專利名稱：一種離子源引出電極系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體器件制造控制系統(tǒng)，特別涉及一種離子源引出電極系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造工藝設(shè)備離子注入機(jī)中，離子源引出系統(tǒng)是整機(jī)設(shè)備關(guān)鍵部件之一，其與離子源本體結(jié)合在一起構(gòu)成離子注入機(jī)的核心部件-----離子源系統(tǒng)；其決定了離子注入機(jī)諸多性能指標(biāo)，不僅決定離子源系統(tǒng)的引出束流大小、引出能量大小、引出束流品質(zhì)及束穩(wěn)定性能，同時(shí)與離子注入機(jī)其他光學(xué)部件匹配結(jié)合決定整機(jī)離子光學(xué)系統(tǒng)的束流傳輸效率和整機(jī)的生產(chǎn)效率。
離子注入機(jī)離子源引出電極系統(tǒng)一般采用的是加減速三電極結(jié)構(gòu)，反復(fù)實(shí)驗(yàn)及長(zhǎng)期使用情況表明，離子源引出系統(tǒng)各個(gè)電極位置及加速電極縫結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)離子引出束流及束品質(zhì)有著極其重要的影響一方面，離子源工作于高溫環(huán)境中，引出電極系統(tǒng)在高溫及工作一段時(shí)間后容易發(fā)生熱變形和移位現(xiàn)象而引起電極不對(duì)中問(wèn)題；另一方面，加速電極縫工作一段時(shí)間后由于受高溫、高能離子束濺射作用而慢慢擴(kuò)大，產(chǎn)生電極結(jié)構(gòu)參數(shù)上的變化；上述這些現(xiàn)象所帶來(lái)的問(wèn)題是直接影響離子源引出束流品質(zhì)及整機(jī)的束傳輸效率和束流大小。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型是針對(duì)現(xiàn)有離子注入機(jī)技術(shù)中引出電極系統(tǒng)容易發(fā)生熱變形和移位現(xiàn)象而引起出引出電極不對(duì)中以及加速電極縫受離子束濺射作用而產(chǎn)生電極結(jié)構(gòu)參數(shù)變化而影響引出束流及束品質(zhì)問(wèn)題，采用新型結(jié)構(gòu)的離子源引出電極系統(tǒng)，該系統(tǒng)將各電極設(shè)計(jì)于一整體，并將加速電極設(shè)計(jì)成可更換式鑲嵌結(jié)構(gòu)，解決了以前一般引出電極系統(tǒng)所有的缺點(diǎn)和局限性，滿足離子注入機(jī)高可靠性高標(biāo)準(zhǔn)要求。
本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)一種離子源引出電極系統(tǒng)，包括連接桿、屏蔽筒、減速電極、絕緣子、加速電極座、加速電極。其中所述連接桿連接固定整個(gè)引出電極系統(tǒng)；所述減速電極螺釘連接連接桿；所述屏蔽筒安裝在減速電極上；所述絕緣子安裝在屏蔽筒和加速電極座之間；所述的加速電極鑲嵌在加速電極座上。
本實(shí)用新型具有如下顯著優(yōu)點(diǎn)1、結(jié)構(gòu)緊湊穩(wěn)定可靠，具有抗熱變形、抗離子濺射污染性能特點(diǎn)；2、加速電極鑲嵌式結(jié)構(gòu)更換操作方便。


圖1是本實(shí)用新型的剖面圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步介紹，但不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。
參考圖1，新型結(jié)構(gòu)的離子源引出電極系統(tǒng)，其包括連接桿1、屏蔽筒2、減速電極3、絕緣子4、加速電極座5、加速電極6、連接螺釘7。
其中連接桿1連接固定整引出電極系統(tǒng)；屏蔽筒2為4個(gè)，屏蔽絕緣子4，防止絕緣子4濺射污染；減速電極3為高純石墨材料，具有良好的耐高溫、抗濺射性能，通過(guò)絕緣子4固定加速電極座5，將整加減速電極系統(tǒng)連接于一體；絕緣子4為4個(gè)，將加速電極6與減速兩電極3間電位隔離；加速電極座5為高純石墨材料，鑲嵌安裝加速電極6；加速電極6為高純石墨材料，鑲嵌在加速電極座5上，實(shí)現(xiàn)加速電極6的方便更換；連接螺釘7將整引出電極系統(tǒng)固定安裝于連接桿1上。
本實(shí)用新型采用耐高溫的高純石墨材料，在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上充分考慮結(jié)構(gòu)緊湊性，將各電極設(shè)計(jì)于一整體，解決各部件工作一段時(shí)間后由于高溫?zé)嵝?yīng)導(dǎo)致的電極間相對(duì)位置發(fā)生移位變化問(wèn)題；同時(shí)，加速電極設(shè)計(jì)成可更換式鑲嵌結(jié)構(gòu)，當(dāng)加速電極引出縫尺寸變大時(shí)可方便地進(jìn)行更換，而不需更換整個(gè)電極系統(tǒng)。這樣，解決了以前一般引出電極系統(tǒng)所有的缺點(diǎn)和局限性，滿足離子注入機(jī)高可靠性高標(biāo)準(zhǔn)要求。
這樣新型結(jié)構(gòu)的離子源引出電極系統(tǒng)結(jié)構(gòu)連接穩(wěn)定可靠，具有抗熱變形、抗高溫離子濺射性能好特點(diǎn)；同時(shí)結(jié)構(gòu)連接操作方便，保證長(zhǎng)期工作的可靠穩(wěn)定性，滿足離子注入機(jī)高可靠性高標(biāo)準(zhǔn)要求。
本實(shí)用新型的特定實(shí)施例已對(duì)本實(shí)用新型的內(nèi)容做了詳盡說(shuō)明。對(duì)本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本實(shí)用新型精神的前提下對(duì)它所做的任何顯而易見的改動(dòng)，都構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
權(quán)利要求1.一種離子源引出電極系統(tǒng)，其特征在于包括連接桿、屏蔽筒、減速電極、絕緣子、加速電極座、加速電極，其中所述連接桿連接固定整個(gè)引出電極系統(tǒng)；所述減速電極螺釘連接連接桿；所述屏蔽筒安裝在減速電極上；所述絕緣子安裝在屏蔽筒和加速電極座之間；所述的加速電極鑲嵌在加速電極座上。
2.如權(quán)利要求1所述的離子源引出電極系統(tǒng)，其特征在于屏蔽筒為4個(gè)，絕緣子為4個(gè)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種離子源引出電極系統(tǒng)，包括連接桿、屏蔽筒、減速電極、絕緣子、加速電極座、加速電極。其中所述連接桿連接固定整個(gè)引出電極系統(tǒng)；所述減速電極螺釘連接連接桿；所述屏蔽筒安裝在減速電極上；所述絕緣子安裝在屏蔽筒和加速電極座之間；所述的加速電極鑲嵌在加速電極座上。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)緊湊穩(wěn)定可靠，具有抗熱變形、抗離子濺射污染性能特點(diǎn)；加速電極鑲嵌式結(jié)構(gòu)更換操作方便，解決了以前一般引出電極系統(tǒng)的缺點(diǎn)和局限性，滿足離子注入機(jī)高可靠性高標(biāo)準(zhǔn)要求。
文檔編號(hào)H01J37/317GK2906906SQ20062001298
公開日2007年5月30日 申請(qǐng)日期2006年4月7日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月7日
發(fā)明者伍三忠, 戴習(xí)毛, 鐘新華, 劉仁杰 申請(qǐng)人:北京中科信電子裝備有限公司