專利名稱：平版印刷用清潔劑的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于平版印刷的清潔劑，這種清潔劑具有優(yōu)異的溶解或除去抗蝕劑的能力并對人體非常安全，這種清潔劑通常可用于清潔各種涂敷器，如涂敷杯，當(dāng)涂敷抗蝕劑時(shí)或在涂敷抗蝕劑后從基質(zhì)上除去多余的抗蝕劑，在使用抗蝕劑達(dá)到目標(biāo)后從基質(zhì)上除去抗蝕劑，在除去抗蝕劑后清潔并漂洗基質(zhì)。
背景技術(shù)：
為生產(chǎn)集成電路元件、濾色器、液晶顯示元件等，采用抗蝕劑的平版印刷是常規(guī)方法。例如，在采用平版印刷法生產(chǎn)集成電路元件等時(shí)，必要時(shí)在基質(zhì)上先形成一層抗反射涂層，然后再在其上形成正性或負(fù)性抗蝕劑，通過烘烤除去溶劑，必要時(shí)再在抗蝕劑層上形成一層抗反射涂層，然后進(jìn)行紫外線、遠(yuǎn)紫外線、電子束X射線等照射，必要時(shí)再進(jìn)行烘烤，得到一種抗蝕劑圖形。此后，必要時(shí)進(jìn)行烘烤，對基質(zhì)進(jìn)行蝕刻等，再除去抗蝕劑。
對抗蝕劑涂層而言，可采用各種方法，如旋涂法、輥涂法、逆輥涂法、流延涂法、刮涂法、浸涂法等。例如，在生產(chǎn)集成電路元件時(shí)，涂敷抗蝕劑的主要方法是采用旋涂法。在旋涂法中，將抗蝕劑溶液滴在基質(zhì)上，通過基質(zhì)旋轉(zhuǎn)，所述滴落的抗蝕劑溶液會(huì)向著基質(zhì)外周延伸，從而使過量的抗蝕劑溶液從基質(zhì)外周散射而除去，從而形成具有所需膜厚度的抗蝕劑層。部分過量的抗蝕劑仍然保留在涂料杯中，當(dāng)溶劑蒸發(fā)時(shí)會(huì)固化。固化后的物質(zhì)會(huì)變成細(xì)粉，這種細(xì)粉會(huì)散射并粘附于基質(zhì)上，從而造成抗蝕劑圖形缺陷。為了防止這種現(xiàn)象發(fā)生，必須每幾個(gè)至幾打基質(zhì)清潔一次涂料杯。進(jìn)而，當(dāng)具有所需厚度的抗蝕劑層通過旋涂法在基質(zhì)上形成后，存在的缺點(diǎn)是，部分抗蝕劑溶液會(huì)進(jìn)一步向基質(zhì)的背面移動(dòng)，或者抗蝕劑溶液在基質(zhì)的外周上仍較厚(即形成珠粒)，因而，就必須除去不必要的抗蝕劑或基質(zhì)側(cè)面、外周或背面上的抗蝕劑或珠粒。此外，即使在其它涂敷方法中，也會(huì)像在旋涂法中一樣，抗蝕劑與不適當(dāng)?shù)牡牟糠职l(fā)生粘附。在基質(zhì)進(jìn)行蝕刻等處理之后，通常要除去抗蝕劑，即使在該除去步驟中，通常也采用有機(jī)溶劑溶解并除去抗蝕劑。
通過溶解過程從其中除去抗蝕劑的基質(zhì)的表面通常是采用純化水等進(jìn)行清潔而使其無污染的，因而可除去基質(zhì)表面上存在的細(xì)顆粒，此后，再進(jìn)行后續(xù)操作。如果用于除去抗蝕劑的溶液為水不溶性有機(jī)溶劑或胺型有機(jī)溶劑，則在除去抗蝕劑步驟后，基質(zhì)常常須用一種清潔的水溶性有機(jī)溶劑再進(jìn)行漂洗，而不是立即用純化水進(jìn)行清潔。其原因在于，如果采用水不溶性有機(jī)溶劑作為除去抗蝕劑的有機(jī)溶劑，則通過防止其與純化水混合時(shí)沉淀于溶劑中，從而防止溶解于該溶劑中的抗蝕劑再與基質(zhì)粘附，其原因還在于，存在于基質(zhì)表面上的水不溶性有機(jī)溶劑會(huì)被水溶性有機(jī)溶劑替換以便于純化水的替換。如果使用胺型有機(jī)溶劑作為用于除去抗蝕劑的液體，則這種溶劑會(huì)保留在純化水中，使水呈堿性，從而會(huì)阻止金屬基質(zhì)發(fā)生腐蝕。
在完成涂敷步驟后，應(yīng)清洗涂敷器以便于再次使用或作為用于其它物料的涂敷器，或者，如果在基質(zhì)與抗蝕劑層間存在抗反射涂層時(shí)，則在形成抗蝕劑圖形后，必要時(shí)可用溶劑除去抗反射涂層。
如前所述，在平版印刷方法的各種步驟中均使用清潔劑，而作為這一類清潔劑，目前已公知有各種由有機(jī)溶劑組成的清潔劑(例如，日本專利申請公開第4-49938號(hào))。
但是，某些常規(guī)采用的清潔劑需要花費(fèi)很多的時(shí)間或用量很大，這是因?yàn)椋鼈內(nèi)芙饪刮g劑的能力較差，并且有些還有毒，從而，目前還沒有一種清潔劑可同時(shí)滿足優(yōu)良的溶劑性能和對人體安全這兩方面的要求，因此，即具有溶劑性能又對人體安全的溶劑仍是人們希望得到的。雖然上面描述了集成電路元件的生產(chǎn)過程，但是，本申請不僅僅用于生產(chǎn)集成電路元件，而且可用于生產(chǎn)濾色器、液晶顯示元件等。
本發(fā)明的目的是提供一種用于平版印刷的清潔劑，其不存在上述問題，也就是說，本發(fā)明提供一種清潔劑，這種清潔劑通常可用于清潔各種涂敷器，如涂敷杯，當(dāng)涂敷抗蝕劑時(shí)或在涂敷抗蝕劑后從基質(zhì)上除去多余的抗蝕劑，在使用抗蝕劑達(dá)到目標(biāo)后從基質(zhì)上除去抗蝕劑，在除去抗蝕劑后清潔并漂洗基質(zhì)；這種清潔劑具有非常高的溶解性能，以少量清潔劑即可迅速進(jìn)行有效清潔，并且這種清潔劑對人體非常安全。
發(fā)明描述經(jīng)過深入研究，本發(fā)明的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，使用特定有機(jī)溶劑與特定醇的均勻混合物作為用于平版印刷的清潔劑可達(dá)到上述目的，從而完成了本發(fā)明。
本發(fā)明提供了一種用于平版印刷的清潔劑，其包含一種均勻溶液，所述溶液至少包含一種選自非常安全的下述A組有機(jī)溶劑和至少一種選自具有1～4個(gè)碳原子的醇。
A組丙二醇烷基醚丙二醇烷基醚乙酸酯乙二醇烷基醚乙二醇烷基醚乙酸酯乙酸烷基酯丙酸烷基酯烷氧基丙酸烷基酯乳酸烷基酯脂族酮烷氧基丁醇另一方面，本發(fā)明涉及一種用于平版印刷的清潔劑，其包含一種均勻的溶液，該溶液包含丙二醇烷基醚和至少一種選自具有1～4個(gè)碳原子烷基的醇。
另一方面，本發(fā)明涉及一種用于平版印刷的清潔劑，其包含一種均勻的溶液，該溶液包含丙二醇烷基醚和至少一種具有1～4個(gè)碳原子烷基的醇，其中，丙二醇烷基醚是選自丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚和丙二醇單丙基醚中的至少一種，所述醇是選自乙醇、1-丙醇和2-丙醇中的至少一種。
本發(fā)明還涉及一種用于平版印刷的清潔劑，其包含一種均勻的溶液，該溶液包含丙二醇烷基醚乙酸酯和至少一種選自具有1～4個(gè)碳原子烷基的醇。
本發(fā)明還涉及一種用于平版印刷的清潔劑，其包含一種均勻的溶液，該溶液包含丙二醇烷基醚乙酸酯和至少一種選自具有1～4個(gè)碳原子烷基的醇，其中，丙二醇烷基醚乙酸酯是選自丙二醇單甲基醚乙酸酯和丙二醇單乙基醚乙酸酯中的至少一種，所述醇是選自乙醇、1-丙醇和2-丙醇的至少一種。
本發(fā)明還涉及一種用于平版印刷的清潔劑，其包含一種均勻的溶液，該溶液包含至少一種選自乙二醇乙基醚乙酸酯、乙酸正丁酯、甲氧基丙酸甲酯、乙氧基丙酸乙酯、2-庚酮、甲氧基丁醇和乳酸乙酯的有機(jī)溶劑，和至少一種選自乙醇、1-丙醇和2-丙醇的醇。
本發(fā)明中，優(yōu)選的A組溶劑為下述溶劑(1)丙二醇烷基醚，如丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、丙二醇單丙基醚、丙二醇單正丁基醚等；
(2)丙二醇烷基醚乙酸酯，如丙二醇單甲基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯等；(3)乙二醇烷基醚，如乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚、乙二醇單丙基醚等；(4)乙二醇烷基醚乙酸酯，如乙二醇單甲基醚乙酸酯、乙二醇單乙基醚乙酸酯等；(5)乙酸烷基酯，如乙酸丙酯、乙酸正丁酯、乙酸正戊酯等；(6)丙酸烷基酯，如丙酸甲酯、丙酸乙酯、丙酸丙酯、丙酸丁酯等；(7)烷氧基丙酸烷基酯，如甲氧基丙酸甲酯、乙氧基丙酸乙酯、甲氧基丙酸乙酯、乙氧基丙酸甲酯等；(8)乳酸烷基酯，如乳酸甲酯、乳酸乙酯等；(9)脂族酮，如2-丁酮、2-戊酮、2-己酮、2-庚酮等；(10)烷氧基丁醇，如甲氧基丁醇、乙氧基丁醇等。
以上列舉的溶劑中特別優(yōu)選的是丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、丙二醇單丙基醚、丙二醇單甲基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯、乙二醇單乙基醚乙酸酯、乙酸正丁酯、甲氧基丙酸甲酯、乙氧基丙酸乙酯、乳酸乙酯、2-庚酮和甲氧基丁醇。
A組的有機(jī)溶劑可單獨(dú)使用或組合使用。優(yōu)選兩種或多種有機(jī)溶液組合使用，包括丙二醇烷基醚與丙二醇烷基醚乙酸酯的組合，特別優(yōu)選丙二醇單甲基醚與丙二醇單甲基醚乙酸酯的組合。
雖然具有1～4個(gè)碳原子的烷基的醇包括甲醇、乙醇、1-丙醇、2-丙醇、1-丁醇等，但考慮到安全性，優(yōu)選乙酸、1-丙醇和2-丙醇。這些醇可單獨(dú)或組合使用。兩種或多種醇的組合例如包括乙醇與1-丙醇的組合和乙醇與2-丙醇的組合。
雖然A組的有機(jī)溶劑或者醇的優(yōu)選實(shí)例如上所述，但是可用于本發(fā)明中的A組的有機(jī)溶劑或者醇當(dāng)然并不限于這些具體說明。
A組的有機(jī)溶劑與醇的混合比可以根據(jù)所采用的有機(jī)溶劑或所使用的組合方式進(jìn)行改變。但是，A組的有機(jī)溶劑與醇的混合重量比例通常為10∶90～99∶1，優(yōu)選40∶60～90∶10，首選60∶40～80∶20(以下，“比例”均指重量)。
本發(fā)明用于平版印刷的清潔劑可用于本領(lǐng)域公知的采用任何正性或負(fù)性抗蝕劑的平版印刷。本發(fā)明的用于平版印刷的清潔劑可施用的抗蝕劑的典型實(shí)例包括正性抗蝕劑，例如由醌二疊氮化物光敏劑與堿溶性樹脂及化學(xué)增強(qiáng)抗蝕劑組成的抗蝕劑；負(fù)性抗蝕劑，例如包含具有光敏基團(tuán)如肉桂酸聚乙烯基酯的聚合物的抗蝕劑、包含芳族疊氮化物的抗蝕劑、包含由環(huán)化橡膠和二疊氮化物組成的疊氮化物的抗蝕劑、包含偶氮樹脂的抗蝕劑，包含可加成聚合的不飽和化合物的可光聚合的組合物、化學(xué)改性的負(fù)性抗蝕劑等。
上述由醌二疊氮化物光敏劑和堿溶性樹脂組成的抗蝕劑物質(zhì)是優(yōu)選的施加本發(fā)明清潔劑的物質(zhì)，用于抗蝕劑物質(zhì)的醌二疊氮化物光敏劑與堿溶性樹脂的實(shí)例包括醌二疊氮化物光敏劑，如1，2-苯醌二疊氮基-4-磺酸、1，2-萘醌二疊氮基-4-磺酸、1，2-萘醌二疊氮基-5-磺酸，這些磺酸的酯或酰胺；堿溶性樹脂如聚乙烯苯酚、聚乙烯醇、丙烯酸或甲基丙烯酸與酚醛清漆樹脂的共聚物，所述酚醛清漆樹脂是由一種或多種酚如苯酚、鄰甲苯酚、間甲苯酚、對甲苯酚、二甲苯酚等與醛如甲醛、低聚甲醛等制成的。
化學(xué)增強(qiáng)抗蝕劑也是一種優(yōu)選的向其上施加本發(fā)明的清潔劑的抗蝕劑。化學(xué)增強(qiáng)的抗蝕劑經(jīng)放射照射后產(chǎn)生一種酸，由于這種酸的催化作用發(fā)生的化學(xué)變化，在顯影溶液中的照射部分的溶解性改變而形成一種圖形，例如，可提及的抗蝕劑由經(jīng)放射照射后形成一種酸的產(chǎn)酸化合物與一種含酸敏性基團(tuán)的樹脂組成，所述樹脂在酸存在下會(huì)分解，形成一種堿溶性基團(tuán)如酚性羥基或羧基，還可提及的抗蝕劑是由堿溶性樹脂、交聯(lián)劑和酸發(fā)生劑組成。
本發(fā)明用于平版印刷的清潔劑可被涂加至某些其溶劑為有機(jī)溶劑的組合物上，所述組合物出自用于涂敷抗反射涂層的已知組合物，其用于防止基質(zhì)免受照射時(shí)的反射光，或用于防止在抗蝕劑層中發(fā)生光干擾。
本發(fā)明的清潔劑的涂層與形成抗蝕劑圖形的方法具體如下首先，采用公知的涂敷方法如旋涂法將抗蝕劑溶液涂敷于硅基質(zhì)、玻璃基質(zhì)等上面，必要時(shí)應(yīng)預(yù)熱。必要時(shí)，在抗蝕劑涂層之前或之后涂敷并形成一層抗反射層。如果該涂層是由例如旋涂法形成的，則抗反射涂層的抗蝕劑珠粒會(huì)在基質(zhì)的邊緣處形成，但珠粒的流動(dòng)性可通過噴射本發(fā)明的清潔劑至位于旋轉(zhuǎn)邊緣的珠粒上，從而可在基質(zhì)上形成具有基本均勻厚度的抗蝕劑層或抗反射涂層。此外，運(yùn)動(dòng)至外圍或基質(zhì)背面的抗反射要可通過向該部分噴射清潔劑而清除。
將基質(zhì)上涂敷的抗蝕劑如在加熱板上進(jìn)行預(yù)烘烤，除去溶劑，從而形成抗蝕劑層，其厚度通常為約1～2.5μm。預(yù)烘烤通常是在20～200℃，優(yōu)選50～150℃下進(jìn)行的，當(dāng)然，溫度可根據(jù)所采用的溶劑或抗蝕劑的類型改變。因而，抗蝕劑層必要時(shí)可通過屏蔽物由已知的輻照裝置進(jìn)行輻照，如高壓汞燈、金屬鹵化物燈、超高壓汞燈、KrF受激準(zhǔn)分子激光、ArF受激準(zhǔn)分子激光、溫和的X-射線照射裝置、電子束拉伸裝置等，經(jīng)過照射后，必要時(shí)進(jìn)行后烘烤，以改善顯影性能、分辨率、圖形形狀等，隨后，進(jìn)行顯影，得到抗蝕劑圖形?？刮g劑的顯影通常是通過采用堿顯影溶液進(jìn)行的。所采用的堿顯影溶液為水或者氫氧化鈉的水溶液、四甲基氫氧化銨(TMAH)等。
在形成抗蝕劑圖形后，抗蝕劑圖形可用于預(yù)定的處理，如蝕刻、噴鍍、離子擴(kuò)散(ion diffusion)等，以形成電路元件，采用本發(fā)明的清潔劑可除去抗蝕劑圖形。除去后，必要時(shí)可用本發(fā)明的清潔劑進(jìn)行漂洗。進(jìn)而，當(dāng)用于除去抗蝕劑的溶劑為與本發(fā)明不同的水不溶性溶劑或胺型有機(jī)溶劑時(shí)，本發(fā)明的清潔劑在必要時(shí)被用于漂洗，再用純水進(jìn)行漂洗。此外，本發(fā)明的清潔劑可有效地用于清潔涂層。
最佳實(shí)施方案以下，通過實(shí)施例和參考實(shí)施例進(jìn)一步詳細(xì)說明本發(fā)明，但是，它們并不構(gòu)成對本發(fā)明的限制。
實(shí)施例1將100重量份的下述酚醛清漆樹脂與24重量份的醌二疊氮基光敏劑溶解在固體含量25wt％的丙二醚單甲基醚乙酸酯中制成抗蝕劑。將這種抗蝕劑旋涂至4英寸的預(yù)烘烤后的硅基質(zhì)上，使涂層厚度為2μm，然后，將其在在直熱式加熱板上于100℃下預(yù)烘烤90秒，形成抗蝕劑層。在包含本實(shí)施例的下述實(shí)施例中，抗蝕劑層被設(shè)定為厚于常規(guī)所采用的厚度，以進(jìn)行溶解性試驗(yàn)。
酚醛清漆樹脂間甲苯酚/對甲苯酚(6∶4)與甲醛的縮聚物。
醌二疊氮基光敏劑2，3，4，4′-四羥基二苯酮和1，2-萘醌二疊氮基-5-磺酰氯的酯化產(chǎn)物。
在下述溶解性實(shí)驗(yàn)中，對所形成的抗蝕劑層的溶解性進(jìn)行檢測，實(shí)驗(yàn)中采用由以如表1所示不同比例的丙二醇單乙基醚乙酸酯(PGMEA)與乙醇組成的清潔劑1-(1)至1-(5)，結(jié)果示于表1。
(溶解性實(shí)驗(yàn))將在其上按照上述方法形成抗蝕劑的基質(zhì)浸入50ml清潔劑中，通過肉眼確定直至所有的抗蝕劑層溶解及除去所用時(shí)間(即溶解時(shí)間)(單位秒)，用抗蝕劑層的厚度()除以溶解時(shí)間，得到溶解速度(/秒)。
比較實(shí)施例1和2重復(fù)實(shí)施例1相同的過程，只是單獨(dú)采用溶劑PGMEA(比較實(shí)施例1)或單獨(dú)采用溶劑乙醇(比較實(shí)施例2)作為清潔劑，得到表1的結(jié)果。
表1<
PGMEA丙二醇單甲基醚乙酸酯如表1所示，通過向PGMEA中加入乙醇可大大增加溶解速度。
實(shí)施例2重復(fù)實(shí)施例1相同的過程，只是采用由PGMEA和1-丙醇以示于表2清潔劑號(hào)2-(1)至2-(4)所示的比例組成的溶液用作清潔劑，得到表2的結(jié)果。
比較實(shí)施例3重復(fù)實(shí)施例1相同的過程，只是單獨(dú)采用1-丙醇溶劑作為清潔劑，得到表2的結(jié)果。
表2<
>*PGMEA丙二醇單甲基醚乙酸酯如表2所示，通過向PGMEA中加入1-丙醇可與實(shí)施例1類似的方式大大增加溶解速度。
實(shí)施例3重復(fù)實(shí)施例1相同的過程，只是采用由PGMEA和2-丙醇以示于表3清潔劑號(hào)3-(1)至3-(4)所示的比例組成的溶液用作清潔劑，得到表3的結(jié)果。
比較實(shí)施例4重復(fù)實(shí)施例1相同的過程，只是單獨(dú)采用2-丙醇溶劑作為清潔劑，得到表3的結(jié)果。
表3
>*PGMEA丙二醇單甲基醚乙酸酯如表3所示，通過向PGMEA中加入2-丙醇可與實(shí)施例1和2類似的方式大大增加溶解速度。
實(shí)施例4重復(fù)實(shí)施例1相同的過程，只是采用由丙二醇單甲基醚(PGME)和乙醇以示于表4清潔劑號(hào)4-(1)至4-(4)所示的比例組成的溶液用作清潔劑，得到表4的結(jié)果。
比較實(shí)施例5重復(fù)實(shí)施例1相同的過程，只是單獨(dú)采用PGME溶劑作為清潔劑，得到表4的結(jié)果。
表4
**PGME丙二醇單甲基醚如表4所示，通過向PGME中加入乙醇可大大增加溶解速度。
實(shí)施例5～10重復(fù)實(shí)施例1相同的過程，只是采用由以表5中實(shí)施例5～10所示比例的乙酸正丁酯、乳酸乙酯、2-庚酮、乙氧基丙酸乙酯、乙二醇乙基醚乙酸酯或甲氧基丁醇作為有機(jī)溶劑，乙醇作為醇組成的溶液作為清潔劑，得到表5的結(jié)果。
比較實(shí)施例6～11重復(fù)實(shí)施例1相同的過程，只是采用乙酸正丁酯、乳酸乙酯、2-庚酮、乙氧基丙酸乙酯、乙二醇乙基醚乙酸酯或甲氧基丁醇作為有機(jī)溶劑的單獨(dú)溶劑作為清潔劑，得到表5的結(jié)果。
表5
實(shí)施例11重復(fù)實(shí)施例1相同的過程，只是由PGMEA、乙醇和1-丙醇(7∶2∶1，重量比)的混合物作為清潔劑，得到表6的結(jié)果。
比較實(shí)施例12重復(fù)實(shí)施例1相同的過程，只是用乙醇與1-丙醇(2∶1重量比)作為清潔劑，得到表6的結(jié)果。
表6<
PGMEA丙二醇單甲基醚乙酸酯實(shí)施例中的任一種清潔劑均對人體非常安全。
本發(fā)明發(fā)優(yōu)點(diǎn)如上所述，與常規(guī)清潔劑相比，本發(fā)明用于平版印刷的清潔劑對抗蝕劑的溶解性能顯著改善，可采用少量的清潔劑進(jìn)行迅速有效的清潔，這種清潔劑對人體均非常安全。
工業(yè)應(yīng)用如上所述，本發(fā)明用于平版印刷的清潔劑可在生產(chǎn)半導(dǎo)體集成電路元件中在涂敷抗蝕劑、除去抗蝕劑及除去抗蝕劑后清潔基質(zhì)和漂洗基質(zhì)的步驟中使用。
權(quán)利要求
1.一種用于平版印刷的清潔劑，所述清潔劑包含一種均勻溶液，所述溶液至少包含一種選自下述A組有機(jī)溶劑和至少一種選自具有1～4個(gè)碳原子的醇，A組丙二醇烷基醚丙二醇烷基醚乙酸酯乙二醇烷基醚乙二醇烷基醚乙酸酯乙酸烷基酯丙酸烷基酯烷氧基丙酸烷基酯乳酸烷基酯脂族酮烷氧基丁醇。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的用于平版印刷的清潔劑，其中，所述有機(jī)溶劑為丙二醇烷基醚。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的用于平版印刷的清潔劑，其中，所述的丙二醇烷基醚是選自丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚和丙二醇單丙基醚中的至少一種，所述醇是選自乙醇、1-丙醇和2-丙醇中的至少一種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的用于平版印刷的清潔劑，其中，所述的溶劑為丙二醇烷基醚乙酸酯。
5.根據(jù)權(quán)利要求4的用于平版印刷的清潔劑，其中，所述的丙二醇烷基醚乙酸酯是選自丙二醇單甲基醚乙酸酯和丙二醇單乙基醚乙酸酯中的至少一種，所述醇是選自乙醇、1-丙醇和2-丙醇中的至少一種。
6.根據(jù)權(quán)利要求1的用于平版印刷的清潔劑，其中，所述有機(jī)溶劑是選自乙二醇乙基醚乙酸酯、乙酸正丁酯、甲氧基丙酸甲酯、乙氧基丙酸乙酯、2-庚酮、甲氧基丁醇和乳酸乙酯中的至少一種，所述醇是選自乙醇、1-丙醇和2-丙醇中的至少一種。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于平版印刷的清潔劑,這種清潔劑具有優(yōu)異的溶解抗蝕劑的能力并對人體非常安全,這種清潔劑通?？捎糜谇鍧嵏鞣N涂敷器,如涂敷杯,當(dāng)涂敷抗蝕劑時(shí)或在涂敷抗蝕劑后從基質(zhì)上除去多余的抗蝕劑,在使用抗蝕劑達(dá)到目標(biāo)后從基質(zhì)上除去抗蝕劑,在除去抗蝕劑后清潔并漂洗基質(zhì)。本發(fā)明的用于平版印刷的清潔劑包含一種均勻溶液,所述溶液至少包含一種有機(jī)溶劑和至少一種選自具有1～4個(gè)碳原子的醇,所述有機(jī)溶劑選自:丙二醇烷基醚、丙二醇烷基醚乙酸酯、乙二醇烷基醚、乙二醇烷基醚乙酸酯、乙酸烷基酯、丙酸烷基酯、烷氧基丙酸烷基酯、乳酸烷基酯、脂族酮和烷氧基丁醇。
文檔編號(hào)G03F7/16GK1229522SQ9880081
公開日1999年9月22日 申請日期1998年6月17日 優(yōu)先權(quán)日1997年6月24日
發(fā)明者武田貴志 申請人:克拉瑞特國際有限公司