顯微鏡頭與包括該顯微鏡頭的顯微鏡系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光學(xué)顯微技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及用于在TFT-LCD領(lǐng)域的陣列基板維修制程中全方位分析和觀察被觀察對象缺陷的顯微鏡頭以及包括該顯微鏡頭的顯微鏡系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在TFT-LCD領(lǐng)域中，通常采用現(xiàn)有陣列基板維修設(shè)備中的顯微鏡系統(tǒng)分析和觀察作為被觀察對象(例如玻璃基板)的平面圖像信息(例如缺陷)。具體地，如圖1所示，在現(xiàn)有顯微鏡系統(tǒng)中，入射光線LI垂直于載物臺I通過顯微鏡頭2入射至被觀察對象3表面，而反射光線L2則從被觀察對象3表面反射回來，再次通過顯微鏡頭2，從而進(jìn)入照相機(jī)(未圖示)，以經(jīng)由光電轉(zhuǎn)換器件在顯示器上顯示關(guān)于被觀察對象3表面的圖像信息。然而，通過上述觀察分析系統(tǒng)和方法，只能得到被觀察對象(例如玻璃基板)的平面圖像信息，而不能獲得其高度、形貌等其他信息，從而無法清晰和全面地辨識被觀察對象上的缺陷，進(jìn)而易造成錯判或過判，對良率的準(zhǔn)確統(tǒng)計造成影響。更有甚者，會對后續(xù)工序設(shè)備及工藝造成嚴(yán)重影響。
[0003]因此，業(yè)界亟待一種改善后的顯微鏡頭以及包括該顯微鏡頭的顯微鏡系統(tǒng)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明旨在克服或者減輕上述現(xiàn)有使技術(shù)中存在的至少一個或多個技術(shù)問題。
[0005]因此，本發(fā)明的至少一個目的在于提供一種顯微鏡頭，其能夠改善對被觀察對象(例如玻璃基板)上的缺陷的觀察和識別，從而提高良率的準(zhǔn)確性。
[0006]而本發(fā)明的另一個目的在于提供一種顯微鏡系統(tǒng)，其能夠改善對被觀察對象(例如玻璃基板)上的缺陷的觀察和識別，從而提高良率的準(zhǔn)確性。
[0007]根據(jù)本發(fā)明的一個方面，本發(fā)明提供了一種顯微鏡頭，該顯微鏡頭具有目鏡端和物鏡端，其中，目鏡端的中心軸線和物鏡端的中心軸線相交，并且顯微鏡頭還包括設(shè)置在目鏡端和物鏡端之間的反光鏡，以使入射光線和/或出射光線在目鏡端和物鏡端之間經(jīng)由反光鏡的反射而入射和/或出射。
[0008]優(yōu)選地，反光鏡相對于目鏡端的中心軸線的傾斜角度被設(shè)置成為入射光線的入射角度或出射光線的出射角度的一半。
[0009]優(yōu)選地，反光鏡包括環(huán)形反射面，入射光線和/或出射光線經(jīng)由環(huán)形反射面的反射而入射和/或出射。
[0010]優(yōu)選地，反光鏡與目鏡端和物鏡端彼此獨(dú)立，或者反光鏡與目鏡端和物鏡端為一體的。
[0011]優(yōu)選地，顯微鏡頭還包括自帶光源，自帶光源以圍繞方式設(shè)置在物鏡端內(nèi)部。
[0012]優(yōu)選地，自帶光源包括自帶電源的LED光源或用于引入外部光源的光纖。
[0013]優(yōu)選地，自帶電源為片狀電池和/或環(huán)狀電池。
[0014]根據(jù)本發(fā)明的另一個方面，本發(fā)明提供了一種顯微鏡系統(tǒng)，該顯微鏡系統(tǒng)包括:
[0015]用于承載被觀察對象的載物臺；
[0016]如上所述的顯微鏡頭，用于觀察位于載物臺上的被觀察對象；以及
[0017]顯微鏡頭旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，用于進(jìn)行顯微鏡頭相對于位于載物臺上的被觀察對象的360°環(huán)形旋轉(zhuǎn)，從而實(shí)現(xiàn)對被觀察對象的360°全方位觀察。
[0018]優(yōu)選地，顯微鏡頭旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括環(huán)形軌道，顯微鏡頭可移動地設(shè)置在環(huán)形軌道上。
[0019]優(yōu)選地，顯微鏡頭通過齒輪機(jī)構(gòu)設(shè)置在環(huán)形軌道上。
[0020]優(yōu)選地，顯微鏡頭旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)還包括用于驅(qū)動顯微鏡頭的驅(qū)動電機(jī)。
[0021]根據(jù)本發(fā)明的又一個方面，本發(fā)明提供了一種顯微鏡系統(tǒng)，該顯微鏡系統(tǒng)包括:
[0022]用于承載被觀察對象的載物臺；
[0023]如上所述的顯微鏡頭，用于觀察位于載物臺上的被觀察對象；以及
[0024]顯微鏡頭旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)，用于使得顯微鏡頭繞其目鏡端的中心軸線旋轉(zhuǎn)。
[0025]優(yōu)選地，顯微鏡頭旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)還包括用于驅(qū)動顯微鏡頭旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動電機(jī)。
[0026]由上可知，本發(fā)明提供的顯微鏡頭和顯微鏡系統(tǒng)，至少取得了如下技術(shù)效果:首先，通過在顯微鏡頭內(nèi)部設(shè)置特定角度反光鏡，改變光路，達(dá)到特定角度的顯微立體觀察；其次，通過在顯微鏡頭內(nèi)部設(shè)置光源，起到增強(qiáng)光線的效果；再者，通過在顯微鏡系統(tǒng)中設(shè)置鏡頭旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)顯微鏡頭對被觀察對象的360°全方位觀察。因此，本發(fā)明提供的顯微鏡頭和顯微鏡系統(tǒng)，能夠改善對被觀察對象(例如玻璃基板)上的缺陷的觀察和識別，從而提高良率的準(zhǔn)確性，進(jìn)而避免對后續(xù)工序設(shè)備及工藝造成嚴(yán)重影響。
[0027]本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)的其它發(fā)明目的以及可以取得的其它技術(shù)效果將在下述的【具體實(shí)施方式】中結(jié)合對具體實(shí)施例的描述和附圖的示意進(jìn)行闡述。
【附圖說明】
[0028]為了讓本發(fā)明的上述和其它目的、特征及優(yōu)點(diǎn)能更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對本發(fā)明作進(jìn)一步說明。
[0029]圖1是傳統(tǒng)顯微鏡系統(tǒng)的工作原理和結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030]圖2是根據(jù)本發(fā)明一個具體實(shí)施例的顯微鏡系統(tǒng)的工作原理和結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031]圖3是根據(jù)本發(fā)明另一個具體實(shí)施例的顯微鏡系統(tǒng)的工作原理和結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032]圖4是根據(jù)本發(fā)明又一個具體實(shí)施例的顯微鏡系統(tǒng)的工作原理和結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖5是根據(jù)本發(fā)明一個具體實(shí)施例的顯微鏡頭的運(yùn)動軌跡示意圖；和
[0034]圖6是根據(jù)本發(fā)明另一個具體實(shí)施例的顯微鏡頭的運(yùn)動軌跡示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0035]下面詳細(xì)描述本發(fā)明的具體實(shí)施例，所述具體實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同的標(biāo)號表示相同或相似的元件。下面參考附圖描述的具體實(shí)施例是示例性的，旨在解釋本發(fā)明，而不能解釋為對本發(fā)明的一種限制。
[0036]首先，本發(fā)明提供了一種顯微鏡頭，可應(yīng)用于現(xiàn)有技術(shù)的顯微鏡系統(tǒng)中，或者可應(yīng)用于本發(fā)明提供的顯微鏡系統(tǒng)(參見圖2-4，將在下面進(jìn)行詳述)中，用于在TFT-LCD領(lǐng)域的陣列基板維修制程中全方位地分析和觀察被觀察對象(如玻璃基板)上的缺陷。
[0037]以圖2所示的顯微鏡系統(tǒng)為例，本發(fā)明提供了一種顯微鏡頭20，該顯微鏡頭20具有目鏡端21和物鏡端22，其中，目鏡端21的中心軸線和物鏡端22的中心軸線相交，并且顯微鏡頭20還包括設(shè)置在目鏡端21和物鏡端22之間的反光鏡40，以使入射光線LI和/或出射光線L2在目鏡端21和物鏡端22之間經(jīng)由反光鏡40的反射而入射和/或出射。也就是說，本發(fā)明提供的顯微鏡頭20中，目鏡端21和物鏡端22之間采用了相對傾斜的布置方式來取代現(xiàn)有技術(shù)中直線形式的布置方式，同時在顯微鏡頭20中還設(shè)置有特定角度的反光鏡40。這樣，可以將反射光線L2按預(yù)定角度光路返回且增加反射光強(qiáng)度。具體地，反光鏡40相對于目鏡端21的中心軸線的傾斜角度被設(shè)置成為入射光線LI的入射角度或者出射光線L2的出射角度的一半。例如，在如圖2所示的具體實(shí)施例中，相對于目鏡端21的中心軸線，入射光線LI的入射角或者出射光線L2的出射角為60°，相應(yīng)地，反射鏡40的傾斜角度則為30°。又例如，在其它實(shí)施例中，相對于目鏡端21的中心軸線，若入射光線LI的入射角或者出射光線L2的出射角為45°，相應(yīng)地，反射鏡40的傾斜角度則為22.5°。這樣，根據(jù)本發(fā)明，以上述方式設(shè)置的顯微鏡頭20，通過在顯微鏡頭內(nèi)部設(shè)置特定角度的反光鏡，改變光路，達(dá)到特定角度的顯微立體觀察。因此，本發(fā)明提供的顯微鏡頭，能夠全方位地分析和觀察被觀察對象(如玻璃基板)上的缺陷，從而改善對被觀察對象上的缺陷的觀察和識別，提高良率的準(zhǔn)確性，進(jìn)而避免對后續(xù)工序設(shè)備及工藝造成嚴(yán)重影響。
[0038]根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，反光鏡40可以包括環(huán)形反射面，其中，入射光線LI和/或出射光線L2可經(jīng)由環(huán)形反射面的反射而入射和/或出射。這樣，可以在改變光路的同時，增加反射光強(qiáng)度。值得一提的是，這里所描述的環(huán)形反射面可以是任意構(gòu)造或形態(tài)的反射面，只要其能夠?qū)崿F(xiàn)對入射光線和出射光線的反射即可。
[0039]根據(jù)本發(fā)明，在如圖2所示的本發(fā)明的一個具體實(shí)施例中，反光鏡40設(shè)置在顯微鏡頭20的內(nèi)部，并且與顯微鏡頭20的目鏡