專利名稱：一種工件臺漏水保護(hù)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種工件臺漏水保護(hù)裝置。
背景技術(shù)：
在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)設(shè)備特別是光刻機(jī)中，各種器件集成度比較高，其中包括水、電等管線布置，尤其是在光刻機(jī)微動臺中。請參看圖1，圖I為現(xiàn)有技術(shù)的光刻機(jī)微動臺的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖I所示，微動臺底板10上分布有電 機(jī)安裝座11、冷卻水管12、冷卻水接頭13、電氣接頭14、電氣線纜15。由于光刻機(jī)效率的提高，微動臺運(yùn)動加速度、速度增大，容易造成水管接頭松動而發(fā)生漏水現(xiàn)象，另外，水管接頭及密封設(shè)施的老化也會導(dǎo)致漏水現(xiàn)象。在微動臺中，水管接頭和電氣接頭集成度非常高，漏水勢必會導(dǎo)致電氣設(shè)備不能正常工作，導(dǎo)致光刻機(jī)癱瘓。目前解決防止微動臺漏水的常用做法之一是在管道中增加壓力傳感器，但這種方法只能檢測大流量漏水，無法檢測少量滲水的現(xiàn)象，而少量滲水也會給光刻機(jī)帶來同樣的危害；常用做法之二是在接頭附近安裝濕度傳感器，這種方法只能檢測局部范圍的滲水，而光刻機(jī)微動臺中分布有幾十個(gè)水管接頭，在每個(gè)水管接頭周圍都布置濕度傳感器顯然是很難做到的，并且給信號處理及控制帶來大量的工作，非常不合理。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種工件臺漏水保護(hù)裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)的工件臺無法在靈敏檢測出微動臺漏水情況的同時(shí)有效地防止漏水對微動臺造成損害的問題。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種工件臺漏水保護(hù)裝置，所述工件臺包括底板、安裝于所述底板上的冷卻水管、冷卻水接頭及電氣部件，所述漏水保護(hù)裝置包括漏水保護(hù)槽，所述漏水保護(hù)槽設(shè)置于所述底板中；所述漏水保護(hù)槽分布于所述底板上所述冷卻水管、冷卻水接頭及需進(jìn)行漏水保護(hù)的電氣部件的一側(cè)；所述漏水保護(hù)槽的底面及側(cè)面上均貼有隔水材料?？蛇x的，所述底板上分布的漏水保護(hù)槽為多條且相互貫通，所述相互貫通的各條漏水保護(hù)槽的底面均具有一定的傾斜度，所有相互貫通的漏水保護(hù)槽的底面中具有一處深度最深的最低點(diǎn)位置，使得流入所有相互貫通的漏水保護(hù)槽中的水流均能夠匯集到所述最低點(diǎn)位置，在所述最低點(diǎn)位置處安裝有檢測傳感器。可選的，所述底板中還設(shè)置有不能同所述相互貫通的漏水保護(hù)槽相貫通的獨(dú)立的漏水保護(hù)槽，每條所述獨(dú)立的漏水保護(hù)槽的底面均具有一定的傾斜度，每條所述獨(dú)立的漏水保護(hù)槽的底面中具有一處深度最深的最低點(diǎn)位置，使得流入所述獨(dú)立的漏水保護(hù)槽中的水流均能夠匯集到所述最低點(diǎn)位置，在所述最低點(diǎn)位置處安裝有檢測傳感器?？蛇x的，所述底板上分布的漏水保護(hù)槽為多條且相互獨(dú)立，所述每條獨(dú)立的漏水保護(hù)槽的底面均具有一定的傾斜度，所述每條獨(dú)立的漏水保護(hù)槽的底面中具有一處深度最深的最低點(diǎn)位置，使得流入其中的水流均能夠匯集到所述最低點(diǎn)位置，在所述最低點(diǎn)位置處安裝有檢測傳感器。
可選的，所述漏水保護(hù)槽內(nèi)所述隔水材料之上的空隙內(nèi)均填充有吸水材料?？蛇x的，所述吸水材料的表面同所述底板齊平。可選的，所述隔水材料為聚氨酯防水涂料或丙凝防水材料?？蛇x的，所述吸水材料為高吸水性樹脂或高吸水性塑料或海綿。本發(fā)明提供的工件臺漏水保護(hù)裝置通過在微動臺底板上設(shè)置漏水保護(hù)槽將底部上所有可能漏水或可能被漏水損壞的部件圍圈保護(hù)起來，通過漏水保護(hù)槽將微動臺底板上出現(xiàn)的漏水收集，使漏水不會影響微動臺底板上電氣部件的運(yùn)行。少量漏水被漏水保護(hù)槽內(nèi)的吸水材料吸附，不會影響其他電氣部件，大量漏水則可很快匯集到漏水保護(hù)槽的最低點(diǎn)位置，通過安裝于最低點(diǎn)位置的檢測傳感器發(fā)出漏水信號。本發(fā)明的工件臺漏水保護(hù)裝置可以根據(jù)需要設(shè)計(jì)微動臺底板中漏水保護(hù)槽的分布，實(shí)現(xiàn)對微動臺底板全范圍內(nèi)保護(hù)，不影響微動底板的正常功能及性能，可保證各部件正常安裝，并能保證其精度，同時(shí)滿足剛度及強(qiáng)度要求。漏水被集中于漏水保護(hù)槽中的一處位置進(jìn)行檢測，結(jié)構(gòu)簡單，使用的傳感器少，便于檢測和控制，節(jié)約成本。


圖I為現(xiàn)有技術(shù)的光刻機(jī)微動臺的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明的工件臺漏水保護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明的工件臺漏水保護(hù)裝置上的漏水保護(hù)槽的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明的工件臺漏水保護(hù)裝置上的漏水保護(hù)槽的分布結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面對本發(fā)明的具體實(shí)施方式
做詳細(xì)的說明。本發(fā)明所述的工件臺漏水保護(hù)裝置可利用多種替換方式實(shí)現(xiàn)，下面是通過較佳的實(shí)施例來加以說明，當(dāng)然本發(fā)明并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員所熟知的一般的替換無疑涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。請參看圖2，圖2為本發(fā)明的工件臺漏水保護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖2所示，本發(fā)明的工件臺漏水保護(hù)裝置中，所述工件臺包括底板10、所述底板10上安裝有電機(jī)安裝座
11、冷卻水管12、冷卻水接頭13、電氣接頭14及電氣線纜15。所述漏水保護(hù)裝置包括漏水保護(hù)槽16，所述漏水保護(hù)槽16設(shè)置于所述底板10中。請參看圖3，圖3為本發(fā)明的工件臺漏水保護(hù)裝置上的漏水保護(hù)槽的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。如圖3所示，本發(fā)明的工件臺漏水保護(hù)裝置上的漏水保護(hù)槽16設(shè)置于所述微動臺底板10中，所述漏水保護(hù)槽16的底面形狀為矩形、弧形或V型等，所述漏水保護(hù)槽16的V型底面及側(cè)面上均貼有隔水材料162，所述漏水保護(hù)槽16內(nèi)隔水材料162之上的空隙內(nèi)均填充吸水材料161，優(yōu)選的，填充的吸水材料161的表面同所述微動臺底板10齊平。所述隔水材料162可以為聚氨酯防水涂料或丙凝防水材料。所述吸水材料161為高吸水性樹脂或高吸水性塑料或海綿。請參看圖4，圖4為本發(fā)明的工件臺漏水保護(hù)裝置上的漏水保護(hù)槽的分布結(jié)構(gòu)示意圖。如圖4所示，本發(fā)明的工件臺漏水保護(hù)裝置上的漏水保護(hù)槽16分布于所述微動臺底板10上安裝有所述冷卻水管12及冷卻水接頭13及需進(jìn)行漏水保護(hù)的電氣部件的一側(cè)。所述微動臺底板10上分布的漏水保護(hù)槽16為多條，且優(yōu)選其相互貫通，所述相互貫通的各條漏水保護(hù)槽16V型底面的最底部均具有一定的傾斜度，所有相互貫通的漏水保護(hù)槽16V型底面的最底部中具有一處深度最深的最低點(diǎn)位置，使得流入所有相互貫通的漏水保護(hù)槽16中的水流均能夠匯集到所述最低點(diǎn)位置，在所述最低點(diǎn)位置處安裝有檢測傳感器163。對于無法實(shí)現(xiàn)相互貫通的各條獨(dú)立的漏水保護(hù)槽16，則每條獨(dú)立的漏水保護(hù)槽16V型底面的最底部均具有一定的傾斜度，每條獨(dú)立的漏水保護(hù)槽16V型底面的最底部中具有一處深度最深的最低點(diǎn)位置，使得流入獨(dú)立的漏水保護(hù)槽16中的水流均能夠匯集到所述最低點(diǎn)位置，在所述最低點(diǎn)位置處安裝有檢測傳感器163。為了盡可能的精簡檢測傳感器163的安裝數(shù)量，以便于對檢測傳感器的控制，同時(shí)也可精簡裝置結(jié)構(gòu)并且節(jié)約成本。本發(fā)明的工件臺漏水保護(hù)裝置底板上一旦出現(xiàn)漏水現(xiàn)象則漏水即會滲透到漏水 保護(hù)槽16中。當(dāng)有少量漏水時(shí)，水很快會被漏水保護(hù)槽16內(nèi)填充的吸水材料161吸收，由于漏水保護(hù)槽16的底面及側(cè)面均貼附有隔水材料162，漏水保護(hù)槽16內(nèi)滲入的漏水不會滲透到微動臺底板10的其他區(qū)域內(nèi)，可以有效保護(hù)微動臺底板10上的電氣設(shè)備；當(dāng)有大量漏水時(shí)，漏水流入漏水保護(hù)槽16并沿著漏水保護(hù)槽16底部的傾斜角流動最終匯集到漏水保護(hù)槽16的最低點(diǎn)位置，經(jīng)由安裝在最低點(diǎn)位置處的檢測傳感器163檢測出漏水并發(fā)出漏水信號。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本發(fā)明進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種工件臺漏水保護(hù)裝置，所述工件臺包括底板、安裝于所述底板上的冷卻水管、冷卻水接頭及電氣部件，其特征在于，所述漏水保護(hù)裝置包括漏水保護(hù)槽，所述漏水保護(hù)槽設(shè)置于所述底板中；所述漏水保護(hù)槽分布于所述底板上所述冷卻水管、冷卻水接頭及需進(jìn)行漏水保護(hù)的電氣部件的一側(cè)；所述漏水保護(hù)槽的底面及側(cè)面上均貼有隔水材料。
2.如權(quán)利要求I所述的工件臺漏水保護(hù)裝置，其特征在于，所述底板上分布的漏水保護(hù)槽為多條且相互貫通，所述相互貫通的各條漏水保護(hù)槽的底面均具有一定的傾斜度，所有相互貫通的漏水保護(hù)槽的底面中具有一處深度最深的最低點(diǎn)位置，使得流入所有相互貫通的漏水保護(hù)槽中的水流均能夠匯集到所述最低點(diǎn)位置，在所述最低點(diǎn)位置處安裝有檢測傳感器。
3.如權(quán)利要求2所述的工件臺漏水保護(hù)裝置，其特征在于，所述底板中還設(shè)置有不能同所述相互貫通的漏水保護(hù)槽相貫通的獨(dú)立的漏水保護(hù)槽，每條所述獨(dú)立的漏水保護(hù)槽的底面均具有一定的傾斜度，每條所述獨(dú)立的漏水保護(hù)槽的底面中具有一處深度最深的最低 點(diǎn)位置，使得流入所述獨(dú)立的漏水保護(hù)槽中的水流均能夠匯集到所述最低點(diǎn)位置，在所述最低點(diǎn)位置處安裝有檢測傳感器。
4.如權(quán)利要求I所述的工件臺漏水保護(hù)裝置，其特征在于，所述底板上分布的漏水保護(hù)槽為多條且相互獨(dú)立，所述每條獨(dú)立的漏水保護(hù)槽的底面均具有一定的傾斜度，所述每條獨(dú)立的漏水保護(hù)槽的底面中具有一處深度最深的最低點(diǎn)位置，使得流入其中的水流均能夠匯集到所述最低點(diǎn)位置，在所述最低點(diǎn)位置處安裝有檢測傳感器。
5.如權(quán)利要求I至4中任一權(quán)利要求所述的工件臺漏水保護(hù)裝置，其特征在于，所述漏水保護(hù)槽內(nèi)所述隔水材料之上的空隙內(nèi)均填充有吸水材料。
6.如權(quán)利要求5所述的工件臺漏水保護(hù)裝置，其特征在于，所述吸水材料的表面同所述底板齊平。
7.如權(quán)利要求5所述的工件臺漏水保護(hù)裝置，其特征在于，所述吸水材料為高吸水性樹脂或高吸水性塑料或海綿。
8.如權(quán)利要求I所述的工件臺漏水保護(hù)裝置，其特征在于，所述隔水材料為聚氨酯防水涂料或丙凝防水材料。
全文摘要
本發(fā)明提供一種工件臺漏水保護(hù)裝置，所述工件臺包括底板、安裝于所述底板上的冷卻水管、冷卻水接頭及電氣部件，所述漏水保護(hù)裝置包括漏水保護(hù)槽，所述漏水保護(hù)槽設(shè)置于所述底板中；所述漏水保護(hù)槽分布于所述底板上所述冷卻水管、冷卻水接頭及需進(jìn)行漏水保護(hù)的電氣部件的一側(cè)；所述漏水保護(hù)槽的底面及側(cè)面上均貼有隔水材料。本發(fā)明的工件臺漏水保護(hù)裝置可以根據(jù)需要設(shè)計(jì)微動臺底板中漏水保護(hù)槽的分布，實(shí)現(xiàn)對微動臺底板全范圍內(nèi)保護(hù)。漏水被集中于漏水保護(hù)槽中的一處位置進(jìn)行檢測，結(jié)構(gòu)簡單，使用的傳感器少，便于檢測和控制，節(jié)約成本。
文檔編號G03F7/20GK102736433SQ20111008796
公開日2012年10月17日 申請日期2011年4月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月8日
發(fā)明者范哲光, 齊芊楓 申請人:上海微電子裝備有限公司, 上海微高精密機(jī)械工程有限公司