專(zhuān)利名稱(chēng)：光調(diào)制器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光調(diào)制器，特別涉及具有配置于光調(diào)制元件外部的連接基板或終 端基板的光調(diào)制器。
背景技術(shù)：
以往，在光通信領(lǐng)域或光測(cè)定領(lǐng)域，大多使用在具有電光效果的基板上形成光波 導(dǎo)或調(diào)制電極的波導(dǎo)型光調(diào)制器。在此種的光調(diào)制器中，根據(jù)提高高速、大容量通信或光測(cè) 定精度等的要求，要求開(kāi)發(fā)至高頻帶為止穩(wěn)定地發(fā)揮功能的光調(diào)制器，在近幾年，超過(guò)幾十 6Hz的光調(diào)制器也正得以實(shí)現(xiàn)。在光調(diào)制器于高頻帶驅(qū)動(dòng)時(shí)，出自光調(diào)制器的光輸出波形的眼孔圖樣的跳動(dòng) (jitter)值易于變大，并且光輸出信號(hào)的波形質(zhì)量降低或光傳輸距離減少等調(diào)制特性的劣 化發(fā)生。本發(fā)明者進(jìn)行深入的研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，如以下說(shuō)明那樣，驅(qū)動(dòng)光調(diào)制器的微波信號(hào) 含有干擾是跳動(dòng)值變大的原因之一。將光調(diào)制器的一例示于圖1，圖1(a)的光調(diào)制元件1，在LiNb03等具有電光學(xué)效 果的基板上形成有光波導(dǎo)(未圖示)和調(diào)制電極等，調(diào)制電極由信號(hào)電極2和接地電極(未 圖示)等構(gòu)成。光調(diào)制元件1連接有光纖3用于使光波入射或出射。另外，光調(diào)制元件1的周?chē)渲糜邪糯笃?等的連接基板4和包含終端器9 的終端基板5。連接基板4或終端基板5與光調(diào)制元件1 一同容納于盒10內(nèi)，形成光調(diào)制模件。作為參考，使用連接基板的光調(diào)制器模件的例子示于專(zhuān)利文獻(xiàn)1。專(zhuān)利文獻(xiàn)1特開(kāi)2003-233043號(hào)公報(bào)關(guān)于光調(diào)制器的驅(qū)動(dòng)方法進(jìn)行說(shuō)明。從調(diào)制信號(hào)源6發(fā)生的微波信號(hào)被導(dǎo)入盒10 的輸入端子的GPO連接器7，且從該連接器傳送至圖1 (b)所示的連接基板4的信號(hào)輸入端 子11。在連接基板4中，通過(guò)放大器8或用于將微波信號(hào)轉(zhuǎn)換成各種狀態(tài)的其他功能元 件(未圖示)，將微波信號(hào)導(dǎo)出至信號(hào)輸出端部12。連接基板的信號(hào)輸出端部12和光調(diào)制元件的信號(hào)電極2的電極墊之間被引線接 合，從連接基板4輸出的微波信號(hào)接下來(lái)在信號(hào)電極2傳送。并且，通過(guò)在信號(hào)電極2傳送 的微波信號(hào)，使在光調(diào)制元件的光波導(dǎo)內(nèi)傳送的光波被光調(diào)制。信號(hào)電極2的終端部設(shè)有其他電極墊，該電極墊和圖1(c)所示的終端基板的信號(hào) 導(dǎo)入端部14之間，同樣被引線接合。因此，微波信號(hào)從信號(hào)電極2進(jìn)一步傳送至終端基板5，由終端基板內(nèi)所設(shè)置的終端器9吸收。但是，本發(fā)明者們發(fā)現(xiàn)，在圖1(b)所示的連接基板4中，從被輸入于信號(hào)輸入端子 11的微波信號(hào)發(fā)生微波輻射模式13，該輻射模式13在連接基板內(nèi)傳送，與信號(hào)輸出端部12 內(nèi)在信號(hào)線傳送的微波信號(hào)再結(jié)合。再結(jié)合的輻射模式在調(diào)制信號(hào)中為干擾，此干擾傳送 至光調(diào)制元件的信號(hào)電極2，成為產(chǎn)生光調(diào)制器的調(diào)制特性劣化的原因。另外，在圖1(c)所示的終端基板5中，被導(dǎo)入終端器9的微波信號(hào)的一部分由終 端器反射，發(fā)生微波的輻射模式15。該輻射模式15在終端基板內(nèi)傳送并在信號(hào)導(dǎo)入端部 14再結(jié)合且傳送至信號(hào)電極2，成為逆著通常的傳送方向行進(jìn)的微波。這種輻射模式15在 調(diào)制信號(hào)中也成為干擾。并且，在連接基板4發(fā)生由信號(hào)輸出端部12反射的微波輻射模式(未圖示)。并 且，在信號(hào)電極2沿反方向傳送的微波，被導(dǎo)入連接基板4并在信號(hào)輸出端部12發(fā)生輻射 模式(未圖示)。這些輻射模式，在連接基板內(nèi)傳送并在信號(hào)輸入端部11再結(jié)合，逆流至調(diào) 制信號(hào)源6，使調(diào)制信號(hào)源的動(dòng)作不穩(wěn)定等不良情況也產(chǎn)生。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的課題是，解決上述的問(wèn)題，提供一種抑制在連接基板或終端基 板內(nèi)發(fā)生的微波輻射模式進(jìn)入光調(diào)制器的信號(hào)電極等且抑制調(diào)制特性劣化的光調(diào)制器。技術(shù)方案1所涉及的發(fā)明，一種光調(diào)制器，包括具備具有電光效果的基板、形成 在該基板上的光波導(dǎo)、和用于調(diào)制通過(guò)該光波導(dǎo)內(nèi)的光的調(diào)制電極的光調(diào)制元件；以及配 置在該基板的外部、用于將驅(qū)動(dòng)該光調(diào)制元件的微波信號(hào)供給該光調(diào)制元件的連接基板， 其特征在于，該連接基板上形成有信號(hào)輸入端部和信號(hào)輸出端部，抑制輸入到該信號(hào)輸入 端部的微波信號(hào)的輻射模式與該信號(hào)輸出端部再結(jié)合的再結(jié)合抑制裝置被設(shè)置在該連接 基板。技術(shù)方案2所涉及的發(fā)明，根據(jù)技術(shù)方案1所述的光調(diào)制器，其特征在于，該再結(jié) 合抑制裝置被配置得該信號(hào)輸出端部不位于微波信號(hào)輻射模式的傳播行進(jìn)路徑上。技術(shù)方案3所涉及的發(fā)明，根據(jù)技術(shù)方案1所述的光調(diào)制器，其特征在于，該再結(jié) 合抑制裝置，形成在該信號(hào)輸出端部的附近，是將微波信號(hào)輻射模式遮蔽或放出到連接基 板外的裝置。技術(shù)方案4所涉及的發(fā)明，根據(jù)技術(shù)方案1至3中任一項(xiàng)所述的光調(diào)制器，其特征 在于，該連接基板上配置有用于將微波信號(hào)轉(zhuǎn)換成各種狀態(tài)的功能元件。需要說(shuō)明的是，本發(fā)明中的[用于將微波信號(hào)轉(zhuǎn)換成各種狀態(tài)的功能元件]是指， 配置在連接基板，具有將微波信號(hào)的狀態(tài)轉(zhuǎn)換成特定狀態(tài)即基于微波信號(hào)的信號(hào)增幅·衰 減、相位調(diào)整、信號(hào)分配或合波等的功能的電路元件。技術(shù)方案5所涉及的發(fā)明，一種光調(diào)制器，包括具備具有電光效果的基板、形成 在該基板上的光波導(dǎo)、和用于調(diào)制通過(guò)該光波導(dǎo)內(nèi)的光的調(diào)制電極的光調(diào)制元件；以及配 置在該基板的外部、用于將驅(qū)動(dòng)該光調(diào)制元件的微波信號(hào)從該光調(diào)制元件供給至終端器的 終端基板，其特征在于，該終端基板形成有信號(hào)導(dǎo)入端部和終端器，抑制從該終端器反射的 微波輻射模式與該信號(hào)導(dǎo)入端部再結(jié)合的再結(jié)合抑制裝置被設(shè)置在該終端基板。技術(shù)方案6所涉及的發(fā)明，根據(jù)技術(shù)方案5所述的光調(diào)制器，其特征在于，該再結(jié)合抑制裝置被配置得該信號(hào)導(dǎo)入端部不位于反射的微波輻射模式的傳播行進(jìn)路徑上。技術(shù)方案7所涉及的發(fā)明，根據(jù)技術(shù)方案5所述的光調(diào)制器，其特征在于，該再結(jié) 合抑制裝置，形成在該信號(hào)輸出端部的附近，是將反射的微波輻射模式遮蔽或放出到終端 基板外的裝置。根據(jù)技術(shù)方案1所涉及的發(fā)明，一種光調(diào)制器，包括具備具有電光效果的基板、 形成在該基板上的光波導(dǎo)、和用于調(diào)制通過(guò)該光波導(dǎo)內(nèi)的光的調(diào)制電極的光調(diào)制元件；以 及配置在該基板的外部、用于將驅(qū)動(dòng)該光調(diào)制元件的微波信號(hào)供給至該光調(diào)制元件的連接 基板，由于該連接基板上形成有信號(hào)輸入端部和信號(hào)輸出端部，且抑制輸入到該信號(hào)輸入 端部的微波信號(hào)的輻射模式與該信號(hào)輸出端部再結(jié)合的再結(jié)合抑制裝置被設(shè)置在該連接 基板，因此，可抑制輻射模式與信號(hào)輸出端部再結(jié)合并進(jìn)入信號(hào)電極的不良情況，并抑制微 波輻射模式所引起的調(diào)制特性劣化。根據(jù)技術(shù)方案2所涉及的發(fā)明，再結(jié)合抑制裝置被配置得信號(hào)輸出端部不位于微 波信號(hào)輻射模式的傳播行進(jìn)路徑上，因此，通過(guò)采用調(diào)整發(fā)生輻射模式的信號(hào)輸入端部和 輻射模式再結(jié)合的信號(hào)輸出端部的配置的簡(jiǎn)單構(gòu)成，可有效地消除輻射模式所引起的不良 情況。根據(jù)技術(shù)方案3所涉及的發(fā)明，再結(jié)合抑制裝置，形成在信號(hào)輸出端部的附近，是 將微波信號(hào)輻射模式遮蔽或放出到連接基板外的裝置，因此，通過(guò)將這些遮蔽或放出裝置 形成在連接基板，可有效抑制輻射模式對(duì)信號(hào)輸出端部的再結(jié)合。根據(jù)技術(shù)方案4所涉及的發(fā)明，連接基板上配置有用于將微波信號(hào)轉(zhuǎn)換成各種狀 態(tài)的功能元件，因此，即使對(duì)于多樣的連接基板，也可消除輻射模式所引起的不良情況。根據(jù)技術(shù)方案5所涉及的發(fā)明，一種光調(diào)制器，包括具備具有電光效果的基板、 形成在該基板上的光波導(dǎo)、和用于調(diào)制通過(guò)該光波導(dǎo)內(nèi)的光的調(diào)制電極的光調(diào)制元件；以 及配置在該基板的外部、用于將驅(qū)動(dòng)該光調(diào)制元件的微波信號(hào)從該光調(diào)制元件供給到終端 器的終端基板，由于該終端基板形成有信號(hào)導(dǎo)入端部和終端器，且抑制從該終端器反射的 微波輻射模式與該信號(hào)導(dǎo)入端部再結(jié)合的再結(jié)合抑制裝置被設(shè)置在該終端基板，因此，可 抑制從終端器反射的微波輻射模式與信號(hào)導(dǎo)入端部再結(jié)合并進(jìn)入信號(hào)電極的不良情況，并 抑制微波輻射模式所引起的調(diào)制特性劣化。根據(jù)技術(shù)方案6所涉及的發(fā)明，再結(jié)合抑制裝置被配置得信號(hào)導(dǎo)入端部不位于反 射的微波輻射模式的傳播行進(jìn)路徑上，因此，通過(guò)采用調(diào)整終端器和信號(hào)導(dǎo)入端部的配置 的簡(jiǎn)單構(gòu)成，可有效地消除由輻射模式而引起的不良情況。根據(jù)技術(shù)方案7所涉及的發(fā)明，再結(jié)合抑制裝置，形成在信號(hào)輸出端部的附近，是 將反射的微波輻射模式遮蔽或放出到終端基板外的裝置，因此，通過(guò)將這些遮蔽或放出裝 置形成在終端基板，可有效抑制輻射模式對(duì)信號(hào)導(dǎo)入端部再結(jié)合。


圖1是以往的光調(diào)制器的概略圖。圖2是本發(fā)明所涉及的光調(diào)制器的概略圖。圖3是表示在本發(fā)明所涉及的光調(diào)制器中具有多個(gè)信號(hào)輸入端部或信號(hào)輸出端 部的例子的圖。
圖4是表示在本發(fā)明所涉及的光調(diào)制器中使用遮蔽體的例子的圖。圖5是表示在本發(fā)明所涉及的光調(diào)制器中使用輻射模式的放出裝置的例子的圖。圖6是表示在本發(fā)明所涉及的光調(diào)制器中使用貫通孔作為輻射模式的放出裝置 的例子的中1-光調(diào)制元件，2-信號(hào)電極，3-光纖，4、20、30、40、50、60、70-連接基板，5、 21-終端基板，6-調(diào)制信號(hào)源，7-連接器，8、52、63、72_放大器，9-終端器，10-盒，11、22、 31、41、42、51、61、71_ 信號(hào)輸入端部，12、23、33、；34、44、45、54、65、74_ 信號(hào)輸出端部，13、 15、24、26、35、46、47、56、67、76_ 微波輻射模式，14,25-信號(hào)導(dǎo)入端部，53、62、64、73_ 信號(hào) 線，55-遮蔽體，66-空洞(凹部)，75-貫通孔
具體實(shí)施例方式以下，使用優(yōu)選實(shí)施例詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。圖2是表示本發(fā)明所涉及的光調(diào)制器的實(shí)施例的圖。需要說(shuō)明的是，在圖2中，付與與圖1相同符號(hào)的部分意味與圖1相同的構(gòu)成。在 本發(fā)明中，作為光調(diào)制元件1，只要具備具有電光學(xué)效果的基板、形成在該基板上的光波 導(dǎo)、和用于調(diào)制該光波導(dǎo)內(nèi)通過(guò)的光的調(diào)制電極，就對(duì)材料或其他結(jié)構(gòu)沒(méi)有特別限定，例 如，作為具有電光學(xué)效果的基板，可使用鈮酸鋰、鉭酸鋰、PLZT(Lead Lanthanum Zirconate Titanate 鈦酸鋯酸鑭鉛)、石英類(lèi)材料。另外，基板上的光波導(dǎo)，可通過(guò)將Ti由熱擴(kuò)散法 或質(zhì)子交換法等在基板表面擴(kuò)散而形成。并且，構(gòu)成調(diào)制電極的信號(hào)電極或接地電極等，可 通過(guò)Ti · Au的電極圖形的形成以及鍍金方法等而形成。另外，根據(jù)需要，可將電介質(zhì)SiO2 等緩沖層設(shè)置在光波導(dǎo)形成后的基板表面。圖2所涉及的本發(fā)明的特征在于，在連接基板20和終端基板21中，如圖2(b)或 (c)所示，通過(guò)調(diào)整各基板內(nèi)的輸入輸出端部等的配置，可有效抑制微波輻射模式再結(jié)合在 信號(hào)線路上。在連接基板20中，從信號(hào)輸入端部22發(fā)生的微波信號(hào)輻射模式M以相對(duì)于信號(hào) 線為約1°以下的角度輻射，在連接基板內(nèi)幾乎沿點(diǎn)劃線A所示的方向傳送。因此，通過(guò)將 信號(hào)輸出部分23配置在遠(yuǎn)離點(diǎn)劃線A的位置，可抑制輻射模式M在信號(hào)輸出部分23再結(jié)合。另外，在終端基板21中，從終端器9反射的微波輻射模式26，同樣在終端基板內(nèi) 幾乎沿點(diǎn)劃線B所示的方向傳送。因此，通過(guò)將信號(hào)導(dǎo)入端部25配置在遠(yuǎn)離點(diǎn)劃線B的位 置，可抑制輻射模式26在信號(hào)導(dǎo)入端部25再結(jié)合。并且，在連接基板20中，即使對(duì)于如上所述那樣從信號(hào)輸出端部23發(fā)生的微波輻 射模式(未圖示)，通過(guò)采用如圖2(b)所示的構(gòu)成，也可抑制輻射模式在信號(hào)輸入端部22 再結(jié)合，并緩和對(duì)調(diào)制信號(hào)源的影響。在圖2中，表示了在連接基板20各有一個(gè)信號(hào)輸入端部22和信號(hào)輸出端部23的 例子，但本發(fā)明的光調(diào)制器并不限定于此，例如，也包含如圖3(a)所示的具有多個(gè)信號(hào)輸 出端部的連接基板30，或如圖3(b)所示的多個(gè)信號(hào)輸入端部和信號(hào)輸出端部都存在的連 接基板40。圖3 (a)的情況，對(duì)于從信號(hào)輸入端部31反射的微波信號(hào)輻射模式35，通過(guò)將信號(hào)輸出端部33及34配置在遠(yuǎn)離該輻射模式35的傳送方向(點(diǎn)劃線C)的位置，可抑制輻射 模式35在信號(hào)輸出端部再結(jié)合。32表示分配器等功能元件。另外，圖3(b)的情況，對(duì)于從信號(hào)輸入端部41放射的微波信號(hào)輻射模式46和從 其他信號(hào)輸入端部42放射的微波信號(hào)輻射模式47，通過(guò)將信號(hào)輸出端部44及45配置在從 各輻射模式的傳送方向的點(diǎn)劃線D及E離開(kāi)的位置，可抑制各輻射模式在信號(hào)輸出端部再 結(jié)合。43表示合波器或分配器等組合后的復(fù)合功能元件。需要說(shuō)明的是，利用圖3對(duì)連接基板進(jìn)行了說(shuō)明，但在終端基板中使用多個(gè)信號(hào) 導(dǎo)入端部或多個(gè)終端器的情況下，也可同樣構(gòu)成。在圖2及3，作為抑制微波輻射模式的再結(jié)合的再結(jié)合抑制裝置，例示了調(diào)整輸入 輸出端部等的配置的方法，但本發(fā)明并不限定于此，也可使用如圖4或圖5所示那樣將微波 輻射模式遮蔽或放出在終端基板外的裝置。圖4表示具有放大器52的連接基板50的例子，構(gòu)成為從信號(hào)輸入端部51放射的 微波輻射模式56被遮蔽體55遮蔽而使其不入射到信號(hào)輸出部分M。圖4(b)表示圖4(a) 的點(diǎn)劃線F中的剖視圖。53表示信號(hào)線。作為構(gòu)成連接基板或終端基板的基板材料，可適用氧化鋁或氮化鋁等低介電損失 材料。另外，作為遮蔽體可適用Au或Al等導(dǎo)電性金屬材料。將遮蔽體組裝至基板中的方法可采用在基板由切削等形成凹部并將遮蔽材料填 充在該凹部的方法、或向該凹部插入由遮蔽材料做成的小片的方法等。圖5表示具有放大器63的連接基板60的例子，構(gòu)成為使用空洞(凹部)66將從 信號(hào)輸入端部61放射的微波輻射模式67放出到連接基板60的外部，使其不入射到信號(hào)輸 出部分65。圖5(b)表示圖5(a)的點(diǎn)劃線G中的剖視圖。62、64表示信號(hào)線。另外，如圖6所示，在具有放大器72的連接基板70中，可使用貫通連接基板70的 貫通孔75，將從信號(hào)輸入端部71放射的微波輻射模式76放出到連接基板70的外部。通過(guò) 此構(gòu)成，構(gòu)成為使微波輻射模式76不入射到信號(hào)輸出部分74。圖6(b)表示圖6(a)的點(diǎn)劃 線H中的剖視圖。73表示信號(hào)線。圖4乃至6所示的輻射模式的遮蔽或放出所涉及的技術(shù)，當(dāng)然也可應(yīng)用于具有其 他功能元件的連接基板或終端基板。另外，根據(jù)需要，也可將上述各種技術(shù)組合使用。工業(yè)上的利用可能性如以上說(shuō)明，根據(jù)本發(fā)明，可提供一種光調(diào)制器，該光調(diào)制器抑制在連接基板或終 端基板發(fā)生的微波輻射模式進(jìn)入光調(diào)制器的信號(hào)電極等且抑制調(diào)制特性劣化。
權(quán)利要求
1.一種光調(diào)制器，包括光調(diào)制元件和終端基板，該光調(diào)制元件具備具有電光效果的基 板、形成在上述基板上的光波導(dǎo)、和用于調(diào)制上述光波導(dǎo)內(nèi)通過(guò)的光的調(diào)制電極；該終端基 板被配置在上述基板的外部、用于將驅(qū)動(dòng)上述光調(diào)制元件的微波信號(hào)從上述光調(diào)制元件供 給終端器，上述終端基板上形成有信號(hào)導(dǎo)入端部和終端器，抑制從上述終端器反射的微波輻射模式與上述信號(hào)導(dǎo)入端部再結(jié)合的再結(jié)合抑制裝 置，被設(shè)置在上述終端基板，其特征在于，上述再結(jié)合抑制裝置被配置得上述信號(hào)導(dǎo)入端部不位于所反射的微波信號(hào)輻射模式 的傳播行進(jìn)路徑上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光調(diào)制器，其特征在于，上述再結(jié)合抑制裝置，被形成在上述 信號(hào)輸出端部的附近，是將所反射的微波輻射模式遮蔽或放出到終端基板外的裝置，并且， 將所反射的微波輻射模式放出到終端基板外的裝置是空洞、或貫通孔。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于，提供一種抑制在連接基板或終端基板內(nèi)發(fā)生的微波輻射模式進(jìn)入光調(diào)制器的信號(hào)電極等且抑制調(diào)制特性劣化的光調(diào)制器，該光調(diào)制器包括具備具有電光效果的基板、形成在該基板上的光波導(dǎo)、和用于調(diào)制該光波導(dǎo)內(nèi)通過(guò)的光的調(diào)制電極(包含信號(hào)電極2)的光調(diào)制元件(1)；以及配置在該基板的外部、用于將驅(qū)動(dòng)該光調(diào)制元件的微波信號(hào)供給該光調(diào)制元件的連接基板(4)，其特征在于，該連接基板(20)上形成有信號(hào)輸入端部(22)和信號(hào)輸出端部(23)，抑制被輸入到該信號(hào)輸入端部(22)的微波信號(hào)的輻射模式(24)與該信號(hào)輸出端部(23)再結(jié)合的再結(jié)合抑制裝置被設(shè)置在該連接基板。
文檔編號(hào)G02F1/03GK102062957SQ201010562409
公開(kāi)日2011年5月18日 申請(qǐng)日期2006年11月13日 優(yōu)先權(quán)日2005年11月16日
發(fā)明者清水亮, 菅又徹, 藤田貴久 申請(qǐng)人:住友大阪水泥股份有限公司