被測(cè)物體11的表面，經(jīng)被測(cè)物體反射后傳至第二成像系統(tǒng)，經(jīng)過第二成像系統(tǒng)后被探測(cè)器17接收，運(yùn)算單元18對(duì)探測(cè)器17收集到的各不同波段及偏振態(tài)的光束信息進(jìn)行處理，將結(jié)果送至調(diào)焦控制器19實(shí)現(xiàn)對(duì)載有被測(cè)物體的承載臺(tái)20進(jìn)行實(shí)時(shí)調(diào)控。從而，所述系統(tǒng)可以根據(jù)不同工藝條件對(duì)各不同波段不同偏振態(tài)光束的光強(qiáng)進(jìn)行配比；偏振光強(qiáng)可調(diào)系統(tǒng)3可以通過手動(dòng)方式調(diào)整光強(qiáng)也可以電動(dòng)方式調(diào)整光強(qiáng)；合束系統(tǒng)4能夠?qū)⒉煌ǘ尾煌駪B(tài)的光束的偏振信息保留。
[0025]圖4所示為根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的一種用于調(diào)焦測(cè)量的光纖合束光譜重構(gòu)系統(tǒng)原理圖。如圖所示，所述系統(tǒng)包括LED光源la、Ib、Ic、Id、準(zhǔn)直透鏡2a、2b、2c、2d、偏振分光棱鏡3a、3b、3c、3d、反射棱鏡4a、4b、4c、4d、可變偏振分光鏡組5a、5b、5c、5d、5e、5f、5g、511、耦合鏡組6&、613、6(3、6(1、66、6168、611、保偏光纖 7a、7b、7c、7d、7e、7f、7g、7h、光纖合束器8、合束光纖9，散熱系統(tǒng)10a、10b、10c、1d,驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)11a、lib、11c、Ild等；其中LED光源la、lb、lc、ld可分別采用不同波段分布的光譜，例如，光譜范圍400nm — 100nm中的不同波段，可變偏振分光鏡組5a、5b、5c、5d、5e、5f、5g、5h由各自的半波片和偏振分光棱鏡組成，分別用于調(diào)節(jié)各自偏振波段光束的光強(qiáng)；光束從LED光源la、lb、lc、ld發(fā)出，經(jīng)過準(zhǔn)直透鏡2a、2b、2c、2d準(zhǔn)直后，傳遞至偏振分光棱鏡3a、3b、3c、3d，偏振分光棱鏡3a、3b、3c、3d將各波段光束分為P光和S光兩路，上路P光束經(jīng)過可變偏振分光鏡組5a、5b、5c、5d后，被耦合鏡組6a、6b、6c、6d收集，下路S光束經(jīng)過反射棱鏡4a、4b、4c、4d及可變偏振分光鏡組5a、5b、5c、5d、5e、5f、5g、5h 后，被稱合鏡組 6e、6f、6g、6h 收集,經(jīng)過稱合鏡組 6a、6b、6c、6d、6^6168、611后，光束分別被耦合至保偏光纖7&、713、7(3、7(1、76、7178、711，隨后經(jīng)過各路光纖傳遞至光纖合束器8，將不同波段及偏振態(tài)的光束耦合進(jìn)入合束光纖9中并出射，其中驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)11a、lib、11c、Ild對(duì)LED進(jìn)行開關(guān)及光強(qiáng)輸出控制，散熱系統(tǒng)10a、10b、10c、1d對(duì)LED進(jìn)行散熱。
[0026]第二實(shí)施例
圖5所示為根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的一種用于調(diào)焦測(cè)量的棱鏡合束光譜重構(gòu)系統(tǒng)原理圖。如圖所示，所述系統(tǒng)包括LED光源la、lb、lc、ld、準(zhǔn)直透鏡2a、2b、2c、2d、偏振分光棱鏡 3a、3b、3c、3d、反射棱鏡 4a、4b、4c、4d、可變偏振分光鏡組 5a、5b、5c、5d、5e、5f、5g、5h、偏振分光棱鏡6a、6b、6c、6d 二向色鏡8a、8b、二向色鏡9、反射棱鏡10、f禹合鏡組11、合束光纖12，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) 13a、13b、13c、13d、散熱系統(tǒng) 14a、14b、14c、14d 等，其中 LED 光源 la、lb、lc、Id分別采用不同波段分布的光譜，例如，光譜范圍400nm — 100nm中的不同波段，可變偏振分光鏡組5a、5b、5c、5d、5e、5f、5g、5h由各自的半波片和偏振分光棱鏡組成，分別用于調(diào)節(jié)各自偏振波段光束的光強(qiáng)；光束從LED光源la、lb、lc、Id發(fā)出，經(jīng)過準(zhǔn)直透鏡2a、2b、2c、2d準(zhǔn)直后，傳遞至偏振分光棱鏡3a、3b、3c、3d,偏振分光棱鏡3a、3b、3c、3d將各波段光束分為P光和S光兩路,上路P光束經(jīng)過可變偏振分光鏡組5a、5b、5c、5d后,被偏振分光棱鏡7a、7b、7(:、7(1合束收集，下路3光束經(jīng)過反射棱鏡4&、413、4(3、4(1及可變偏振分光鏡組56、5￡、58、511后，再經(jīng)反射棱鏡6a、6b、6c、6d后,被偏振分光棱鏡7a、7b、7c、7d合束收集,隨后各波段光束經(jīng)過二向色鏡8a、8b，分別將不同波段的光束合束成400nm — 750nm以及750nm — 100nm兩個(gè)波段，再經(jīng)過二向色鏡9后由反射棱鏡10反射后被耦合鏡組11收集，進(jìn)入合束光纖12中并出射，其中驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)13a、13b、13c、13d對(duì)LED進(jìn)行開關(guān)及光強(qiáng)輸出控制，散熱系統(tǒng)14a、14b、14c、14d對(duì)LED進(jìn)行散熱。
[0027]本說明書中所述的只是本發(fā)明的較佳具體實(shí)施例，以上實(shí)施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案而非對(duì)本發(fā)明的限制。凡本領(lǐng)域技術(shù)人員依本發(fā)明的構(gòu)思通過邏輯分析、推理或者有限的實(shí)驗(yàn)可以得到的技術(shù)方案，皆應(yīng)在本發(fā)明的范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種光譜重構(gòu)系統(tǒng)，包括: 多種波段的光源系統(tǒng)，提供多個(gè)不同波段的光束； 偏振分束系統(tǒng)，對(duì)不同波段的光束進(jìn)行處理，以產(chǎn)生不同波段不同偏振態(tài)光束輸出； 偏振光強(qiáng)可調(diào)系統(tǒng)，根據(jù)不同工藝條件對(duì)不同波段不同偏振態(tài)光束的光強(qiáng)進(jìn)行調(diào)整； 合束系統(tǒng)，對(duì)經(jīng)光強(qiáng)調(diào)整后的不同波段不同偏振態(tài)光束進(jìn)行合束。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜重構(gòu)系統(tǒng)，其特征在于，該多波段光源系統(tǒng)包括多個(gè)光源。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述光譜重構(gòu)系統(tǒng)，其特征在于，該多波段光源系統(tǒng)還包括與多個(gè)光源分別對(duì)應(yīng)的準(zhǔn)直透鏡。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜重構(gòu)系統(tǒng)，其特征在于，該光源可以是LED、光子晶體LED、鹵素?zé)?、汞燈、鈉燈、氙燈、激光或等離子驅(qū)動(dòng)激光燈。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜重構(gòu)系統(tǒng)，其特征在于，該偏振分束系統(tǒng)包括多個(gè)第一偏振分光棱鏡，用于分別將多個(gè)不同波段光束進(jìn)行處理，使每一波段光束被分成偏振態(tài)不同的兩束光。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光譜重構(gòu)系統(tǒng)，其特征在于，該偏振光強(qiáng)可調(diào)系統(tǒng)包括多個(gè)可變偏振分光鏡組，用于對(duì)不同波段不同偏振態(tài)光束的光強(qiáng)進(jìn)行調(diào)整。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜重構(gòu)系統(tǒng)，其特征在于，該合束系統(tǒng)包括多個(gè)耦合鏡組、多個(gè)保偏光纖、一個(gè)光纖合束器以及合束光纖。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜重構(gòu)系統(tǒng)，其特征在于，該合束系統(tǒng)包括多個(gè)第二偏振分光棱鏡、多個(gè)第一二向色鏡、多個(gè)第二二向色鏡、一個(gè)耦合鏡組以及合束光纖。9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜重構(gòu)系統(tǒng)，其特征在于，該光譜重構(gòu)系統(tǒng)還包括驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，對(duì)光源進(jìn)行開關(guān)及光強(qiáng)輸出控制。10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜重構(gòu)系統(tǒng)，其特征在于，該光譜重構(gòu)系統(tǒng)還包括散熱系統(tǒng)，對(duì)光源進(jìn)行散熱。11.一種調(diào)焦調(diào)平系統(tǒng)，包括權(quán)利要求1-10中任意一個(gè)所述的光譜重構(gòu)系統(tǒng)。
【專利摘要】一種光譜重構(gòu)系統(tǒng)，包括：多種波段的光源系統(tǒng)，提供多個(gè)不同波段的光束；偏振分束系統(tǒng)，對(duì)不同波段的光束進(jìn)行處理，以產(chǎn)生不同波段不同偏振態(tài)光束輸出；偏振光強(qiáng)可調(diào)系統(tǒng)，根據(jù)不同工藝條件對(duì)不同波段不同偏振態(tài)光束的光強(qiáng)進(jìn)行調(diào)整；合束系統(tǒng)，對(duì)經(jīng)光強(qiáng)調(diào)整后的不同波段不同偏振態(tài)光束進(jìn)行合束。該光譜重構(gòu)系統(tǒng)可以根據(jù)不同工藝條件需求對(duì)各不同波段不同偏振態(tài)光束的光強(qiáng)進(jìn)行配比，合束系統(tǒng)能夠?qū)⒉煌ǘ尾煌駪B(tài)的光束的偏振信息保留。將光譜重構(gòu)系統(tǒng)應(yīng)用于調(diào)焦調(diào)平系統(tǒng)可以起到大幅度減小調(diào)焦調(diào)平系統(tǒng)的測(cè)量誤差，大幅度增強(qiáng)調(diào)焦調(diào)平系統(tǒng)的工藝適應(yīng)性，大幅度提高調(diào)焦調(diào)平系統(tǒng)的測(cè)量精度的作用。
【IPC分類】G03F7/20, G02B27/28
【公開號(hào)】CN104880832
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410070291
【發(fā)明人】陸侃, 徐榮偉, 王福亮
【申請(qǐng)人】上海微電子裝備有限公司
【公開日】2015年9月2日
【申請(qǐng)日】2014年2月28日