光刻機(jī)照明系統(tǒng)照明鏡組單元的調(diào)整支撐機(jī)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】一種光刻機(jī)照明系統(tǒng)照明鏡組單元的調(diào)整支撐機(jī)構(gòu)，包含固定在底板上的前端支撐裝置、第一后端支撐裝置、第二后端支撐裝置、連接第一后端支撐裝置和第二后端支撐裝置的后端支撐，所述前端支撐裝置、后端支撐和照明鏡組單元固定連接，本發(fā)明調(diào)整支撐機(jī)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)照明鏡組單元的安裝調(diào)整和支撐固定，對照明鏡組單元進(jìn)行X、Y、Z方向及繞其旋轉(zhuǎn)的六個(gè)自由度方向進(jìn)行調(diào)整，安裝調(diào)整固定方便，具有較高的定位精度。
【專利說明】光刻機(jī)照明系統(tǒng)照明鏡組單元的調(diào)整支撐機(jī)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光刻機(jī)，特別是一種光刻機(jī)照明系統(tǒng)照明鏡組單元的調(diào)整支撐機(jī)構(gòu)?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]照明鏡組單元位于光刻機(jī)照明系統(tǒng)頂部模塊，是照明系統(tǒng)頂部模塊其他單元的安裝調(diào)試基準(zhǔn)，要保證其與頂部模塊的底板之間較好的位置精度，且可相對于底板調(diào)整，所以照明鏡組單元在照明系統(tǒng)中有著很重要的作用。
[0003]目前光刻機(jī)照明系統(tǒng)照明鏡組單元的裝調(diào)支撐機(jī)構(gòu)多采用起升旋轉(zhuǎn)定位裝置和三自由度調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特點(diǎn)是首先在底板平面上利用銷定位，限制XY平面上三個(gè)自由度，然后用三自由度調(diào)整機(jī)構(gòu)進(jìn)行調(diào)整。圖1和圖2為現(xiàn)有光刻機(jī)照明系統(tǒng)照明鏡組的調(diào)整支撐機(jī)構(gòu)。圖中:01_照明鏡組單元、02-后端調(diào)整支撐裝置、03-防撞裝置、04-液壓裝置、05-前端調(diào)整支撐裝置、06-前端定位銷、07-起升旋轉(zhuǎn)裝置、08-后端定位銷。該結(jié)構(gòu)的工作原理如下:所述起升旋轉(zhuǎn)裝置將照明鏡組單元01向上提升一定高度，再旋轉(zhuǎn)離開原來位置，反過來，可將照明鏡組單元01旋轉(zhuǎn)并下降到原來的位置，利用前端定位銷06和后端定位銷08限制所述照明鏡組單元的位置，再利用前端調(diào)整支撐裝置05和后端調(diào)整支撐裝置02進(jìn)行所述照明鏡組單元的三自由度調(diào)整。這種光刻機(jī)照明系統(tǒng)照明鏡組單元調(diào)整支撐機(jī)構(gòu)的缺點(diǎn)是:一、照明鏡組起升旋轉(zhuǎn)的過程會占用很大的空間，同時(shí)要注意防止撞到其他模塊。二、利用銷進(jìn)行平面上的定位，定位精度較低，對零件的加工精度要求較高，且不便于調(diào)難
iF.0
[0004]中國專利“用于光刻機(jī)照明頂部模塊的安裝維護(hù)機(jī)構(gòu)”(CN102207684A)提出了一種用于光刻機(jī)照明頂部模塊整體的六自由度安裝維護(hù)機(jī)構(gòu)，其中包括四個(gè)調(diào)整定位裝置和八個(gè)調(diào)整螺釘。四個(gè)調(diào)整定位裝置在垂直方向上調(diào)整時(shí)可能會造成過約束，八個(gè)調(diào)整螺釘用于調(diào)整平面內(nèi)的三個(gè)自由度，具有調(diào)整方向的不確定性，調(diào)整任一自由度需松開和擰緊多個(gè)調(diào)整螺釘協(xié)調(diào)配合，并且各個(gè)方向的調(diào)整數(shù)值會相互影響，需反復(fù)多次調(diào)節(jié)才能達(dá)到精度要求。本專利借鑒其垂直方向調(diào)整定位裝置的原理，對結(jié)構(gòu)做了改進(jìn)，使其更方便于加工和安裝調(diào)整固定。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種光刻機(jī)照明系統(tǒng)照明鏡組單元的調(diào)整支撐機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，同時(shí)提高光刻機(jī)照明系統(tǒng)頂部模塊照明鏡組單元的安裝定位精度。
[0006]本發(fā)明的技術(shù)解決方案如下:
[0007]一種光刻機(jī)照明系統(tǒng)照明鏡組單元的調(diào)整支撐機(jī)構(gòu)，特點(diǎn)在于其構(gòu)成包括固定在一塊底板上的前端支撐裝置、第一后端支撐裝置、第二后端支撐裝置、連接第一后端支撐裝置和第二后端支撐裝置的后端支撐，所述前端支撐裝置、后端支撐和光刻機(jī)照明系統(tǒng)的照明鏡組單元固定連接。
[0008]所述的前端支撐裝置由前端支撐、前端底座、前端支撐調(diào)整螺釘、X向調(diào)整支撐塊、X向調(diào)整螺釘、Y向調(diào)整支撐塊、Y向調(diào)整螺釘、固定螺釘和垂直調(diào)整定位裝置組成；所述的前端底座位于所述的前端支撐的下面，前端底座上開有一個(gè)球形凹槽，所述的前端支撐的底部具有球形端，該球形端嵌入所述的球形凹槽中形成前端支撐繞所述的球形凹槽的軸線的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；所述的前端底座上表面的兩邊固設(shè)有兩個(gè)凸起，所述的前端支撐調(diào)整螺釘平行于Y軸方向穿過所述的凸起的螺孔與所述的前端支撐接觸，調(diào)整旋轉(zhuǎn)所述的前端支撐調(diào)整螺釘推動所述前端支撐繞Z軸轉(zhuǎn)動，從而帶動所述的照明鏡組單元繞Z軸轉(zhuǎn)動；所述的X向調(diào)整支撐塊和Y向調(diào)整支撐塊分別位于前端底座的左側(cè)和前側(cè)，通過固定螺釘固定在所述的底板上；
[0009]所述的X向調(diào)整支撐塊的X向調(diào)整螺釘平行于X軸方向設(shè)置在X向調(diào)整支撐塊上，與前端底座左側(cè)面接觸，旋轉(zhuǎn)所述的X向調(diào)整螺釘推動前端底座沿X軸方向移動，從而帶動所述的照明鏡組單元沿X軸方向移動；
[0010]所述的Y向調(diào)整支撐塊的Y向調(diào)整螺釘平行于Y軸方向設(shè)置在Y向調(diào)整支撐塊上，與前端底座的前面接觸，旋轉(zhuǎn)所述的Y向調(diào)整螺釘推動前端底座沿Y軸方向移動，從而帶動所述的照明鏡組單元沿Y軸方向移動；
[0011]在所述的前端底座上豎直向下設(shè)有垂直調(diào)整定位裝置，構(gòu)成是:垂直調(diào)整螺釘具有的外螺紋與所述前端底座具有的內(nèi)螺紋配合，將垂直調(diào)整螺釘和前端底座連接在一起；一長鎖緊螺釘依次通過所述球頭墊片、垂直調(diào)整螺釘、球頭支撐固定在底板上。
[0012]所述的前端支撐與所述的光刻機(jī)照明系統(tǒng)照明鏡組單元通過一個(gè)以上的鎖緊螺釘固定連接。
[0013]所述的第一后端調(diào)整支撐通過一個(gè)以上所述的第一連接件固定在后端支撐的左側(cè)；所述的第二后端調(diào)整支撐通過一個(gè)以上所述的第三連接件固定在后端支撐的右側(cè)；
[0014]所述的第一后端支撐裝置由第一后端調(diào)整支撐、第一連接件、第二連接件以及垂直調(diào)整定位裝置組成；所述的第二后端支撐裝置由第二后端調(diào)整支撐、第三連接件、第四連接件以及垂直調(diào)整定位裝置組成；所述的垂直調(diào)整定位裝置由球頭支撐、垂直調(diào)整螺釘、球頭墊片以及長鎖緊螺釘組成；
[0015]所述的第一后端調(diào)整支撐由本體、下方左側(cè)的第一彈性塊和第二彈性塊組成，第一彈性塊由第一狹縫、第二狹縫、第四狹縫切割第一后端調(diào)整支撐而成，第二彈性塊由第一狹縫、第三狹縫、第四狹縫切割第一后端調(diào)整支撐而成；第一狹縫位于第一后端調(diào)整支撐的左下方，與XY平面平行，第二狹縫和第三狹縫分別位于第一后端調(diào)整支撐下部的前、后方，平行于YZ平面，與第一狹縫相通，與第四狹縫不相通；第四狹縫位于第一后端調(diào)整支撐的左下方，平行于XZ平面，與第一狹縫相通；
[0016]所述的第一彈性塊和第二彈性塊上開有沿Y軸方向的通孔，一個(gè)以上所述的第二連接件通過通孔將第一彈性塊和第二彈性塊連接在一起，擰緊第二連接件使內(nèi)通孔變小與垂直調(diào)整螺釘?shù)耐饴菁y接觸，從而將第一后端調(diào)整支撐和垂直調(diào)整螺釘固定在一起；
[0017]所述的垂直調(diào)整螺釘具有的外螺紋與所述的第一后端調(diào)整支撐上半部分具有的內(nèi)螺紋配合，使垂直調(diào)整螺釘和第一后端調(diào)整支撐螺紋連接；與第一后端調(diào)整支撐螺紋配合的垂直調(diào)整螺釘具有的外螺紋和所述的第一后端調(diào)整支撐下半部分具有的內(nèi)通孔之間留有間隙；
[0018]所述的第二后端調(diào)整支撐與所述的第一后端調(diào)整支撐結(jié)構(gòu)相同；[0019]所述的垂直調(diào)整螺釘具有的外螺紋與所述的第二后端調(diào)整支撐上半部分具有的內(nèi)螺紋配合，使得垂直調(diào)整螺釘和第二后端調(diào)整支撐固定連接；
[0020]與第二后端調(diào)整支撐螺紋配合的垂直調(diào)整螺釘具有的外螺紋和所述的第二后端調(diào)整支撐下半部分具有的內(nèi)通孔之間留有間隙；擰緊所述的第三連接件使得位于第二后端調(diào)整支撐下半部分的內(nèi)通孔和與第二后端調(diào)整支撐螺紋配合的垂直調(diào)整螺釘?shù)耐饴菁y接觸，從而將第二后端調(diào)整支撐和垂直調(diào)整螺釘固定在一起。
[0021]所述的底板上開有一個(gè)以上的通孔，利用連接件穿過所述的通孔將底板固定在其他裝置上；
[0022]所述的后端支撐與所述的光刻機(jī)照明系統(tǒng)照明鏡組單元通過一個(gè)以上的鎖緊螺釘固定連接。
[0023]與原先機(jī)構(gòu)相比，本發(fā)明具有下列的技術(shù)效果:
[0024]1、本發(fā)明可以有效的實(shí)現(xiàn)照明鏡組單元六自由度的可調(diào)整支撐，并保持高的定位精度和穩(wěn)定性，該調(diào)整支撐機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單，在很大程度上降低了對底板和調(diào)整支撐機(jī)構(gòu)的加工精度的要求；
[0025]2、本發(fā)明的六自由度可調(diào)整支撐機(jī)構(gòu)在X、Y方向的位移和繞Z軸旋轉(zhuǎn)的調(diào)整上更容易實(shí)現(xiàn)，在其余三個(gè)自由度的調(diào)整裝置上簡化了結(jié)構(gòu)，使其更方便于安裝調(diào)整和固定。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0026]圖1為現(xiàn)有光刻機(jī)照明系統(tǒng)照明鏡組單元立體圖；
[0027]圖2為現(xiàn)有光刻機(jī)照明系統(tǒng)照明鏡組單元另一方向的軸側(cè)圖；
[0028]圖3為本發(fā)明光刻機(jī)照明系統(tǒng)照明鏡組單元的調(diào)整支撐機(jī)構(gòu)軸側(cè)圖；
[0029]圖4為本發(fā)明光刻機(jī)照明系統(tǒng)照明鏡組單元的調(diào)整支撐機(jī)構(gòu)另一方向的軸側(cè)圖；
[0030]圖5為本發(fā)明光刻機(jī)照明系統(tǒng)照明鏡組單元的調(diào)整支撐機(jī)構(gòu)俯視圖；
[0031]圖6為本發(fā)明光刻機(jī)照明系統(tǒng)照明鏡組單元的調(diào)整支撐機(jī)構(gòu)的前端支撐裝置的結(jié)構(gòu)示意圖:
[0032]圖7為前端支撐裝置的剖視圖即圖5的A-A剖視圖；
[0033]圖8為本發(fā)明光刻機(jī)照明系統(tǒng)照明鏡組單元的調(diào)整支撐機(jī)構(gòu)的第一后端支撐裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0034]圖9為第一后端支撐裝置的剖視圖即圖5的B-B剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0035]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明提出的具體實(shí)施例作進(jìn)一步詳細(xì)的說明:
[0036]先請參閱圖3、圖4，本發(fā)明用于光刻機(jī)照明系統(tǒng)照明鏡組單元的調(diào)整支撐機(jī)構(gòu)，由固定在一底板I上的前端支撐裝置3、第一后端支撐裝置4、第二后端支撐裝置5、連接第一后端支撐裝置4和第二后端支撐裝置5的后端支撐6組成；參見圖5、圖6、圖7、圖8、圖9，所述的前端支撐裝置3由前端支撐31、前端底座32、前端支撐調(diào)整螺釘33、Χ向調(diào)整支撐塊34、X向調(diào)整螺釘35、Y向調(diào)整支撐塊36、Y向調(diào)整螺釘37、固定螺釘38以及垂直調(diào)整定位裝置2組成；所述的第一后端支撐裝置4由第一后端調(diào)整支撐41、第一連接件42、第二連接件43以及垂直調(diào)整定位裝置2組成；所述的第二后端支撐裝置5由第二后端調(diào)整支撐51、第三連接件52、第四連接件53以及垂直調(diào)整定位裝置2組成；所述的垂直調(diào)整定位裝置2由球頭支撐21、垂直調(diào)整螺釘22、球頭墊片23以及長鎖緊螺釘24組成；
[0037]參見圖3、圖4，所述的底板I上開有一個(gè)以上的通孔11，利用連接件穿過通孔11將底板I固定在其他裝置上；
[0038]所述的前端支撐31位于光刻機(jī)照明系統(tǒng)照明鏡組單元7的前半部分，與照明鏡組單元7通過一個(gè)以上的鎖緊螺釘8固定連接，當(dāng)照明鏡組單元7較輕時(shí)可使用一個(gè)鎖緊螺釘8固定，較重時(shí)可使用一個(gè)以上的鎖緊螺釘8固定；
[0039]參見圖6、圖7，所述的前端底座32位于所述的前端支撐31的下方，和前端支撐31的球頭配合，前端底座32上開有一球形凹槽321，前端支撐31底部具有球形端311，該球形端311嵌入球形凹槽321中，前端支撐31可繞球形凹槽321的軸線旋轉(zhuǎn)；
[0040]所述的前端底座32的上表面固設(shè)有兩個(gè)凸起，所述的前端支撐調(diào)整螺釘33沿Y軸方向穿過兩個(gè)凸起上的螺孔與所述的前端支撐31接觸，旋轉(zhuǎn)前端支撐調(diào)整螺釘33可以推動所述前端支撐31繞Z軸轉(zhuǎn)動，從而帶動照明鏡組單元7繞Z軸轉(zhuǎn)動；
[0041]X向調(diào)整支撐塊34和Y向調(diào)整支撐塊36分別位于前端底座32的左測和前測，通過固定螺釘38固定在所述的底板I上；
[0042]所述的X向調(diào)整螺釘35設(shè)置在X向調(diào)整支撐塊34上，位于X軸方向，與前端底座32左側(cè)面接觸，帶動前端底座32沿X軸方向移動，從而帶動照明鏡組單元7沿X軸方向移動；
[0043]Y向調(diào)整螺釘37設(shè)置在Y向調(diào)整支撐塊36上，位于Y軸方向，與前端底座32前側(cè)面接觸，帶動前端底座32沿Y軸方向移動，從而帶動照明鏡組單元7沿Y軸方向移動；
[0044]當(dāng)照明鏡組單元7較輕時(shí)，使用一個(gè)X向調(diào)整螺釘35即可達(dá)到X向調(diào)整的目的，當(dāng)照明鏡組單元7較重且尺寸較大時(shí)，需使用一個(gè)以上的X向調(diào)整螺釘35，此時(shí)設(shè)有X向調(diào)整螺釘35的X向調(diào)整支撐塊34可固定在前端底座32的左側(cè)或第一后端調(diào)整支撐41的左偵牝X向調(diào)整螺釘35作用在前端底座32的左側(cè)面或者第一后端調(diào)整支撐41的左側(cè)面；
[0045]一個(gè)所述的垂直調(diào)整螺釘22具有的外螺紋221與所述前端底座32具有的內(nèi)螺紋322配合，將垂直調(diào)整螺釘22和前端底座32連接在一起；
[0046]所述的長鎖緊螺釘24依次通過所述球頭墊片23、垂直調(diào)整螺釘22、球頭支撐21固定在底板I上；
[0047]參見圖3，所述的后端支撐41位于照明鏡組單元7的后半部分，與光刻機(jī)照明系統(tǒng)照明鏡組單元7通過一個(gè)以上的鎖緊螺釘8固定連接；
[0048]參見圖8、圖9，所述的第一后端調(diào)整支撐41通過一個(gè)以上所述的第一連接件42固定在后端支撐7的左側(cè)；
[0049]一個(gè)所述的垂直調(diào)整螺釘22具有的外螺紋221與所述的第一后端調(diào)整支撐41上半部分具有的內(nèi)螺紋418配合，使垂直調(diào)整螺釘22和第一后端調(diào)整支撐41螺紋連接；
[0050]與第一后端調(diào)整支撐41螺紋配合的垂直調(diào)整螺釘22具有的外螺紋221和所述的第一后端調(diào)整支撐41下半部分具有的內(nèi)通孔419之間留有間隙；
[0051]所述的第一后端調(diào)整支撐41由本體411、下方左側(cè)的第一彈性塊412和第二彈性塊413組成，第一彈性塊412由第一狹縫414、第二狹縫415、第四狹縫417切割第一后端調(diào)整支撐41而成，第二彈性塊413由第一狹縫414、第三狹縫416、第四狹縫417切割第一后端調(diào)整支撐41而成；第一狹縫414位于第一后端調(diào)整支撐41的左下方，與XY平面平行，第二狹縫415和第三狹縫416分別位于第一后端調(diào)整支撐41下部的前、后方，平行于YZ平面，與第一狹縫414相通，與第四狹縫417不相通；第四狹縫417位于第一后端調(diào)整支撐41的左下方，平行于XZ平面，與第一狹縫414相通；
[0052]所述的第一彈性塊412和第二彈性塊413上開有沿Y軸方向的通孔，一個(gè)以上所述的第二連接件43通過通孔將第一彈性塊412和第二彈性塊413連接在一起，擰緊第二連接件43使內(nèi)通孔419變小與垂直調(diào)整螺釘22的外螺紋221接觸，從而將第一后端調(diào)整支撐41和垂直調(diào)整螺釘22固定在一起；
[0053]所述的第二后端調(diào)整支撐51通過一個(gè)以上所述的第三連接件52固定在后端支撐7的右側(cè)；
[0054]所述的第二后端調(diào)整支撐51與所述的第一后端調(diào)整支撐41結(jié)構(gòu)相同；
[0055]一個(gè)所述的垂直調(diào)整螺釘22具有的外螺紋221與所述的第二后端調(diào)整支撐51上半部分具有的內(nèi)螺紋配合，使得垂直調(diào)整螺釘22和第二后端調(diào)整支撐51固定連接；
[0056]與第二后端調(diào)整支撐51螺紋配合的垂直調(diào)整螺釘22具有的外螺紋221和所述的第二后端調(diào)整支撐51下半部分具有的內(nèi)通孔之間留有間隙；
[0057]擰緊所述的第三連接件53使得位于第二后端調(diào)整支撐51下半部分的內(nèi)通孔和與第二后端調(diào)整支撐51螺紋配合的垂直調(diào)整螺釘22的外螺紋221接觸，從而將第二后端調(diào)整支撐51和垂直調(diào)整螺釘22固定在一起。
[0058]參見圖3-圖9，本發(fā)明的工作原理如下:
[0059]使用內(nèi)調(diào)焦望遠(yuǎn)鏡監(jiān)測光路的變化，將照明鏡組單元7的光軸調(diào)整到要求的精度。將照明鏡組單元7與調(diào)整支撐機(jī)構(gòu)固定連接，并初步粗定位，固定X向調(diào)整支撐塊34，旋轉(zhuǎn)X向調(diào)整螺釘35，使照明鏡組單元7整體沿X軸方向移動，從而實(shí)現(xiàn)照明鏡組單元7在X軸方向移動的調(diào)整；固定Y向調(diào)整支撐塊36，旋轉(zhuǎn)Y向調(diào)整螺釘37，使照明鏡組單元7整體沿Y軸方向移動，從而實(shí)現(xiàn)照明鏡組單元7在Y軸方向移動的調(diào)整；旋轉(zhuǎn)前端支撐調(diào)整螺釘33，可實(shí)現(xiàn)照明鏡組單元7繞Z軸的轉(zhuǎn)動；旋轉(zhuǎn)三個(gè)垂直調(diào)整螺釘22使與其分別螺紋連接的前端底座32、第一后端調(diào)整支撐41和第二后端調(diào)整支撐51的高度變化相同，從而實(shí)現(xiàn)照明鏡組單元7在Z軸方向移動的調(diào)整；旋轉(zhuǎn)與前端底座32螺紋連接的垂直調(diào)整螺釘22，或同時(shí)旋轉(zhuǎn)與第一后端調(diào)整支撐41螺紋連接的垂直調(diào)整螺釘22和與第二后端調(diào)整支撐51螺紋連接的垂直調(diào)整螺釘22，實(shí)現(xiàn)照明鏡組單元7繞X軸的轉(zhuǎn)動；旋轉(zhuǎn)與第一后端調(diào)整支撐41螺紋連接的垂直調(diào)整螺釘22或與第二后端調(diào)整支撐51螺紋連接的垂直調(diào)整螺釘22，使兩個(gè)垂直調(diào)整螺釘22高度不同，可實(shí)現(xiàn)照明鏡組單元7繞Y軸的轉(zhuǎn)動；照明鏡組單元7達(dá)到調(diào)整精度后，鎖緊三個(gè)長鎖緊螺釘24、第二連接件43和第四連接件53，將照明鏡組單元7固定在底板I上，保證其自由度的穩(wěn)定和精度的要求。
【權(quán)利要求】
1.一種光刻機(jī)照明系統(tǒng)照明鏡組單元的調(diào)整支撐機(jī)構(gòu)，特征在于其構(gòu)成包括固定在一塊底板(I)上的前端支撐裝置(3)、第一后端支撐裝置(4)、第二后端支撐裝置(5)、連接第一后端支撐裝置(4 )和第二后端支撐裝置(5 )的后端支撐(6 )，所述前端支撐裝置(3 )、后端支撐(6)和光刻機(jī)照明系統(tǒng)的照明鏡組單元(7)固定連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的調(diào)整支撐機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的前端支撐裝置(3)由前端支撐(31)、前端底座(32)、前端支撐調(diào)整螺釘(33)、X向調(diào)整支撐塊(34)、X向調(diào)整螺釘(35 )、Y向調(diào)整支撐塊(36 )、Y向調(diào)整螺釘(37 )、固定螺釘(38 )和垂直調(diào)整定位裝置(20 )組成；所述的前端底座(32)位于所述的前端支撐(31)的下面，前端底座(32)上開有一個(gè)球形凹槽(321)，所述的前端支撐(31)的底部具有球形端(311)，該球形端(311)嵌入所述的球形凹槽(321)中形成前端支撐(31)繞所述的球形凹槽(321)的軸線的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；所述的前端底座(32)上表面的兩邊固設(shè)有兩個(gè)凸起，所述的前端支撐調(diào)整螺釘(33)平行于Y軸方向穿過所述的凸起的螺孔與所述的前端支撐(31)接觸，調(diào)整旋轉(zhuǎn)所述的前端支撐調(diào)整螺釘(33)推動所述前端支撐(31)繞Z軸轉(zhuǎn)動，從而帶動所述的照明鏡組單元(7)繞Z軸轉(zhuǎn)動；所述的X向調(diào)整支撐塊(34)和Y向調(diào)整支撐塊(36)分別位于前端底座(32)的左側(cè)和前偵牝通過固定螺釘(38)固定在所述的底板(I)上； 所述的X向調(diào)整支撐塊(34)的X向調(diào)整螺釘(35)平行于X軸方向設(shè)置在X向調(diào)整支撐塊(34)上，與前端底座(32)左側(cè)面接觸，旋轉(zhuǎn)所述的X向調(diào)整螺釘(35)推動前端底座(32)沿X軸方向移動，從而帶動所述的照明鏡組單元(7)沿X軸方向移動； 所述的Y向調(diào)整支撐塊(36)的Y向調(diào)整螺釘(37)平行于Y軸方向設(shè)置在Y向調(diào)整支撐塊(36)上，與前端底座(32)的前面接觸，旋轉(zhuǎn)所述的Y向調(diào)整螺釘(37)推動前端底座(32)沿Y軸方向移動，從而帶動所述的照明鏡組單元(7)沿Y軸方向移動； 在所述的前端底座(32)上豎直向下設(shè)有垂直調(diào)整定位裝置(2)，構(gòu)成是:垂直調(diào)整螺釘(22)具有的外螺紋(221)與所述前端底座(32)具有的內(nèi)螺紋(322)配合，將垂直調(diào)整螺釘(22)和前端底座(32)連接在一起；一長鎖緊螺釘(24)依次通過所述球頭墊片(23)、垂直調(diào)整螺釘(22 )、球頭支撐(21)固定在底板(I)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的調(diào)整支撐機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的前端支撐(31)與所述的光刻機(jī)照明系統(tǒng)照明鏡組單元(7)通過一個(gè)以上的鎖緊螺釘(8)固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的調(diào)整支撐機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的第一后端調(diào)整支撐(41)通過一個(gè)以上所述的第一連接件(42)固定在后端支撐(7)的左側(cè)；所述的第二后端調(diào)整支撐(51)通過一個(gè)以上所述的第三連接件(52)固定在后端支撐(7)的右側(cè)； 所述的第一后端支撐裝置(4)由第一后端調(diào)整支撐(41)、第一連接件(42)、第二連接件(43)以及垂直調(diào)整定位裝置(2)組成；所述的第二后端支撐裝置(5)由第二后端調(diào)整支撐(51)、第三連接件(52)、第四連接件(53)以及垂直調(diào)整定位裝置(2)組成；所述的垂直調(diào)整定位裝置(2)由球頭支撐(21)、垂直調(diào)整螺釘(22)、球頭墊片(23)以及長鎖緊螺釘(24)組成； 所述的第一后端調(diào)整支撐(41)由本體(411)、下方左側(cè)的第一彈性塊(412)和第二彈性塊(413)組成，第一彈性塊(412)由第一狹縫(414)、第二狹縫(415)、第四狹縫(417)切割第一后端調(diào)整支撐(41)而成，第二彈性塊(413)由第一狹縫(414)、第三狹縫(416)、第四狹縫(417)切割第一后端調(diào)整支撐(41)而成；第一狹縫(414)位于第一后端調(diào)整支撐(41)的左下方，與XY平面平行，第二狹縫(415)和第三狹縫(416)分別位于第一后端調(diào)整支撐(41)下部的前、后方，平行于YZ平面，與第一狹縫(414)相通，與第四狹縫(417)不相通；第四狹縫(417)位于第一后端調(diào)整支撐(41)的左下方，平行于XZ平面，與第一狹縫(414)相通； 所述的第一彈性塊(412)和第二彈性塊(413)上開有沿Y軸方向的通孔，一個(gè)以上所述的第二連接件(43)通過通孔將第一彈性塊(412)和第二彈性塊(413)連接在一起，擰緊第二連接件(43)使內(nèi)通孔(419)變小與垂直調(diào)整螺釘(22)的外螺紋(221)接觸，從而將第一后端調(diào)整支撐(41)和垂直調(diào)整螺釘(22)固定在一起； 所述的垂直調(diào)整螺釘(22)具有的外螺紋(221)與所述的第一后端調(diào)整支撐(41)上半部分具有的內(nèi)螺紋(418)配合，使垂直調(diào)整螺釘(22)和第一后端調(diào)整支撐(41)螺紋連接；與第一后端調(diào)整支撐(41)螺紋配合的垂直調(diào)整螺釘(22)具有的外螺紋(221)和所述的第一后端調(diào)整支撐(41)下半部分具有的內(nèi)通孔(419)之間留有間隙； 所述的第二后端調(diào)整支撐(51)與所述的第一后端調(diào)整支撐(41)結(jié)構(gòu)相同； 所述的垂直調(diào)整螺釘(22)具有的外螺紋(221)與所述的第二后端調(diào)整支撐(51)上半部分具有的內(nèi)螺紋配合，使得垂直調(diào)整螺釘(22)和第二后端調(diào)整支撐(51)固定連接；與第二后端調(diào)整支撐(51)螺紋配合的垂直調(diào)整螺釘(22)具有的外螺紋(221)和所述的第二后端調(diào)整支撐(51)下半部分具有的內(nèi)通孔之間留有間隙；擰緊所述的第三連接件(53)使得位于第二后端調(diào)整支撐(51)下半部分的內(nèi)通孔和與第二后端調(diào)整支撐(51)螺紋配合的垂直調(diào)整螺釘(22)的外螺紋(221)接觸，從而將第二后端調(diào)整支撐(51)和垂直調(diào)整螺釘(22)固定在一起。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的調(diào)整支撐機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的底板(I)上開有一個(gè)以上的通孔(11)，利用連接件穿過所述的通孔(11)將底板(I)固定在其他裝置上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的調(diào)整支撐機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的后端支撐(6)與所述的光刻機(jī)照明系統(tǒng)照明鏡組單元(7)通過一個(gè)以上的鎖緊螺釘(8)固定連接。
【文檔編號】G03F7/20GK103728842SQ201310544975
【公開日】2014年4月16日 申請日期:2013年11月6日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月6日
【發(fā)明者】薛佩佩, 陳明, 楊寶喜, 任冰強(qiáng), 錢珍梅, 王振, 黃惠杰 申請人:中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所