專利名稱：格柵狀障壁氣體放電顯示屏的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于氣體放電技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種帶有格柵狀障壁氣體放電顯示屏的制作方法。
背景技術(shù)：
等離子顯示屏是通過氣體放電產(chǎn)生的真空紫外光，照射到紅、綠、藍(lán)三基色熒光粉發(fā)光來實現(xiàn)彩色顯示的平板顯示器件。在通常等離子顯示屏中，顯示屏由前后兩塊面板構(gòu)成，前面板上制作有透明電極，BUS電極，BUS電極位于透明電極之上，兩者統(tǒng)稱為顯示電極，在顯示電極的外側(cè)制作黑條，在顯示電極上再制做一層介質(zhì)層，然后再在介質(zhì)層上用真空蒸鍍方法制作一層MgO保護(hù)膜。在后面板上與前面板顯示電極相互正交的方向制作有尋址電極，尋址電極上制作一層介質(zhì)層覆蓋電極，再在介質(zhì)層上制作條形障壁，并在障壁形成的溝槽中制作熒光粉層。在通常等離子顯示中，前面板和后面板面對面地組合，在其間充入一定壓力的惰性氣體。顯示屏按照尋址電極給出信號進(jìn)行選擇性放電，激發(fā)熒光粉發(fā)光，顯示出畫面。近年來，隨著等離子顯示屏技術(shù)的發(fā)展，出現(xiàn)了一種格柵狀障壁結(jié)構(gòu)，在該結(jié)構(gòu)中，各顯示單元被障壁分隔成了各個獨立的格狀單元，有效的消除了相鄰單元的光電串?dāng)_，同時增大了熒光粉的涂覆面積，提高了發(fā)光效率，在這種格柵狀障壁結(jié)構(gòu)中，水平方向上的高度略低于垂直方向上的高度，這樣就在沿障壁的垂直方向形成了一個排氣的通道，便于放電氣體的流動，利于排氣。這種障壁的制作，通?？梢圆捎媒z網(wǎng)印刷工藝或噴砂工藝。但是采用絲網(wǎng)印刷制作時，要多次精確對位，然后再切削，障壁在切削中易于損壞，切削的精度難以控制，不便于在量產(chǎn)技術(shù)中使用，而采用噴砂工藝制作的工藝流程太繁瑣，材料浪費大，且容易造成環(huán)境污染等。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種制備工藝簡單，形成圖形精確的格柵狀障壁氣體放電顯示屏的制作方法。
達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用的制作方法為首先按照所需制作的格柵狀障壁陣列間距及障壁形成的溝槽寬度要求制作帶有條形障壁通孔的水平障壁掩模板和垂直障壁掩模板，且水平條形障壁通孔的寬度為垂直條形障壁通孔寬度的80～90％；其次通過印刷機將具有感光性能的光敏障壁漿料涂敷在制作有尋址電極和介質(zhì)層的后面板玻璃上，涂敷厚度為200～300μm；在曝光機內(nèi)依次用垂直障壁掩模板和水平障壁掩模板對印刷有光敏障壁漿料的后面板玻璃進(jìn)行曝光，依次形成垂直方向的障壁和水平方向的障壁；通過顯影將沒有曝光的水平方向的障壁進(jìn)行削除，削除量為水平方向障壁高度的10％～20％，然后對水平方向的障壁進(jìn)行二次曝光、燒結(jié)使水平方向障壁的高度為垂直方向障壁的高度的80％～90％；最后在各障壁形成的溝槽中制作熒光粉層后，再與前面板玻璃組合制成氣體放電顯示屏。
由于本發(fā)明采用光敏障壁漿料，在形成障壁時分別采用兩塊圖形相互垂直的掩模板，疊放時形成格柵狀，保證了形成的格柵狀障壁圖形精確的定位。


圖1是本發(fā)明垂直障壁掩模板7的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明水平障壁掩模板9的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本發(fā)明的制作工藝流程圖；圖4是本發(fā)明格柵狀障壁的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
參見圖1，2，首先按照所需制作的格柵狀障壁陣列間距及障壁形成的溝槽寬度要求制作帶有條形障壁通孔的水平障壁掩模板9和垂直障壁掩模板7，且水平條形障壁通孔10的寬度為垂直條形障壁通孔8寬度的80～90％；參見圖3，然后在印刷機上將具有感光性能的光敏障壁漿料涂敷在帶有尋址電極4和介質(zhì)層5的后面板玻璃6上，涂敷厚度為200～300μm，形成連續(xù)的膜層；在曝光機內(nèi)依次用垂直障壁掩模板7和水平障壁掩模板9對印刷有光敏障壁漿料的后面板玻璃6進(jìn)行曝光，紫外光透過掩模板上的條狀障壁通孔照射到已涂敷有光敏障壁漿料的后面板玻璃6上，被紫外光照射到的光敏障壁漿料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，在后面板玻璃6上依次形成垂直方向和水平方向的障壁溝槽，而被掩模板遮擋的部分不與紫外光發(fā)生反應(yīng)，依次形成垂直方向障壁1和水平方向的障壁2；參見圖4，通過顯影將沒有曝光的水平方向的障壁2進(jìn)行削除，削除量為水平方向障壁高度的10％～20％；然后對水平方向的障壁2進(jìn)行二次曝光、燒結(jié)使水平方向障壁2的高度為垂直方向障壁1的高度的80％～90％，在行間就形成了一個利于放電氣體流動及封排時利于排氣的通道；最后在各障壁形成的溝槽中制作熒光粉層3后，再與前面板玻璃組合制成氣體放電顯示屏。
權(quán)利要求
1.格柵狀障壁氣體放電顯示屏的制作方法，其特征在于1)首先按照所需制作的格柵狀障壁陣列間距及障壁形成的溝槽寬度要求制作帶有條形障壁通孔的水平障壁掩模板[9]和垂直障壁掩模板[7]，且水平條形障壁通孔[10]的寬度為垂直條形障壁通孔[8]寬度的80～90％；2)其次通過印刷機將具有感光性能的光敏障壁漿料涂敷在制作有尋址電極[4]和介質(zhì)層[5]的后面板玻璃[6]上，涂敷厚度為200～300μm；3)在曝光機內(nèi)依次用垂直障壁掩模板[7]和水平障壁掩模板[9]對印刷有光敏障壁漿料的后面板玻璃[6]進(jìn)行曝光，依次形成垂直方向的障壁[1]和水平方向的障壁[2]；4)通過顯影將沒有曝光的水平方向的障壁[2]進(jìn)行削除，削除量為水平方向障壁高度的10％～20％，然后對水平方向的障壁[2]進(jìn)行二次曝光、燒結(jié)使水平方向障壁[2]的高度為垂直方向障壁[1]的高度的80％～90％；5)最后在各障壁形成的溝槽中制作熒光粉層[3]后，再與前面板玻璃組合制成氣體放電顯示屏。
全文摘要
格柵狀障壁氣體放電顯示屏的制作方法，首先按照所需制作的格柵狀障壁陣列間距及障壁形成的溝槽寬度要求制作帶有條形障壁通孔的水平障壁掩模板和垂直障壁掩模板，其次通過印刷機將具有感光性能的光敏障壁漿料涂敷在制作有尋址電極和介質(zhì)層的后面板玻璃上，在曝光機內(nèi)依次用垂直障壁掩模板和水平障壁掩模板對印刷有光敏障壁漿料的后面板玻璃進(jìn)行曝光、燒結(jié)使水平方向障壁的高度為垂直方向障壁的高度的80％～90％；最后在各障壁形成的溝槽中制作熒光粉層后，再與前面板玻璃組合制成氣體放電顯示屏。本發(fā)明采用光敏障壁漿料，在形成障壁時分別采用兩塊圖形相互垂直的掩模板，疊放時形成格柵狀，保證了形成的格柵狀障壁圖形精確的定位。
文檔編號H01J9/20GK1619751SQ20041007335
公開日2005年5月25日 申請日期2004年12月6日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月6日
發(fā)明者陸康寧, 周永新 申請人:彩虹集團(tuán)電子股份有限公司