本實(shí)用新型涉及曝光設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,尤其是一種曝光機(jī)。
背景技術(shù):
曝光機(jī)主要用于半導(dǎo)體制造、光電電子、平板、射頻微波、衍射光學(xué)、微機(jī)電系統(tǒng)、凹凸或覆晶設(shè)備和其他要求精細(xì)印制和精度對(duì)準(zhǔn)的技術(shù)領(lǐng)域,對(duì)曝光精度要求比較高,傳統(tǒng)的曝光機(jī)在空氣中進(jìn)行曝光,然而空氣中的灰塵會(huì)對(duì)曝光的精度產(chǎn)生影響。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本實(shí)用新型的目的在于提供一種曝光機(jī),具備提供干凈的真空環(huán)境,提高曝光的精確度的優(yōu)點(diǎn),以解決上述背景技術(shù)中提出的在曝光時(shí)空氣中的灰塵對(duì)圖像信息的采集產(chǎn)生影響,降低了曝光的精確度的問題。
為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:一種曝光機(jī),包括箱體,其特征在于:所述箱體內(nèi)開設(shè)有曝光室,曝光室內(nèi)設(shè)置有晶片臺(tái)、玻璃臺(tái)、傳動(dòng)裝置、第一支撐平臺(tái)、第二支撐平臺(tái)、第一支撐桿和第二支撐桿,所述傳動(dòng)裝置為兩組,且對(duì)稱安裝在第一支撐平臺(tái)的兩側(cè),傳動(dòng)裝置內(nèi)安裝有氣缸,傳動(dòng)裝置與外接電源電性連接,所述第一支撐平臺(tái)和玻璃臺(tái)四周邊沿上端設(shè)置有真空墊圈,晶片臺(tái)和第一支撐平臺(tái)四周邊沿的下端設(shè)置有橡膠桿,晶片臺(tái)的下端還安裝有真空計(jì),所述第一支撐平臺(tái)水平安裝在傳動(dòng)裝置的上端,第一支撐平臺(tái)上端還設(shè)置有第一支撐桿,第一支撐桿的上端與晶片臺(tái)固定焊接,所述第二支撐平臺(tái)固定安裝在曝光室內(nèi),第二支撐平臺(tái)上端設(shè)置有第二支撐桿,第二支撐桿固定安裝有玻璃臺(tái),所述第一支撐平臺(tái)下端開設(shè)有出氣口,第一支撐平臺(tái)的一側(cè)的箱體內(nèi)安裝有抽真空裝置,抽真空裝置包括活塞幫浦、管路、接頭、活門和墊片,管路的一端與出氣口無縫連接,管路的另一端與接頭無縫連接,接頭與活門旋轉(zhuǎn)連接,活門的另一端與活塞幫浦無縫連接,活塞幫浦與外接電源電性相連,箱體的側(cè)上端還設(shè)置有操作控制裝置。
作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案:所述箱體下方設(shè)置有多個(gè)底腳,底腳的下端設(shè)置有橡膠墊。
作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案:所述真空墊圈內(nèi)涂有潤(rùn)滑油。
作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案:所述玻璃臺(tái)外設(shè)置有拉手。
作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案:所述箱體上安裝有蜂鳴器。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型有益效果:
本曝光機(jī),通過設(shè)置底腳、橡膠墊、真空墊圈、橡膠桿和抽真空裝置,底腳和橡膠墊對(duì)箱體起到了很好地穩(wěn)固作用,防止因?yàn)榛蝿?dòng)對(duì)曝光采集到的結(jié)果產(chǎn)生影響,橡膠墊和真空墊圈使得晶片臺(tái)和玻璃臺(tái)之間形成密封空間,通過抽真空裝置的工作抽除密封空間內(nèi)的空氣,給曝光過程提供了一個(gè)干凈的真空環(huán)境,使得被曝光的物件處在一個(gè)干凈的真空環(huán)境下,防止了空氣中的灰塵在曝光時(shí)對(duì)曝光產(chǎn)生影響,提高了曝光的精確度。通過操作控制裝置來進(jìn)行控制運(yùn)行,整個(gè)過程操作方便,簡(jiǎn)單高效。
附圖說明
圖1為本實(shí)用新型的曝光機(jī)的整體結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2為本實(shí)用新型的曝光機(jī)的主視圖;
圖3為本實(shí)用新型的曝光機(jī)的俯視圖;
圖4為本實(shí)用新型的抽真空裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中:1-箱體;2-曝光室;3-晶片臺(tái);4-玻璃臺(tái);41-拉手;5-傳動(dòng)裝置;6-第一支撐平臺(tái);7-第二支撐平臺(tái);8-第一支撐桿;9-第二支撐桿;10-真空墊圈;11-橡膠桿;12-真空計(jì);13-抽真空裝置;131-活塞幫浦;132-管路;133-接頭;134-活門;135-墊片;14-出氣口;15-操作控制裝置;16-底腳;161-橡膠墊;17-蜂鳴器。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
請(qǐng)參閱圖1-4,本實(shí)用新型實(shí)施例中,一種曝光機(jī),包括箱體1,箱體1下方設(shè)置有多 個(gè)底腳16,底腳的下端設(shè)置有橡膠墊161,通過設(shè)置多個(gè)底腳16及套上橡膠墊161,使得箱體更加穩(wěn)固,避免了因?yàn)榛蝿?dòng)而使圖像的采集受到影響,影響曝光的精度,箱體1內(nèi)開設(shè)有曝光室2,曝光室內(nèi)設(shè)置有晶片臺(tái)3、玻璃臺(tái)4、傳動(dòng)裝置5、第一支撐平臺(tái)6、第二支撐平臺(tái)7、第一支撐桿8和第二支撐桿9,傳動(dòng)裝置5位兩組,對(duì)稱安裝在第一支撐平臺(tái)6的兩側(cè),傳動(dòng)裝置5可方便拉動(dòng)第一支撐平臺(tái)6控制晶片臺(tái)3的位置,方便放置檢測(cè)物件,傳動(dòng)裝置5與外接電源電性相連,第一支撐平臺(tái)6和玻璃臺(tái)4四周邊沿上端設(shè)置有真空墊圈10,真空墊圈10內(nèi)添加有油,可以更好地起到密封的效果,晶片臺(tái)3和第一支撐平臺(tái)6四周邊沿的下端設(shè)置有橡膠桿11,真空墊圈10和橡膠桿11通過添加油連接可以更好地起到密封的效果,晶片臺(tái)3的下端安裝有真空計(jì)12,用來檢測(cè)晶片臺(tái)3與玻璃臺(tái)4密封時(shí)空間內(nèi)真空的壓力,第一支撐平臺(tái)6水平安裝在傳動(dòng)裝置5的上端,第二支撐平臺(tái)7固定安裝在曝光室2內(nèi),第一支撐平臺(tái)6上端設(shè)置有第一支撐桿8,第一支撐桿8的上端固定焊接有晶片臺(tái)3,第二支撐平臺(tái)7上端設(shè)置有第二支撐桿9,第二支撐桿9固定安裝有玻璃臺(tái)4,玻璃臺(tái)4外設(shè)置有拉手41,第一支撐平臺(tái)6的一側(cè)的箱體1內(nèi)安裝有抽真空裝置13,抽真空裝置包括活塞幫浦131、管路132、接頭133、活門134和墊片135,第一支撐平臺(tái)6下端開設(shè)有出氣口14,管路132與出氣口14無縫連接,管路132一端無縫連接有接頭133,接頭133與活門134旋接,活門134的另一端與活塞幫浦131的出口端無縫連接,活塞幫浦131與外接電源電性相連,箱體1的側(cè)上端設(shè)置有操作控制裝置15和蜂鳴器17,可控制操作控制裝置15來控制該曝光機(jī)的工作,當(dāng)真空計(jì)12檢測(cè)到壓力到達(dá)指定值時(shí),關(guān)閉活塞幫浦131和活門134。
綜上所述,通過設(shè)置底腳16、橡膠墊161、真空墊圈10、橡膠桿11和抽真空裝置13,底腳16和橡膠墊161對(duì)箱體起到了很好地穩(wěn)固作用,防止因?yàn)榛蝿?dòng)對(duì)曝光采集到的結(jié)果產(chǎn)生影響,橡膠墊161和真空墊圈10使得晶片臺(tái)3和玻璃臺(tái)4之間形成密封空間,通過抽真空裝置13的工作抽除密封空間內(nèi)的空氣,給曝光過程提供了一個(gè)干凈的真空環(huán)境,防止了空氣中的灰塵對(duì)曝光的精度產(chǎn)生影響,提高了曝光的精度。
對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言,顯然本實(shí)用新型不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié),而且在不背離本實(shí)用新型的精神或基本特征的情況下,能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。因此,無論從哪一點(diǎn)來看,均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說明限定,因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實(shí)用新型內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。
此外,應(yīng)當(dāng)理解,雖然本說明書按照實(shí)施方式加以描述,但并非每個(gè)實(shí)施方式僅包含一個(gè)獨(dú)立的技術(shù)方案,說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見,本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說明書作為一個(gè)整體,各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合,形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。