用于光配向的光罩及光配向方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及液晶顯示器的制作領域，尤其涉及一種用于光配向的光罩及光配向方法。
【背景技術】
[0002]液晶顯示器(Liquid Crystal Display，LCD)具有機身薄、省電、無福射等眾多優(yōu)點，得到了廣泛的應用，如液晶電視、移動電話、個人數(shù)字助理、數(shù)字相機、計算機屏幕或筆記本電腦屏幕等。
[0003]現(xiàn)有的液晶顯示器大部分為背光型液晶顯示器，其包括殼體、設于殼體內(nèi)的液晶面板及設于殼體內(nèi)的背光模組。通常液晶面板由一彩色濾光片基板(Color Filter, CF),-薄膜晶體管陣列基板(Thin Film Transistor Array Substrate，TFT Array Substrate)以及一填充于兩基板間的液晶層(Liquid Crystal Layer)所構成，其工作原理是通過在CF基板和TFT基板上施加驅(qū)動電壓來控制液晶層的液晶分子的旋轉，控制光的輸出量，將背光模組的光線折射出來產(chǎn)生畫面。
[0004]在液晶顯示面板的制作過程中，對配向膜進行配向是一項重要工藝，通過配向工藝來實現(xiàn)液晶分子按照特定的方向與角度排列。在TFT-LCD生產(chǎn)中，有兩種配向方法:摩擦配向和光配向。摩擦配向為物理方法，會產(chǎn)生靜電和顆粒的污染。光配向是一種非接觸式的配向技術，利用線偏振光透過光罩照射在對光敏感的高分子聚合物配向膜上，在配向膜表面形成一定傾斜角度的配向微結構達到配向效果。
[0005]目前，用于光配向的光罩的尺寸一般小于市場上液晶電視的尺寸，因此在實際生產(chǎn)中，需要將多個光罩組合起來同時工作，相鄰兩個光罩的重疊(overlap)區(qū)域會照兩次光。
[0006]為了最大限度的提高基板的利用率，設計將兩種或兩種以上尺寸規(guī)格的多個基板單元排列在一整塊大基板上，通常稱為MMG產(chǎn)品，在該大基板上涂覆配向膜，在光罩上設置不同的透光圖案，以對不同尺寸的基板單元進行配向。
[0007]舉例說明如下:如圖1所示，在一整塊基板100上沿第一方向DY排列了兩行不同尺寸的基板單元，其中一行排列多個第一基板單元101，另一行排列多個第二基板單元102，為了保證基板的高利用率，兩行之間的間距D需要設計的比較小。如圖2所示，現(xiàn)有的用于對所述整塊基板100上的所有第一基板單元101與第二基板單元102進行光配向的光罩包括光罩本體200、設于所述光罩本體200上的第一透光圖案201與第二透光圖案202，所述第一透光圖案201與第二透光圖案202沿第一方向DY排列，分別用于對第一基板單元101與第二基板單元102進行配向。所述第一透光圖案201與第二透光圖案202均沿垂直于第一方向DY的第二方向DX設置。所述第一透光圖案201包括使用時與相鄰光罩不重疊的非重疊區(qū)域Al、及分別位于所述非重疊區(qū)域Al左、右兩側的使用時與相鄰光罩重疊的重疊區(qū)域BI，所述第二透光圖案202包括與使用時相鄰光罩不重疊的非重疊區(qū)域A2、及分別位于所述非重疊區(qū)域A2左、右兩側的使用時與相鄰光罩重疊的重疊區(qū)域B2。所述第一透光圖案201與第二透光圖案202分別關于二者在第一方向DY與第二方向DX上的中線對稱。位于所述非重疊區(qū)域Al內(nèi)的第一透光圖案201在第一方向DY上的長度均為Ql，位于所述重疊區(qū)域BI內(nèi)的第一透光圖案201在第一方向DY上的長度由靠近非重疊區(qū)域Al —側向遠離非重疊區(qū)域Al —側線性遞減；位于所述非重疊區(qū)域A2內(nèi)的第二透光圖案202在第一方向DY上的長度均為Q2，位于所述重疊區(qū)域B2內(nèi)的第二透光圖案202在第一方向DY上的長度由靠近非重疊區(qū)域A2 —側向遠離非重疊區(qū)域A2 —側線性遞減。
[0008]如圖3至圖6所示，使用上述光罩對整塊基板100上的所有第一基板單元101與第二基板單元102進行光配向包括如下步驟:
[0009]步驟1、如圖3所示，將多個光罩進行組合，使相鄰兩個光罩在第一透光圖案201的重疊區(qū)域BI及第二透光圖案202的重疊區(qū)域B2相互重疊，并將組合后的多個光罩與整塊基板100進行對位；
[0010]步驟2、如圖4所示，使用遮光板遮住所有第二透光圖案202，使組合后的多個光罩沿第一方向DY平移，同時對組合后的多個光罩照射紫外(UV)光，紫外光透過所有第一透光圖案201對整塊基板100上的所有第一基板單元101進行曝光、配向；
[0011]步驟3、如圖5、圖6所示，當組合后的多個光罩平移至使所有第一透光圖案201接近多個第二基板單元102的位置時，使用遮光板遮住所有第一透光圖案201 ;
[0012]在該步驟3中，由于所述非重疊區(qū)域Al內(nèi)的第一透光圖案201在第一方向DY上的長度均Ql大于第一基板單元101與第二基板單元102之間的間距D，在所述第一基板單元101靠近第二基板單元102的末端對應于重疊區(qū)域BI的區(qū)域沒有曝光或曝光很少，相應的第一基板單元101末端對應于重疊區(qū)域BI的區(qū)域沒有配向或配向效果較差，導致斑痕(mura)的產(chǎn)生，引起顯示不均勻。
[0013]步驟4、如圖7所示，當組合后的多個光罩平移至使所有第二透光圖案202離開第一基板單元101的位置時，撤掉遮擋所有第二透光圖案202的遮光板，組合后的多個光罩繼續(xù)沿第一方向DY平移，紫外光透過所有第二透光圖案202對整塊基板100上的所有第二基板單元102進行曝光、配向。
[0014]可見，上述現(xiàn)有的用于光配向的光罩及光配向方法，容易導致MMG產(chǎn)品出現(xiàn)斑痕與顯示不均，需要進行改進。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0015]本發(fā)明的目的在于提供一種用于光配向的光罩，能夠改善配向效果，避免MMG產(chǎn)品在配向時由于存在未曝光或者曝光不足的區(qū)域而導致的mura問題。
[0016]本發(fā)明的另一目的在于提供一種光配向方法，能夠改善配向效果，避免MMG產(chǎn)品在配向時由于存在未曝光或者曝光不足的區(qū)域而導致的mura問題。
[0017]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種用于光配向的光罩，包括光罩本體、設于所述光罩本體上的多個透光圖案，所述多個透光圖案沿第一方向逐行排列；
[0018]所述多個透光圖案均沿垂直于第一方向的第二方向設置，每一透光圖案均包括使用時與相鄰光罩不重疊的非重疊區(qū)域、及分別位于所述非重疊區(qū)域左、右兩側的使用時與相鄰光罩重疊的重疊區(qū)域；
[0019]所述第一方向為使用光罩進行曝光、配向時，光罩的平移前進方向；每一透光圖案關于其在第一方向上的中線對稱；位于所述非重疊區(qū)域內(nèi)的透光圖案在第一方向上的長度均相等，位于所述重疊區(qū)域內(nèi)的透光圖案在第一方向上的長度由靠近非重疊區(qū)域一側向遠離非重疊區(qū)域一側線性遞減，且位于所述重疊區(qū)域內(nèi)的透光圖案朝向第一方向的一端與位于所述非重疊區(qū)域內(nèi)的透光圖案朝向第一方向的一端對齊。
[0020]所述多個透光圖案的數(shù)量為兩個，包括第一透光圖案與第二透光圖案。
[0021]所述多個透光圖案通過光刻沉積于石英玻璃上的金屬層形成。
[0022]所述金屬層的材料為鉻。
[0023]本發(fā)明還提供了一種光配向方法，包括如下步驟:
[0024]步驟1、提供涂覆有配向膜的整塊基板、及多個用于光配向的光罩，并將所述多個用于光配向的光罩進行組合；
[0025]所述整塊基板上沿第一方向排列多行不同尺寸的多個基板單元，每一行內(nèi)多個基板單元的尺寸相同；
[0026]每一用于光配向的光罩包括光罩本體、設于所述光罩本體上的多個透光圖案，所述多個透光圖案沿第一方向逐行排列；所述多個透光圖案的數(shù)量等于所述整塊基板上不同尺寸的多個基板單元所排列的行數(shù)；
[0027]所述多個透光圖案均沿垂直于第一方向的第二方向設置，每一透光圖案均包括與相鄰光罩不重疊的非重疊區(qū)域、及分別位于所述非重疊區(qū)域左、右兩側的與相鄰光罩重疊的重疊區(qū)域；
[0028]所述第一方向為使用光罩進行曝光、配向時，光罩的平移前進方向；每一透光圖案關于其在第一方向上的中線對稱；位于所述非重疊區(qū)域內(nèi)的透光圖案在第一方向上的長度均相等，位于所述重疊區(qū)域內(nèi)的透光圖案在第一方向上的長度由靠近非重疊區(qū)域一側向遠離非重疊區(qū)域一側線性遞減，且位于所述重疊區(qū)域內(nèi)的透光圖案朝向第一方向的一端與位于所述非重疊區(qū)域內(nèi)的透光圖案朝向第一方向的一端對齊；
[0029]多個光罩進行組合后，相鄰兩個光罩的多個透光圖案分別在各自對應的重疊區(qū)域相互重疊；
[0030]然后將組合后的多個光罩與整塊基板進行對位；
[0031]步驟2、使用遮光板遮住除所述多個透光圖案中的第一透光圖案以外的其它透光圖案，使組合后的多個光罩沿第一方向平移，同時對組合后的多個光罩照射線性偏振光，線性偏振光透過所述第一透光圖案對整塊基板上第一行的所有第一基板單元進行曝光、配向；
[0032]步驟3、當組合后的多個光罩平移至使所述第一透光圖案接近整塊基板上第二行的所有第二基板單元的位置時，使用遮光板遮住所述第一透光圖案；
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