本實(shí)用新型涉及曝光設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種曝光機(jī)。

背景技術(shù)：

曝光機(jī)主要用于半導(dǎo)體制造、光電電子、平板、射頻微波、衍射光學(xué)、微機(jī)電系統(tǒng)、凹凸或覆晶設(shè)備和其他要求精細(xì)印制和精度對(duì)準(zhǔn)的技術(shù)領(lǐng)域，對(duì)曝光精度要求比較高，傳統(tǒng)的曝光機(jī)在空氣中進(jìn)行曝光，然而空氣中的灰塵會(huì)對(duì)曝光的精度產(chǎn)生影響。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種曝光機(jī)，具備提供干凈的真空環(huán)境，提高曝光的精確度的優(yōu)點(diǎn)，以解決上述背景技術(shù)中提出的在曝光時(shí)空氣中的灰塵對(duì)圖像信息的采集產(chǎn)生影響，降低了曝光的精確度的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種曝光機(jī)，包括箱體，其特征在于：所述箱體內(nèi)開設(shè)有曝光室，曝光室內(nèi)設(shè)置有晶片臺(tái)、玻璃臺(tái)、傳動(dòng)裝置、第一支撐平臺(tái)、第二支撐平臺(tái)、第一支撐桿和第二支撐桿，所述傳動(dòng)裝置為兩組，且對(duì)稱安裝在第一支撐平臺(tái)的兩側(cè)，傳動(dòng)裝置內(nèi)安裝有氣缸，傳動(dòng)裝置與外接電源電性連接，所述第一支撐平臺(tái)和玻璃臺(tái)四周邊沿上端設(shè)置有真空墊圈，晶片臺(tái)和第一支撐平臺(tái)四周邊沿的下端設(shè)置有橡膠桿，晶片臺(tái)的下端還安裝有真空計(jì)，所述第一支撐平臺(tái)水平安裝在傳動(dòng)裝置的上端，第一支撐平臺(tái)上端還設(shè)置有第一支撐桿，第一支撐桿的上端與晶片臺(tái)固定焊接，所述第二支撐平臺(tái)固定安裝在曝光室內(nèi)，第二支撐平臺(tái)上端設(shè)置有第二支撐桿，第二支撐桿固定安裝有玻璃臺(tái)，所述第一支撐平臺(tái)下端開設(shè)有出氣口，第一支撐平臺(tái)的一側(cè)的箱體內(nèi)安裝有抽真空裝置，抽真空裝置包括活塞幫浦、管路、接頭、活門和墊片，管路的一端與出氣口無縫連接，管路的另一端與接頭無縫連接，接頭與活門旋轉(zhuǎn)連接，活門的另一端與活塞幫浦無縫連接，活塞幫浦與外接電源電性相連，箱體的側(cè)上端還設(shè)置有操作控制裝置。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述箱體下方設(shè)置有多個(gè)底腳，底腳的下端設(shè)置有橡膠墊。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述真空墊圈內(nèi)涂有潤(rùn)滑油。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述玻璃臺(tái)外設(shè)置有拉手。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述箱體上安裝有蜂鳴器。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型有益效果：

本曝光機(jī)，通過設(shè)置底腳、橡膠墊、真空墊圈、橡膠桿和抽真空裝置，底腳和橡膠墊對(duì)箱體起到了很好地穩(wěn)固作用，防止因?yàn)榛蝿?dòng)對(duì)曝光采集到的結(jié)果產(chǎn)生影響，橡膠墊和真空墊圈使得晶片臺(tái)和玻璃臺(tái)之間形成密封空間，通過抽真空裝置的工作抽除密封空間內(nèi)的空氣，給曝光過程提供了一個(gè)干凈的真空環(huán)境，使得被曝光的物件處在一個(gè)干凈的真空環(huán)境下，防止了空氣中的灰塵在曝光時(shí)對(duì)曝光產(chǎn)生影響，提高了曝光的精確度。通過操作控制裝置來進(jìn)行控制運(yùn)行，整個(gè)過程操作方便，簡(jiǎn)單高效。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的曝光機(jī)的整體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的曝光機(jī)的主視圖；

圖3為本實(shí)用新型的曝光機(jī)的俯視圖；

圖4為本實(shí)用新型的抽真空裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1-箱體；2-曝光室；3-晶片臺(tái)；4-玻璃臺(tái)；41-拉手；5-傳動(dòng)裝置；6-第一支撐平臺(tái)；7-第二支撐平臺(tái)；8-第一支撐桿；9-第二支撐桿；10-真空墊圈；11-橡膠桿；12-真空計(jì)；13-抽真空裝置；131-活塞幫浦；132-管路；133-接頭；134-活門；135-墊片；14-出氣口；15-操作控制裝置；16-底腳；161-橡膠墊；17-蜂鳴器。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

請(qǐng)參閱圖1-4，本實(shí)用新型實(shí)施例中，一種曝光機(jī)，包括箱體1，箱體1下方設(shè)置有多 個(gè)底腳16，底腳的下端設(shè)置有橡膠墊161，通過設(shè)置多個(gè)底腳16及套上橡膠墊161，使得箱體更加穩(wěn)固，避免了因?yàn)榛蝿?dòng)而使圖像的采集受到影響，影響曝光的精度，箱體1內(nèi)開設(shè)有曝光室2，曝光室內(nèi)設(shè)置有晶片臺(tái)3、玻璃臺(tái)4、傳動(dòng)裝置5、第一支撐平臺(tái)6、第二支撐平臺(tái)7、第一支撐桿8和第二支撐桿9，傳動(dòng)裝置5位兩組，對(duì)稱安裝在第一支撐平臺(tái)6的兩側(cè)，傳動(dòng)裝置5可方便拉動(dòng)第一支撐平臺(tái)6控制晶片臺(tái)3的位置，方便放置檢測(cè)物件，傳動(dòng)裝置5與外接電源電性相連，第一支撐平臺(tái)6和玻璃臺(tái)4四周邊沿上端設(shè)置有真空墊圈10，真空墊圈10內(nèi)添加有油，可以更好地起到密封的效果，晶片臺(tái)3和第一支撐平臺(tái)6四周邊沿的下端設(shè)置有橡膠桿11，真空墊圈10和橡膠桿11通過添加油連接可以更好地起到密封的效果，晶片臺(tái)3的下端安裝有真空計(jì)12，用來檢測(cè)晶片臺(tái)3與玻璃臺(tái)4密封時(shí)空間內(nèi)真空的壓力，第一支撐平臺(tái)6水平安裝在傳動(dòng)裝置5的上端，第二支撐平臺(tái)7固定安裝在曝光室2內(nèi)，第一支撐平臺(tái)6上端設(shè)置有第一支撐桿8，第一支撐桿8的上端固定焊接有晶片臺(tái)3，第二支撐平臺(tái)7上端設(shè)置有第二支撐桿9，第二支撐桿9固定安裝有玻璃臺(tái)4，玻璃臺(tái)4外設(shè)置有拉手41，第一支撐平臺(tái)6的一側(cè)的箱體1內(nèi)安裝有抽真空裝置13，抽真空裝置包括活塞幫浦131、管路132、接頭133、活門134和墊片135，第一支撐平臺(tái)6下端開設(shè)有出氣口14，管路132與出氣口14無縫連接，管路132一端無縫連接有接頭133，接頭133與活門134旋接，活門134的另一端與活塞幫浦131的出口端無縫連接，活塞幫浦131與外接電源電性相連，箱體1的側(cè)上端設(shè)置有操作控制裝置15和蜂鳴器17，可控制操作控制裝置15來控制該曝光機(jī)的工作，當(dāng)真空計(jì)12檢測(cè)到壓力到達(dá)指定值時(shí)，關(guān)閉活塞幫浦131和活門134。

綜上所述，通過設(shè)置底腳16、橡膠墊161、真空墊圈10、橡膠桿11和抽真空裝置13，底腳16和橡膠墊161對(duì)箱體起到了很好地穩(wěn)固作用，防止因?yàn)榛蝿?dòng)對(duì)曝光采集到的結(jié)果產(chǎn)生影響，橡膠墊161和真空墊圈10使得晶片臺(tái)3和玻璃臺(tái)4之間形成密封空間，通過抽真空裝置13的工作抽除密封空間內(nèi)的空氣，給曝光過程提供了一個(gè)干凈的真空環(huán)境，防止了空氣中的灰塵對(duì)曝光的精度產(chǎn)生影響，提高了曝光的精度。

對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本實(shí)用新型不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本實(shí)用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。因此，無論從哪一點(diǎn)來看，均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實(shí)用新型內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。

此外，應(yīng)當(dāng)理解，雖然本說明書按照實(shí)施方式加以描述，但并非每個(gè)實(shí)施方式僅包含一個(gè)獨(dú)立的技術(shù)方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說明書作為一個(gè)整體，各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。