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一種光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置的制造方法

文檔序號(hào):9087685閱讀:479來(lái)源:國(guó)知局
一種光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在對(duì)觸摸屏的基板曝光作業(yè)中,對(duì)玻璃基板上光刻膠的厚度及平面均勻性要求極高,涂膠品質(zhì)差則容易造成曝光時(shí)局部過(guò)度曝光或曝光度不夠、視覺(jué)對(duì)位不準(zhǔn)確、線路的線寬線距不達(dá)標(biāo)、設(shè)備運(yùn)行不穩(wěn)定等等一系列影響。
[0003]現(xiàn)行的工作模式,平衡調(diào)節(jié)的方式是采用手動(dòng)調(diào)節(jié)好后進(jìn)行固定鎖緊的硬性連接,基于調(diào)整結(jié)構(gòu)在不斷運(yùn)動(dòng)磨合中的不穩(wěn)定性,缺少平衡自動(dòng)實(shí)時(shí)監(jiān)控反饋并實(shí)時(shí)修復(fù)的功能,導(dǎo)致涂布在玻璃基板上光刻膠或厚或薄極不均勻,每片基板的涂布效果各異,或出現(xiàn)膠面折皺波紋,或直接損傷玻璃基板等等不良結(jié)果,極大的影響后繼曝光工藝品質(zhì),降低良品率,增加成本,加大勞動(dòng)強(qiáng)度。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)存在以下缺陷:
[0005]1、手動(dòng)調(diào)整平衡平行度操作難度大,誤差大,耗時(shí)長(zhǎng),效率低;
[0006]2、結(jié)構(gòu)不穩(wěn)定造成膠液涂布平面均勻性差、波紋,品質(zhì)不穩(wěn)定;
[0007]3、涂布間隙無(wú)法精確保證,造成膠液涂布時(shí)損傷玻璃基板表面;
[0008]4、無(wú)法實(shí)時(shí)監(jiān)控及報(bào)警提示,自動(dòng)化作業(yè)時(shí)易造成批量性不良;
[0009]5、后繼生產(chǎn)工藝升級(jí)受到限制。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0010]本實(shí)用新型提出一種光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置,解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷,克服了手動(dòng)調(diào)整平衡平行度操作難度大,誤差大,耗時(shí)長(zhǎng),效率低等問(wèn)題。
[0011]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:一種光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置,所述光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置包括兩個(gè)機(jī)構(gòu)固定座、涂膠刮刀、涂膠刮刀龍門架、兩個(gè)龍門架活性自動(dòng)補(bǔ)償機(jī)構(gòu)、兩套步進(jìn)減速電機(jī)、兩個(gè)絲桿模組、兩個(gè)實(shí)時(shí)平衡檢測(cè)反饋元件,所述涂膠刮刀龍門架安裝在兩個(gè)機(jī)構(gòu)固定座之間,所述涂膠刮刀安裝在所述涂膠刮刀龍門架上;兩個(gè)龍門架活性自動(dòng)補(bǔ)償機(jī)構(gòu)安裝在所述涂膠刮刀龍門架的同一端與所述涂膠刮刀龍門架活動(dòng)連接,且與所述機(jī)構(gòu)固定座連接;一個(gè)步進(jìn)減速電機(jī)安裝在一個(gè)機(jī)構(gòu)固定座,所述步進(jìn)減速電機(jī)的輸出端通過(guò)絲桿模組與所述涂膠刮刀龍門架的一端活動(dòng)連接,兩個(gè)實(shí)時(shí)平衡檢測(cè)反饋元件沿水平方向安裝在所述涂膠刮刀龍門架上。
[0012]進(jìn)一步,所述涂膠刮刀龍門架包括刀架A梁座、刀架B梁座、兩個(gè)刮刀安裝塊,所述刀架A梁座與所述刀架B梁座相互配合安裝在兩個(gè)機(jī)構(gòu)固定座之間,兩個(gè)刮刀安裝塊安裝在所述刀架A梁座與所述刀架B梁座之間,一個(gè)龍門架活性自動(dòng)補(bǔ)償機(jī)構(gòu)通過(guò)所述刀架A梁座與所述機(jī)構(gòu)固定座連接,另一個(gè)龍門架活性自動(dòng)補(bǔ)償機(jī)構(gòu)通過(guò)所述刀架B梁座與所述機(jī)構(gòu)固定座連接。
[0013]進(jìn)一步,所述龍門架活性自動(dòng)補(bǔ)償機(jī)構(gòu)包括依次連接的梁壁軸承壓塊、第一 V型導(dǎo)軌、刀架軸承壓塊、軸承、第二 V型導(dǎo)軌、梁壁滑塊。
[0014]進(jìn)一步,所述實(shí)時(shí)平衡檢測(cè)反饋元件包括依次連接的激光位移傳感器、傳感器安裝板、調(diào)節(jié)平臺(tái)、位移平臺(tái)安裝座、滑軌,所述滑軌安裝在所述刀架A梁座上,所述位移平臺(tái)安裝座與所述滑軌滑動(dòng)連接,所述激光位移傳感器的電信號(hào)輸出端與所述步進(jìn)減速電機(jī)電連接。
[0015]進(jìn)一步,所述光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置包括兩個(gè)光電感應(yīng)開(kāi)關(guān),每套步進(jìn)減速電機(jī)與一個(gè)光電感應(yīng)開(kāi)關(guān)電性連接。
[0016]本實(shí)用新型的有益效果為:本實(shí)用新型的光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置,提升了工藝品質(zhì),降代了成本,同時(shí)優(yōu)化后繼生產(chǎn)工藝升級(jí)的基礎(chǔ)。
[0017]1、設(shè)計(jì)工藝更加先進(jìn),科學(xué)合理;
[0018]2、以其靈敏的平衡自動(dòng)調(diào)節(jié)功能,以及對(duì)間隙精確的實(shí)時(shí)控制,可在玻璃基板上涂布厚度3um以上,平面均勻性優(yōu)良的光刻膠;
[0019]3、龍門架兩端采用進(jìn)口步進(jìn)減速電機(jī)+高清研磨絲桿驅(qū)動(dòng),實(shí)現(xiàn)工作中尺寸精確補(bǔ)償修正;
[0020]4、、龍門架聯(lián)接具備活性自動(dòng)補(bǔ)償功能,防止機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)中卡死;
[0021]5、實(shí)時(shí)自動(dòng)檢測(cè)反饋系統(tǒng)與兩端步進(jìn)驅(qū)動(dòng)進(jìn)行數(shù)據(jù)通訊交換,保證涂膠刮刀與玻璃基板在工作運(yùn)動(dòng)中的間隙、精準(zhǔn)平行度,從而保證涂膠品質(zhì),提升良品質(zhì),節(jié)約光刻膠用量成本;
[0022]6、平衡調(diào)節(jié)自動(dòng)化極大降低工人操作疲勞強(qiáng)度,節(jié)省時(shí)間,或者直接減少設(shè)備所需操作人員數(shù)量;
[0023]7、使操作變得方便,快捷,容易。
【附圖說(shuō)明】
[0024]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,顯而易見(jiàn)地,下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0025]圖1為本實(shí)用新型一種光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置一個(gè)實(shí)施例的立體結(jié)構(gòu)示意圖;
[0026]圖2為圖1所示光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置的拆分結(jié)構(gòu)示意圖。
[0027]附圖中:1_步進(jìn)減速電機(jī);2_絲桿模組;3_涂膠刮刀龍門架;4_涂膠刮刀;5-實(shí)時(shí)平衡檢測(cè)反饋元件;6_龍門架活性自動(dòng)補(bǔ)償機(jī)構(gòu);7_機(jī)構(gòu)固定座;20_梁壁軸承壓塊;21-刀架軸承壓塊;22_軸承;23_激光位移傳感器;24_傳感器安裝板;25_調(diào)節(jié)平臺(tái);26-位移平臺(tái)安裝座;27_滑軌;28_刮刀安裝塊;29-V型導(dǎo)軌;30_梁壁滑塊;31_軸承墊圈;34_刀架A梁座;35_刀架B梁座。
【具體實(shí)施方式】
[0028]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
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