專利名稱：一種用于直寫式光刻機(jī)的可調(diào)倍率鏡頭的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于電路制板設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于直寫式光刻機(jī)(LDI)的可調(diào)倍率鏡頭。
背景技術(shù)：
直寫式光刻機(jī)的鏡頭是其關(guān)鍵組件之一，但是現(xiàn)有直寫式光刻機(jī)所采用的鏡頭都是單倍率固定式的。因此，如要實(shí)現(xiàn)不同倍率的光刻機(jī)鏡頭調(diào)節(jié)功能，就必須設(shè)計(jì)一整套對(duì)應(yīng)不同倍率的隔圈，而且在使用中還必須拆卸、安裝不同高度的隔圈以獲得所需倍率的鏡頭，實(shí)現(xiàn)多倍率調(diào)節(jié)的功能。采用上述方法進(jìn)行多隔圈調(diào)節(jié)的手段，不單延誤設(shè)計(jì)周期且導(dǎo)致了額外的加工成本，而且嚴(yán)重制約了直寫式光刻機(jī)鏡頭的調(diào)節(jié)效率。
發(fā)明內(nèi)容為了解決直寫式光刻機(jī)鏡頭調(diào)節(jié)倍率時(shí)的上述技術(shù)難題，本實(shí)用新型提供一種改進(jìn)結(jié)構(gòu)的用于直寫式光刻機(jī)的可調(diào)倍率鏡頭，通過改變固定鏡筒I與移動(dòng)鏡筒4的位置關(guān)系，調(diào)節(jié)鏡片間距的大小，從而避免設(shè)計(jì)制造一系列規(guī)格的隔圈，以及在使用中的反復(fù)拆卸、安裝隔圈的步驟，節(jié)約了制造成本，提高了生產(chǎn)效率。具體的技術(shù)解決方案如下I、一種用于直寫式光刻機(jī)的可調(diào)倍率鏡頭，包括固定鏡筒I、隔圈2、第一壓圈3、第二壓圈5、第一透鏡12、第二透鏡13、第三透鏡14 ;其中，固定鏡筒I徑向內(nèi)側(cè)的中部設(shè)有臺(tái)階11 ;第一透鏡12放置在固定鏡筒I筒腔的底部；在第一透鏡12頂面放有隔圈2，在隔圈2的頂部放有第二透鏡13 ;第一壓圈3與固定鏡筒I的臺(tái)階11的徑向側(cè)壁相連接，且第一壓圈3的底部壓在第二透鏡13的頂面上，將第一透鏡12、隔圈2、第二透鏡13與固定鏡筒I固定在一起，固定鏡筒I頂端的徑向內(nèi)側(cè)設(shè)有限位槽8 ;固定鏡筒I上還設(shè)有移動(dòng)鏡筒4和刻度盤6 ；移動(dòng)鏡筒4為圓筒狀，上端設(shè)有入光口 9，底部設(shè)有出光孔10 ;移動(dòng)鏡筒4的頂部端面上設(shè)有指針7 ;移動(dòng)鏡筒4頂端的徑向外側(cè)與固定鏡筒I頂端的限位槽8相連接；刻度盤6為圓環(huán)狀，與固定鏡筒I頂端的徑向外側(cè)相連接；2、所述一種用于直寫式光刻機(jī)的可調(diào)倍率鏡頭，第三透鏡14安裝在移動(dòng)鏡筒4的筒腔的底部；移動(dòng)鏡筒4徑向內(nèi)側(cè)與第二壓圈5的徑向外側(cè)相連接，第二壓圈5的底部壓在第三透鏡14的頂面上，將第三透鏡14與移動(dòng)鏡筒4固定在一起；3、所述一種用于直寫式光刻機(jī)的可調(diào)倍率鏡頭，第一透鏡12為雙凹鏡、第二透鏡13為凹凸鏡、第三透鏡14為雙凸鏡；4、所述一種用于直寫式光刻機(jī)的可調(diào)倍率鏡頭，第二透鏡13的頂面與第三透鏡14的底面的間距為D，D的范圍為O. I 50mm ；5、所述一種用于直寫式光刻機(jī)的可調(diào)倍率鏡頭，在刻度盤6的頂部端面上設(shè)有刻度；在移動(dòng)鏡筒4的頂部端面上設(shè)有指針7 ；[0012]6、所述一種用于直寫式光刻機(jī)的可調(diào)倍率鏡頭，移動(dòng)鏡筒4徑向內(nèi)側(cè)與第二壓圈5的徑向外側(cè)采用螺紋連接。本實(shí)用新型的有益技術(shù)效果是，通過在鏡頭中增設(shè)一個(gè)移動(dòng)鏡筒4，使得鏡頭之間的距離差的調(diào)節(jié)途徑由原先反復(fù)裝卸不同的隔圈的方式改為旋轉(zhuǎn)鏡筒的方式，徹底省去了制作各種隔圈的工序，降低了制造成本，并且在使用時(shí)顯著提高了鏡頭倍率調(diào)節(jié)時(shí)的精度與效率。

圖I為本實(shí)用新型剖視圖。圖2為圖I的俯視圖。上圖中的序號(hào)為固定鏡筒I、隔圈2、第一壓圈3、移動(dòng)鏡筒4、第二壓圈5、刻度盤
6、指針7、限位槽8、入光口 9、出光孔10、臺(tái)階11、第一透鏡12、第二透鏡13、第三透鏡14。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖，通過實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步地說明。實(shí)施例參見圖I、圖2，首先將由固定鏡筒I、隔圈2、第一壓圈3、移動(dòng)鏡筒4、第二壓圈5、刻度盤6、指針7、第一透鏡12、第二透鏡13、第三透鏡14按如下步驟裝配將第一透鏡12放置在固定鏡筒I筒腔的底部；在第一透鏡12頂面放有隔圈2，在隔圈2的頂部放有第二透鏡13 ;第一壓圈3與固定鏡筒I的臺(tái)階11的側(cè)壁通過螺紋連接，將螺紋旋緊使得第一壓圈3的底部壓在第二透鏡13的頂面上，從而將第一透鏡12、隔圈2、第二透鏡13與固定鏡筒I固定在一起；將第三透鏡14放置在移動(dòng)鏡筒4筒腔的底部；移動(dòng)鏡筒4徑向內(nèi)側(cè)與第二壓圈5的徑向外側(cè)螺紋相連接；將螺紋旋緊，使得第二壓圈5的底部壓在第三透鏡14的頂面上，從而將第三透鏡14與移動(dòng)鏡筒4固定在一起；再將裝配有第三透鏡14、第二壓圈5的移動(dòng)鏡筒4頂端的徑向外側(cè)與固定鏡筒I頂端的限位槽8通過螺紋相連接；將上述連接好的裝置安裝在直寫式光刻機(jī)上后，開啟直寫式光刻機(jī)電源，激光自固定鏡筒I頂部射入，依次穿過移動(dòng)鏡筒4的入光口 9、第三透鏡14、移動(dòng)鏡筒4的出光孔10、第二透鏡13、第一透鏡12，最后自固定鏡筒I的底部射出。使用中，通過旋轉(zhuǎn)移動(dòng)鏡筒4，即可調(diào)整移動(dòng)鏡筒4與固定鏡筒I之間的相對(duì)距離D，從而調(diào)節(jié)相應(yīng)鏡片之間的距離，達(dá)到調(diào)節(jié)倍率的目的；相對(duì)距離D的移動(dòng)范圍在O. I 50mm ;鏡頭調(diào)節(jié)的精確倍率，由專用軟件換算出來后顯示在設(shè)備的顯示終端上。在與固定鏡筒I相連接的刻度盤6的頂部端面上設(shè)有刻度，在移動(dòng)鏡筒4的頂部端面上設(shè)有指針7 ;當(dāng)旋轉(zhuǎn)移動(dòng)鏡筒4時(shí)，固定在移動(dòng)鏡筒4上的指針7所指向的位置也發(fā)生相應(yīng)的變化，通過記錄指針7所轉(zhuǎn)過的刻度盤6上的刻度，給儀器的使用者一個(gè)參考。
權(quán)利要求1.一種用于直寫式光刻機(jī)的可調(diào)倍率鏡頭，包括固定鏡筒(I)、隔圈(2)、第一壓圈(3)、第二壓圈(5)、第一透鏡(12)、第二透鏡(13)、第三透鏡(14);其中，固定鏡筒(I)徑向內(nèi)側(cè)的中部設(shè)有臺(tái)階(11);第一透鏡(12)放置在固定鏡筒(I)筒腔的底部；在第一透鏡(12)頂面放有隔圈(2)，在隔圈(2)的頂部放有第二透鏡(13);第一壓圈(3)與固定鏡筒(I)的臺(tái)階(11)的徑向側(cè)壁相連接，且第一壓圈(3)的底部壓在第二透鏡(13)的頂面上，將第一透鏡(12)、隔圈(2)、第二透鏡(13)與固定鏡筒(I)固定在一起，其特征在于固定鏡筒 (I)頂端的徑向內(nèi)側(cè)設(shè)有限位槽(8);固定鏡筒(I)上還設(shè)有移動(dòng)鏡筒(4)和刻度盤(6)； 移動(dòng)鏡筒(4)為圓筒狀，上端設(shè)有入光口(9)，底部設(shè)有出光孔(10);移動(dòng)鏡筒(4)的頂部端面上設(shè)有指針(7);移動(dòng)鏡筒(4)頂端的徑向外側(cè)與固定鏡筒(I)頂端的限位槽(8)相連接； 亥渡盤(6)為圓環(huán)狀，與固定鏡筒(I)頂端的徑向外側(cè)相連接。
2.如權(quán)利要求I所述一種用于直寫式光刻機(jī)的可調(diào)倍率鏡頭，其特征在于第三透鏡(14)安裝在移動(dòng)鏡筒(4)的筒腔的底部；移動(dòng)鏡筒(4)徑向內(nèi)側(cè)與第二壓圈(5)的徑向外側(cè)相連接，第二壓圈(5)的底部壓在第三透鏡(14)的頂面上，將第三透鏡(14)與移動(dòng)鏡筒(4)固定在一起。
3.如權(quán)利要求I所述一種用于直寫式光刻機(jī)的可調(diào)倍率鏡頭，其特征在于第一透鏡(12)為雙凹鏡、第二透鏡(13)為凹凸鏡、第三透鏡(14)為雙凸鏡。
4.如權(quán)利要求I所述一種用于直寫式光刻機(jī)的可調(diào)倍率鏡頭，其特征在于第二透鏡(13)的頂面與第三透鏡(14)的底面的間距為D，D的范圍為O.I 50mm。
5.如權(quán)利要求I所述一種用于直寫式光刻機(jī)的可調(diào)倍率鏡頭，其特征在于在刻度盤(6)的頂部端面上設(shè)有刻度；在移動(dòng)鏡筒(4)的頂部端面上設(shè)有指針(7)。
6.如權(quán)利要求2所述一種用于直寫式光刻機(jī)的可調(diào)倍率鏡頭，其特征在于移動(dòng)鏡筒(4)徑向內(nèi)側(cè)與第二壓圈(5)的徑向外側(cè)采用螺紋連接。
專利摘要針對(duì)現(xiàn)有直寫式光刻機(jī)鏡頭的單倍率固定式鏡頭在調(diào)節(jié)倍率時(shí)需要設(shè)計(jì)一整套對(duì)應(yīng)不同倍率的隔圈，并且在使用中還需要反復(fù)拆卸安裝隔圈的弊端，本實(shí)用新型提供一種改進(jìn)結(jié)構(gòu)的用于直寫式光刻機(jī)的可調(diào)倍率鏡頭，通過改變固定鏡筒(1)與移動(dòng)鏡筒(4)之間的相對(duì)位置關(guān)系，實(shí)現(xiàn)對(duì)鏡片間距D的線性控制和鏡頭倍率的精確控制，此外還取消了制造、裝配一系列規(guī)格隔圈的工藝步驟，節(jié)約了制造成本，提高了生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)G02B7/04GK202649580SQ201220249760
公開日2013年1月2日 申請(qǐng)日期2012年5月31日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月31日
發(fā)明者王友車, 項(xiàng)宗齊, 劉文海 申請(qǐng)人:合肥芯碩半導(dǎo)體有限公司