專利名稱：顯微鏡照明系統(tǒng)、顯微鏡和傾斜入射照明方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種如權利要求1的前序部分中所述的顯微鏡照明系統(tǒng)。這樣的系統(tǒng)包括光源和具有用于生成相對于光軸以居中關系延伸的中心照明束路徑的孔徑的孔徑器件，并且允許通過移位孔徑而生成從光軸偏心延伸的照明束路徑(“偏心照明束路徑”)。在具有入射照明的顯微鏡中，這樣的顯微鏡照明系統(tǒng)可以用于以傾斜入射光照明物體。本發(fā)明也涉及相應的方法。
背景技術：
待檢查物體的傾斜入射照明例如在晶片檢查中用于通過在樣本的表面結構處產生的衍射效應而對所述表面結構進行具有高對比度和三維外觀的成像。在德國專利DE 3527426C1中，描述了一種用于顯微鏡的入射光照明器，其可以用于該目的并且適合于提供傾斜入射照明并且其使用可變尺寸的孔徑光闌。該專利提出一種孔徑光闌器件，所述孔徑光闌器件可以在兩個方向上從光軸向旁側移位。離光軸的距離的增加與照明束路徑的軸線在穿過顯微鏡物鏡之后會合物體平面(相對于物體平面的法線)所成的所謂的“入射光角度”的增加相關聯(lián)。然而，在上述文獻中提出的入射光照明器的設計結果卻在機械上是復雜的并且需要用戶的培訓和經驗以成功地用于該領域中。另外，如該文獻中所述，取決于臺架內的位置，樞轉范圍可能被限制。最后，也如該文獻中所述，光的入射方向的可再現(xiàn)性(根據孔徑光闌器件的樞轉運動)被限制。改變入射光角度所需的調節(jié)螺母的旋轉使得在顯微檢查期間實際上不可能連續(xù)地改變所述角度。特別適合用于表面起伏物觀察的、以傾斜照明進行的反射光顯微術提供了技術上簡單并且因此可經濟地替代干涉顯微鏡(其有利地用于相位物體)的替代物。為此，通常使用入射光柯勒照明。就此而論，通過將孔徑光闌偏心定位獲得單側傾斜照明(參見上述的文獻DE 3527^6C1)，而通過將中心或環(huán)形光闌插入孔徑光闌的平面中獲得從所有側的傾斜照明。

發(fā)明內容
本發(fā)明的一個目標是提供一種顯微鏡照明系統(tǒng)，其提供以可變孔徑尺寸和可變入射光角度提供傾斜入射照明的技術上簡單、容易使用和可再現(xiàn)的方式。另一個目標是提供一種相應的顯微鏡和一種以傾斜照明進行入射光顯微的方法。該目標由具有權利要求1的特征的顯微鏡照明系統(tǒng)實現(xiàn)。相應的顯微鏡是權利要求11的主題，并且以傾斜照明進行入射光顯微的相應方法是權利要求21的主題。有利的實施例將從相應的從屬權利要求和以下描述顯而易見。根據本發(fā)明，孔徑器件包括圍繞旋轉軸線可旋轉的孔徑輪或盤，并且在所述孔徑輪中多個不同尺寸的孔徑在圓周方向上形成。通過旋轉孔徑輪，這些孔徑的每一個可以在光軸上居中地定位或從光軸偏心地定位在圍繞光軸的限定區(qū)域內。當然，這需要孔徑輪的旋轉軸線偏離光軸。除非另外規(guī)定，并且在不限定一般性的情況下，假設照明是豎直照明， 其中照明束通過分束器和顯微鏡物鏡被引導到待檢查的物體上。中心照明束路徑提供軸向入射明視場照明，而偏心照明束路徑導致從一側的有角度入射照明，這也被稱為“傾斜照明”。為了闡釋在本申請中使用的術語“光的入射方向”和“入射光角度”，參考已知的球面坐標系和它的球面坐標。入射光角度(即，物體平面的法線和照明束的入射方向之間的角度)對應于極角，而光的入射方向對應于球面坐標系中的方位角。在初始位置，特定孔徑應當在相對于顯微鏡照明系統(tǒng)的光軸的居中位置。從該位置開始，通過圍繞它的旋轉軸線順時針或逆時針旋轉孔徑輪，孔徑可以移動到相對于光軸的偏心位置。在該過程中，首先入射光角度變化，并且由于在孔徑輪的移動期間孔徑所沿著的圓形路徑，光的入射方向也變化。然而，后者僅僅在小程度上變化，原因是對于相對于光軸的微小移位，圓形路徑可以由直線近似，并且在光軸和孔徑輪的旋轉軸線之間的大距離的情況下尤其如此。由于孔徑輪在其中形成在圓周方向上布置的多個不同尺寸的孔徑的事實，有可能通過相應地定位孔徑輪而容易地在預定孔徑尺寸之間切換。由于將每個孔徑可再現(xiàn)地調節(jié)到限定位置的能力，本發(fā)明以技術上簡單并且容易使用的方式允許特別是在光軸的兩側的入射光角度的容易可再現(xiàn)的變化，同時允許使用不同的孔徑尺寸。在權利要求1中提到的并且在其中特定孔徑可以從光軸偏心定位的“圍繞光軸的限定區(qū)域”原則上由圓周方向上的孔徑之間的間隙以及由各個孔徑相對于孔徑輪的邊緣的位置界定。然而，實際上，所述限制主要由孔徑上游的光源和照明光學器件所產生的照明束的直徑施加。相對于光軸居中地并且在孔徑輪前方(特別是緊鄰前方)布置的固定孔徑光闌允許這樣的區(qū)域圍繞光軸固定地限定。在本文中，“布置在孔徑輪緊鄰前方”表示固定孔徑光闌在朝著光源的方向上與孔徑輪相鄰地定位。在固定孔徑光闌和孔徑輪之間不應當有其他光學活性元件。為了盡可能地允許孔徑輪的無限可變的旋轉，適宜的是使用步進馬達驅動孔徑輪。驅動也可以由其他馬達提供，例如直流馬達或磁驅動器。為了使馬達和孔徑輪到達操作位置，有可能安裝齒輪機構、皮帶驅動、齒環(huán)等。給予合適的控制，孔徑輪可以備選地直接安裝在馬達軸上。以微小步長操作的步進馬達允許孔徑輪的明顯連續(xù)的旋轉。特別地，步進馬達的使用允許傾斜入射照明的特定設置(特別是取決于特定物體的入射光角度)的可靠再現(xiàn)。有利地，孔徑輪的旋轉軸線平行于顯微鏡照明系統(tǒng)中的光軸并且以這樣的方式布置使得旋轉軸線和光軸與孔徑輪的交點之間的連接線17與水平形成大致45度的角度。術語“大致”被理解為表示大約10度的精度，使得所述角度應當在35度至55度的范圍內。術語“水平”實際上被理解為通過照明束路徑的光軸的水平線。當將笛卡爾坐標系旋加于孔徑輪上使得它的原點與孔徑輪的旋轉軸線重合、χ軸表示水平并且y軸表示豎直時，上述旋轉軸線相對于光軸的有利布置響應孔徑輪的旋轉導致選定孔徑相對于χ和y軸成大約45度的角度沿著固定孔徑光闌內(或更一般地，圍繞光軸的限定區(qū)域內)的圓弧移動。在實際應用中給定固定孔徑光闌的尺寸，前述圓弧可以由直線充分地近似。當這樣的照明束通過顯微鏡物鏡被引導到物體平面上以根據柯勒照明的原理提供入射照明時，有可能獲得物體平面(其被稱為相應的χ' -y'坐標系)中的傾斜入射照明，其中光的入射方向(方位角)為大約45度，并且通過移動孔徑遠離光軸(通過圍繞旋轉軸線旋轉孔徑輪)可調節(jié)入射光角度。以該方式，在北-南方向上(平行于X'軸)延伸的樣品表面結構和在東-西方向上(y'軸)延伸的結構可以有效地同時被可視化。這些結構例如可以是晶片、微電子部件、太陽能電池板等上的結構，并且可以在完成部件時或在制造期間被檢查。如果例如孔徑僅僅在豎直方向上(即，在根據孔徑輪中的前述笛卡爾坐標系的北-南方向上)相對于光軸可移動，則在下面將進一步描述的柯勒型入射顯微鏡照明系統(tǒng)中，這導致在水平方向上 (即，在物體平面的相應笛卡爾坐標系中的東-西方向上)相對于物體平面的入射光角度的變化。使用該類型的可變傾斜入射照明，確實有可能有效地可視化在北-南方向上延伸的樣品的表面結構，但是特別地在東-西方向上(即，平行于移位方向)延伸的那些結構在改變入射光角度之后不能更好地看到。與之相比，提出的45°傾斜入射照明允許具有北-南取向的結構和具有東-西取向的結構兩者的有效可視化。特別地，不需要將顯微鏡載臺例如旋轉45度以便更好地可視化這樣的結構。這樣的旋轉式載臺是昂貴的并且另外將僅僅允許差的可再現(xiàn)性。在本發(fā)明的另一個實施例中，可能有利的是孔徑輪的旋轉軸線在至少一個方向上垂直于光軸可移動。為此，例如能夠圍繞旋轉軸線旋轉孔徑輪的上述的步進馬達可以在孔徑輪的x-y坐標系內例如在χ和/或y方向上移動。以該方式，除了 45°傾斜照明以外，將有可能執(zhí)行在北-南方向和/或東-西方向上的移位。也已證明特別有利的是傾斜入射照明的對比度和分辨率在光譜的紫外區(qū)域中的照明期間增加(“傾斜UV”)。根據物理定律，使用UV光譜的短波長的照明導致比可見區(qū)域中的照明更高的分辨率。合適的光源特別是發(fā)出具有365nm的波長的光的LED(被稱為 “i-line”)。紫外光譜區(qū)域的范圍從400至大約185nm。UV照明已經在軸向入射明視場照明中提供更高的分辨率，并且當改變?yōu)閮A斜入射照明時，它額外地允許以三維外觀表示物體結構。使用傾斜UV照明，可以以增加的分辨率檢查具有更大形貌的部件?？梢砸栽摲绞娇梢暬缏憔系妮p劃傷或半導體結構上的光致抗蝕劑腐蝕的程度。特定地匹配該傾斜UV照明的UV物鏡與UV分束器和UV敏感照相機協(xié)同地允許用戶可視化例如由PC的監(jiān)視器上的照相機捕捉的UV圖像并且優(yōu)化它。然而，也有UV物鏡 (例如可從本申請人獲得)適合于經典方法，例如入射明視場照明、入射暗視場照明和Dic 照明，并且也可以用于扶行與i-line照明(即，365nm下的UV光)相同的方法。此外，有分束器實際上是“UV優(yōu)化的”，但是在可見光中也適合于各自方法。本發(fā)明的另一個重要方面涉及一種具有光源和孔徑器件的顯微鏡照明系統(tǒng)，所述孔徑器件用于在一方面生成中心照明束路徑，并且備選地在另一方面生成偏心照明束路徑，其中可以以簡單方式改變照明光的光譜區(qū)域。對該方面要求單獨保護，但是為了清楚起見，該方面將在下面作為上述的顯微鏡照明系統(tǒng)的有利實施例被描述。各種燈罩和作為光源的不同類型的燈通?？捎米饕阎@微鏡照明系統(tǒng)中的光源。使用濾光器濾除特定光譜區(qū)域。例如，迄今為止，從可見光譜切換到紫外光譜總是涉及手動地或通過馬達裝置進行濾光器的插入或移除?？梢酝ㄟ^為顯微鏡照明系統(tǒng)提供具有不同光譜或不同波長范圍的兩個光源，以技術上簡單的方式實現(xiàn)光譜區(qū)域之間的這樣的切換。然后可以通過在光源之間切換簡單地改變照明光譜而不必使用濾光器。當然，這需要光源和由它們產生的光的路徑合適地耦合到顯微鏡照明系統(tǒng)的照明束路徑中。這可以使用二色分束器容易地實現(xiàn)，兩個光源可以經由所述二色分束器耦合到照明束路徑中。當然，該方面也適用于兩個以上光源。光源可以采用LEDs的形式，所述LEDs是可控的，特別在它們的輸出功率方面。因此，可以交替地接通不同的LEDs，這允許例如可見光譜和紫外光譜(或包括紫外波長范圍的至少一部分的光譜)之間的容易切換。也可以實現(xiàn)功率控制使得不同光譜的特定部分可以以特定強度同時耦合到照明束路徑中。為了根據柯勒原理提供入射照明，孔徑輪可以位于與顯微鏡照明系統(tǒng)的光源共軛的平面中。在該情況下，光源被成像到孔徑輪中，即，被成像到位于孔徑輪的緊鄰前方的固定孔徑光闌中。另外，顯微鏡照明系統(tǒng)的孔徑輪位于與顯微鏡物鏡的入射光瞳共軛的平面中。這允許物體平面的均勻照明。本發(fā)明的另一個目標是一種顯微鏡，其具有包括至少一個光源的如上文所述的顯微鏡照明系統(tǒng)并且還具有至少一個顯微鏡物鏡。實際上，典型地設有承載從中進行選擇的多個顯微鏡物鏡的換鏡旋座。此外，顯微鏡包括常用部件，例如管狀光學系統(tǒng)、目鏡和/或照相機。除非另外規(guī)定，這些部件在下文中被統(tǒng)稱為“成像光學器件”。在這樣的顯微鏡中， 可以通過經由優(yōu)選地布置在顯微鏡物鏡和成像光學器件之間的分束器將顯微鏡照明系統(tǒng)的照明束耦合到顯微鏡的光路中使得物鏡將光束聚焦到樣品上而實現(xiàn)入射光照明。光束從物體沿著成像光束路徑穿過物鏡、分束器和管狀光學系統(tǒng)并且被成像到照相機上。具有不同孔徑的孔徑輪的使用具有的優(yōu)點是與當例如使用虹彩光圈時相比允許小得多的孔徑直徑。盡管虹彩光圈可以接近僅僅大約Imm的直徑，但是孔徑輪中的孔徑可以具有更加小的直徑。例如，150x/0. 90物鏡具有2. 4mm的光瞳直徑。當孔徑光闌以2的因數(shù)成像到物鏡的光瞳中時，該物鏡的全照明孔徑僅僅需要2. 4mm/2 = 1. 2mm的孔徑直徑。 在該物鏡的情況下，如果希望在照明側光闌縮小，則孔徑直徑必須明顯地小于1. 2mm，優(yōu)選地小于1mm，然而這在使用常規(guī)虹彩光圈的情況下是不可能的。如果另外，直徑完全位于光軸外部的偏心照明束將根據本發(fā)明產生，則前述物鏡的孔徑直徑必須小于或等于0. 6mm，這在使用常規(guī)虹彩光圈的情況下也是不可能的。在具有多個物鏡的前述顯微鏡中，有利的是每個顯微鏡物鏡與顯微鏡照明系統(tǒng)的孔徑輪上的孔徑關聯(lián)或能夠關聯(lián)。取決于所使用的顯微鏡物鏡，可以為入射照明選擇合適直徑的特定孔徑。該關聯(lián)可以由用戶或在工廠例如通過相應地控制各自部件而完成。在另一個實施例中，這樣的顯微鏡具有與顯微鏡照明系統(tǒng)的孔徑輪上的特定尺寸的孔徑關聯(lián)或能夠關聯(lián)的多個顯微鏡物鏡。備選地，顯微鏡物鏡中的至少一個與若干孔徑關聯(lián)或能夠關聯(lián)。優(yōu)選地，關聯(lián)使得當改變物鏡時，通過相應地旋轉孔徑輪，相關聯(lián)的孔徑或相關聯(lián)的孔徑中的一個被旋轉到目標位置，即，旋轉到光軸上。有利地按照直徑增加的順序沿著孔徑輪的圓周分布不同尺寸的孔徑提供與通過打開或閉合孔徑平面中的虹彩光圈所獲得的相同的效果。然而，該方法所提供的可再現(xiàn)性遠遠高于虹彩光圈所提供的。取決于相鄰開口的直徑的差異，也可想到使兩個或以上孔徑與特定顯微鏡物鏡關聯(lián)?？讖降某叽绱_定照明孔徑的尺寸。眾所周知，隨著照明孔徑尺寸的減小，光學分辨率減小并且對比度增加。大開口導致更大的照明孔徑，具有更高的分辨率和更低的對比度。為了在分辨率和對比度方面優(yōu)化通過顯微鏡獲得的圖像，特別有利的是提供控制單元，所述控制單元可操作地連接到用于旋轉顯微鏡照明系統(tǒng)的孔徑輪的驅動單元并且也可選地連接到顯微鏡照明系統(tǒng)的至少一個光源?？刂茊卧梢砸赃@樣的方式被設計，使得取決于所提供的照明在UV區(qū)域中還是在可見區(qū)域中，相應的顯微鏡物鏡和與其關聯(lián)的孔徑將移動到它們各自的初始或目標位置。例如，取決于光源的選定光譜，相關聯(lián)的孔徑也可以被定位以提供在或大或小的程度上偏心移位的照明束路徑。特別有利的是為了分析照相機圖像，控制單元可操作地連接到以照相機圖像的形式產生物體的顯微圖像的照相機。可以使用下面進一步所述的方法關于分辨率和/或對比度分析照相機圖像。通過使用控制單元改變可調節(jié)參數(shù)(光源的光譜、照明的強度、孔徑的直徑、入射光角度和光的入射方向以及顯微鏡物鏡的類型)中的一個或多個，照相機圖像可以被優(yōu)化。以后可以為相同類型的檢查相應地再選擇相應的參數(shù)，這提供高度的可再現(xiàn)性。例如，可以通過至少一個光源的控制以限定方式調節(jié)照明的光譜或波長范圍和照明的強度。控制孔徑輪的驅動單元允許對例如孔徑的直徑、入射光角度(孔徑離光軸的距離)和光的入射方向(對于相同距離孔徑相對于光軸的位置)進行限定調節(jié)?？梢砸愿鞣N方法優(yōu)化照相機圖像在一方面，可以通過改變所述可調節(jié)參數(shù)中的一個或多個而優(yōu)化所顯示的特定照相機圖像。在另一方面，可以使用不同的設置(所述參數(shù)的變化)捕捉一系列照相機圖像，并且可以自動地或由用戶從所述一系列照相機圖像選擇最佳圖像。與最佳照相機圖像關聯(lián)的設置可以被選擇用于將為該物體或類似物體拍攝的附加照相機圖像。通過所述參數(shù)的相應調節(jié)優(yōu)化照相機圖像的過程優(yōu)選地使用形成控制單元的一部分的圖像分析裝置自動地執(zhí)行。照相機圖像的該自優(yōu)化然后以類似于閉環(huán)控制系統(tǒng)的方式扶行，其中所述的可調節(jié)參數(shù)是輸入變量，而用于照相機圖像的一個或多個分析標準 (即，至少分辨率和/或對比度)是結果輸出變量。最后，關于光譜的UV區(qū)域中的前述照明(“傾斜UV”)，有利的是所述控制單元被設計成自動地或響應用戶輸入導致具有在紫外波長范圍中的光源在照明束路徑中被啟動， 并且導致用戶可選擇孔徑(或備選地，固定預定孔徑)借助于孔徑輪的驅動單元可再現(xiàn)地被調節(jié)到相對于光軸的位置。也可能有用的是連續(xù)地調節(jié)從其中選擇最佳位置的各種限定位置。本發(fā)明的又一個方面是一種用于傾斜入射照明待顯微檢查的物體的方法。先前已在本文中結合根據本發(fā)明的顯微鏡照明系統(tǒng)和顯微鏡描述了該方法的許多方面。因此，以上公開也明確地涉及本發(fā)明的方法。傾斜入射照明待顯微檢查的物體的方法具有的基本特征是圍繞旋轉軸線可旋轉并且不同尺寸的多個孔徑在圓周方向上形成于其中的孔徑輪以這樣的方式相對于顯微鏡照明系統(tǒng)的光軸布置，使得通過旋轉孔徑輪每個孔徑可以在光軸上居中地定位在初始位置，并且通過進一步旋轉，這樣的孔徑可以從光軸偏心地定位在圍繞光軸的限定區(qū)域內。關于該方法的優(yōu)點，明確地參考上面結合根據本發(fā)明的顯微鏡照明系統(tǒng)和顯微鏡給出的解釋。有利的是使用具有在紫外波長范圍中的光譜的光源作為顯微鏡照明系統(tǒng)的光源。特別地，有利的是分別使用在紫外和可見區(qū)域中的(至少)兩個光源，所述光源經由二色分束器均被耦合到顯微鏡照明系統(tǒng)的光束路徑中。先前已在本文中詳細描述了這些實施例。 所以，在這里將不重復它們的描述以避免贅述。這適用于這樣的實施例，根據所述實施例使用驅動馬達實現(xiàn)孔徑輪的旋轉，所述驅動馬達的軸與孔徑輪的旋轉軸線重合。術語“重合” 旨在包括旋轉軸線和軸的連接，或整體設計。在本發(fā)明的方法中，其中相對于光軸居中地或偏心地傳播的照明束通過顯微鏡物鏡被引導到待檢查的物體上，有利的是取決于所選擇的顯微鏡物鏡，與其關聯(lián)的孔徑移動到所述初始位置，在所述初始位置中它相對于光軸居中。孔徑和顯微鏡物鏡之間的關聯(lián)可以在工廠被預編程并且例如由控制單元執(zhí)行。備選地，關聯(lián)可以由用戶限定。這為用戶提供限定孔徑輪的初始位置的另一種方式，所述初始位置將被用作用于調節(jié)適當?shù)娜肷涔饨嵌鹊拈_始位置。根據本發(fā)明的方法可以特別地用于優(yōu)化正被顯微檢查的物體的照相機圖像。為此，針對至少分辨率和/或對比度分析照相機圖像。該分析可以使用已知的圖像處理方法或使用這里所提出的分析技術-其將在下面進一步描述-執(zhí)行?？梢酝ㄟ^在圍繞光軸的限定區(qū)域內旋轉孔徑輪，或換句話說，通過改變入射光角度，而優(yōu)化圖像的三維外觀。優(yōu)化照相機圖像的備選或附加方式是選擇合適的孔徑和/或合適的顯微鏡物鏡。 例如，對于指定的顯微鏡物鏡，可以通過從與該顯微鏡物鏡關聯(lián)的孔徑開始分別選擇更小或更大的孔徑而實現(xiàn)光闌縮小或放大。與更大的照明孔徑相比，更小的照明孔徑導致更低的分辨率、但是更高的對比度，而與更小的照明孔徑相比，更大的照明孔徑導致增加的分辨率、但是更低的對比度。根據物體的期望放大倍數(shù)選擇合適的顯微鏡物鏡。當從可見光變化為UV光照明時，也可能必須改變物鏡。優(yōu)化照相機圖像的另一個備選或附加方式是通過選擇顯微鏡照明系統(tǒng)的光源。如本文中先前所述，光譜的可見區(qū)域中的觀察可能是足夠的并且有利的，但是為了更高分辨率，適宜的是切換到UV照明。先前已在本文中結合本發(fā)明的顯微鏡和它的控制單元描述了用于優(yōu)化照相機圖像的可能方法。為了避免重復，那里給出的解釋旨在關于照相機圖像優(yōu)化的任何可能形式也支持本發(fā)明的方法。特別地通過使用可以在顯微鏡上和/或顯微鏡照明系統(tǒng)上改變的設置(即，特別是剛剛所述的改變入射光角度、孔徑、顯微鏡物鏡和/或光源的選擇)中的不同設置捕捉各種照相機圖像，并且通過生成這些照相機圖像的每一個的代表性區(qū)域的強度分布圖，從而實現(xiàn)照相機圖像的優(yōu)化。這樣的強度分布圖特別地由在相應的圖像掃描線上例如作為像素的數(shù)量繪制的圖像掃描線的灰度值形成。取決于物體的類型，也有可能產生三維強度分布圖。在隨后的步驟中，為所獲得的強度分布圖限定分析標準。特別合適的分析標準的例子是強度分布圖的側面的數(shù)量和斜率或強度分布圖中的極值的數(shù)量。盡管側面的數(shù)量提供關于所觀察的圖像區(qū)域的對比度的信息，但是極值(強度分布圖或灰度值的最大值和最小值) 的數(shù)量給出關于所觀察圖像區(qū)域內的分辨率的信息。不同于基于強度分布圖執(zhí)行分析，也有可能使用它的一階數(shù)學導數(shù)，其中強度分布圖的側面可以由極值識別并且強度分布圖的極值可以由零交叉識別。然后可以關于分析標準比較單獨的照相機圖像的強度分布圖，并且可以基于比較確定最佳強度分布圖和相關聯(lián)的照相機圖像。根據待執(zhí)行的特定任務進行該確定。該任務可以生成具有最高可能的分辨率的圖像，或提供高分辨率和高對比度之間的最佳折衷的圖像。優(yōu)化照相機圖像的另一種方式是使用用于可以在顯微鏡和/或顯微鏡照明系統(tǒng)上變化的設置的存儲參數(shù)生成不同的照相機圖像，并且讓用戶選擇最佳照相機圖像。在該情況下，照相機圖像將由用戶視覺地評估。再次地，所存儲的參數(shù)包括入射光角度(即，具有指定孔徑的孔徑輪的旋轉)、光的入射方向(即，孔徑輪的旋轉方向)、照明孔徑(即，位于操作位置的孔徑)、照明光譜(即，具有預定光譜范圍的有效光源)、光源的強度和顯微鏡物鏡的類型。本發(fā)明的更多優(yōu)點和實施例將從以下描述和附圖顯而易見。將理解前述特征和下面所述的特征不僅在特定組合中使用，而且在其他組合中或單獨地使用而不脫離本發(fā)明的范圍。本發(fā)明在圖中使用示例性實施例示意性地示出，并且將在下面參考圖詳細地進行描述。


圖1是本發(fā)明的顯微鏡照明系統(tǒng)和相關聯(lián)的顯微鏡的實施例的基本設計的示意性透視圖；圖2是圖1的設計的另一個實施例的示意性側視圖，所述實施例包括第二光源和用于優(yōu)化照相機圖像的控制單元；圖3顯示了處于三個不同旋轉位置的顯微鏡照明系統(tǒng)的孔徑輪的實施例；圖4顯示了在用軸向(居中)入射光照明物體時捕捉的物體區(qū)域的顯微圖像和選定圖像區(qū)域的強度分布圖；圖5是類似于圖4的視圖，但是其中單側照明由從第一光入射方向傾斜入射的光提供；以及圖6類似于圖4和5的視圖，其中單側傾斜入射照明來自與圖5相反的光的入射方向。
具體實施例方式圖1在示意性透視圖中顯示了顯微鏡照明系統(tǒng)1。顯微鏡照明系統(tǒng)1包括光源2 和位于光源2的下游并且位于顯微鏡照明系統(tǒng)1的光軸6上的兩個透鏡5和6?？梢员环Q為照明光學器件的透鏡5和6用于將光源2成像到孔徑平面中，固定孔徑光闌12布置在所述孔徑平面中。在固定孔徑光闌緊鄰后方的平面中，定位有孔徑輪8，其在圓周方向上布置有孔徑9。孔徑輪8圍繞旋轉軸線11可旋轉，在該情況下，所述旋轉軸線與步進馬達10的軸11'重合。備選方案也是可能的，其中其他驅動器用于代替步進馬達，例如直流馬達或磁驅動器?？梢詡溥x地經由齒輪機構、齒輪、齒帶等實現(xiàn)機械耦合。從圖1顯而易見，孔徑輪8圍繞旋轉軸線11的旋轉導致孔徑9移動通過由固定孔徑光闌12限定的區(qū)域。以該方式，在固定孔徑光闌12前方的照明束15'通過掩蔽轉化為在孔徑9后方的照明束15。將照明束15傳遞到分束器20的透鏡13和14也位于顯微鏡照明系統(tǒng)1的光軸16 上。在一方面分束器20形成顯微鏡照明系統(tǒng)1的一部分，其中它用于將照明束15偏轉到物體平面中的物體36上，并且在另一方面，分束器20是顯微鏡30的一部分，其中它允許來自物體36的成像光束(未顯示)的一部分朝著成像光學器件33穿過其中。圖1很示意性地顯示了包括作為基本部件的物鏡31和成像光學器件33的顯微鏡 30。成像光學器件33包括常用部件，例如管狀光學系統(tǒng)、目鏡和/或照相機。由于這些部件的細節(jié)在這里不重要，因此針對這些顯微鏡部件的設計和功能參考現(xiàn)有技術。顯微鏡30 還包括χ' -y'顯微鏡載臺35，待顯微檢查的物體36在所述載臺上支撐在物體平面中。在本示例性實施例中，該物體例如是將進行劃傷或缺陷結構的檢查的晶片。物體36的被觀察區(qū)域的顯微圖像以已知的方式借助于物鏡31和成像光學器件33生成。該顯微圖像可以由用戶通過目鏡查視或由照相機捕捉并且顯示在監(jiān)視器(未顯示)上。關于后一種選擇，參考圖2中所示的實施例。以下描述圖1中所示的設計的操作。從光學上說，圖1中所示的圖像形成光束路徑為柯勒照明提供豎直入射光(照明束通過顯微鏡物鏡耦合到物體平面上)。為此，孔徑輪 8位于與光源2共軛的平面中。而且，孔徑輪8位于與顯微鏡物鏡31的入射光瞳共軛的平面中。這允許物體平面和因此正被觀察的樣品區(qū)域的均勻照明。光源2通過由透鏡5和6 形成的成像光學器件被成像到孔徑光闌平面中。相對于光軸16居中布置的固定孔徑光闌 12限定孔徑的最大直徑。位于由固定孔徑光闌12限定的區(qū)域內的孔徑9將照明束15'轉化為可以居中或偏心的照明束15。可以通過將孔徑輪8的孔徑9中的任何一個正好定位在光軸16上而提供中心明視場照明(也被稱為軸向入射明視場照明)?？讖?的尺寸確定照明孔徑的尺寸。當從中心照明變化為傾斜照明時，孔徑9從它的初始居中位置相對于光軸 16移位。在所示的示例性實施例中，通過圍繞其旋轉軸線11旋轉孔徑輪8獲得該移動，所述旋轉軸線也是步進馬達10的軸線或軸11'。取決于步進馬達10的旋轉方向，孔徑9成角度地向上或向下移動到期望的目標位置。在圖1中，可以看到孔徑輪8的旋轉軸線11平行于顯微鏡照明系統(tǒng)1的光軸16 延伸并且從該光軸16 “偏移45度”。更確切地說，這表示光軸16和旋轉軸線11與孔徑輪 8的交點之間的連接線17與照明束路徑的水平并且因此與所示坐標系的χ軸形成45度的角度(也參見圖3)。也與圖中所示的y軸形成45度的角度。當然，前述45度的角度不必是正好45度的角度。取決于待成像的物體36的特定結構，偏差是可能的并且甚至可能是期望的。然而，由于物體36通常以這樣的方式布置在顯微鏡載臺35上使得存在于物體36 上的結構在χ'和/或y'方向上延伸，因此45度的偏移布置是適宜的，原因是它導致光的入射方向又與物體平面中的坐標系的χ'和y'軸的每一個形成45度的角度。因此，在χ' 方向(N-S方向)和y'方向(E-W方向)兩者上延伸的結構也可以同樣地以三維外觀進行成像?？讖捷?的旋轉導致孔徑9沿著圓弧移動通過由固定孔徑光闌12限定的區(qū)域，所述圓弧的半徑對應于光軸16離旋轉軸線11的距離。這參考圖3更詳細地進行解釋。由于孔徑9的該移動，在物體36上的入射光角度隨著離光軸16的距離的增加而增加。光的入射方向保持大致成45度的方位角，原因是前述圓弧可以由直線以良好的精度近似。該線與水平并且因此與χ軸成45度的角度延伸。在另一個實施例中，孔徑輪8可以作為整體在孔徑光闌平面中移動。實現(xiàn)該移動的一種方式是通過以這樣的方式支撐步進馬達10自身，使得它在X-Y平面中可移動。步進馬達10在Y方向上的移動導致照明束15在物體平面中的y'方向上移位。相反地，步進馬達10在X方向上的移動導致照明束15在物體平面中的χ'方向上移位。由于這樣的UV源的短波長，具有UV光譜中的發(fā)射的光源2(例如，發(fā)射 i-line(365nm)輻射的LED)的使用使得有可能獲得比可見區(qū)域中的照明更高的分辨率。同時，偏心照明束15'的所述生成允許以三維外觀表示物體36上的結構。這使得例如有可能可視化裸晶片上的輕劃傷或半導體結構上的光致抗蝕劑腐蝕的程度。以UV光進行的有角度照明也將被稱為“傾斜UV”。圖2示出了允許兩個光源之間的容易切換的配置。而且，圖2顯示了用于優(yōu)化包含物體36上的結構的顯微表示的照相機圖像的布置。圖2基本上顯示了與圖1相同的元件并且使用相同的附圖標記表示相似的元件。所以，在這里將不重復從圖1已知的元件的描述。下面將僅僅論述附加的元件。除了光源2以外，顯微鏡照明系統(tǒng)1還包括經由透鏡7和二色分光器4耦合到照明束15'的路徑中的光源3。另一個透鏡6相對于圖1不變。因此，透鏡5和6形成用于光源2的照明光學器件，而透鏡7和6形成用于光源3的照明光學器件。也在圖2中顯示了從圖1已知的顯微鏡30的成像光學器件33的元件。這些元件是管狀光學系統(tǒng)32和置于管狀光學系統(tǒng)32的下游的照相機34。照相機34電子地捕捉顯微圖像。照相機圖像可以在一方面進行視覺顯示，并且在另一方面使用圖像處理方法進行電子處理和分析。包括物鏡31、管狀光學系統(tǒng)32和照相機34的顯微鏡30的所示配置本身是本領域的技術人員已知的。 在圖2中，也顯示了控制單元40?？刂茊卧?0允許全自動地和半自動地優(yōu)化所獲得的照相機圖像。在下面通過例子并且在不限制在本申請的概述部分中所述的各種選擇的情況下描述了這樣做的一種方式。從圖2顯而易見，控制單元40連接到光源2和3兩者，連接到步進馬達40并且連接到照相機34?？赡苓m宜的是控制附加部件，例如特別是承載從其選擇合適的物鏡31的多個物鏡的物鏡轉輪(未顯示)?？刂茊卧?0以一種方式連接到光源2和3使得允許所述光源至少交替地操作，即，接通和切斷。在另外的實施例中，光源2和3的強度或輸出功率也可以經由控制單元40被控制?？刂茊卧?0以這樣的方式連接到步進馬達10使得通過旋轉孔徑輪8，設在孔徑輪8上的特定孔徑9可以移動到初始位置，在所述初始位置中孔徑 9相對于顯微鏡照明系統(tǒng)1的光軸16居中。隨后，控制單元40可以驅動步進馬達10進行微調，在所述微調期間孔徑9從它的初始位置移位以移動到由固定孔徑光闌12限定的區(qū)域內的限定目標位置(其已參考圖1進行了詳細描述)。最后，控制單元40以這樣的方式連接到照相機34使得可以在控制單元40中分析照相機圖像。該分析至少包括分辨率和/或對比度的標準。當然，控制單元40也可以進行照相機34上的某些圖像捕捉設置。這里假設光源3在光譜的紫外區(qū)域中發(fā)光并且光源2在光譜的可見區(qū)域中發(fā)光。 有利的是使用LEDs作為光源2和3。控制單元40允許控制光源2和3，即，彼此獨立地接通和切斷(并且可能在它們的輸出功率方面進行控制)。通過選擇合適的光源，有可能導致顯微照相機圖像中的期望分辨率，這取決于待檢查的物體36上的結構的精細度?？讖捷喛梢跃哂辛鶄€不同的孔徑9，或者在另一個實施例中，它可以具有十四個(或任何其他數(shù)量的)不同孔徑9。孔徑9具有不同尺寸的直徑并且在圓周方向上優(yōu)選地按照直徑的遞升順序布置在輪上。實際上，使用具有物鏡轉輪的顯微鏡30，使得不同的物鏡31可以被插入顯微鏡30的成像光束路徑中。物鏡的選擇取決于期望的放大倍數(shù)和其他參數(shù)，所述參數(shù)又在一方面取決于物體36上的結構，并且在另一方面取決于所使用的光源。在UV照明的情況下，有利地使用UV有效透鏡31。特定物鏡31可以與一個或多個孔徑9關聯(lián)。改變孔徑于是具有與孔徑平面中的虹彩光圈的打開或閉合相同的效果。然而，如本文中的別處所述，該方法提供比虹彩光圈遠遠更高的可再現(xiàn)性，并且使得有可能獲得比用虹彩光圈可獲得的遠遠更小的孔徑直徑。在不限定一般性的情況下，現(xiàn)在將假設每個物鏡31與孔徑輪8上的正好一個孔徑9關聯(lián)。有利地，該關聯(lián)由控制單元40中的軟件存儲，使得當物鏡變化時，相關聯(lián)的孔徑9自動地移動到它的初始位置，在所述初始位置中它相對于顯微鏡照明系統(tǒng)1的光軸16居中。為此，孔徑輪8通過步進馬達10合適地圍繞旋轉軸線11旋轉。因此，例如當從一個光源2、3切換到另一個光源3、2時，可以通過在控制單元40的控制下旋轉物鏡轉輪將相應物鏡31移動到顯微鏡30的成像光束路徑的光軸37上，并且同時可以通過相應地驅動步進馬達10將相關聯(lián)的孔徑9移動到它的初始位置。于是有可能生成待檢查的物體36上的被顯微成像的結構的照相機圖像。例如，初始地，在使用選定參數(shù)(光源、孔徑、物鏡)的軸向入射照明下捕捉圖像。在圖4中顯示了這樣的圖像的例子，該圖顯示了在北-南方向上延伸并且在東-西方向上重復的結構。該圖像顯示了晶片的平行結構。在單側45°傾斜入射照明中，可以通過在一個方向上在由固定孔徑光闌12圍繞光軸16限定的區(qū)域內旋轉選定孔徑9而改變入射光角度。圖5顯示了在某個入射光角度捕捉的(與圖4)相同的物體區(qū)域的圖像。圖6顯示了類似的圖像，但是所述圖像在與圖5相比相反的入射光角度被捕捉，原因是孔徑輪在另一個方向上轉過相同的角度。照相機圖像的差異在這里已經很清楚地可見。因此，可以在改變入射光角度和光的入射方向的同時捕捉許多照相機圖像，并且可以以該方式確定最佳照相機圖像。通常，與最佳照相機圖像關聯(lián)的設置將在很大程度上取決于待成像的結構。除了改變入射光角度和光的入射方向以外，當然也有可能改變其他參數(shù)，例如物鏡31的類型、孔徑9和光源2、3。如圖4至6中所示，可以通過生成照相機圖像50的限定區(qū)域51的強度分布圖52 并且將它居中地重疊在圖4至6中的各自照相機圖像50上而有利地實現(xiàn)照相機圖像的自動優(yōu)化。在該情況下，強度分布圖52表示區(qū)域51上的灰度值(像素距離)。從明灰度值的區(qū)域到暗灰度值的區(qū)域的過渡由陡側面表示。陡側面指示高對比度，而強度分布圖52中的極值(最大值和最小值)的數(shù)量指示正被觀察的區(qū)域51中的分辨率。在圖4中，許多極值的存在指示以圖像對比度為代價的高分辨率。與之相比，圖5清楚地顯示了較小的極值和因此較低的分辨率，以及指示高對比度的有點陡的側面。在圖6中顯示了類似的情況。盡管在圖5中，從平均灰度值的偏差(在標度上大約130)在兩個方向上比較大，但是圖6顯示了從平均灰度值的向上小偏差和僅僅略微更大的向下偏差(大約120)。這又指示圖5中的明-暗對比度比圖6中更高。如本文中所述的用于一系列被捕捉的照相機圖像50的強度分布圖52的分析可以自動地在控制單元40中執(zhí)行。這使得有可能確定例如在對比度方面導致優(yōu)化的照相機圖像的參數(shù)。在選擇這些參數(shù)之后，然后有可能檢查整個樣品或相同類型的一系列樣品。圖3在示意性正視圖中顯示了總共具有六個孔徑9的孔徑輪8。再次地，旋轉軸線由11表示。圖北顯示了處于用于居中照明(或軸向入射照明)的位置的孔徑輪8，而圖3a和3c顯示了用于傾斜入射照明的位置。圖4中所示的照相機圖像50例如可以由處于圖北中所示的位置的孔徑輪8生成，而圖5、6中所示的照相機圖像50可以分別使用處于圖3c和3a中所示的孔徑輪位置生成。固定孔徑光闌由12表示。它挖出限定區(qū)域，選定孔徑9可以在所述限定區(qū)域內移動以改變入射光角度。超出該限定區(qū)域的移動導致完全遮蔽。只有在進一步旋轉之后在圓周方向上的下一個孔徑9才進入由固定孔徑光闌12限定的區(qū)域。再次地，顯微鏡照明系統(tǒng)1的光軸由16表示。從圖3清楚地看到，在圖3的平面中光軸16和旋轉軸線11之間的連接線17與χ軸形成45度的角度。在孔徑輪8的旋轉期間孔徑9沿其移動的圓弧被繪制為虛線。其余孔徑9必須沿著該虛線布置。孔徑輪8的微小旋轉導致選定孔徑9從它的初始位置與χ軸也成大致45°的角度移位達到這樣的程度， 使得沿著虛線圓形路徑的該移動由沿著相應直線的移動近似。附圖中的附圖標記的索引1顯微鏡照明系統(tǒng)2 光源3 光源4 二色分光器5 透鏡6 透鏡7 透鏡8孔徑輪9 孔徑10驅動單元，驅動馬達，步進馬達11旋轉軸線11'軸12固定孔徑光闌13 透鏡14 透鏡15,15'照明束路徑16 光軸17連接線20分束器30顯微鏡31 物鏡32管狀光學系統(tǒng)33成像光學器件34照相機35顯微鏡載臺36 物體
37光軸
40控制單元
50照相機圖像
51區(qū)域
52強度分布圖
權利要求
1.一種顯微鏡照明系統(tǒng)(1)，其包括光源(2，3)和孔徑器件，所述孔徑器件具有用于生成相對于光軸(16)以居中關系延伸的照明束路徑(15')的孔徑(9)，在所述系統(tǒng)中能夠通過移位所述孔徑(9)而為傾斜入射照明生成從所述光軸(16)偏心延伸的照明束路徑 (15)，其中所述孔徑器件包括圍繞旋轉軸線(11)可旋轉的孔徑輪或盤(8)，并且在所述孔徑輪或盤中多個不同尺寸的孔徑(9)在圓周方向上形成，并且通過旋轉所述孔徑輪(8)，所述孔徑的每一個可以在所述光軸(16)上居中地定位或從所述光軸(16)偏心地定位在圍繞所述光軸(16)的限定區(qū)域內。
2.根據權利要求1所述的顯微鏡照明系統(tǒng)，其中所述孔徑輪(8)的所述旋轉軸線(11)平行于所述光軸(16)并且以這樣的方式布置使得所述旋轉軸線(11)和所述光軸(16)與所述孔徑輪(8)的交點之間的連接線與水平 (χ)形成大致45度的角度。
3.根據權利要求1或2所述的顯微鏡照明系統(tǒng)，其中驅動馬達(10)在操作位置中與所述孔徑輪(8)關聯(lián)以用于旋轉所述孔徑輪。
4.根據權利要求1至3之一所述的顯微鏡照明系統(tǒng)，其中所述孔徑輪(8)的所述旋轉軸線(11)在至少一個方向上垂直于所述光軸(16)可移動。
5.根據權利要求1至4之一所述的顯微鏡照明系統(tǒng)，其中固定孔徑光闌(12)相對于所述光軸(16)以居中關系定位在所述孔徑輪(8)前方或后方。
6.根據權利要求1至5之一所述的顯微鏡照明系統(tǒng)，其中所述光源C3)具有在紫外波長范圍中的光譜。
7.根據權利要求1至6之一所述的顯微鏡照明系統(tǒng)，其中所述顯微鏡照明系統(tǒng)具有帶有不同波長范圍的兩個光源0，3)，所述光源中的一個包括紫外波長范圍的至少一部分。
8.根據權利要求7所述的顯微鏡照明系統(tǒng)，其中所述兩個光源(2，；3)中的一個或兩者能夠在任何時候經由二色分束器(4)耦合到所述照明束路徑(15')中。
9.根據權利要求7或8所述的顯微鏡照明系統(tǒng)，其中所述光源(2、；3)采用LEDs的形式。
10.根據前述權利要求之一所述的顯微鏡照明系統(tǒng)，其中所述孔徑輪(8)位于與所述顯微鏡照明系統(tǒng)(1)的所述光源(2，3)共軛的平面中。
11.一種顯微鏡(30)，其具有包括至少一個光源(2，；3)的根據權利要求1至10之一所述的顯微鏡照明系統(tǒng)(1)，并且還具有至少一個顯微鏡物鏡(31)。
12.根據權利要求11所述的顯微鏡，其中所述顯微鏡照明系統(tǒng)(1)的所述孔徑輪(8)位于與所述顯微鏡物鏡(31)的入射光瞳共軛的平面中。
13.根據權利要求11或12所述的顯微鏡，其中所述顯微鏡物鏡(31)與所述顯微鏡照明系統(tǒng)(1)的所述孔徑輪(8)上的特定尺寸的孔徑(9)關聯(lián)或能夠關聯(lián)。
14.根據權利要求13所述的顯微鏡，其具有多個顯微鏡物鏡(31)并且其中若干顯微鏡物鏡(31)與所述顯微鏡照明系統(tǒng)(1)的所述孔徑輪(8)上的特定尺寸的孔徑(9)關聯(lián)或能夠關聯(lián)，或所述顯微鏡物鏡(31)中的至少一個與若干孔徑(9)關聯(lián)或能夠關聯(lián)。
15.根據權利要求11至14之一所述的顯微鏡，其中提供控制單元(40)，所述控制單元可操作地連接到用于旋轉所述顯微鏡照明系統(tǒng) ⑴的所述孔徑輪⑶的驅動單元(10)和/或連接到所述顯微鏡照明系統(tǒng)⑴的所述至少一個光源0，3)。
16.根據權利要求15所述的顯微鏡，其具有以照相機圖像的形式產生物體的顯微圖像的照相機(34)，所述控制單元00)可操作地連接到所述照相機(34)以用于分析所述照相機圖像。
17.根據權利要求15或16所述的顯微鏡，其中所述控制單元GO)被設計成使得通過控制所述至少一個光源(2，；3)和/或所述顯微鏡照明系統(tǒng)⑴的所述孔徑輪⑶的所述驅動單元(10)而針對至少分辨率和/或對比度優(yōu)化所述照相機圖像，所述驅動單元允許選定孔徑(9)被插入所述照明束路徑(15') 中并且可再現(xiàn)地被調節(jié)到相對于所述光軸(16)的限定位置。
18.根據權利要求17所述的顯微鏡，其中所述控制單元GO)被設計成使得基于照相機圖像的選擇和/或標準的輸入由用戶執(zhí)行針對至少分辨率和/或對比度的所述照相機圖像的優(yōu)化。
19.根據權利要求17所述的顯微鏡，其中所述控制單元GO)被設計成使得由圖像分析裝置自動地執(zhí)行針對至少分辨率和 /或對比度的所述照相機圖像的優(yōu)化。
20.根據權利要求16至19之一所述的顯微鏡，其中所述控制單元GO)被設計成自動地或響應用戶輸入導致具有在紫外波長范圍中的光譜的光源⑶在所述照明束路徑(15')中被啟動，并且導致用戶可選擇孔徑(9)借助于所述孔徑輪(8)的所述驅動單元(10)可再現(xiàn)地被調節(jié)到相對于所述光軸的一個或多個限定位置。
21.一種用于傾斜入射照明待顯微檢查的物體(36)的方法，其中通過將位于顯微鏡照明系統(tǒng)(1)的光束路徑中的孔徑(9)移位到相對于顯微鏡照明系統(tǒng)(1)的光軸(16)的居中位置之外而為傾斜入射照明生成從光軸(16)偏心延伸的照明束路徑(15)，其中為了從其居中位置移位孔徑(9)，圍繞旋轉軸線(11)可旋轉并且其中在圓周方向上形成多個不同尺寸的孔徑(9)的孔徑輪或盤(8)以這樣的方式相對于顯微鏡照明系統(tǒng) (1)的光軸(16)布置，使得通過旋轉所述孔徑輪(8)每個孔徑(9)能夠在光軸(16)上居中地定位在初始位置，并且通過進一步旋轉，這樣的孔徑能夠從光軸(16)偏心地定位在圍繞光軸的限定區(qū)域內。
22.根據權利要求21所述的方法，其中所述孔徑輪(8)的旋轉使用能夠將所述孔徑(9)可再現(xiàn)地調節(jié)到相對于光軸(16) 的限定位置的驅動馬達(10)來實現(xiàn)。
23.根據權利要求21或22所述的方法，其中具有在紫外波長范圍中的光譜的光源(3)被用作用于顯微鏡照明系統(tǒng)(1)的光源 (2, 3) ο
24.根據權利要求21至23之一所述的方法，其中使用具有在紫外波長范圍中的光譜的光源C3)和具有在可見波長范圍中的光譜的光源O)，所述光源經由二色分束器(4)均被耦合到顯微鏡照明系統(tǒng)(1)的光束路徑中。
25.根據權利要求21至24之一所述的方法，其中相對于光軸(16)居中地或偏心地傳播的照明束(15)通過顯微鏡物鏡(31)被引導到待檢查的物體(36)上，其中取決于所選擇的顯微鏡物鏡(31)，與其關聯(lián)的孔徑(9)移動到所述初始位置，在所述初始位置中它相對于光軸(16)居中。
26.根據權利要求21至25之一所述的方法，其中用于產生物體的顯微圖像的照相機(34)生成照相機圖像；并且針對至少分辨率和/或對比度分析所述照相機圖像并且通過在圍繞光軸(16)的限定區(qū)域內旋轉所述孔徑輪(8)而優(yōu)化所述照相機圖像。
27.根據權利要求21至沈之一所述的方法，其中用于產生物體的顯微圖像的照相機(34)生成照相機圖像；并且針對至少分辨率和/或對比度分析所述照相機圖像并且通過孔徑(9)和/或顯微鏡物鏡(31)的選擇而優(yōu)化所述照相機圖像。
28.根據權利要求21至27之一所述的方法，其中用于產生物體的顯微圖像的照相機(34)生成照相機圖像；并且針對至少分辨率和/或對比度分析所述照相機圖像并且通過顯微鏡照明系統(tǒng)(1)的光源0，3)的選擇而優(yōu)化所述照相機圖像。
29.根據權利要求沈至觀之一所述的方法，其中基于照相機圖像的選擇和/或標準的輸入由用戶執(zhí)行所述照相機圖像針對至少分辨率和/或對比度的優(yōu)化。
30.根據權利要求沈至觀之一所述的方法，其中使用圖像分析裝置自動地執(zhí)行所述照相機圖像針對至少分辨率和/或對比度的優(yōu)化。
31.根據權利要求21至30之一所述的方法，其中自動地或響應用戶輸入地，在所述照明束路徑(15')中啟動具有在紫外波長范圍中的光譜的光源，并且將可選擇的或預定的孔徑(9)可再現(xiàn)地調節(jié)到相對于光軸的一個或連續(xù)若干個限定位置。
32.根據權利要求沈至30之一所述的方法，其中通過使用可以在所述顯微鏡(30)上和/或所述顯微鏡照明系統(tǒng)(1)上改變的設置中的不同設置捕捉相同物體區(qū)域的各種照相機圖像，通過生成所述照相機圖像的每一個中的限定區(qū)域(51)的強度分布圖(52)，并且通過針對某個標準分析和計算所生成的強度分布圖(52)，從而實現(xiàn)照相機圖像的優(yōu)化，所述標準包括強度分布圖(5 的側面的數(shù)量和 /或強度分布圖(52)中的極值的數(shù)量。
全文摘要
顯微鏡照明系統(tǒng)(1)，包括光源(2，3)和具有用于生成相對光軸(16)以居中關系延伸的照明束路徑(15′)的孔徑(9)的孔徑器件，在所述系統(tǒng)中可通過移位孔徑(9)為傾斜入射照明生成從光軸(16)偏心延伸的照明束路徑(15)?？讖狡骷▏@旋轉軸線(11)可旋轉孔徑輪(8)，并在孔徑輪中多個不同尺寸的孔徑(9)在圓周方向上形成，通過旋轉孔徑輪(8)，所述孔徑的每一個可以在光軸(16)上居中地定位或從光軸(16)偏心地定位在圍繞光軸(16)的限定區(qū)域內。具有顯微鏡照明系統(tǒng)(1)的顯微鏡(30)有利地具有多個物鏡(31)，所述物鏡單獨或成組地與特定孔徑(9)關聯(lián)?？刂茊卧?40)選擇多個物鏡/孔徑組合并在這些組合基礎上優(yōu)化照相機圖像(50)。也公開了用于該目的的方法。
文檔編號G02B21/00GK102445750SQ201110306770
公開日2012年5月9日 申請日期2011年10月11日 優(yōu)先權日2010年10月12日
發(fā)明者A.姆勒-勒恩茲, A.韋斯, K-P.史瓦伯, S.莫特卡 申請人:徠卡顯微系統(tǒng)復合顯微鏡有限公司