本發(fā)明涉及剝離液組合物，更詳細(xì)地涉及能夠有效地去除固化的彩色光阻劑(colorresist)或有機(jī)系絕緣膜的彩色光阻劑或有機(jī)系絕緣膜剝離液組合物。
背景技術(shù)：
濾色器(colorfilter)可被安裝于互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(complementarymetaloxidesemiconductor，cmos)或電荷耦合器件(chargecoupleddevice，ccd)之類(lèi)的圖像傳感器的彩色攝影裝置內(nèi)而用于實(shí)際上獲得彩色圖像。而且，除此之外，還廣泛用于攝影元件、等離子體顯示器面板(pdp)、液晶顯示裝置(lcd)、場(chǎng)發(fā)射顯示器(fel)和發(fā)光顯示器(led)等，其應(yīng)用范圍正在迅速擴(kuò)大。尤其是，最近液晶顯示裝置(lcd)的用途進(jìn)一步擴(kuò)大，由此在再現(xiàn)液晶顯示裝置(lcd)的色調(diào)方面，濾色器被視為最重要的部件之一。
濾色器基板由紅色(r)、綠色(g)和藍(lán)色(b)圖案，起到阻擋各像素之間的漏光而提高對(duì)比度的作用的黑色矩陣，以及對(duì)液晶單元施加電壓的共用電極構(gòu)成。這種濾色器制造工序中會(huì)不可避免地發(fā)生彩色光阻劑圖案的不良。但是構(gòu)成彩色光阻劑的樹(shù)脂一旦固化則幾乎不可能僅去除并修理有缺陷的部分。特別是由于沒(méi)有能夠去除彩色光阻劑的溶劑，因此劣質(zhì)濾色器不會(huì)經(jīng)過(guò)修理等維修而大部分被廢棄處理，從而存在生產(chǎn)性降低的問(wèn)題。
另外，為了濾色器的涂布而使用有機(jī)系絕緣膜，濾色器的rgb發(fā)生涂布不良或有機(jī)系絕緣膜的涂布不良時(shí)，如果代替廢棄濾色器而經(jīng)過(guò)去除涂布不良面的工序，則具有提高工序的收率和節(jié)約成本的效果。因此，為了濾色器的再利用，要求能夠去除rgb彩色光阻劑和有機(jī)系絕緣膜的剝離液組合物。
韓國(guó)注冊(cè)專利第10-1043397號(hào)公開(kāi)了包含無(wú)機(jī)堿氫氧化物或烷基銨氫氧化物、二甲基亞砜、水溶性胺化合物、n-甲基吡咯烷酮、二亞烷基二醇醚、無(wú)機(jī)堿乙酸酯和余量的水的彩色光阻劑去除用剝離液組合物，但是不僅存在高溫工序時(shí)由于揮發(fā)而在長(zhǎng)期使用時(shí)清除性降低的問(wèn)題，而且還存在不能具有快速去除彩色光阻劑和有機(jī)系絕緣膜的效果。
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1：韓國(guó)注冊(cè)專利第10-1043397號(hào)
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
要解決的課題
本發(fā)明是為了解決上述以往的技術(shù)問(wèn)題而提出的，其目的在于提供在將固化的彩色光阻劑或有機(jī)系絕緣膜剝離時(shí)不引起配線的腐蝕并具有優(yōu)異的剝離清洗性的剝離液組合物。另外，提供隨處理張數(shù)的光阻劑剝離能力和溶解能力優(yōu)異的彩色光阻劑或有機(jī)系絕緣膜剝離液組合物，從而能夠進(jìn)行濾色器的再利用。
解決課題的方法
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種彩色光阻劑或有機(jī)系絕緣膜剝離液組合物，其中，包含：
(a)無(wú)機(jī)堿或其鹽化合物、
(b)有機(jī)季銨堿(organicquaternaryammoniumhydroxide)、
(c)極性有機(jī)溶劑、
(d)下述化學(xué)式1或化學(xué)式2的化合物、
(e)被c1～c6的烷氧基或c2～c6的環(huán)狀醚基取代且包含在主鏈含有或不含氧(-o-)的c1～c6的烷基的胺化合物、
(f)亞烷基二醇烷基醚、
(g)下述化學(xué)式3的肟系剝離促進(jìn)劑、
(h)防腐蝕劑、和
(i)水。
<化學(xué)式1>
上述化學(xué)式1中，r1為c1～c6的亞烷基或-r2-o-r3-，上述r2和r3各自獨(dú)立地為c1～c6的亞烷基，n1和n2各自獨(dú)立地為1～6的整數(shù)。
<化學(xué)式2>
上述化學(xué)式2中，x為
上述x中，*表示結(jié)合位點(diǎn)。
<化學(xué)式3>
上述化學(xué)式3中，r1和r2各自獨(dú)立地為氫、c1～c20的取代或未取代的脂肪族烴、c4～c20的取代或未取代的芳香族烴、或
上述芳香族烴包含或不包含雜原子，
上述r3為氫、c1～c20的取代或未取代的脂肪族烴、c4～c20的取代或未取代的芳香族烴。
發(fā)明效果
本發(fā)明的剝離液組合物用于去除濾色器的固化的rgb和/或有機(jī)系絕緣膜，不引起下部配線的腐蝕并具有優(yōu)異的光阻劑剝離能力，從而在發(fā)生固化的彩色光阻劑圖案的不良時(shí)，能夠有效地將其去除。
另外，本發(fā)明的剝離液組合物不隨處理張數(shù)而剝離能力降低，光阻劑溶解能力優(yōu)異而能夠良好地維持性能，使設(shè)備內(nèi)過(guò)濾器堵塞最小化，從而能夠提供工序的效率、經(jīng)濟(jì)性的效果。
具體實(shí)施方式
一般來(lái)說(shuō)，濾色器是將彩色光阻劑涂布于透明的基材膜而形成掩模圖案后，利用光刻工序形成彩色光阻劑圖案而制造，此時(shí)，如果彩色光阻劑圖案發(fā)生不良，則進(jìn)行將其去除而重新得到透明的基材膜的再利用的返工(rework)。
用于這種返工工序的物質(zhì)就是光阻劑剝離液組合物，以往的光阻劑剝離液組合物不僅難以具有沒(méi)有下部配線的損傷的優(yōu)異的剝離能力，而且存在經(jīng)時(shí)的光阻劑剝離能力、溶解能力降低的問(wèn)題。
本發(fā)明的彩色光阻劑或有機(jī)系絕緣膜剝離液組合物通過(guò)包含無(wú)機(jī)堿或其鹽化合物、有機(jī)季銨堿、極性有機(jī)溶劑、特定結(jié)構(gòu)的胺化合物和肟系化合物以及防腐蝕劑等，從而能夠提供不僅具有沒(méi)有配線的損傷的優(yōu)異的剝離能力，而且隨處理張數(shù)的光阻劑剝離能力和溶解能力優(yōu)異的效果。
本發(fā)明涉及一種彩色光阻劑或有機(jī)系絕緣膜剝離液組合物，其中，包含：
(a)無(wú)機(jī)堿或其鹽化合物、
(b)有機(jī)季銨堿、
(c)極性有機(jī)溶劑、
(d)下述化學(xué)式1或化學(xué)式2的化合物、
(e)被c1～c6的烷氧基或c2～c6的環(huán)狀醚基取代且包含在主鏈可含有氧(-o-)的c1～c6的烷基的胺化合物、
(f)亞烷基二醇烷基醚、
(g)下述化學(xué)式3的肟系剝離促進(jìn)劑、
(h)防腐蝕劑、和
(i)水。
<化學(xué)式1>
上述化學(xué)式1中，r1為c1～c6的亞烷基或-r2-o-r3-，上述r2和r3各自獨(dú)立地為c1～c6的亞烷基，n1和n2各自獨(dú)立地為1～6的整數(shù)。
<化學(xué)式2>
上述化學(xué)式2中，x為
上述x中，*表示結(jié)合位點(diǎn)。
<化學(xué)式3>
上述化學(xué)式3中，r1和r2各自獨(dú)立地為氫、c1～c20的取代或未取代的脂肪族烴、c4～c20的取代或未取代的芳香族烴、或
上述芳香族烴可包含雜原子，
上述r3為氫、c1～c20的取代或未取代的脂肪族烴、c4～c20的取代或未取代的芳香族烴。
下面，對(duì)各成分具體進(jìn)行說(shuō)明。
(a)無(wú)機(jī)堿或其鹽化合物
本發(fā)明的剝離液組合物中所包含的無(wú)機(jī)堿或其鹽化合物發(fā)揮提高對(duì)光阻劑的剝離能力而使得從基板的剝離變得容易的作用。
上述無(wú)機(jī)堿或其鹽化合物可以是包含鋰、鈉或鉀等的化合物，作為更具體的例子，可以是選自氫氧化鋰、氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸氫鈉、碳酸氫鉀、硝酸鈉、硝酸鉀、硫酸鈉、硫酸鉀、硅酸鈉、硅酸鉀、乙酸鈉和乙酸鉀等中的一種以上，但不限于此。
上述無(wú)機(jī)堿或其鹽化合物的含量沒(méi)有特別限定，相對(duì)于剝離液組合物總重量，優(yōu)選包含0.001～5重量％，更優(yōu)選包含0.02～2重量％。無(wú)機(jī)堿或其鹽化合物的含量以上述基準(zhǔn)計(jì)小于0.001重量％時(shí)，對(duì)于有機(jī)系絕緣膜的剝離能力提高效果甚微，超過(guò)5重量％時(shí)，隨著含量增加的效果甚微而不經(jīng)濟(jì)。
(b)有機(jī)季銨堿
本發(fā)明的剝離液組合物中所包含的有機(jī)季銨堿發(fā)揮釋放氫氧離子(oh-)而向彩色高分子光阻劑內(nèi)滲透，從而促進(jìn)高分子光阻劑的溶解的作用。
上述有機(jī)季銨堿沒(méi)有特別限定，作為具體例，可舉出四甲基氫氧化銨(tetramethylammoniumhydroxide，tmah)、四乙基氫氧化銨(tetraethylammoniumhydroxide，teah)、四丙基氫氧化銨(tetrapropylammoniumhydroxide，tpah)和四丁基氫氧化銨(tetrabutylammoniumhydroxide，tbah)等，可以使用選自其中的一種以上。
上述有機(jī)季銨堿相對(duì)于本發(fā)明的剝離液組合物總重量?jī)?yōu)選包含1～20重量％，更優(yōu)選包含3～15重量％。上述有機(jī)季銨堿的含量小于1重量％時(shí)，氫氧離子向構(gòu)成彩色光阻劑的高分子成分的滲透能力降低而光阻劑清除性降低，超過(guò)20重量％時(shí)，為了溶解而需要過(guò)量的水，由此其他成分的含量相對(duì)減少，從而對(duì)光阻劑溶解能力可能減少。
(c)極性有機(jī)溶劑
本發(fā)明的剝離液組合物中所包含的極性有機(jī)溶劑滲透光阻劑而增加溶脹性，從基板表面剝離的能力。另外，提高本發(fā)明的剝離液組合物對(duì)水的溶解能力，在其后的水洗工序中容易去除殘留物。
上述極性有機(jī)溶劑更優(yōu)選為極性非質(zhì)子有機(jī)溶劑，但不限于此。
作為上述極性有機(jī)溶劑的具體例，可以使用選自二甲基亞砜(dimethylsulfoxide)、二乙基亞砜(diethylsulfoxide)、二丙基亞砜(dipropylsulfoxide)、環(huán)丁砜(sulfolane)、n-甲基吡咯烷酮(n-methyl-2-pyrrolidone)、吡咯烷酮(pyrrolidone)和n-乙基吡咯烷酮(n-ethylpyrrolidone)等中的一種以上。
上述極性有機(jī)溶劑相對(duì)于本發(fā)明的剝離液組合物總重量?jī)?yōu)選包含20～70重量％，更優(yōu)選包含25～65重量％。上述極性有機(jī)溶劑的含量小于20重量％時(shí)，對(duì)光阻劑的溶脹(swelling)不足而難以完全去除光阻劑，對(duì)光阻劑的溶解能力可能減少。另一方面，超過(guò)70重量％時(shí)，上述的有機(jī)季銨堿和其他成分的含量相對(duì)降低，對(duì)光阻劑的滲透能力可能減低。
(d)下述化學(xué)式1或化學(xué)式2的化合物
本發(fā)明的剝離液組合物包含選自下述化學(xué)式1和化學(xué)式2的化合物中的一種以上的化合物。
<化學(xué)式1>
上述化學(xué)式1中，r1為c1～c6的亞烷基或-r2-o-r3-，上述r2和r3各自獨(dú)立地為c1～c6的亞烷基，n1和n2各自獨(dú)立地為1～6的整數(shù)。
<化學(xué)式2>
上述化學(xué)式2中，x為
本發(fā)明的組合物中所包含的上述化學(xué)式1或化學(xué)式2的化合物對(duì)形成光阻劑的樹(shù)脂、尤其是對(duì)環(huán)氧樹(shù)脂的溶解性優(yōu)異，因此能提高光阻劑的剝離能力，還能夠改善設(shè)備內(nèi)濾色器的堵塞。另外，使用熱和化學(xué)穩(wěn)定性高的樹(shù)脂的紅色(r)、綠色(g)、藍(lán)色(b)和白色(w)的透明光阻劑的情況下，也能夠顯示優(yōu)異的光阻劑剝離能力。
作為上述化學(xué)式1的化合物的具體的例子，可舉出3,6-二氧雜-1,8-辛烷二胺、4,7-二氧雜癸烷-1,10-二胺、4,9-二氧雜十二烷-1,12-二胺和4,7,10-三氧雜-1,13-十三烷二胺等，可以使用選自其中的一種以上。
作為上述化學(xué)式2的化合物的優(yōu)選的例子，可舉出在上述化學(xué)式2中m為1，r4為甲基，2個(gè)r5各自為氫或氨基，n3為2～3、5～6、33～34或67～68的化合物。此時(shí)上述化合物的重均分子量可以為200～4000。
另外，可舉出m為3，r4為乙基，n3為1或2的化合物，此時(shí)上述化合物的重均分子量可以為300～500。它們可以各自單獨(dú)使用，或?qū)煞N以上混合使用。
上述化學(xué)式1或化學(xué)式2的化合物相對(duì)于本發(fā)明的剝離液組合物總重量?jī)?yōu)選包含0.5～10重量％，更優(yōu)選包含1～9重量％。以上述基準(zhǔn)計(jì)，含量小于0.5重量％時(shí)，滲透至固化的光阻劑內(nèi)而產(chǎn)生的切斷鍵的力降低。另一方面，超過(guò)10重量％時(shí)，有機(jī)季銨堿和極性有機(jī)溶劑的含量相對(duì)地降低，因此光阻劑的溶解能力可能減少。
(e)胺化合物
本發(fā)明的光阻劑剝離液組合物中所包含的胺化合物是被c1～c6的烷氧基或c2～c6的環(huán)狀醚基取代且包含在主鏈可含有氧(-o-)的c1～c6的烷基的胺化合物。上述胺化合物包含在光阻劑剝離液組合物中而發(fā)揮提高組合物的堿性的作用。另外，由于與光阻劑的分子結(jié)構(gòu)類(lèi)似而容易向光阻劑內(nèi)滲透，因此能夠提高光阻劑的剝離能力，由此還能改善設(shè)備內(nèi)的堵塞現(xiàn)象。
上述胺化合物只要是被c1～c6的烷氧基或c2～c6的環(huán)狀醚基取代且包含在主鏈可含有氧(-o-)的c1～c6的烷基的胺化合物，就沒(méi)有特別限定，作為具體例，可舉出下述化學(xué)式5表示的化合物。
<化學(xué)式5>
上述化學(xué)式5中，y為
r6、r7和r9各自獨(dú)立地為氫、c1～c6的烷基，r8為c1～c6的烷氧基，上述烷氧基可以被c2～c6的環(huán)狀醚基或c1～c3的烷氧基取代，n為1至4的整數(shù)。
在這里，*表示結(jié)合位點(diǎn)。
作為上述胺化合物的更具體的例子，可舉出甲氧基乙胺、甲氧基丙胺、乙氧基丙胺、丙氧基乙胺、異丙氧基丙胺、甲氧基乙氧基丙胺、四氫呋喃-2-基-甲烷胺、(四氫呋喃-2-基-甲基)丁烷-1-胺和甲基四氫呋喃-2-基-甲烷胺等，可以使用選自其中的一種以上。
上述胺化合物相對(duì)于本發(fā)明的剝離液組合物總重量?jī)?yōu)選包含1～30重量％，可以更優(yōu)選包含5～25重量％。上述胺化合物的含量小于1重量％時(shí)，滲透至固化的光阻劑內(nèi)而產(chǎn)生的切斷鍵的力降低，超過(guò)30重量％時(shí)，有機(jī)季銨堿和極性有機(jī)溶劑的含量相對(duì)地降低，從而光阻劑的溶解能力有可能減少。
上述胺化合物與上述的化學(xué)式1或化學(xué)式2的化合物一同被包含在本發(fā)明的剝離液組合物中而提高光阻劑的剝離能力，能夠改善設(shè)備內(nèi)過(guò)濾器的堵塞。另外，在使用熱和化學(xué)穩(wěn)定性高的樹(shù)脂的紅色(r)、綠色(g)、藍(lán)色(b)和白色(w)的透明光阻劑的情況下，也發(fā)揮使光阻劑剝離能力優(yōu)異的作用。
(f)亞烷基二醇烷基醚
本發(fā)明的剝離液組合物中所包含的亞烷基二醇烷基醚發(fā)揮滲透到被固化的樹(shù)脂的高分子鏈中而切斷鏈的作用，能夠提高光阻劑的剝離能力。
上述亞烷基二醇烷基醚沒(méi)有特別限定，可優(yōu)選舉出下述化學(xué)式4的化合物。
<化學(xué)式4>
上述化學(xué)式4中，r1為c1～c5的亞烷基，r2至r3各自獨(dú)立地為c1～c6的烷基，n為1～5的整數(shù)。
作為上述亞烷基二醇烷基醚的具體例子，可舉出乙二醇二甲醚、二乙二醇二甲醚、二丙二醇二甲醚、三乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、二乙二醇二乙醚和二乙二醇甲乙醚等，但不限于此，可以使用選自其中的一種以上。
上述亞烷基二醇烷基醚相對(duì)于本發(fā)明的剝離液組合物總重量?jī)?yōu)選包含1～30重量％，可以更優(yōu)選包含5～25重量％。亞烷基二醇烷基醚的含量以上述基準(zhǔn)計(jì)小于1重量％時(shí)，向光阻劑高分子內(nèi)的滲透能力可能減小。另一方面，超過(guò)30重量％時(shí)，沒(méi)有增量所帶來(lái)的效果的增加，因此不經(jīng)濟(jì)，上述的有機(jī)季銨堿的溶解度降低，有可能使剝離液組合物的相穩(wěn)定性(phasestability)降低。
(g)肟系剝離促進(jìn)劑
本發(fā)明的剝離液組合物包含下述化學(xué)式3的肟系剝離促進(jìn)劑。
<化學(xué)式3>
上述化學(xué)式3中，r1和r2各自獨(dú)立地為氫、c1～c20的取代或未取代的脂肪族烴、c4～c20的取代或未取代的芳香族烴、或
上述芳香族烴可以包含氮(n)等雜原子，
上述r3為氫、c1～c20的取代或未取代的脂肪族烴、c4～c20的取代或未取代的芳香族烴。
作為上述取代的取代基，可舉出選自羥基、芐基和苯基等中的一種以上。
上述化學(xué)式3的肟系剝離促進(jìn)劑由于與光阻劑的分子結(jié)構(gòu)類(lèi)似，容易向光阻劑內(nèi)滲透，因此能夠進(jìn)一步改善光阻劑的剝離能力，能夠顯示出優(yōu)異的剝離持續(xù)性。
上述剝離促進(jìn)劑沒(méi)有特別限定，例如可以使用選自α-苯偶姻肟、2-丁酮肟、二甲基乙二肟、二苯基乙二肟、苯乙酮肟、3-羥基-3-甲基-2-丁酮肟、吡啶-2-乙醛肟、丙酮肟、甲醛肟和環(huán)己酮肟等中的一種以上。更優(yōu)選地，可以使用甲醛肟、二甲基乙二肟、二苯基乙二肟、2-丁酮肟或α-苯偶姻肟等。
上述剝離促進(jìn)劑相對(duì)于本發(fā)明的剝離液組合物總重量可以包含0.01～10重量％，可以更優(yōu)選包含0.1～5重量％。上述剝離促進(jìn)劑的含量小于0.01重量％時(shí)，光阻劑的剝離能力增進(jìn)效果甚微，超過(guò)10重量％時(shí)，增量所帶來(lái)的光阻劑剝離能力提高效果甚微而不經(jīng)濟(jì)。
(h)防腐蝕劑
本發(fā)明的剝離液組合物包含防腐蝕劑，其提高防止金屬配線的腐蝕的能力。另外，在沖洗工序時(shí)，防止光阻劑殘留物的再吸附而提高沖洗能力。
上述防腐蝕劑沒(méi)有特別限定，例如可舉出苯并三唑、甲苯基三唑、甲基甲苯基三唑、2,2’-[[[苯并三唑]甲基]亞氨基]雙乙醇、2,2’-[[[甲基-1氫-苯并三唑-1-基]甲基]亞氨基]雙甲醇、2,2’-[[[乙基-1氫-苯并三唑-1-基]甲基]亞氨基]雙乙醇、2,2’-[[[甲基-1氫-苯并三唑-1-基]甲基]亞氨基]雙乙醇、2,2’-[[[甲基-1氫-苯并三唑-1-基]甲基]亞氨基]雙羧酸、2,2’-[[[甲基-1氫-苯并三唑-1-基]甲基]亞氨基]雙甲胺和2,2’-[[[胺-1氫-苯并三唑-1-基]甲基]亞氨基]二乙醇等唑系化合物；1,2-苯醌、1,4-苯醌、1,4-萘醌和蒽醌等醌系化合物；鄰苯二酚等鄰苯二酚系化合物；鄰苯三酚、沒(méi)食子酸甲酯、沒(méi)食子酸丙酯、沒(méi)食子酸十二烷基酯、沒(méi)食子酸辛酯和沒(méi)食子酸等沒(méi)食子酸烷基酯系化合物等。它們可以單獨(dú)使用或?qū)煞N以上混合使用。
上述防腐蝕劑相對(duì)于組合物總重量可以優(yōu)選包含0.1～5重量％。防腐蝕劑的含量小于0.1重量％時(shí)，在剝離或去離子水沖洗工序中可能發(fā)生鋁或鋁合金和銅或銅合金等金屬配線的腐蝕，超過(guò)5重量％時(shí)，可能發(fā)生表面吸附導(dǎo)致的二次污染和剝離能力降低。
(i)水
本發(fā)明的剝離液組合物中所包含的水發(fā)揮提高無(wú)機(jī)堿或其鹽化合物的活化和溶解度而增加光阻劑的去除速度，防止溶液內(nèi)的析出的作用。另外，利用去離子水的沖洗工序時(shí)，能夠使基板上殘留的有機(jī)污染物和剝離液組合物快速完全地被去除。
上述水可以以本發(fā)明的剝離液組合物總重量達(dá)到100重量％的方式包含余量。
上述水的種類(lèi)沒(méi)有特別限定，但優(yōu)選使用去離子水，可以更優(yōu)選使用作為半導(dǎo)體工序用去離子水的電阻率為18mω·cm以上的水。
另外，本發(fā)明的彩色光阻劑或有機(jī)系絕緣膜剝離液組合物除了上述的成分以外，還可以包含表面活性劑等成分。
上述表面活性劑發(fā)揮加快高分子光阻劑在基板脫離吸附的速度的作用。
作為上述表面活性劑，可舉出在本領(lǐng)域通常使用的非離子性表面活性劑、陽(yáng)離子性表面活性劑和陰離子性表面活性劑，它們可以各自單獨(dú)或混合使用。
下面，利用本發(fā)明的實(shí)施例更詳細(xì)地說(shuō)明。但下述實(shí)施例是用于例示本發(fā)明，本發(fā)明的范圍并不限于下述實(shí)施例。
<實(shí)施例和比較例>
實(shí)施例1～12和比較例1～10.彩色光阻劑或有機(jī)系絕緣膜剝離液組合物的制造
在下述表1中記載的成分和含量中混合余量的水來(lái)制造剝離液組合物。
[表1]
(重量％)
<實(shí)驗(yàn)例>剝離液組合物的性能測(cè)定
實(shí)驗(yàn)例1.剝離能力評(píng)價(jià)
為了評(píng)價(jià)上述實(shí)施例1～12和比較例1～10的剝離液組合物的剝離能力，進(jìn)行了如下實(shí)驗(yàn)。
剝離能力評(píng)價(jià)使用涂布有有機(jī)系絕緣膜、白色、紅色、綠色、藍(lán)色的光阻劑并固化的基板。在玻璃基板上以2μm左右的厚度涂布有機(jī)系絕緣膜和光阻劑后，在100℃的烘箱中預(yù)烘3分鐘后，經(jīng)過(guò)曝光和顯影工序形成圖案后，將形成有圖案的基板在220℃烘箱中硬烘30分鐘而制造。
將剝離液組合物的溫度恒定地維持在75℃，同時(shí)將上述基板浸漬10分鐘，用去離子水清洗30秒后，用光學(xué)顯微鏡和肉眼確認(rèn)殘膜，并將其結(jié)果示于下述表2。
<評(píng)價(jià)基準(zhǔn)>
◎：100％的光阻劑和有機(jī)系絕緣膜被去除
○：80％以上的光阻劑和有機(jī)系絕緣膜被去除
△：小于80％的光阻劑和有機(jī)系絕緣膜被去除
x：光阻劑和有機(jī)系絕緣膜幾乎未被去除
實(shí)驗(yàn)例2.隨處理張數(shù)的剝離能力評(píng)價(jià)
為了評(píng)價(jià)上述實(shí)施例1～12和比較例1～10的剝離液組合物的隨處理張數(shù)的剝離能力，進(jìn)行了如下實(shí)驗(yàn)。
關(guān)于隨處理張數(shù)的剝離能力評(píng)價(jià)，同樣使用在上述實(shí)驗(yàn)例1中使用的有機(jī)系絕緣膜、白色、紅色、綠色、藍(lán)色的光阻劑并固化的基板。
使用將剝離液組合物的溫度恒定地維持在75℃，同時(shí)將上述基板一張一張地浸漬而剝離后連續(xù)浸漬的方法，在剝離時(shí)間超過(guò)1200秒時(shí)終止。按照下述評(píng)價(jià)基準(zhǔn)，評(píng)價(jià)了與未包含剝離促進(jìn)劑的制品比較時(shí)的張數(shù)增減率，并將其結(jié)果示于下述表2。
<評(píng)價(jià)基準(zhǔn)>
◎：+30％≤相對(duì)于未包含剝離促進(jìn)劑的制品的張數(shù)增減率
○：+10％≤相對(duì)于未包含剝離促進(jìn)劑的制品的張數(shù)增減率<+30％
△：-10％≤相對(duì)于未包含剝離促進(jìn)劑的制品的張數(shù)增減率<+10％
x：相對(duì)于未包含剝離促進(jìn)劑的制品的張數(shù)增減率<-10％
實(shí)驗(yàn)例3.金屬配線損傷評(píng)價(jià)
為了評(píng)價(jià)上述實(shí)施例1～12和比較例1～10的剝離液組合物對(duì)金屬配線的損傷程度，進(jìn)行了如下實(shí)驗(yàn)。
使用蒸鍍結(jié)束至cu/ti配線和鈍化(passivation)膜的基板，將光阻劑剝離液組合物的溫度恒定地維持在75℃并浸漬上述基板。在浸漬后1小時(shí)、2小時(shí)、3小時(shí)的各時(shí)間點(diǎn)取出2張，用光學(xué)顯微鏡確認(rèn)配線的損傷程度，將其結(jié)果示于下述表2。
<評(píng)價(jià)基準(zhǔn)>
◎：下部配線損傷的個(gè)數(shù)為10個(gè)以下
○：下部配線損傷的個(gè)數(shù)超過(guò)10個(gè)且30個(gè)以下
△：下部配線損傷的個(gè)數(shù)超過(guò)30個(gè)且100個(gè)以下
x：下部配線損傷的個(gè)數(shù)超過(guò)100個(gè)
實(shí)驗(yàn)例4.剝離的光阻劑溶解能力評(píng)價(jià)
為了評(píng)價(jià)上述實(shí)施例1～12和比較例1～10的剝離液組合物的溶解能力，進(jìn)行了如下實(shí)驗(yàn)。
關(guān)于剝離的光阻劑溶解能力評(píng)價(jià)，使用涂布有有機(jī)系絕緣膜、白色、紅色、綠色、藍(lán)色的光阻劑并固化的基板。將剝離液組合物的溫度恒定地維持在75℃，同時(shí)浸漬上述基板。剝離3張上述基板后開(kāi)始用肉眼確認(rèn)溶液中的剝離的光阻劑的溶解程度，最多觀察至120分鐘。將其結(jié)果示于下述表2。
<評(píng)價(jià)基準(zhǔn)>
◎：剝離的光阻劑的溶解時(shí)間為60分鐘以內(nèi)
○：剝離的光阻劑的溶解時(shí)間為90分鐘以內(nèi)
△：剝離的光阻劑的溶解時(shí)間為120分鐘以內(nèi)
x：剝離的光阻劑的溶解時(shí)間超過(guò)120分鐘
[表2]
如上述表2所示，確認(rèn)了本發(fā)明的剝離液組合物在固化的彩色光阻劑或有機(jī)系絕緣膜剝離時(shí)不引起配線的腐蝕，并顯示優(yōu)異的剝離能力。另外，確認(rèn)了隨處理張數(shù)的剝離能力和剝離的光阻劑的溶解能力優(yōu)異。
即，如果利用本發(fā)明的剝離液組合物，則能夠滿足隨處理張數(shù)的光阻劑剝離能力、溶解能力、防止配線的腐蝕等所要求的全部特性，由此能夠有效地再利用濾色器。