按主控板70上的總電源開(kāi)關(guān)71 接通電源。按通機(jī)械泵開(kāi)關(guān)72,啟動(dòng)機(jī)械泵28。按通擴(kuò)散泵開(kāi)關(guān)73, 啟動(dòng)擴(kuò)散泵29。手動(dòng)關(guān)閉真空閥26并打開(kāi)放氣閥27,給真空系統(tǒng)接 入低壓風(fēng),供燒接燈管使用。員工將待排氣的燈燒接到真空系統(tǒng)20 的真空系統(tǒng)21上部接燈耙子211上,這樣,待排氣的燈就被接入真 空系統(tǒng)了。絞接好導(dǎo)絲,掛上重物W,按下主控板70上的燈絲接通 撿驗(yàn)按鈕74,檢查所有燈絲是否串接連通。關(guān)閉放氣閥27,打開(kāi)真 空閥26,系統(tǒng)預(yù)抽檢漏。確認(rèn)系統(tǒng)不漏便可按動(dòng)控制器40面板上的 啟動(dòng)按鈕,系統(tǒng)立即進(jìn)入自動(dòng)控制狀態(tài)??刂破?0發(fā)出指令給烘箱保溫門系統(tǒng)33,保溫門控制系統(tǒng)的 執(zhí)行電機(jī)331順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng),開(kāi)啟烘箱保溫門334,烘箱保溫門334 往下翻轉(zhuǎn)到指定位置時(shí),烘箱保溫門334頂開(kāi)止位行程開(kāi)關(guān)336,行 程開(kāi)關(guān)336狀態(tài)發(fā)生轉(zhuǎn)換,原先常閉的觸點(diǎn)變成斷開(kāi),原先常開(kāi)的觸 點(diǎn)變成閉合并給烘箱升降系統(tǒng)32通電,電機(jī)321按設(shè)定方向轉(zhuǎn)動(dòng), 通過(guò)減速器322,皮帶傳動(dòng)系統(tǒng)323,帶動(dòng)鏈輪324逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng),帶 動(dòng)緊繞在鏈輪324和鏈輪327之間的升降鏈條325也逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng),與 鏈條325固定的烘箱31隨之平穩(wěn)下降。烘箱31下降到與工作臺(tái)面接 觸時(shí),行程開(kāi)關(guān)329被頂開(kāi),原先常閉的觸點(diǎn)變成斷開(kāi),電機(jī)321 停止轉(zhuǎn)動(dòng),烘箱31下降完畢并通知控制器40,控制器40隨即發(fā)出 一組指令,開(kāi)啟真空閥26,接通溫控儀80和給分解激活儀50復(fù)位。真空閥26打開(kāi)后,由已經(jīng)工作的機(jī)械泵28和擴(kuò)散泵29通過(guò)抽 氣管路212給玻璃真空系統(tǒng)21抽真空,真空儀60檢測(cè)到玻璃真空系 統(tǒng)21的真空度已達(dá)到設(shè)定的真空度便立即通知控制器40。接通溫控儀80后,接通烘箱31內(nèi)的電熱絲,對(duì)烘箱內(nèi)進(jìn)行加 熱,溫控儀80檢測(cè)到烘箱31內(nèi)的溫度己達(dá)到設(shè)定溫度時(shí)便立即通知 控制器40??刂破?0確認(rèn)真空度和溫度都已達(dá)到設(shè)定值時(shí),便指令分解激 活儀50按事先設(shè)定的步驟一步一步地進(jìn)行分解激活,分解激活結(jié)束, 分解激活儀50立即通知控制器40??刂破?0發(fā)出指令,關(guān)閉真空閥26和壓力計(jì)閥25,確認(rèn)真空 閥26和壓力計(jì)閥25已經(jīng)關(guān)閉,控制器40發(fā)出指令打開(kāi)充氬閥24, 氬氣瓶23內(nèi)的氬氣經(jīng)過(guò)充氬管路213進(jìn)入玻璃真空系統(tǒng)21,光電 讀出U形玻璃壓力計(jì)22的第一個(gè)光電讀出頭221檢測(cè)到所充入氬氣 的壓強(qiáng)已達(dá)到設(shè)定值時(shí),立即通知控制器40,控制器40發(fā)出指令 關(guān)閉充氬閥24,打開(kāi)壓力計(jì)閥25,隨后控制器40指令分解激活儀 50進(jìn)行輝放,輝放結(jié)束,分解激活儀50通知控制器40??刂破?0指令打開(kāi)真空閥26,將輝放產(chǎn)生的殘余雜氣從真空系統(tǒng)中抽除。經(jīng)過(guò)一段設(shè)定的時(shí)間,控制器40指令關(guān)閉真空閥26和 壓力計(jì)閥25,控制器40確認(rèn)真空閥26和壓力計(jì)閥25已經(jīng)關(guān)閉,控 制器40指令打開(kāi)充氬閥24,氬氣瓶23內(nèi)的氬氣經(jīng)過(guò)充氬管路213 進(jìn)入玻璃真空系統(tǒng)21,光電讀出U形玻璃壓力計(jì)22的第三個(gè)光電 讀出頭223檢測(cè)到所充入氬氣的壓強(qiáng)已達(dá)到設(shè)定值時(shí),立即通知控制 器40,控制器40發(fā)出指令關(guān)閉充氬閥24,打開(kāi)壓力計(jì)閥25。經(jīng)過(guò) 一段設(shè)定的時(shí)間,控制器40指令打開(kāi)真空閥26,抽除玻璃真空系 統(tǒng)中的氬氣,完成第一次洗氬。經(jīng)過(guò)一段設(shè)定的時(shí)間,控制器40 指令關(guān)閉真空閥26和壓力計(jì)閥25,控制器40確認(rèn)真空閥26和壓 力計(jì)閥25已經(jīng)關(guān)閉,控制器40指令打開(kāi)充氬閥24,氬氣瓶23內(nèi) 的氬氣經(jīng)過(guò)充氬管路213進(jìn)入玻璃真空系統(tǒng)21,光電讀出U形玻璃 壓力計(jì)22的第三個(gè)光電讀出頭223檢測(cè)到所充入氬氣的壓強(qiáng)已達(dá)到 設(shè)定值時(shí),立即通知控制器40,控制器40發(fā)出指令關(guān)閉充氬閥24, 打開(kāi)壓力計(jì)閥25。經(jīng)過(guò)一段設(shè)定的時(shí)間,控制器40指令打開(kāi)真空 閥26,抽除玻璃真空系統(tǒng)中的氬氣,完成第二次洗氬。如生產(chǎn)工藝 有需要時(shí)也可以進(jìn)行第三次洗氬。經(jīng)過(guò)一段設(shè)定的時(shí)間,控制器4C 指令關(guān)閉真空閥26和壓力計(jì)閥25,控制器40確認(rèn)真空閥26和壓 力計(jì)閥25已經(jīng)關(guān)閉,并且,控制器40還確認(rèn)玻璃真空系統(tǒng)的真空 度已達(dá)到設(shè)定的真空度,控制器40指令打開(kāi)充氬閥24,氬氣瓶23 內(nèi)的氬氣經(jīng)過(guò)充氬管路213進(jìn)入玻璃真空系統(tǒng)21,光電讀出U形玻 璃壓力計(jì)22的第二個(gè)光電讀出頭222檢測(cè)到所充入氬氣的壓強(qiáng)已達(dá) 到設(shè)定值時(shí),控制器40發(fā)出指令關(guān)閉充氬閥24,打開(kāi)壓力計(jì)閥25。 控制器40發(fā)出指令,啟動(dòng)烘箱升降系統(tǒng)的電機(jī)321,經(jīng)過(guò)減速 器322和皮帶傳動(dòng)系統(tǒng)323,鏈輪324順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng),緊繞在鏈輪324 和327之間的鏈條325也順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng),與鏈條325固定的烘箱31平 穩(wěn)地上升,上升到頂部設(shè)定位置時(shí),行程開(kāi)關(guān)328被頂開(kāi),原先常閉 的觸點(diǎn)變成斷開(kāi),原先常開(kāi)的觸點(diǎn)變成閉合,烘箱31停止上升,并 啟動(dòng)烘箱保溫門的控制電機(jī)331逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng),通過(guò)連桿333和332將烘箱保溫門334合上。行程開(kāi)關(guān)335被頂開(kāi),烘箱門停止運(yùn)動(dòng)。并通 知單控制器40,經(jīng)過(guò)一段設(shè)定的時(shí)間,控制器40發(fā)出結(jié)束排氣的 指令,指示燈閃亮。由員工將排好氣的燈封離下來(lái)。配重系統(tǒng)34的配重341的重量和烘箱的重量幾乎相等,這樣可 以減少烘箱31上升下降時(shí)的能量消耗。配重341用鏈條342經(jīng)過(guò)鏈 輪343懸掛在烘箱的另一側(cè)。以上內(nèi)容是結(jié)合具體的優(yōu)選實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明所作的進(jìn)一步詳 細(xì)說(shuō)明,不能認(rèn)定本發(fā)明的具體實(shí)施只局限于這些說(shuō)明。對(duì)于本發(fā)明 所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō),在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下, 還可以做出若干簡(jiǎn)單推演或替換,都應(yīng)當(dāng)視為屬于本發(fā)明的保護(hù)范 圍。
權(quán)利要求
1. 一種全自動(dòng)玻璃真空系統(tǒng)排氣臺(tái),其特征在于該排氣臺(tái)的核心是能自動(dòng)控制的玻璃真空系統(tǒng),玻璃真空系統(tǒng)包括全玻璃真空管路、連接待排氣燈的玻璃耙子、四個(gè)電控玻璃閥門、玻璃氬氣瓶、光電讀出U形玻璃壓力計(jì),所有這些部件的連接都是玻璃燒接的,氣密性很好,電控玻璃閥門分別是充氬閥,連接玻璃氬氣瓶和玻璃耙子;玻璃壓力計(jì)閥;真空閥,連接抽真空機(jī)械和玻璃真空系統(tǒng);和放氣閥,連接真空系統(tǒng)和大氣,充氬管路和抽氣管路分開(kāi),本排氣臺(tái)還配有溫度自動(dòng)控制的烘箱,烘箱保溫門以及烘箱自動(dòng)升降的控制系統(tǒng),所述控制器按設(shè)定的排氣工藝流程分別電連接四個(gè)電控玻璃閥門、光電讀出U形玻璃壓力計(jì)、真空泵和烘箱控制系統(tǒng),該控制器可以是單片機(jī)、單板機(jī)、可編程控制器或一組繼電器組成的控制器,帶輸出真空計(jì)的玻璃真空規(guī)接入真空系統(tǒng),并和控制器電連接,實(shí)現(xiàn)全程真空度監(jiān)控。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述全自動(dòng)玻璃真空系統(tǒng)排氣臺(tái),其特征在于所述溫度自動(dòng)控制的烘箱包括烘箱箱體、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)電機(jī)、 烘箱保溫門以及限位系統(tǒng),所述受控制器控制的驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)傳 動(dòng)機(jī)構(gòu)動(dòng)作,控制烘箱箱體位移,所述烘箱保溫門受控制器控制, 實(shí)現(xiàn)開(kāi)啟或關(guān)閉,所述限位系統(tǒng)包括電連接控制器的第一限位開(kāi) 關(guān)和第二限位開(kāi)關(guān),所述烘箱箱體可以在這兩個(gè)限位開(kāi)關(guān)之間移 動(dòng)并可以分別停在由這兩個(gè)限位開(kāi)關(guān)確定的位置上。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述全自動(dòng)玻璃真空系統(tǒng)排氣臺(tái),其特征在于所述烘箱保溫門包括支架、連桿機(jī)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)裝置和門體,驅(qū)動(dòng)裝 置驅(qū)動(dòng)連桿機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)門體的開(kāi)啟或關(guān)閉,所述門體限位系 統(tǒng)還包括有電連接控制器的第三限位開(kāi)關(guān)和第四限位開(kāi)關(guān),所述 門體在第三限位開(kāi)關(guān)和第四限位開(kāi)關(guān)之間移動(dòng)并可以分別停在 由這兩個(gè)限位開(kāi)關(guān)確定的位置上。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述全自動(dòng)玻璃真空系統(tǒng)排氣臺(tái),其特征在于-所述四個(gè)電控玻璃閥門均包括閥座、玻璃閥、驅(qū)動(dòng)步進(jìn)電機(jī)、傳 動(dòng)系統(tǒng)和閥門零位校準(zhǔn)用的光電開(kāi)關(guān),所述驅(qū)動(dòng)步進(jìn)電機(jī)受控于 控制器,每次指令驅(qū)動(dòng)步進(jìn)電機(jī)帶動(dòng)閥芯轉(zhuǎn)動(dòng)90。來(lái)實(shí)現(xiàn)閥門的 開(kāi)和關(guān)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述全自動(dòng)玻璃真空系統(tǒng)排氣臺(tái),其特征在于-所述充氬閥的閥芯通孔必須足夠的小,使得充氬時(shí)氬氣釋放的速 度與電控玻璃閥、光電讀出U形玻璃壓力計(jì)和控制器組成的充氬 系統(tǒng)的響應(yīng)時(shí)間相匹配,使充氬誤差小到可以接受的程度。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述全自動(dòng)玻璃真空系統(tǒng)排氣臺(tái),其特征在于所述四個(gè)電控玻璃閥門除了受控于控制器外,故障時(shí)還可以實(shí)現(xiàn) 手動(dòng);工作結(jié)束關(guān)閉電源時(shí),或者工作中出現(xiàn)故障性斷電時(shí),機(jī) 器備用直流電源會(huì)給控制器供電,控制器會(huì)立即控制這四個(gè)閥門 復(fù)零。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述全自動(dòng)玻璃真空系統(tǒng)排氣臺(tái),其特征在于所述光電讀出U形玻璃壓力計(jì)包括U形玻璃管、工作液體、光電 感應(yīng)器以及漂浮物;所述工作液體置于U形玻璃管中,所述漂浮 物置于管內(nèi)工作液體的一個(gè)液面上,所述光電感應(yīng)器設(shè)置于U形 玻璃管的管體外面,并電連接控制器。
8. —種全自動(dòng)玻璃真空系統(tǒng)排氣臺(tái)的排氣和充氬氣方法,其特征在于本方法包括以下步驟A.上燈預(yù)檢將燈管燒結(jié)于耙子上,絞接好導(dǎo)絲,將所有待排氣 燈的燈絲串接起來(lái),按下燈絲接通檢驗(yàn)按鈕,檢査所有燈絲是 否連通,關(guān)閉放氣閥,打開(kāi)真空閥,預(yù)抽真空,檢查系統(tǒng)真空 情況,保證系統(tǒng)無(wú)滲漏;B. 烘烤除氣按控制器的啟動(dòng)按鈕,控制器按設(shè)定的程序工作, 打開(kāi)烘箱保溫門,烘箱下移到設(shè)定位置,罩住全部待排氣的燈, 啟動(dòng)烘箱內(nèi)的加熱裝置,對(duì)燈進(jìn)行加熱烘烤;C. 通電分解烘箱內(nèi)的溫度達(dá)到設(shè)定的溫度,真空系統(tǒng)內(nèi)的真空 度達(dá)到設(shè)定的真空度,控制器啟動(dòng)分解儀給燈管電極通電,對(duì) 電子粉進(jìn)行分解和激活;分解激活結(jié)束后,關(guān)閉真空閥和壓力 計(jì)閥,而后打開(kāi)充氬閥充氬氣;氬氣壓強(qiáng)達(dá)到設(shè)定壓強(qiáng)時(shí),關(guān) 閉充氬閥,打開(kāi)壓力計(jì)閥,分解儀開(kāi)始輝放;D. 洗氬輝放結(jié)束,打開(kāi)真空閥門抽去輝放產(chǎn)生的殘余雜氣,經(jīng) 過(guò)一段設(shè)定時(shí)間后,關(guān)閉真空閥和壓力計(jì)閥,打開(kāi)充氬閥,充 入氬氣的壓強(qiáng)達(dá)到設(shè)定壓強(qiáng)后,關(guān)閉充氬閥,打開(kāi)壓力計(jì)閥和 真空閥,抽去充入的氬氣,這是第一次洗氬,經(jīng)過(guò)一段設(shè)定時(shí) 間后,重復(fù)上述過(guò)程,進(jìn)行第二次洗氬;E. 充工作氬氣第二次洗氬結(jié)束后,當(dāng)真空系統(tǒng)內(nèi)的真空度達(dá)到 設(shè)定真空度時(shí),關(guān)閉真空閥和壓力計(jì)閥,打開(kāi)充氬閥,充工作 氬氣;當(dāng)氬氣壓強(qiáng)達(dá)到設(shè)定值時(shí),關(guān)閉充氬閥,打開(kāi)壓力計(jì)閥。 烘箱上移到設(shè)定位置,烘箱保溫門關(guān)閉;F. 封離下燈。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法,其特征在于所述步驟A的上燈程序中,導(dǎo)絲絞接處掛上重物墜,使導(dǎo)絲的連接既快捷又可靠,接 觸電阻穩(wěn)定,確保電子粉分解良好。
10. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法,其特征在于所述步驟B的烘烤除 氣程序中,烘箱下移至設(shè)定位置并與工作臺(tái)面緊密接觸,形成一 個(gè)密封的熱環(huán)境,不僅烘箱內(nèi)的溫度均勻一致,而且節(jié)能,確保 烘烤除氣的良好效果。
11. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法,其特征在于所述步驟E的充工作 氬程序中,烘箱上移到設(shè)定位置時(shí),烘箱保溫門隨即關(guān)閉,防止 熱量流失,不僅上下燈員工的手不受灼熱烘烤,改善了勞動(dòng)條件, 提高了生產(chǎn)效率,而且節(jié)能。
12. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法,其特征在于所述所述步驟E的充 工作氬氣程序中,由光電讀出u形玻璃壓力計(jì)直接讀出真空系統(tǒng)中的充氬壓強(qiáng),沒(méi)有任何流量或容積到壓強(qiáng)的轉(zhuǎn)換,充工作氬氣 的壓強(qiáng)準(zhǔn)確性高,確保了產(chǎn)品的品質(zhì)。
全文摘要
一種全自動(dòng)玻璃真空系統(tǒng)排氣臺(tái),全玻璃真空系統(tǒng)包括全玻璃真空管路、連接待排氣燈的玻璃耙子、四個(gè)電控玻璃閥門、玻璃氬氣瓶、光電讀出U形玻璃壓力計(jì)。抽真空系統(tǒng)由玻璃擴(kuò)散泵和機(jī)械真空泵組成,配有溫度自動(dòng)控制的烘箱,烘箱保溫門以及烘箱自動(dòng)升降的控制系統(tǒng)。本發(fā)明采用上述的技術(shù)方案,實(shí)現(xiàn)了玻璃真空系統(tǒng)的自動(dòng)化。全自動(dòng)玻璃真空系統(tǒng)排氣臺(tái)不僅密封性好,保持了玻璃真空系統(tǒng)真空保持時(shí)間遠(yuǎn)長(zhǎng)于一般金屬真空系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn),而且造價(jià)低廉,維修方便。完全排除了人為因素對(duì)產(chǎn)品品質(zhì)的影響,降低了廢品率,提高了生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)H01K3/00GK101276717SQ200810067018
公開(kāi)日2008年10月1日 申請(qǐng)日期2008年5月5日 優(yōu)先權(quán)日2008年5月5日
發(fā)明者匡正芳 申請(qǐng)人:匡正芳