一種多功能光刻去膠網(wǎng)勺的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于光刻技術(shù)領(lǐng)域，涉及光刻去膠工序，具體的涉及光刻去膠網(wǎng)勺。
【背景技術(shù)】
[0002]光刻膠不僅是光刻過程中用作從光刻掩膜板到晶圓片的圖形轉(zhuǎn)移媒介，還是用作刻蝕時(shí)不需刻蝕區(qū)域的保護(hù)膜。當(dāng)刻蝕完成后，光刻膠已經(jīng)不再有用，需要用剝離液將其徹底去除，即去膠。傳統(tǒng)去膠工藝流程為:剝離液倒入燒杯加熱—將基片放入燒杯去膠—搖晃燒杯使去膠充分—鑷子夾起基片觀察去膠效果—去膠完成。具體為:a)將去膠用的剝離液倒入IOOOmL燒杯中，放置在密封電爐上加熱;b)待剝離液溫度升至規(guī)定溫度，將基片放入燒杯中加熱；c)為使基片能夠充分均勻去膠，需要將燒杯輕微搖晃，以提高去膠效果;d)隨時(shí)用鑷子夾起基片，觀察去膠效果;e)如果光刻膠已去除干凈，則去膠工序完成。
[0003]采用傳統(tǒng)工藝存在以下問題：
[0004]A、剝離液加熱溫度不好控制：因?yàn)槊芊怆姞t一直在給燒杯加熱，所以杯中剝離液溫度不好控制，如果溫度過高就需要及時(shí)將燒杯從密封電爐上拿下降溫。所以一邊去膠，一邊還要時(shí)刻注意剝離液溫度很容易出錯(cuò)，經(jīng)常使剝離液溫度失控，導(dǎo)致去膠效果不理想。而在燒杯中放置單獨(dú)溫度計(jì)，還需另外觀察溫度計(jì)度數(shù)，增加了操作難度系數(shù)。
[0005]B、被剝離基片一次最多只能兩片：因?yàn)橐S時(shí)夾起基片觀察去膠效果，所以每次就不能放置太多基片，否則容易出現(xiàn)基片觀察不及時(shí)，使基片過量去膠，導(dǎo)致產(chǎn)品的后續(xù)質(zhì)量受到影響。
[0006]C、搖晃時(shí)易損傷基片和燒杯:在加熱時(shí)，為了使基片能夠快速、充分去膠，需要將燒杯輕微搖晃，雖然力量不是很大，但由于基片的材質(zhì)很脆，所以極容易將基片邊緣磕崩邊、崩角，嚴(yán)重時(shí)會使基片磕裂，為以后的使用留下隱患；而且燒杯也是玻璃的，在不斷與基片的撞擊下，也很容易碎裂。
[0007]D、鑷子夾基片易損傷基片：因?yàn)樵诩訜徇^程當(dāng)中，要隨時(shí)用鑷子將基片夾起來觀察去膠效果，而鑷子本身又是金屬材質(zhì)，極易出現(xiàn)將基片夾傷的情況，而且鑷子操作起來有一定危險(xiǎn)性，稍不注意，將基片跌落，基片便會摔碎，造成損失。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本實(shí)用新型為解決現(xiàn)有技術(shù)問題，提供了一種可測溫、可固定、同時(shí)能為多個(gè)基片去膠的多功能光刻去膠網(wǎng)勺。
[0009]本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為：一種多功能光刻去膠網(wǎng)勺，包括網(wǎng)勺頭、勺柄，所述網(wǎng)勺頭為方型，網(wǎng)勺頭內(nèi)設(shè)有一組隔網(wǎng)。
[0010]進(jìn)一步地，所述勺柄上設(shè)有數(shù)顯溫度計(jì)，其中數(shù)顯溫度計(jì)的探頭端位于網(wǎng)勺頭處，數(shù)顯溫度計(jì)的顯示裝置設(shè)于勺柄上端。
[0011]進(jìn)一步地，所述勺柄上設(shè)有夾子。
[0012]進(jìn)一步地，所述勺柄頂端設(shè)有懸掛孔。
[0013]進(jìn)一步地，所述網(wǎng)勺頭材質(zhì)為銅，勺柄材質(zhì)為不銹鋼。
[0014]進(jìn)一步地，所述網(wǎng)勺頭寬高為60*60mm，網(wǎng)勺高為20cm。
[0015]進(jìn)一步地，所述隔網(wǎng)數(shù)量為5~8片。
[0016]本實(shí)用新型的有益效果為:使用本實(shí)用新型對光刻工藝中進(jìn)行去膠操作，具有效率高、方便快捷、溫度可控、便于觀察、易放置等特點(diǎn)。
[0017]a、可同時(shí)去膠多個(gè)基片：本實(shí)用新型采用內(nèi)部設(shè)有一組隔網(wǎng)的方型網(wǎng)勺頭，形成的每個(gè)槽同基片形狀一致，且比常規(guī)基片略大，因此每次可以放置多個(gè)基片，大大提高了工作效率。
[0018]b、溫度可控:本實(shí)用新型帶有數(shù)顯溫度計(jì)，可隨時(shí)在操作當(dāng)中觀察剝離液的溫度，時(shí)刻保證剝離液在最佳狀態(tài)，保證了去膠效果。
[0019]C、可固定在燒杯上:本實(shí)用新型在勺柄上設(shè)有夾子，可借助夾子將本實(shí)用新型穩(wěn)穩(wěn)的固定在燒杯上，避免了基片與燒杯的碰撞；同時(shí)也能防止在用鑷子夾取基片觀察去膠效果時(shí)失手跌落基片的問題。
[0020]d、便于觀察：采用本實(shí)用新型可直接觀察基片的去膠效果，不必用鑷子一片一片的夾起基片觀察，有效防止出現(xiàn)鑷子將基片邊緣夾壞夾崩的現(xiàn)象，且觀察去膠效果也更便捷。
[0021]e、易防止:本實(shí)用新型使用完畢、沖洗干凈后，可懸掛，干凈衛(wèi)生。
【附圖說明】
[0022]圖I為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)不意圖。
[0023]其中：I代表網(wǎng)勺頭、2代表勺柄、3代表隔網(wǎng)、4代表數(shù)顯溫度計(jì)的顯示裝置、5代表夾子、6代表懸掛孔。
【具體實(shí)施方式】
[0024]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明
[0025]如圖I所示，一種多功能光刻去膠網(wǎng)勺，包括方型網(wǎng)勺頭I、勺柄2，網(wǎng)勺頭I內(nèi)設(shè)有一組隔網(wǎng)3。勺柄2上設(shè)有數(shù)顯溫度計(jì)和夾子5，其中溫度計(jì)的探頭端位于網(wǎng)勺頭處，溫度計(jì)的顯示裝置4設(shè)于勺柄2上端。勺柄2頂端設(shè)有懸掛孔6。
[0026]網(wǎng)勺頭I材質(zhì)為銅，勺柄2材質(zhì)為不銹鋼。網(wǎng)勺頭I寬高為60*60mm，網(wǎng)勺高為20cm。隔網(wǎng)3數(shù)量為5片
[0027]具體實(shí)施時(shí):將多個(gè)去膠基片放入網(wǎng)勺頭I中，然后將網(wǎng)勺伸入含有剝離液的燒杯中；夾子5夾住燒杯壁，將網(wǎng)勺固定在燒杯上;搖晃燒杯，網(wǎng)勺跟著一起晃動(dòng)，達(dá)到去膠效果；時(shí)時(shí)觀察數(shù)顯溫度計(jì)的顯示裝置4上的度數(shù)，控制剝離液溫度;觀察去膠情況時(shí)，松開夾子5，上提網(wǎng)勺觀察基片去膠情況;去膠完成后，將基片取出，及時(shí)沖洗網(wǎng)勺，借助懸掛孔6將網(wǎng)勺懸掛起來即可。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種多功能光刻去膠網(wǎng)勺，包括網(wǎng)勺頭（I)、勺柄(2)，其特征在于:所述網(wǎng)勺頭（I)為方型，網(wǎng)勺頭（I)內(nèi)設(shè)有一組隔網(wǎng)（3)。2.根據(jù)權(quán)利要求I所述一種多功能光刻去膠網(wǎng)勺，其特征在于:所述勺柄(2)上設(shè)有數(shù)顯溫度計(jì)，其中數(shù)顯溫度計(jì)的探頭端位于網(wǎng)勺頭（I)處，數(shù)顯溫度計(jì)的顯示裝置(4)設(shè)于勺柄上端。3.根據(jù)權(quán)利要求I所述一種多功能光刻去膠網(wǎng)勺，其特征在于:所述勺柄(2)上設(shè)有夾子(5) ο4.根據(jù)權(quán)利要求I所述一種多功能光刻去膠網(wǎng)勺，其特征在于:所述勺柄(2)頂端設(shè)有懸掛孔(6)。5.根據(jù)權(quán)利要求I所述一種多功能光刻去膠網(wǎng)勺，其特征在于:所述網(wǎng)勺頭（I)材質(zhì)為銅，勺柄(2)材質(zhì)為不銹鋼。6.根據(jù)權(quán)利要求I所述一種多功能光刻去膠網(wǎng)勺，其特征在于:所述網(wǎng)勺頭（I)寬高為60*60mm，網(wǎng)勺高為 20cm。7.根據(jù)權(quán)利要求I所述一種多功能光刻去膠網(wǎng)勺，其特征在于:所述隔網(wǎng)（3)數(shù)量為5?8片。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種多功能光刻去膠網(wǎng)勺，包括網(wǎng)勺頭、勺柄，網(wǎng)勺頭為方型，網(wǎng)勺頭內(nèi)設(shè)有一組隔網(wǎng)。勺柄上設(shè)有數(shù)顯溫度計(jì)和夾子，其中溫度計(jì)的探頭端位于網(wǎng)勺頭處，溫度計(jì)的顯示裝置設(shè)于勺柄上端。勺柄頂端設(shè)有掛孔。使用本實(shí)用新型對光刻工藝中進(jìn)行去膠操作，具有效率高、方便快捷、溫度可控、便于觀察、易放置等特點(diǎn)。
【IPC分類】G03F7/42
【公開號】CN205157972
【申請?zhí)枴緾N201520979787
【發(fā)明人】王煒, 韓建棟
【申請人】石家莊?？齐娮涌萍加邢薰?br>【公開日】2016年4月13日
【申請日】2015年12月1日