專利名稱：成型材料轉(zhuǎn)移方法和襯底結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在將被用于例如等離子顯示面板(PDP)的具有肋(擋塊)的襯底上形成諸如肋的突起圖案的技術(shù)。
背景技術(shù)：
將說(shuō)明作為需要具有突起圖案的襯底的情況的示例的PDP。PDP是自發(fā)光顯示面板，其中一對(duì)襯底(通常為玻璃襯底)布置成在其間具有小間隔的情況下彼此相對(duì)，并且通過(guò)密封其周邊在內(nèi)部建立放電空間。
通常在PDP中，在襯底上以重復(fù)方式形成高度為150-250μm的肋(突起)，以分隔放電空間。例如，在適合于通過(guò)熒光劑進(jìn)行彩色顯示的表面放電PDP情況下，沿著尋址電極線等間距地在襯底上形成肋，該肋具有當(dāng)直接觀察PDP時(shí)可被視為條的圖案。
作為制造具有上述結(jié)構(gòu)的PDP襯底的一般工藝，在襯底上形成尋址電極圖案，并形成肋以與電極圖案對(duì)齊。已經(jīng)提出了各種方法來(lái)用于形成肋，但典型的方法是多層印刷方法、噴沙方法、嵌入方法、光刻方法和轉(zhuǎn)移方法，其中可能實(shí)現(xiàn)最低成本的轉(zhuǎn)移方法被寄予厚望。
轉(zhuǎn)移方法是使用具有用于形成肋的凹槽的轉(zhuǎn)移凹板(intaglio plate)，在襯底上形成肋的方法或者同時(shí)形成肋和電介質(zhì)層的方法。作為一個(gè)過(guò)程，成型材料被填充到轉(zhuǎn)移凹板的表面中，然后被填充的硬化成型材料被轉(zhuǎn)移到襯底以形成肋和電介質(zhì)層(例如，日本專利No.3321129(權(quán)利要求)、日本專利申請(qǐng)?jiān)缙诠_(kāi)No.H8-273537(權(quán)利要求)和日本專利申請(qǐng)?jiān)缙诠_(kāi)No.2001-191345(權(quán)利要求))。
本申請(qǐng)基于2004年7月29日遞交的在先日本專利申請(qǐng)No.2004-221030并要求其優(yōu)先權(quán)，其全部?jī)?nèi)容通過(guò)引用而包含于此。

發(fā)明內(nèi)容
將成型材料填充到轉(zhuǎn)移凹板中的一個(gè)問(wèn)題是，氣泡可能會(huì)進(jìn)入轉(zhuǎn)移凹板上用于填充成型材料的凹槽。結(jié)果，成型材料沒(méi)有被填充到凹槽的該部分中，這可能導(dǎo)致在轉(zhuǎn)移之后產(chǎn)生肋的缺陷(未填充部分)。這個(gè)問(wèn)題的發(fā)生是因?yàn)樵趯⒊尚筒牧咸畛涞桨疾壑袝r(shí)帶入了氣泡。
如果轉(zhuǎn)移凹板的凹槽圖案是直線的并且成型材料在填充方向上延伸，或者如果氣泡的逸出方向是唯一確定的，例如當(dāng)進(jìn)行擠壓時(shí)，則通過(guò)順序地填充成型材料以將氣泡順序地從轉(zhuǎn)移凹板的邊緣擠出去，減小了氣泡殘存的可能性，但是在凹槽交叉的情況(例如網(wǎng)格圖案情況)下，混入的氣泡在交叉點(diǎn)處不能從任何地方逸出，通常導(dǎo)致氣泡缺陷。一種可能的方法是通過(guò)反復(fù)擠壓許多次來(lái)擠出氣泡，但這效率不高。此外如果轉(zhuǎn)移凹板由容易變形的材料制成，例如硅樹(shù)脂，那么轉(zhuǎn)移凹板自身可能被擠壓所損壞。
在這樣的情況下，傳統(tǒng)上已經(jīng)使用了真空排氣方法，其在將成型材料填充到轉(zhuǎn)移凹板中后通過(guò)抽空環(huán)境空氣來(lái)釋放氣泡。但是這種方法非常低效。
作為不使用真空排氣方法的一種方法，已經(jīng)報(bào)導(dǎo)了利用成型材料的毛細(xì)現(xiàn)象，在不引入氣泡的情況下將成型材料填充到轉(zhuǎn)移凹板中的方法(參見(jiàn)T.J.Chang，“Society for Information Display”，′03，美國(guó)，Societvfor Information Display出版，2003年，第1011頁(yè))。此方法利用成型材料濕潤(rùn)轉(zhuǎn)移凹板的凹槽的壁表面的現(xiàn)象，但是為此，應(yīng)考慮到成型材料到轉(zhuǎn)移凹板的供應(yīng)量必須非常小，而在工業(yè)水平上控制這的方法還沒(méi)有開(kāi)發(fā)出來(lái)。而且在此方法中，填充成型材料而使得成型材料被夾在襯底和轉(zhuǎn)移凹板之間，因此在同時(shí)形成用于PDP的肋和電介質(zhì)層的情況下，極難精確地控制電介質(zhì)層的膜厚。
本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種解決上述問(wèn)題并制造具有突起圖案的襯底的新的和高度可靠的技術(shù)。通過(guò)此處以下的說(shuō)明，本發(fā)明的其他目的和優(yōu)點(diǎn)將變得更清楚。
根據(jù)本發(fā)明的一些方面，提供了成型材料轉(zhuǎn)移方法和襯底制造方法，每種方法都包括將成型材料糊劑填充到填充凹板的凹入部分中；使其上形成有特定凹槽圖案的轉(zhuǎn)移凹板部分地接觸到所述填充凹板；將成型材料填充到所述轉(zhuǎn)移凹板的凹槽中；以及將成型材料作為突起圖案從轉(zhuǎn)移凹板轉(zhuǎn)移到襯底上。
優(yōu)選的是通過(guò)熱、UV(紫外)線或者通過(guò)熱和紫外線的組合來(lái)對(duì)轉(zhuǎn)移凹板中的成型材料進(jìn)行硬化處理；在成型材料被填充到轉(zhuǎn)移凹板的凹槽中后，清除附著到除了凹槽之外的部分上的成型材料(如果必要)，然后將預(yù)定厚度的成型材料涂到轉(zhuǎn)移凹板的表面上；填充凹板是平面或者柱面形狀，而轉(zhuǎn)移凹板是柱面形狀或者可以彎曲；填充凹板的凹入部分的圖案和轉(zhuǎn)移凹板的凹槽的圖案具有相對(duì)應(yīng)的位置關(guān)系；填充凹板的凹入部分在沿轉(zhuǎn)移凹板的凹槽寬度的方向上的長(zhǎng)度大于轉(zhuǎn)移凹板的凹槽寬度，或者轉(zhuǎn)移凹板的凹槽深度比填充凹板的凹入部分的深度深，或者填充凹板的凹入部分在沿轉(zhuǎn)移凹板的凹槽寬度的方向上的長(zhǎng)度大于轉(zhuǎn)移凹板的凹槽寬度，以及轉(zhuǎn)移凹板的凹槽深度比填充凹板的凹入部分的深度深；填充凹板的凹入部分的圖案由點(diǎn)構(gòu)成；轉(zhuǎn)移凹板的凹槽圖案是條形圖案；轉(zhuǎn)移凹板的凹槽圖案是波紋條形圖案；轉(zhuǎn)移凹板的凹槽圖案是網(wǎng)格圖案；所述突起圖案用均勻平面部分連接起來(lái)；所述突起的高度在150-250μm范圍內(nèi)并且突起的寬度在50-120μm范圍內(nèi)；以及均勻平面部分的厚度在10-30μm范圍內(nèi)。
根據(jù)本發(fā)明的其他方面，提供了由上述制造方法所制造的襯底，以及使用此襯底作為帶肋的襯底的平面顯示面板和平面顯示設(shè)備。
根據(jù)本發(fā)明的上述方面，可以提供用于制造具有突起圖案的襯底的新的和高度可靠的技術(shù)?？梢栽谙喈?dāng)大的程度上減少突起圖案形成期間由氣泡的引入造成的結(jié)構(gòu)缺陷，并且產(chǎn)品的可靠性和產(chǎn)品的產(chǎn)率可以提高。因?yàn)椴恍枰缯婵张艢獾碾x線步驟，所以可以提高生產(chǎn)效率并簡(jiǎn)化處理步驟。
根據(jù)本發(fā)明的其他方面，提供有成型材料轉(zhuǎn)移裝置和襯底制造裝置，其中成型材料轉(zhuǎn)移裝置包括一個(gè)或者多個(gè)印板滾筒(或者印刷滾筒)、填充凹板、轉(zhuǎn)移凹板、用于使所述填充凹板和所述轉(zhuǎn)移凹板部分地接觸的轉(zhuǎn)移凹板接觸機(jī)構(gòu)、成型材料硬化單元、和可選擇的用于所述轉(zhuǎn)移凹板的表面上的成型材料的膜厚調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述襯底制造裝置包括一個(gè)或者多個(gè)印板滾筒、填充凹板、轉(zhuǎn)移凹板、襯底、用于使所述填充凹板和所述轉(zhuǎn)移凹板部分地接觸的轉(zhuǎn)移凹板接觸機(jī)構(gòu)、用于使所述轉(zhuǎn)移凹板和所述襯底部分地接觸的襯底接觸機(jī)構(gòu)、成型材料硬化單元、和可選擇的用于所述轉(zhuǎn)移凹板的表面上的成型材料的膜厚調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
根據(jù)本發(fā)明的上述方面，提供了適合于實(shí)現(xiàn)上述成型材料轉(zhuǎn)移方法和襯底制造方法的裝置。
根據(jù)本發(fā)明，可以提供用于制造具有突起圖案的襯底的新的和高度可靠的技術(shù)。除此以外，使用本發(fā)明具有這樣的效果，即可以轉(zhuǎn)移材料而不允許材料被轉(zhuǎn)移附著到除了填充凹板的凹入部分或者轉(zhuǎn)移凹板的凹槽之外的部分。


圖1是描述PDP示例的示意性分解視圖；圖2是描述PDP示例的示意性側(cè)剖視圖；圖3是描述在后襯底上形成尋址電極、電介質(zhì)層、肋和熒光劑層的序列的流程圖；圖4是描述根據(jù)本發(fā)明的圖案示例的示意圖；圖5是描述根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)圖案示例的示意圖；圖6是描述根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)圖案示例的示意圖；圖7是描述其中填充凹板的凹入部分的條形圖案和轉(zhuǎn)移凹板的凹槽的條形圖案重疊的狀態(tài)的示意圖；圖8是描述其中填充凹板的凹入部分的條形圖案和轉(zhuǎn)移凹板的凹槽的條形圖案重疊的狀態(tài)的另一個(gè)示意圖；圖9是描述其中填充凹板的凹入部分的條形圖案和轉(zhuǎn)移凹板的凹槽的條形圖案重疊的狀態(tài)的另一個(gè)示意圖；圖10是描述其中填充凹板的凹入部分的條形圖案和轉(zhuǎn)移凹板的凹槽的條形圖案重疊的狀態(tài)的另一個(gè)示意圖；
圖11是描述其中填充凹板的凹入部分的條形圖案和轉(zhuǎn)移凹板的凹槽的條形圖案重疊的狀態(tài)的另一個(gè)示意圖；圖12是描述填充凹板的凹入部分的平面示意圖；圖13是圖12的側(cè)剖視圖；圖14是描述轉(zhuǎn)移凹板的凹槽的平面示意圖；圖15是圖14的側(cè)剖視圖；圖16是描述其中填充凹板的凹入部分與轉(zhuǎn)移凹板的凹槽相匹配的狀態(tài)的示意性側(cè)剖視圖；圖17是描述其中成型材料被填充到填充凹板的凹入部分中的狀態(tài)的示意圖；圖18是描述其中當(dāng)成型材料被填充到轉(zhuǎn)移凹板的凹槽中時(shí)成型材料在流動(dòng)的狀態(tài)的示意圖；圖19是描述其中柱面形狀的轉(zhuǎn)移凹板被安裝到印板滾筒，而填充凹板被放置在平臺(tái)上的狀態(tài)的示意圖；圖20是描述其中轉(zhuǎn)移凹板被彎曲成柱面形狀并安裝到印板滾筒的狀態(tài)的示意圖；圖21是描述其中成型材料正從轉(zhuǎn)移凹板轉(zhuǎn)移到襯底的狀態(tài)的示意圖；圖22是描述根據(jù)本發(fā)明填充和轉(zhuǎn)移成型材料的流程圖；圖23A是描述將成型材料填充到填充凹板中的狀態(tài)的示意圖；圖23B是描述其中轉(zhuǎn)移凹板被設(shè)置成面對(duì)填充凹板的狀態(tài)的示意圖；圖23C是描述其中成型材料從填充凹板的凹入部分移到轉(zhuǎn)移凹板的凹槽的狀態(tài)的示意圖；圖23D是描述其中襯底被設(shè)置成面對(duì)轉(zhuǎn)移凹板的狀態(tài)的示意圖；圖23E是描述將成型材料從轉(zhuǎn)移凹板轉(zhuǎn)移到襯底的狀態(tài)的示意圖；圖24是描述其中填充凹板191自身是圓柱形的示例的示意圖；圖25是描述其中正由涂敷輥對(duì)轉(zhuǎn)移凹板進(jìn)行涂敷的狀態(tài)的示意圖；圖26是描述用襯底上形成的均勻平面部分連接起來(lái)的突起圖案的示意性側(cè)剖視圖；和圖27是描述在沒(méi)有均勻平面部分的襯底上形成的突起圖案的示意性側(cè)剖視圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在將使用附圖、示例等來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例。這些附圖、示例等加上說(shuō)明是用于舉例說(shuō)明本發(fā)明的示例，而不應(yīng)限制本發(fā)明的范圍。無(wú)需多言，只要其符合本發(fā)明的實(shí)質(zhì)特征，其他實(shí)施例也在本發(fā)明的范圍內(nèi)。在附圖中，相同的部件用相同的標(biāo)號(hào)或符號(hào)指示。
圖1是傳統(tǒng)PDP示例的分解視圖，而圖2是其側(cè)剖視圖。在圖1和圖2中，沿著所示箭頭標(biāo)記的方向來(lái)觀察面板。PDP 1具有前襯底2和后襯底3彼此相對(duì)的結(jié)構(gòu)。在此示例中，在前襯底2內(nèi)(與后襯底3相對(duì)的一側(cè))，顯示電極4、電介質(zhì)層5和用于保護(hù)電介質(zhì)層5的保護(hù)層6順序地層疊，而在后襯底3內(nèi)(與前襯底2相對(duì)的一側(cè))，尋址電極7和電介質(zhì)層8順序地層疊，并且在其上形成肋9和熒光劑層10。在如圖2所示通過(guò)在兩個(gè)顯示電極之間施加電壓來(lái)造成放電的系統(tǒng)的情況下，電介質(zhì)層8可能是不必要的。
在由電介質(zhì)層5、肋9和熒光劑層10所封閉的放電空間11中，充有用于發(fā)射UV(紫外)射線的氣體，例如氖氣或者氙氣。PDP 1通過(guò)在兩個(gè)顯示電極之間施加電壓造成放電，激發(fā)用于發(fā)射UV射線的氣體以形成等離子狀態(tài)，并使用在等離子狀態(tài)返回初始狀態(tài)時(shí)產(chǎn)生的UV射線來(lái)照射熒光劑層10的熒光劑，使得實(shí)現(xiàn)可見(jiàn)光的顯示。在PDP中，通常安裝有濾色器、電磁波屏蔽片和防反射膜等等。通過(guò)對(duì)此PDP安裝與電源單元和調(diào)諧單元的接口，可以實(shí)現(xiàn)例如大電視(等離子電視)機(jī)的平板顯示設(shè)備。
對(duì)于PDP的襯底，例如使用納鈣玻璃(soda-lime glass)和高應(yīng)變點(diǎn)玻璃。對(duì)于尋址電極，可以使用任何導(dǎo)電金屬。對(duì)于目前的PDP，作為阻抗低且?guī)缀醪慌c電介質(zhì)層起反應(yīng)的金屬，銀、銅和鋁被使用。對(duì)于電介質(zhì)層，使用玻璃板、低熔點(diǎn)玻璃等。肋9由低熔點(diǎn)玻璃制成。
在后襯底3內(nèi)，尋址電極7、電介質(zhì)層8、肋9和熒光劑層10例如按照以下順序形成。首先，參照?qǐng)D3，在后襯底3上形成均勻金屬層，如步驟S31所示。然后如步驟S32所示，去掉不必要的部分并形成具有特定圖案的尋址電極7。然后如步驟S33所示，形成電介質(zhì)層8。然后如步驟S34所示，形成均勻的低熔點(diǎn)玻璃層。然后如步驟S35所示，通過(guò)切割低熔點(diǎn)玻璃形成肋，并且如步驟S36所示，涂上熒光劑。
本發(fā)明可以被恰當(dāng)?shù)貞?yīng)用以在用于以PDP為代表的平面顯示面板和平面顯示設(shè)備的襯底上形成作為突起的肋。但是，本發(fā)明還可以很好地應(yīng)用到在襯底上生成突起圖案的其他領(lǐng)域，而不限于上述領(lǐng)域。尤其是當(dāng)突起圖案的寬度很窄并且其高度很高的時(shí)候，可靠性更高。具體而言，本發(fā)明可以很好地應(yīng)用到150-250μm的高度范圍和50-120μm的寬度范圍。突起間隔不是關(guān)鍵，但優(yōu)選地為150-350μm。這些尺寸是已在襯底上形成了突起時(shí)測(cè)量的尺寸。突起的三維形狀可以是任何形狀，只要其形狀不與本發(fā)明的實(shí)質(zhì)特征相悖，但在PDP襯底情況下如圖1所示的長(zhǎng)方體形是優(yōu)選的。角度可以略帶錐形(拔模斜度)，以使得到襯底的轉(zhuǎn)移更容易。
在本發(fā)明中，“襯底”不限于用于例如PDP的電子設(shè)備的襯底，而可以是任何板，如果該板是平的。襯底的材料可以是任何材料，除非該材料與本發(fā)明的實(shí)質(zhì)特征相悖。
在本發(fā)明中，突起圖案、凹槽圖案、凹入部分圖案等中的“圖案”是在觀察目標(biāo)表面(例如襯底表面、轉(zhuǎn)移凹板的表面或者填充凹板的表面)時(shí)可以被認(rèn)為具有特定重復(fù)形狀的形狀。更具體而言，在轉(zhuǎn)移凹板的凹槽圖案和襯底上的突起圖案的情況下，可以使用當(dāng)直接觀察目標(biāo)表面時(shí)所見(jiàn)的圖4所示的重復(fù)條紋形狀、圖5所示的重復(fù)波形條紋形狀和圖6所示的重復(fù)網(wǎng)格形狀。在圖4-圖6中，標(biāo)號(hào)41表示突起圖案，而標(biāo)號(hào)42表示除突起外的基礎(chǔ)部分(目標(biāo)表面)。
條紋和網(wǎng)格的高度可以是均勻的，但也可以包括多個(gè)不同的高度。在填充凹板的凹入部分的圖案中，除了上述示例，還可以使用具有較低規(guī)則性的圖案。這些圖案包括圓、橢圓、三角形、正方形或者其他多邊形的重復(fù)，或者也可以使用不規(guī)則形狀的凹入部分。為了確定地將成型材料填充到轉(zhuǎn)移凹板中，填充凹板的凹入部分的圖案優(yōu)選地為圖10所示的點(diǎn)。在填充凹板的凹入部分中，沒(méi)有圖案可能也是有用的。
現(xiàn)在將說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的成型材料轉(zhuǎn)移方法和用于制造具有突起圖案的襯底的方法。
根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)，不直接將成型材料填充到轉(zhuǎn)移凹板的表面上，而首先將成型材料糊劑填充到填充凹板的凹入部分，然后使上面形成有特定凹槽圖案的轉(zhuǎn)移凹板部分地接觸到填充凹板，并且成型材料被填充到轉(zhuǎn)移凹板的凹槽中，這樣成型材料就直接填充到轉(zhuǎn)移凹板的表面上。然后成型材料作為突起圖案從轉(zhuǎn)移凹板轉(zhuǎn)移到襯底。通過(guò)這些操作，成型材料被轉(zhuǎn)移并且可以制造具有突起圖案的襯底。
這樣，使用通過(guò)例如擠壓直到氣泡消失而填充到填充凹板的凹入部分中的成型材料糊劑，轉(zhuǎn)移凹板部分地接觸填充凹板以轉(zhuǎn)移成型材料，使得成型材料可以利用毛細(xì)現(xiàn)象而被充分地填充到轉(zhuǎn)移凹板的凹槽中。當(dāng)通過(guò)使轉(zhuǎn)移凹板部分接觸到填充凹板，而將成型材料從填充凹板移動(dòng)到轉(zhuǎn)移凹板時(shí)，毛細(xì)現(xiàn)象被視為已經(jīng)發(fā)生。
對(duì)于填充凹板，除了通過(guò)用機(jī)加工、激光處理、刻蝕等處理金屬而制造的模子外，還可以使用通過(guò)刻蝕玻璃而制造的玻璃模子。對(duì)于材料而言，具有高硬度的材料是優(yōu)選的，以在通過(guò)金屬刮片或者陶瓷刮片將成型材料填充到填充凹板中時(shí)防止磨損。如果使用具有抗磨損性并且不容易變形的例如玻璃或者金屬的材料，則由于擠壓等引起的磨損或者變形變得不重要，因此很容易填入成型材料糊劑直到氣泡消失。此外，如下面將要說(shuō)明的那樣，填充凹板的凹入部分可以設(shè)置成比轉(zhuǎn)移凹板的凹槽窄或者寬，這也使得容易填入成型材料糊劑直到氣泡消失。
另一方面，對(duì)于轉(zhuǎn)移凹板，可以容易剝離的軟材料是優(yōu)選的，使得成型材料的形狀在轉(zhuǎn)移時(shí)不會(huì)破壞。一個(gè)示例是硅橡膠。
供應(yīng)到轉(zhuǎn)移凹板的凹槽中的成型材料的量，由填充凹板上形成的小凹入部分的空間確定。因此，每次可以供應(yīng)非常小的量的成型材料，這防止了氣泡被引入，而當(dāng)成型材料通過(guò)毛細(xì)現(xiàn)象被填充到轉(zhuǎn)移凹板的凹槽中時(shí)，如果在轉(zhuǎn)移凹板的凹槽的壁表面變得完全濕潤(rùn)之前過(guò)量供應(yīng)成型材料，就會(huì)發(fā)生上述氣泡引入。因此能以良好的可重復(fù)性來(lái)利用毛細(xì)現(xiàn)象，并且可以省略轉(zhuǎn)移凹板的真空排氣步驟。這樣，可以防止用于轉(zhuǎn)移的材料附著到填充凹板的凹槽和轉(zhuǎn)移凹板的凹槽之外的區(qū)域。
轉(zhuǎn)移凹板的凹槽中曾經(jīng)被無(wú)氣泡地填充的部分可以非常容易被濕潤(rùn)，并且即使此后再次填充成型材料，氣泡也很少進(jìn)入凹槽。因此，即使在首次填充時(shí)填充量不足，使用填充有成型材料的填充凹板可以容易地增加成型材料。不管環(huán)境如何也可以執(zhí)行多次填充。如果填充量過(guò)多，則在必要時(shí)可以清除附著到除凹槽之外的區(qū)域的成型材料。
還可以使用輥涂敷方法、縫涂敷方法等將預(yù)定厚度的成型材料涂到轉(zhuǎn)移凹板的表面上，并由此可以獲得用均勻平面部分連接起來(lái)的突起圖案。如果這些突起被用作肋且均勻平面部分被視為電介質(zhì)層，在PDP襯底的情況下這就意味著一次組合形成了肋和電介質(zhì)層。此方法是優(yōu)選的，因?yàn)榫鶆蚱矫娌糠值暮穸瓤梢员蛔杂烧{(diào)節(jié)。為了易于調(diào)節(jié)均勻平面部分的厚度，優(yōu)選的是將成型材料填充到轉(zhuǎn)移凹板的凹槽中，清除附著到凹槽之外的區(qū)域中的成型材料，此后按照需要涂上成型材料。在PDP襯底的情況下，襯底上形成的均勻平面部分的厚度優(yōu)選地在10-30μm范圍內(nèi)。
圖26是描述與襯底上形成的用均勻平面部分261連接的突起圖案41的示意性側(cè)剖視圖。另一方面，圖27是描述在沒(méi)有均勻平面部分的襯底上形成的突起圖案41的示意性側(cè)剖視圖。
根據(jù)本發(fā)明的成型材料可以按照要在襯底上形成的突起的實(shí)際要求從已知材料中自由選擇。按照在PDP的襯底上形成肋的目的，優(yōu)選的是原料糊劑包含低熔點(diǎn)玻璃粉末、粘合劑等。耐熱氧化物等可以被添加作為填充料。為了容易處理，原料糊劑的粘度優(yōu)選地是在室溫下為50-100P(泊)。粘合劑可以包含有機(jī)樹(shù)脂、溶劑或者兩者。有機(jī)樹(shù)脂的示例是丙烯酸樹(shù)脂。對(duì)于有機(jī)樹(shù)脂，優(yōu)選的是可以被熱、或者例如紫外線的活性能射線、或者熱和活性能射線的組合所固化的有機(jī)樹(shù)脂。還可以有反應(yīng)引發(fā)劑。如果成型材料在被填充到轉(zhuǎn)移凹板的凹槽中后硬化，則在轉(zhuǎn)移到襯底上時(shí)與轉(zhuǎn)移凹板的凹槽剝離(所謂的脫模)成型材料更容易，并且提高了形狀的完整性，因此可以防止例如成型材料被損壞或者部分殘留在轉(zhuǎn)移凹板的凹槽中(或者成型材料的開(kāi)裂)這樣的問(wèn)題。如果有這樣的可能性，即固化進(jìn)行到最大程度，從而成型材料對(duì)襯底的粘性程度下降并由此粘著性下降，結(jié)果轉(zhuǎn)移的可能性可能下降，那么優(yōu)選的是采取措施保持固化不完全、保持材料處于非充分固化或者欠固化狀態(tài)，而不是完全固化。固化可以在成型材料被轉(zhuǎn)移到襯底上之后完成。溶劑的示例是松油醇、BCA(丁基卡必醇乙酸酯)等。通過(guò)例如加熱轉(zhuǎn)移凹板中的成型材料來(lái)蒸發(fā)溶劑，可以提高形狀的完整性。此步驟可以與成型材料的固化進(jìn)一步組合。
轉(zhuǎn)移凹板部分接觸到填充凹板可以實(shí)現(xiàn)，這歸因于填充凹板是平面或者柱面形狀，而轉(zhuǎn)移凹板是柱面形狀或者是可彎曲的。換句話說(shuō)，如果填充凹板是平面而轉(zhuǎn)移凹板是柱面形狀，則通過(guò)使填充凹板與轉(zhuǎn)移凹板接觸可以實(shí)現(xiàn)部分接觸。如果填充凹板是平面而轉(zhuǎn)移凹板是可彎曲的，則通過(guò)使填充凹板和轉(zhuǎn)移凹板彼此靠近，然后彎曲轉(zhuǎn)移凹板的全部或者部分，可以實(shí)現(xiàn)部分接觸。如果填充凹板是柱面形狀而轉(zhuǎn)移凹板也是柱面形狀，則通過(guò)使填充凹板與轉(zhuǎn)移凹板接觸可以實(shí)現(xiàn)部分接觸。如果填充凹板是柱面形狀而轉(zhuǎn)移凹板是可彎曲的，則通過(guò)使填充凹板與轉(zhuǎn)移凹板接觸可以實(shí)現(xiàn)部分接觸。
僅僅當(dāng)成型材料可以從填充凹板移到轉(zhuǎn)移凹板，并且通常不需要在填充凹板和轉(zhuǎn)移凹板之間施加額外壓力時(shí)，部分接觸才是足夠的。
因?yàn)楦鶕?jù)本發(fā)明的襯底是平面，所以當(dāng)成型材料從轉(zhuǎn)移凹板轉(zhuǎn)移到襯底上時(shí)，在使轉(zhuǎn)移凹板部分接觸到襯底后，通常需要在轉(zhuǎn)移凹板或者襯底上施加一定壓力。為此，轉(zhuǎn)移凹板優(yōu)選地是柱面形狀或者可彎曲的。所施加的壓力可以考慮到轉(zhuǎn)移的實(shí)際情況自由確定。
為了將成型材料順暢地從填充凹板移到轉(zhuǎn)移凹板，優(yōu)選的是填充凹板的凹入部分的圖案和轉(zhuǎn)移凹板的凹槽圖案具有彼此對(duì)應(yīng)的位置關(guān)系?！疤畛浒及宓陌既氩糠值膱D案和轉(zhuǎn)移凹板的凹槽圖案具有彼此對(duì)應(yīng)的位置關(guān)系”是指，當(dāng)填充凹板和轉(zhuǎn)移凹板被疊置時(shí)，轉(zhuǎn)移凹板的凹槽的圖案與填充凹板的凹入部分的圖案基本上重疊，或者反過(guò)來(lái)。更具體而言，優(yōu)選的是轉(zhuǎn)移凹板的凹槽圖案的90％或更多與填充凹板的凹入部分的圖案重疊，或者反過(guò)來(lái)。
圖7示出了填充凹板的凹入部分的條形圖案71和轉(zhuǎn)移凹板的凹槽的條形圖案72重疊的狀態(tài)。重疊中心不需要如圖7所示地匹配，而可以如圖8所示地偏移。此外如圖9所示，轉(zhuǎn)移凹板的多個(gè)凹槽可以對(duì)應(yīng)于填充凹板的凹入部分的一條。這樣，僅有一部分圖案重疊的情況在本發(fā)明的范圍內(nèi)。如果填充凹板的凹入部分的圖案具有重復(fù)的例如小點(diǎn)的凹入部分，凹入部分為圓形、橢圓形、三角形、正方形、其他多邊形或者不規(guī)則形狀，并且這些形狀的集合可以被視為條形圖案，那么其中被視為條形圖案的這些形狀的集合與轉(zhuǎn)移凹板的凹槽圖案重疊的情況也在本發(fā)明的范圍內(nèi)。圖10示出了被視為條形圖案的填充凹板的點(diǎn)狀凹入部分與轉(zhuǎn)移凹板的凹槽的條形圖案重疊的狀態(tài)。
優(yōu)選的是重疊發(fā)生在填充凹板和轉(zhuǎn)移凹板的整個(gè)表面上，但是如上所述可以包括非重疊部分。因此，如果在填充凹板的整個(gè)表面上存在圓形、橢圓形、三角形、正方形、其他多邊形和/或不規(guī)則形狀，那么以下情況也在本發(fā)明的范圍內(nèi)，即其中包括不與轉(zhuǎn)移凹板的凹槽的條形圖案重疊的許多凹入部分的情況，和其中填充凹板的凹入部分的條形數(shù)量比轉(zhuǎn)移凹板的凹槽數(shù)量大很多，結(jié)果包括不與轉(zhuǎn)移凹板的凹槽的條形圖案重疊的許多凹入部分的情況。
如果預(yù)料到轉(zhuǎn)移凹板和填充凹板的相對(duì)位置對(duì)準(zhǔn)是困難的，那么可以使用與轉(zhuǎn)移凹板的圖案沒(méi)有關(guān)系的凹版印刷板(gravure printing plate)作為填充凹板的圖案。凹版印刷板是用于凹版印刷的板，并且是其中50至數(shù)百μm的正方形或者圓形凹入部分排成陣列的金屬板。除了這個(gè)，被設(shè)置在底板或者輥的表面上、厚度為50至數(shù)百μm并具有50至數(shù)百μm正方形開(kāi)口的篩網(wǎng)可以被用作填充凹板。
對(duì)于填充凹板的凹入部分的三維形狀，優(yōu)選的是填充凹板的凹入部分在沿轉(zhuǎn)移凹板的凹槽寬度的方向上的長(zhǎng)度大于轉(zhuǎn)移凹板的凹槽寬度。這樣，填充凹板的凹入部分可以容易地接觸轉(zhuǎn)移凹板的凹槽，并且通過(guò)毛細(xì)現(xiàn)象填充成型材料變得順暢。填充凹板的凹入部分在沿轉(zhuǎn)移凹板的凹槽寬度的方向上的長(zhǎng)度是指圖7和圖11中的長(zhǎng)度L。在多種形狀的集合的情況下，對(duì)圖11所示的單個(gè)凹入部分111進(jìn)行判斷。
同樣優(yōu)選的是轉(zhuǎn)移凹板的凹槽深度比填充凹板的凹入部分的深度深。這是因?yàn)橥ㄟ^(guò)毛細(xì)現(xiàn)象填充成型材料變得順暢。優(yōu)選的是滿足上述兩個(gè)條件。這些條件不需要在填充凹板和轉(zhuǎn)移凹板的整個(gè)表面上建立，但通常隨建立條件的部分增大而變得更加優(yōu)選。
根據(jù)上述成型材料轉(zhuǎn)移方法和襯底制造方法，可以提供用于制造具有突起圖案的襯底(例如PDP的襯底)的新的高度可靠的技術(shù)。成型材料可以確定地填充到轉(zhuǎn)移凹板的凹槽中，并且可以在相當(dāng)大的程度上減少突起圖案形成期間由氣泡的引入造成的結(jié)構(gòu)缺陷。因此產(chǎn)品的可靠性和產(chǎn)品的產(chǎn)率可以提高。此外不需要例如真空排氣的離線步驟，這提高了生產(chǎn)效率并簡(jiǎn)化了處理步驟。特別優(yōu)選的是將這種襯底應(yīng)用到使用帶肋襯底的氣體放電面板或者氣體放電面板顯示設(shè)備。
用于實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)的裝置的優(yōu)選示例是成型材料轉(zhuǎn)移裝置和襯底制造裝置，成型材料轉(zhuǎn)移裝置包括印板滾筒、填充凹板、轉(zhuǎn)移凹板、用于使填充凹板和轉(zhuǎn)移凹板部分接觸的轉(zhuǎn)移凹板接觸結(jié)構(gòu)、成型材料硬化單元和用于轉(zhuǎn)移凹板的表面上的成型材料的膜厚調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)(如果需要的話)，襯底制造裝置包括印板滾筒、填充凹板、轉(zhuǎn)移凹板、襯底、用于使填充凹板和轉(zhuǎn)移凹板部分接觸的轉(zhuǎn)移凹板接觸結(jié)構(gòu)、用于使轉(zhuǎn)移凹板和襯底接觸的襯底接觸機(jī)構(gòu)、成型材料硬化單元和用于轉(zhuǎn)移凹板的表面上的成型材料的膜厚調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)(如果需要的話)。如果使用這些裝置，則通過(guò)將成型材料糊劑填充到填充凹板的凹入部分中，并且使其上形成有特定凹槽圖案的轉(zhuǎn)移凹板部分地接觸到填充凹板，可以容易地將成型材料填充到轉(zhuǎn)移凹板的凹槽中。此外通過(guò)使轉(zhuǎn)移凹板接觸到襯底，可以容易地將成型材料作為突起圖案從轉(zhuǎn)移凹板轉(zhuǎn)移到襯底。
可以共享印板滾筒，來(lái)用于將成型材料從填充凹板填充到轉(zhuǎn)移凹板中并用于將作為突起圖案的成型材料從轉(zhuǎn)移凹板轉(zhuǎn)移到襯底，或者可以使用不同的印板滾筒。轉(zhuǎn)移凹板可以設(shè)置在印板滾筒上，但如下所述也可以不被使用。
成型材料硬化單元是具有硬化成型材料的功能的單元，可以使用能夠硬化成型材料的任何已知設(shè)備，例如熱吹風(fēng)機(jī)和紫外線照射設(shè)備。
用于成型材料的膜厚調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)是用于實(shí)現(xiàn)用均勻平面部分連接的突起圖案的機(jī)構(gòu)，可以使用能夠在轉(zhuǎn)移凹板的表面上涂敷給定厚度的成型材料的任何已知設(shè)備。
用于使填充凹板和轉(zhuǎn)移凹板部分接觸的轉(zhuǎn)移凹板接觸結(jié)構(gòu)可以是任何已知機(jī)構(gòu)，只要填充凹板和轉(zhuǎn)移凹板從上述意義來(lái)說(shuō)可以部分地接觸。在填充凹板和轉(zhuǎn)移凹板兩者都被設(shè)置在印板滾筒上，或者填充凹板被設(shè)置在印板滾筒上而轉(zhuǎn)移凹板被設(shè)置在工作臺(tái)上的情況下，如果該機(jī)構(gòu)能夠移動(dòng)這些印板滾筒中的一個(gè)或者兩個(gè)，或者印板滾筒與工作臺(tái)中的一個(gè)或者兩個(gè)就足夠了。在轉(zhuǎn)移凹板可以部分地變形的情況下，如果該機(jī)構(gòu)能夠使轉(zhuǎn)移凹板的一部分變形就足夠了。
對(duì)于用于使轉(zhuǎn)移凹板和襯底接觸的襯底接觸機(jī)構(gòu)，可以使用任何機(jī)構(gòu)，只要轉(zhuǎn)移凹板和襯底從上述意義來(lái)說(shuō)可以部分地接觸。在轉(zhuǎn)移凹板被設(shè)置在印板滾筒上的情況下，如果該機(jī)構(gòu)可以移動(dòng)印板滾筒和其上設(shè)置有襯底的工作臺(tái)中的一個(gè)或者兩個(gè)就足夠了。在轉(zhuǎn)移凹板可以部分地變形的情況下，如果該機(jī)構(gòu)能夠使轉(zhuǎn)移凹板的一部分變形就足夠了。其他部件的含義如上所述。
示例現(xiàn)在將詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的示例。在以下示例中，填充凹板的凹入圖案和轉(zhuǎn)移凹板上形成的凹槽圖案是網(wǎng)格圖案，并具有帶錐形角的矩形(即梯形)截面。在此情況下，填充凹板的凹入部分可以稱為凹槽，與轉(zhuǎn)移凹板的情況相似，因此在示例中填充凹板的凹入部分可以被稱為“凹槽”。
示例1在此示例中，將參照?qǐng)D12至圖16說(shuō)明本發(fā)明的原理。圖12是描述填充凹板的凹入部分111的示意性平面圖。圖13是其示意性側(cè)剖視圖，圖14是描述轉(zhuǎn)移凹板的凹槽141的示意性平面圖，圖15是其示意性側(cè)剖視圖，以及圖16是描述其中填充凹板的凹入部分111和轉(zhuǎn)移凹板的凹槽141接觸到的狀態(tài)的示意性側(cè)剖視圖。在圖12至圖16中，在填充凹板和轉(zhuǎn)移凹板上形成的凹槽圖案都是網(wǎng)格，并且當(dāng)填充凹板和轉(zhuǎn)移凹板被疊置時(shí)這些形狀彼此重疊。圖12中的尺寸和圖14中的尺寸是1∶1的關(guān)系，并且如圖12與圖14的對(duì)比所示，填充凹板的凹槽寬度比轉(zhuǎn)移凹板的凹槽寬度寬。同樣圖13的尺寸和圖15的尺寸具有1∶1的關(guān)系，并且如圖16所示，轉(zhuǎn)移凹板的凹槽寬度比填充凹板的凹槽深度大。原因如上所述。
根據(jù)成型材料轉(zhuǎn)移方法，成型材料糊劑首先被填充到填充凹板的凹槽中。具體而言，例如使用金屬刮片將成型材料糊劑填充到填充凹板中。如果需要，成型材料可以被多次填充。圖17是描述其中成型材料117被填充到填充凹板的凹槽中的狀態(tài)的示意圖。
然后其上形成有特定凹槽圖案的轉(zhuǎn)移凹板的一部分緩慢地接觸填充凹板。這樣，毛細(xì)現(xiàn)象發(fā)生，并且成型材料如圖18中箭頭所示地流動(dòng)，并被填充到轉(zhuǎn)移凹板的凹槽中。因?yàn)槊?xì)現(xiàn)象順序地濕潤(rùn)著轉(zhuǎn)移凹板的凹槽壁來(lái)進(jìn)行，所以可以防止氣泡的引入。隨著毛細(xì)現(xiàn)象的進(jìn)行，圖18中141處存在的氣體移動(dòng)到圖18上還沒(méi)有填充成型材料的前側(cè)或后側(cè)，因此氣體不會(huì)殘留成為氣泡。
示例2在此示例中，將說(shuō)明在填充凹板是平面形狀而轉(zhuǎn)移凹板可以彎曲成柱面的情況下的成型材料轉(zhuǎn)移裝置和襯底制造裝置，以及如何使用這些裝置。
圖19示出了這樣的狀態(tài)，其中成型材料正從放置在平臺(tái)194上的填充凹板191填充到安裝在柱面形狀的印板滾筒192上的轉(zhuǎn)移凹板193中。在填充凹板191的凹槽中，已經(jīng)預(yù)先填充有成型材料。當(dāng)印板滾筒192沿箭頭方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，轉(zhuǎn)移凹板193和填充凹板191部分接觸，成型材料通過(guò)毛細(xì)現(xiàn)象從填充凹板191的凹槽移到轉(zhuǎn)移凹板193的凹槽，并且轉(zhuǎn)移凹板193的凹槽被填充成型材料。標(biāo)號(hào)196示出了填充凹板191和轉(zhuǎn)移凹板193部分地接觸的部分。沒(méi)有圖示出用于使填充凹板191和轉(zhuǎn)移凹板193部分接觸的轉(zhuǎn)移凹板接觸結(jié)構(gòu)。實(shí)際上，填充凹板191和轉(zhuǎn)移凹板193的接觸部分196非常小，并且優(yōu)選地該接觸部分是線接觸，當(dāng)如圖19中所示地觀察時(shí)其幾乎是點(diǎn)接觸。
圖20示出了這樣的狀態(tài)，其中轉(zhuǎn)移凹板193被安裝在印板滾筒195上，并且成型材料正由來(lái)自紫外線照射單元201的紫外線照射所硬化。紫外線照射單元201對(duì)應(yīng)于根據(jù)本發(fā)明的成型材料硬化單元。對(duì)于此步驟中例如印板滾筒195的主要裝備，可以使用與圖19相同的裝備。成型材料還沒(méi)有被轉(zhuǎn)移到襯底198。
圖21示出了成型材料正從轉(zhuǎn)移凹板193轉(zhuǎn)移到襯底198的狀態(tài)。沒(méi)有圖示出用于使轉(zhuǎn)移凹板193和襯底198接觸的襯底接觸機(jī)構(gòu)。
示例3在此示例中，將說(shuō)明在填充凹板是平面而轉(zhuǎn)移凹板可以彎曲的情況下的成型材料轉(zhuǎn)移裝置和襯底制造裝置，以及如何使用這些裝置。
首先根據(jù)圖22的步驟S221，通過(guò)擠壓將成型材料填充到填充凹板191中，如圖23A所示。
然后根據(jù)圖22的步驟S222，轉(zhuǎn)移凹板193被設(shè)置為與填充凹板191相對(duì)，如圖23B所示。
然后根據(jù)圖22的步驟S223，如圖23C使用輥231將轉(zhuǎn)移凹板193彎曲，使得填充凹板191和轉(zhuǎn)移凹板193部分地接觸，并且成型材料通過(guò)毛細(xì)現(xiàn)象從填充凹板191的凹槽移動(dòng)到轉(zhuǎn)移凹板193的凹槽中，并對(duì)轉(zhuǎn)移凹板193的凹槽填充成型材料。輥231對(duì)應(yīng)于轉(zhuǎn)移凹板接觸機(jī)構(gòu)。
然后根據(jù)圖22的步驟S224，如圖23D所示地設(shè)置襯底198以取代圖23B中的填充凹板191，并根據(jù)圖22的步驟S225，如圖23E所示地使用輥231來(lái)彎曲轉(zhuǎn)移凹板193，使得轉(zhuǎn)移凹板193和襯底198部分地接觸，并且通過(guò)施加微小的壓力將成型材料從轉(zhuǎn)移凹板193轉(zhuǎn)移到襯底198。此情況中的輥231對(duì)應(yīng)于襯底接觸機(jī)構(gòu)?？梢栽趫D22中的步驟S223和步驟S225之間插入吹熱風(fēng)或者紫外線照射步驟。
示例4在此示例中，將說(shuō)明在填充凹板是柱面形狀而轉(zhuǎn)移凹板可以彎曲成柱面的情況下的成型材料轉(zhuǎn)移裝置和襯底制造裝置，以及如何使用這些裝置。圖24示出了這樣的情況，其中填充凹板191自身是圓柱形，而被彎曲成柱面的轉(zhuǎn)移凹板193被安裝在印板滾筒上。在填充凹板191上，裝有用于刮除過(guò)量成型材料的刮片241。對(duì)于填充凹板，可以使用空泛分布于整個(gè)工業(yè)中的凹板印輥。這個(gè)組合可以用于將成型材料從填充凹板移動(dòng)并填充到轉(zhuǎn)移凹板中。例如，此組合可以用來(lái)代替示例2和示例3的成型材料填充步驟。
示例5在此示例中，將說(shuō)明在利用毛細(xì)現(xiàn)象將成型材料填充到轉(zhuǎn)移凹板中后，將預(yù)定厚度的成型材料涂到轉(zhuǎn)移凹板的表面上的情況下的成型材料轉(zhuǎn)移裝置和襯底制造裝置，以及如何使用這些裝置。圖25示出了這樣的狀態(tài)，其中根據(jù)輥涂敷方法，通過(guò)使涂敷輥251上的成型材料與轉(zhuǎn)移凹板193接觸，將預(yù)定厚度的成型材料涂到轉(zhuǎn)移凹板上。涂敷輥251對(duì)應(yīng)于成型材料的膜厚調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。除了輥涂敷方法，還可以使用從縫隙注入材料的縫涂敷方法。利用這些方法，通?？梢匀菀椎卣{(diào)節(jié)成型材料的厚度。
權(quán)利要求
1.一種成型材料轉(zhuǎn)移方法，包括將成型材料糊劑填充到填充凹板的凹入部分中，所述填充凹板在平坦表面上具有所述凹入部分；使其上形成有特定凹槽圖案的轉(zhuǎn)移凹板部分地接觸到所述填充凹板的所述表面，并且在此接觸狀態(tài)下，通過(guò)毛細(xì)現(xiàn)象將所述填充凹板的所述凹入部分中的所述成型材料填充到所述轉(zhuǎn)移凹板的所述凹槽中；以及將所述轉(zhuǎn)移凹板的所述凹槽中的所述成型材料轉(zhuǎn)移到襯底上，所述襯底接受所述被轉(zhuǎn)移的材料作為突起。
2.如權(quán)利要求1所述的成型材料轉(zhuǎn)移方法，還包括在將所述填充凹板的所述凹入部分中的所述成型材料填充到所述轉(zhuǎn)移凹板的所述凹槽中后，將所需厚度的轉(zhuǎn)移材料涂到所述轉(zhuǎn)移凹板的所述表面上。
3.如權(quán)利要求1所述的成型材料轉(zhuǎn)移方法，其中所述填充凹板的所述凹入部分的所述圖案和所述轉(zhuǎn)移凹板的所述凹槽的所述圖案具有彼此相對(duì)應(yīng)的位置關(guān)系。
4.如權(quán)利要求1所述的成型材料轉(zhuǎn)移方法，其中所述填充凹板的所述凹入部分的深度比所述轉(zhuǎn)移凹板的所述凹槽的深度淺，并且所述填充凹板的所述凹入部分的開(kāi)口區(qū)域比所述轉(zhuǎn)移凹板的凹槽的開(kāi)口區(qū)域大。
5.如權(quán)利要求1所述的成型材料轉(zhuǎn)移方法，其中所述填充凹板的所述凹入部分是多個(gè)點(diǎn)，并且所述多個(gè)點(diǎn)和所述轉(zhuǎn)移凹板的所述凹槽的所述圖案具有彼此相對(duì)應(yīng)的位置關(guān)系。
6.如權(quán)利要求1所述的成型材料轉(zhuǎn)移方法，其中所述填充凹板是平面或者柱面形狀，而所述轉(zhuǎn)移凹板是柱面形狀或者可以彎曲。
7.一種用于等離子顯示面板的襯底結(jié)構(gòu)，由包括如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)移方法在內(nèi)的制造方法所制造，其中所述突起是分隔放電空間的肋。
8.一種成型材料轉(zhuǎn)移裝置，包括一個(gè)或者多個(gè)印板滾筒；填充凹板；布置在所述印板滾筒上的轉(zhuǎn)移凹板；用于使所述填充凹板和所述轉(zhuǎn)移凹板部分地接觸的轉(zhuǎn)移凹板接觸機(jī)構(gòu)；成型材料硬化單元；和可選擇的用于所述轉(zhuǎn)移凹板的表面上的成型材料的膜厚調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種用于制造具有突起圖案的襯底的新的且高度可靠的襯底制造技術(shù)，其可以減少在形成突起圖案時(shí)引入氣泡所造成的結(jié)構(gòu)缺陷，可以提高產(chǎn)品的可靠性和產(chǎn)品的產(chǎn)率，不需要例如真空排氣的離線步驟，并且由此提高了生產(chǎn)效率并簡(jiǎn)化了步驟。根據(jù)本發(fā)明，成型材料糊劑被填充到填充凹板的凹入部分中，其上形成有特定凹槽圖案的轉(zhuǎn)移凹板部分地接觸所述填充凹板，成型材料被填充到所述轉(zhuǎn)移凹板的凹槽中，然后成型材料作為突起圖案從轉(zhuǎn)移凹板被轉(zhuǎn)移到襯底。
文檔編號(hào)H01J11/22GK1728319SQ20051005151
公開(kāi)日2006年2月1日 申請(qǐng)日期2005年3月1日 優(yōu)先權(quán)日2004年7月29日
發(fā)明者豊田治, 井上和則, 渡海章 申請(qǐng)人:富士通株式會(huì)社, 株式會(huì)社下一代Pdp研發(fā)中心