基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，至少包括：石墨烯波導(dǎo)、第一石墨烯帶及第二石墨烯帶；第一石墨烯帶及第二石墨烯帶位于石墨烯波導(dǎo)的同一側(cè)，且均平行于石墨烯波導(dǎo)；第一石墨烯帶與石墨烯波導(dǎo)具有第一預(yù)設(shè)間距，第二石墨烯帶與石墨烯波導(dǎo)具有第二預(yù)設(shè)間距。本發(fā)明通過采用了石墨烯波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，并在所述石墨烯波導(dǎo)同一側(cè)設(shè)置具有預(yù)設(shè)間距的第一石墨烯帶及第二石墨烯帶，相對于金屬結(jié)構(gòu)，其能夠通過調(diào)整所述第一石墨烯帶及所述第二石墨烯帶的費米能級動態(tài)調(diào)制光致透明的頻率范圍；相對于其他類型的平面結(jié)構(gòu)，本發(fā)明的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)尺寸更小，更易于制作和集成；同時在本發(fā)明的結(jié)構(gòu)中，能夠同時實現(xiàn)對稱和非對稱的光致透明窗口。
【專利說明】
基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明屬于光學(xué)器件領(lǐng)域，特別是涉及一種基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié) 構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002] 光致透明是一種量子干涉效應(yīng)，由于不同躍迀路徑的干涉效應(yīng)，使得在原子體系 吸收譜上出現(xiàn)一個透明窗口。光致透明在慢光、增強(qiáng)非線性、光型號處理以及光開關(guān)方面有 著許多應(yīng)用，然而量子體系的光致透明由于需要極端條件而難以實現(xiàn)。因此人們逐漸關(guān)注 在經(jīng)典光學(xué)體系實現(xiàn)這種效應(yīng)。目前實現(xiàn)光致透明的方案包括基于金屬的平面特異材料結(jié) 構(gòu)和金屬-絕緣體-金屬的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)。對于這些金屬結(jié)構(gòu)，一旦制作好對它的頻率調(diào)控就 比較困難，因此這類結(jié)構(gòu)工作波段固定，可調(diào)性較差。
[0003] 石墨烯是一種碳原子按六角晶格排布的二維材料。石墨烯的光學(xué)特征能夠通過改 變它的費米能級來動態(tài)調(diào)制。因此石墨烯是制作可調(diào)光學(xué)器件的理想材料。同時石墨烯還 能夠在很寬的頻譜范圍內(nèi)（太赫茲到紅外）支持表面等離激元，有利于器件小型化。在石 墨烯的平面結(jié)構(gòu)中，人們已經(jīng)可以實現(xiàn)動態(tài)可調(diào)的光致透明，然而這種結(jié)構(gòu)由于需要垂直 入射條件，因此器件尺寸會比較大，不利于光路集成；而且這類結(jié)構(gòu)需要將石墨烯刻成周期 性圖案，制造上也存在難度。
[0004] 因此，研制出尺寸更小、易于集成和制作的光致透明器件今后發(fā)展集成光路的重 要和有意義的工作。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本發(fā)明的目的在于提供一種基于石墨烯的可調(diào)光 致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中光致透明器件存在的尺寸較大、制作工藝難度大、可 調(diào)性差的問題。
[0006] 為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本發(fā)明提供一種基于石墨烯的可調(diào)光致透明波 導(dǎo)結(jié)構(gòu)，所述基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)至少包括：石墨烯波導(dǎo)、第一石墨烯帶及 第二石墨烯帶；其中，所述第一石墨烯帶及所述第二石墨烯帶位于所述石墨烯波導(dǎo)的同一 側(cè)，且均平行于所述石墨烯波導(dǎo)；所述第一石墨烯帶與所述石墨烯波導(dǎo)具有第一預(yù)設(shè)間距， 所述第二石墨烯帶與所述石墨烯波導(dǎo)具有第二預(yù)設(shè)間距。
[0007] 優(yōu)選地，所述第一石墨烯帶的形狀和尺寸與所述第二石墨烯帶的形狀和尺寸相 同。
[0008] 優(yōu)選地，所述第一石墨稀帶及所述第二石墨稀帶的寬度小于所述石墨稀波導(dǎo)的寬 度。
[0009] 優(yōu)選地，所述第一石墨稀帶及所述第二石墨稀帶的寬度為200nm~300nm。
[0010] 優(yōu)選地，所述第一石墨稀帶及所述第二石墨稀帶的寬度為250nm。
[0011] 優(yōu)選地，所述第一預(yù)設(shè)間距為150nm~250nm，所述第二預(yù)設(shè)間距為500nm~ 600nm〇
[0012] 優(yōu)選的，所述第一預(yù)設(shè)間距為200nm，所述第二預(yù)設(shè)間距為550nm。
[0013] 優(yōu)選地，所述第一石墨稀帶的中心及所述第二石墨稀帶的中心在所述石墨稀波導(dǎo) 上的投影與所述石墨烯波導(dǎo)的中心相重合。
[0014] 優(yōu)選地，還包括介質(zhì)層，所述石墨稀波導(dǎo)、所述第一石墨稀帶及所述第二石墨稀帶 完全埋入在所述介質(zhì)層內(nèi)。
[0015] 優(yōu)選地，所述介質(zhì)層為二氧化硅層。
[0016] 如上所述，本發(fā)明的基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，具有以下有益效果：本 發(fā)明通過采用了石墨烯波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，并在所述石墨烯波導(dǎo)同一側(cè)設(shè)置具有預(yù)設(shè)間距的第一石 墨烯帶及第二石墨烯帶，相對于金屬結(jié)構(gòu)，其能夠通過調(diào)整所述第一石墨烯帶及所述第二 石墨烯帶的費米能級動態(tài)調(diào)制光致透明的頻率范圍；相對于其他類型的平面結(jié)構(gòu)，本發(fā)明 的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)尺寸更小，更易于制作和集成；同時在本發(fā)明的結(jié)構(gòu)中，能夠同時實現(xiàn)對稱和非 對稱的光致透明窗口。
【附圖說明】
[0017] 圖1顯示為本發(fā)明的基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的三維結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018] 圖2顯示為本發(fā)明的基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的正視圖。
[0019] 圖3顯示為本發(fā)明的基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)在石墨烯波導(dǎo)的費米 能級為140meV，第一石墨稀帶及第二石墨稀帶的費米能級為160emV條件下的透射譜。
[0020] 圖4顯示為本發(fā)明的基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)隨第一石墨烯帶及第 二石墨烯帶的費米能級變化的透射譜。
[0021] 圖5顯示為本發(fā)明的基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的隨第一石墨烯帶及 第二石墨烯帶的費米能級變化的透明窗口的透射峰頻率。
[0022] 圖6顯示為本發(fā)明的基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)在第一石墨烯帶費米 能級為160emV固定不變的條件下，隨第二石墨稀帶費米能級變化的透射譜。
[0023] 元件標(biāo)號說明
[0024] 1 石墨烯波導(dǎo)
[0025] 2 第一一石墨烯帶
[0026] 3 第二石墨烯帶
[0027] 4 介質(zhì)層
[0028] 山第一預(yù)設(shè)間距
[0029] d2第二預(yù)設(shè)間距
【具體實施方式】
[0030] 以下由特定的具體實施例說明本發(fā)明的實施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說明 書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點及功效。
[0031] 請參閱圖1至圖6。須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用 以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本發(fā)明可 實施的限定條件，故不具技術(shù)上的實質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào) 整，在不影響本發(fā)明所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本發(fā)明所揭示的技 術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時，本說明書中所引用的如"上"、"下"、"左"、"右"、"中間"及 "一"等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本發(fā)明可實施的范圍，其相對關(guān)系的 改變或調(diào)整，在無實質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本發(fā)明可實施的范疇。
[0032] 如圖1至圖2所示，本發(fā)明提供一種基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，所述基 于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)至少包括：石墨烯波導(dǎo)1、第一石墨烯帶2及第二石墨烯 帶3 ;其中，所述第一石墨烯帶2及所述第二石墨烯帶3位于所述石墨烯波導(dǎo)1的同一側(cè)， 且均平行于所述石墨烯波導(dǎo)1 ;所述第一石墨烯帶2與所述石墨烯波導(dǎo)1具有第一預(yù)設(shè)間 距，所述第二石墨烯帶3與所述石墨烯波導(dǎo)1具有第二預(yù)設(shè)間距。
[0033] 具體的，所述石墨烯波導(dǎo)1能夠支持表面等離激元的傳播，所述石墨烯波導(dǎo)1包括 一上表面及以下表面；所述第一石墨烯帶2及所述第二石墨烯帶3可以均位于所述石墨烯 波導(dǎo)1上表面的上方，也可以均位于所述石墨烯波導(dǎo)1下表面的下方；在一實施例中，所述 第一石墨烯帶2及所述第二石墨烯帶3均位于所述石墨烯波導(dǎo)1上表面的上方。
[0034] 具體的，所述第一石墨烯帶2的形狀和尺寸與所述第二石墨烯帶3的形狀和尺寸 相同。在本實施例中，所述石墨稀波導(dǎo)1、所述第一石墨稀帶2及所述第二石墨稀帶3為二 維結(jié)構(gòu)，所述第一石墨烯帶2及所述第二石墨烯帶3的寬度（沿X軸方向的尺寸）小于所 述石墨烯波導(dǎo)1的寬度（沿X軸方向的尺寸），所述第一石墨烯帶2的長度（沿Z軸方向的 尺寸）、所述第二石墨烯帶3的長度（沿Z軸方向的尺寸）及所述石墨烯波導(dǎo)1的長度（沿 Z軸方向的尺寸）則可以根據(jù)實際需要設(shè)定所需的尺寸，甚至無限延伸。
[0035] 具體的，所述第一石墨稀帶2及所述第二石墨稀帶3的寬度為200nm~300nm ;更 為具體的，所述第一石墨稀帶2及所述第二石墨稀帶3的寬度為250nm。
[0036] 具體的，所述第一石墨烯帶2及所述第二石墨烯帶3上下對應(yīng)地分布于所述石墨 稀波導(dǎo)1的同一側(cè)，即所述第一石墨稀帶2及所述第二石墨稀帶3在所述石墨稀波導(dǎo)1上 的投影完全重合。所述第一石墨烯帶2距離所述石墨烯波導(dǎo)1的第一預(yù)設(shè)間距為150nm~ 250nm，所述第二石墨稀帶3距離所述石墨稀波導(dǎo)1的第二預(yù)設(shè)間距為500nm~600nm ;優(yōu) 選地，本實施例中，所述第一石墨稀帶2距離所述石墨稀波導(dǎo)1的第一預(yù)設(shè)間距為200nm，所 述第二石墨稀帶3距離所述石墨稀波導(dǎo)1的第二預(yù)設(shè)間距為550nm ;即所述第一石墨稀帶2 距離所述石墨烯波導(dǎo)1較近，而所述第二石墨烯帶3距離所述石墨烯波導(dǎo)1較遠(yuǎn)，距離所述 石墨烯波導(dǎo)1較近的所述第一石墨烯帶2能夠直接和在所述石墨烯波導(dǎo)1上的表面波發(fā)生 相互作用，因此扮演明態(tài)，距離所述石墨烯波導(dǎo)1較遠(yuǎn)的所述第二石墨烯帶3能夠與所述第 一石墨烯帶2耦合，但不能與所述石墨烯波導(dǎo)1上的表面波發(fā)生相互作用，因此扮演暗態(tài)。
[0037] 具體的，所述第一石墨稀帶2及所述第二石墨稀帶3位于所述石墨稀波導(dǎo)1中心 的上方，即所述第一石墨稀帶2的中心及所述第二石墨稀帶3的中心在所述石墨稀波導(dǎo)1 上的投影與所述石墨烯波導(dǎo)1的中心相重合。
[0038] 具體的，所述基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)還包括一介質(zhì)層4,所述石墨烯 波，1、所述第一石墨烯帶2及所述第二石墨烯帶3完全埋入在所述介質(zhì)層4內(nèi)。優(yōu)選地，本 實施例中，所述介質(zhì)層4為二氧化硅層；更為優(yōu)選地，所述二氧化硅層為折射率為2. 25的二 氧化硅層。
[0039] 本發(fā)明的工作原理如下：
[0040] 本發(fā)明提出的基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中位于底部的所述石墨烯波 導(dǎo)1能夠支持表面等離激元的傳播，由所述石墨烯波導(dǎo)1左端入射的表面模式在所述石墨 烯波導(dǎo)1中傳播過程中會與位置較低的所述第一石墨烯帶2上的局域表面等離激元模式發(fā) 生耦合，同時所述第一石墨烯帶2上的局域表面等離激元由于近場耦合作用而激發(fā)較高位 置的所述第二石墨烯帶3的局域表面等離激元，因而會形成光致透明現(xiàn)象。當(dāng)我們改變施 加在所述第一石墨烯帶2及所述第二石墨烯帶3上的電壓時，石墨烯帶的光學(xué)性質(zhì)會改變， 其所支持的局域表面等離激元的頻率也會發(fā)生移動，導(dǎo)致了光致透明窗口的動態(tài)調(diào)制。當(dāng) 上下施加在所述第一石墨烯帶2及所述第二石墨烯帶3上的電壓始終相同時，二者所支持 的局域表面等離激元的共振頻率相同，光致透明窗口時對稱的線型；而施加電壓不相同時， 能夠?qū)崿F(xiàn)非對稱線型的光致透明窗口。
[0041] 在一實施例中，所述第一石墨稀帶2及所述第二石墨稀帶3的寬度為250nm，所述 第一石墨稀帶2距離所述石墨稀波導(dǎo)1的第一預(yù)設(shè)間距為200nm，所述第二石墨稀帶3距離 所述石墨稀波導(dǎo)1的第二預(yù)設(shè)間距為550nm。當(dāng)TM偏振的石墨稀波導(dǎo)表面等離激元由所述 石墨烯波導(dǎo)1的一端入射，在經(jīng)過石墨烯帶共振區(qū)域（即所述第一石墨烯帶2及所述第二 石墨烯帶3與所述石墨烯波導(dǎo)1上下重合的區(qū)域）時與所述石墨烯帶發(fā)生相互作用，最后 在所述石墨烯波導(dǎo)1的另一端出射。
[0042] 在所述石墨烯波導(dǎo)1的費米能級為140emV，所述第一石墨烯帶2及所述第二石墨 烯帶3的費米能級均為160emV時，所述基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的透射譜如圖 3所示，其中，所述透射譜為所述基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中包括兩個所述石墨 烯帶的透射能流與所述基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中不包括兩個所述石墨烯帶 的透射能流的比值。由圖3可知，在所述基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的透射譜上 存在一個光致透明窗口，所述光致透明窗口包括兩個透射谷和一個透射峰，所述兩個透射 谷頻率分別為10. 2THz和10. 8THz，所述透射峰頻率為10. 45THz。在兩個所述透射谷處，所 述第一石墨烯帶2及所述第二石墨烯帶3均被強(qiáng)烈激發(fā)，而在所述透射峰處，只有暗態(tài)的所 述第二石墨烯帶3被激發(fā)，這正是由于明態(tài)和暗態(tài)的干涉效應(yīng)所造成的光致透明效果。
[0043] 本發(fā)明的光致透明窗口可以通過調(diào)節(jié)所述第一石墨烯帶2及所述第二石墨烯帶3 的費米能級來動態(tài)控制。具體的控制方法有兩種：（1)所述第一石墨烯帶2及所述第二石 墨烯帶3的費米能級保持相同并同時改變；（2)改變所述第二石墨烯帶3的費米能級，所述 第一石墨烯帶2的費米能級保持不變。
[0044] 使用第一種控制方法進(jìn)行所述光致透明窗口進(jìn)行動態(tài)調(diào)制時，所述基于石墨烯的 可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的透射譜隨所述第一石墨烯帶2及所述石墨烯帶3的費米能級的變 化如圖4所示，其中，#1曲線對應(yīng)的所述第一石墨烯帶2及所述石墨烯帶3的費米能級均為 145emV，#2曲線所對應(yīng)的所述第一石墨稀帶2及所述石墨稀帶3的費米能級均為160emV， #3曲線所對應(yīng)的所述第一石墨稀帶2及所述石墨稀帶3的費米能級均為175emV。由圖4 可知，隨著所述第一石墨烯帶2及所述石墨烯帶3費米能級能級變大，所述光致透明窗口向 高頻區(qū)域動態(tài)移動。
[0045] 所述光致透明窗口透射峰頻率隨石墨烯帶費米能級的變化如圖5所示，由圖5可 知，當(dāng)所述第一石墨稀帶2及所述石墨稀帶3費米能級從145meV調(diào)制到300meV時，所述透 射峰移動4. 6THz。我們可以通過模式耦合模型來理解透射峰的行為，對于所述第一石墨烯 帶2及所述第二石墨烯帶3的共振頻率滿月
其中EF為石墨烯帶的費米能級， W為石墨稀帶寬度。在第一種控制方法中，由于所述第一石墨稀帶2及所述第二石墨稀帶3 的幾何參數(shù)和費米能級完全相同，因此明態(tài)共振頻率和暗態(tài)共振頻率ω d。根據(jù)模式耦 合理論，當(dāng)沒有吸收時，在石墨烯波導(dǎo)上傳播的表面模式透過率為：
[0046]
[0047] 其中ω為入射表面等離激元頻率，klb為入射表面模式和明態(tài)的耦合系數(shù)，k bd為 明態(tài)和暗態(tài)的耦合系數(shù)。在共振條件下即ω = 〇^時，透射率最大，因此透射峰位置由暗態(tài) 決定。因此透射窗口峰值頻率滿5
=圖5表明數(shù)值模擬結(jié)果（#5曲線） 與理論值符合（#4曲線）的很好，根據(jù)數(shù)值模擬結(jié)果我們可以得到在所述基于石墨烯的可 調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中A = 0· 825Χ 1012(meV) 1/2S、
[0048] 使用第二種方法對所述光致透明窗口進(jìn)行動態(tài)調(diào)制時，當(dāng)所述第一石墨烯帶2的 費米能級固定為160emV時，所述基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的透射譜隨所述第 二石墨烯帶3的費米能級的變化如圖6所示，其中，#6曲線對應(yīng)的所述第二石墨烯帶3的 費米能級為145emV，#7曲線對應(yīng)的所述第二石墨稀帶3的費米能級為155emV，#7曲線對應(yīng) 的所述第二石墨烯帶3的費米能級為165emV，#8曲線對應(yīng)的所述第二石墨烯帶3的費米能 級為175emV。由圖6可知，所述光致透明窗口會隨著所述第二石墨烯帶3的費米能級的增 大而藍(lán)移。然而，由于所述第一石墨烯帶2與所述第二石墨烯帶3的費米能級不同，導(dǎo)致明 態(tài)和暗態(tài)的共振頻率不同，因此，圖6中的所述光致透明窗口相對于圖4中的所述光致透明 窗口很不對稱，并且，當(dāng)所述第一石墨烯帶2與所述第二石墨烯帶3的費米能級相差越大， 即明態(tài)與暗態(tài)的共振頻率相差越大，所述光致窗口越不對稱。
[0049] 綜上所述，本發(fā)明通過采用了石墨烯波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，并在所述石墨烯波導(dǎo)同一側(cè)設(shè)置 具有預(yù)設(shè)間距的第一石墨烯帶及第二石墨烯帶，相對于金屬結(jié)構(gòu)，其能夠通過調(diào)整所述第 一石墨烯帶及所述第二石墨烯帶的費米能級動態(tài)調(diào)制光致透明的頻率范圍；相對于其他類 型的平面結(jié)構(gòu)，本發(fā)明的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)尺寸更小，更易于制作和集成；同時在本發(fā)明的結(jié)構(gòu)中， 能夠同時實現(xiàn)對稱和非對稱的光致透明窗口。
[0050] 上述實施例僅例示性說明本發(fā)明的原理及其功效，而非用于限制本發(fā)明。任何熟 悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本發(fā)明的精神及范疇下，對上述實施例進(jìn)行修飾或改變。因 此，舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者在未脫離本發(fā)明所揭示的精神與技術(shù)思想下所完 成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本發(fā)明的權(quán)利要求所涵蓋。
【主權(quán)項】
1. 一種基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，其特征在于，至少包括：石墨烯波導(dǎo)、第 一石墨烯帶及第二石墨烯帶；其中， 所述第一石墨烯帶及所述第二石墨烯帶位于所述石墨烯波導(dǎo)的同一側(cè)，且均平行于所 述石墨烯波導(dǎo)；所述第一石墨烯帶與所述石墨烯波導(dǎo)具有第一預(yù)設(shè)間距，所述第二石墨烯 帶與所述石墨烯波導(dǎo)具有第二預(yù)設(shè)間距。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第 一石墨烯帶的形狀和尺寸與所述第二石墨烯帶的形狀和尺寸相同。3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第 一石墨稀帶及所述第二石墨稀帶的寬度小于所述石墨稀波導(dǎo)的寬度。4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第 一石墨稀帶及所述第二石墨稀帶的寬度為200nm~300nm。5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第 一石墨稀帶及所述第二石墨稀帶的寬度為250nm。6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第 一預(yù)設(shè)間距為150nm~250nm，所述第二預(yù)設(shè)間距為500nm~600nm〇7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第 一預(yù)設(shè)間距為200nm，所述第二預(yù)設(shè)間距為550nm。8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第 一石墨稀帶的中心及所述第二石墨稀帶的中心在所述石墨稀波導(dǎo)上的投影與所述石墨稀 波導(dǎo)的中心相重合。9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，其特征在于：還包括 介質(zhì)層，所述石墨烯波導(dǎo)、所述第一石墨烯帶及所述第二石墨烯帶完全埋入在所述介質(zhì)層 內(nèi)。10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的基于石墨烯的可調(diào)光致透明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述介 質(zhì)層為二氧化硅層。
【文檔編號】G02F1/01GK106033153SQ201510116915
【公開日】2016年10月19日
【申請日】2015年3月17日
【發(fā)明人】蔣尋涯, 王林, 李偉
【申請人】復(fù)旦大學(xué), 中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所