一種光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在對(duì)觸摸屏的基板曝光作業(yè)中，對(duì)玻璃基板上光刻膠的厚度及平面均勻性要求極高，涂膠品質(zhì)差則容易造成曝光時(shí)局部過(guò)度曝光或曝光度不夠、視覺(jué)對(duì)位不準(zhǔn)確、線路的線寬線距不達(dá)標(biāo)、設(shè)備運(yùn)行不穩(wěn)定等等一系列影響。
[0003]現(xiàn)行的工作模式，平衡調(diào)節(jié)的方式是采用手動(dòng)調(diào)節(jié)好后進(jìn)行固定鎖緊的硬性連接，基于調(diào)整結(jié)構(gòu)在不斷運(yùn)動(dòng)磨合中的不穩(wěn)定性，缺少平衡自動(dòng)實(shí)時(shí)監(jiān)控反饋并實(shí)時(shí)修復(fù)的功能，導(dǎo)致涂布在玻璃基板上光刻膠或厚或薄極不均勻，每片基板的涂布效果各異，或出現(xiàn)膠面折皺波紋，或直接損傷玻璃基板等等不良結(jié)果，極大的影響后繼曝光工藝品質(zhì)，降低良品率，增加成本，加大勞動(dòng)強(qiáng)度。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)存在以下缺陷:
[0005]1、手動(dòng)調(diào)整平衡平行度操作難度大，誤差大，耗時(shí)長(zhǎng)，效率低；
[0006]2、結(jié)構(gòu)不穩(wěn)定造成膠液涂布平面均勻性差、波紋，品質(zhì)不穩(wěn)定；
[0007]3、涂布間隙無(wú)法精確保證，造成膠液涂布時(shí)損傷玻璃基板表面；
[0008]4、無(wú)法實(shí)時(shí)監(jiān)控及報(bào)警提示，自動(dòng)化作業(yè)時(shí)易造成批量性不良；
[0009]5、后繼生產(chǎn)工藝升級(jí)受到限制。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0010]本實(shí)用新型提出一種光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置，解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，克服了手動(dòng)調(diào)整平衡平行度操作難度大，誤差大，耗時(shí)長(zhǎng)，效率低等問(wèn)題。
[0011]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:一種光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置，所述光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置包括兩個(gè)機(jī)構(gòu)固定座、涂膠刮刀、涂膠刮刀龍門架、兩個(gè)龍門架活性自動(dòng)補(bǔ)償機(jī)構(gòu)、兩套步進(jìn)減速電機(jī)、兩個(gè)絲桿模組、兩個(gè)實(shí)時(shí)平衡檢測(cè)反饋元件，所述涂膠刮刀龍門架安裝在兩個(gè)機(jī)構(gòu)固定座之間，所述涂膠刮刀安裝在所述涂膠刮刀龍門架上；兩個(gè)龍門架活性自動(dòng)補(bǔ)償機(jī)構(gòu)安裝在所述涂膠刮刀龍門架的同一端與所述涂膠刮刀龍門架活動(dòng)連接，且與所述機(jī)構(gòu)固定座連接；一個(gè)步進(jìn)減速電機(jī)安裝在一個(gè)機(jī)構(gòu)固定座，所述步進(jìn)減速電機(jī)的輸出端通過(guò)絲桿模組與所述涂膠刮刀龍門架的一端活動(dòng)連接，兩個(gè)實(shí)時(shí)平衡檢測(cè)反饋元件沿水平方向安裝在所述涂膠刮刀龍門架上。
[0012]進(jìn)一步，所述涂膠刮刀龍門架包括刀架A梁座、刀架B梁座、兩個(gè)刮刀安裝塊，所述刀架A梁座與所述刀架B梁座相互配合安裝在兩個(gè)機(jī)構(gòu)固定座之間，兩個(gè)刮刀安裝塊安裝在所述刀架A梁座與所述刀架B梁座之間，一個(gè)龍門架活性自動(dòng)補(bǔ)償機(jī)構(gòu)通過(guò)所述刀架A梁座與所述機(jī)構(gòu)固定座連接，另一個(gè)龍門架活性自動(dòng)補(bǔ)償機(jī)構(gòu)通過(guò)所述刀架B梁座與所述機(jī)構(gòu)固定座連接。
[0013]進(jìn)一步，所述龍門架活性自動(dòng)補(bǔ)償機(jī)構(gòu)包括依次連接的梁壁軸承壓塊、第一 V型導(dǎo)軌、刀架軸承壓塊、軸承、第二 V型導(dǎo)軌、梁壁滑塊。
[0014]進(jìn)一步，所述實(shí)時(shí)平衡檢測(cè)反饋元件包括依次連接的激光位移傳感器、傳感器安裝板、調(diào)節(jié)平臺(tái)、位移平臺(tái)安裝座、滑軌，所述滑軌安裝在所述刀架A梁座上，所述位移平臺(tái)安裝座與所述滑軌滑動(dòng)連接，所述激光位移傳感器的電信號(hào)輸出端與所述步進(jìn)減速電機(jī)電連接。
[0015]進(jìn)一步，所述光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置包括兩個(gè)光電感應(yīng)開(kāi)關(guān)，每套步進(jìn)減速電機(jī)與一個(gè)光電感應(yīng)開(kāi)關(guān)電性連接。
[0016]本實(shí)用新型的有益效果為:本實(shí)用新型的光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置，提升了工藝品質(zhì)，降代了成本，同時(shí)優(yōu)化后繼生產(chǎn)工藝升級(jí)的基礎(chǔ)。
[0017]1、設(shè)計(jì)工藝更加先進(jìn)，科學(xué)合理；
[0018]2、以其靈敏的平衡自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，以及對(duì)間隙精確的實(shí)時(shí)控制，可在玻璃基板上涂布厚度3um以上，平面均勻性優(yōu)良的光刻膠；
[0019]3、龍門架兩端采用進(jìn)口步進(jìn)減速電機(jī)+高清研磨絲桿驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)工作中尺寸精確補(bǔ)償修正；
[0020]4、、龍門架聯(lián)接具備活性自動(dòng)補(bǔ)償功能，防止機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)中卡死；
[0021]5、實(shí)時(shí)自動(dòng)檢測(cè)反饋系統(tǒng)與兩端步進(jìn)驅(qū)動(dòng)進(jìn)行數(shù)據(jù)通訊交換，保證涂膠刮刀與玻璃基板在工作運(yùn)動(dòng)中的間隙、精準(zhǔn)平行度，從而保證涂膠品質(zhì)，提升良品質(zhì)，節(jié)約光刻膠用量成本；
[0022]6、平衡調(diào)節(jié)自動(dòng)化極大降低工人操作疲勞強(qiáng)度，節(jié)省時(shí)間，或者直接減少設(shè)備所需操作人員數(shù)量；
[0023]7、使操作變得方便，快捷，容易。
【附圖說(shuō)明】
[0024]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0025]圖1為本實(shí)用新型一種光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置一個(gè)實(shí)施例的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖2為圖1所示光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置的拆分結(jié)構(gòu)示意圖。
[0027]附圖中:1_步進(jìn)減速電機(jī)；2_絲桿模組；3_涂膠刮刀龍門架；4_涂膠刮刀；5-實(shí)時(shí)平衡檢測(cè)反饋元件；6_龍門架活性自動(dòng)補(bǔ)償機(jī)構(gòu)；7_機(jī)構(gòu)固定座；20_梁壁軸承壓塊；21-刀架軸承壓塊；22_軸承；23_激光位移傳感器；24_傳感器安裝板；25_調(diào)節(jié)平臺(tái)；26-位移平臺(tái)安裝座；27_滑軌；28_刮刀安裝塊；29-V型導(dǎo)軌；30_梁壁滑塊；31_軸承墊圈；34_刀架A梁座；35_刀架B梁座。
【具體實(shí)施方式】
[0028]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
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