專利名稱：間隔體散布裝置、間隔體散布方法以及液晶面板制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在形成于基板上的電極圖案上散布間隔體的間隔體散布裝置、間隔體散布方法以及采用該間隔體散布裝置的液晶面板制造方法。
背景技術(shù)：
在液晶面板的制造中具有間隔體散布處理，即為了保持液晶面板間的間隔，而將被稱為間隔體的金屬微粒、合成樹脂微粒、無機微粒等配置在形成于基板上的電極圖案上。 作為間隔體的散布方法之一，具有將間隔體與壓縮空氣一起吹到基板上的間隔體散布方法。在該間隔體散布處理中，從品質(zhì)的觀點來看需要在基板上均勻地配置間隔體，從而提出了用于使間隔體均勻散布的各種方法。圖7是示出現(xiàn)有的間隔體散布處理中使用的間隔體散布裝置的一例的圖。間隔體散布裝置在密閉或接近密閉狀態(tài)的容器90a的上端部設(shè)置有散布間隔體91的噴嘴90b，在噴嘴90b的下面配置有對間隔體散布對象基板92進行吸附保持的工作臺90c。當開始間隔體散布處理時，通過輸送裝置把基板92輸送到容器90a內(nèi)并配置在工作臺90c上。接著， 將與壓縮空氣一起通過配管90d輸送的間隔體91從噴嘴90b向基板92散布。在利用壓縮空氣等在配管90d內(nèi)輸送間隔體91時，間隔體91帶正電或負電。各間隔體91因為同極性地帶電，所以相互排斥，從而比較均勻地散布。此時，如果待散布間隔體91的基板92的電極的電位相同，則能夠在基板92上均勻地散布間隔體91。但是，在表面具有電極的基板上散布間隔體的情況下，當電極間產(chǎn)生電位差時，在電極之間間隔體的散布狀態(tài)不同。因此， 提出了如下這樣的方法對基板上所形成的多個電極施加與間隔體的帶電極性相同極性的電壓，并利用對間隔體作用的斥力來散布間隔體(例如，參照專利文獻1或?qū)＠墨I2)。日本特開2002-258316號公報國際公開 W000/31580 號近年來，液晶面板也需要輕量化、薄型化，取代采用玻璃基板的液晶面板，采用樹脂制基板的液晶面板得到了普及。但是，現(xiàn)有的間隔體散布裝置是以玻璃基板為前提的，這樣如果直接應(yīng)用于樹脂制基板，則具有難以均勻地散布間隔體的問題。例如一般地，樹脂制基板(尤其是膜基板)與玻璃基板相比容易帶電且剛性較低， 所以在圖7的例子中具有如下這樣的問題樹脂制基板與工作臺90c之間容易產(chǎn)生摩擦，由摩擦產(chǎn)生的靜電會導(dǎo)致難以均勻地配置間隔體91。另外，關(guān)于樹脂制基板，由于可薄型化及柔軟性高這樣的特征，在很長的卷狀的薄型原料基板上連續(xù)形成多個電極圖案。在采用這種形狀的樹脂制基板的液晶面板的制造工藝中，依次送出卷繞在輥上的處理前的樹脂制基板并輸送到間隔體散布裝置內(nèi)來散布間隔體91，在卷取側(cè)的輥上卷繞完成散布的樹脂制基板。在這樣的結(jié)構(gòu)中，散布間隔體91時的樹脂制基板僅通過送出側(cè)的輥和卷繞側(cè)的輥的力來固定位置。在途中設(shè)置了引導(dǎo)輥的情況下也同樣，利用引導(dǎo)輥來固定樹脂制基板的位置。因此例如產(chǎn)生如下的問題由于與間隔體 91 一起釋放出的壓縮空氣的風壓而使樹脂制基板在上下方向上運動。此時，位于下方的工作臺90c的臺面與樹脂制基板接觸而發(fā)生摩擦，并產(chǎn)生摩擦靜電，由于該靜電的影響，帶電的間隔體有可能無法均勻地散布在樹脂制基板上。另外，在輸送樹脂制基板時，也因為樹脂制基板通過工作臺90c上方，會產(chǎn)生同樣的問題。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于這樣的問題，本發(fā)明的目的是提供間隔體散布裝置、間隔體散布方法以及液晶面板制造方法，能在由于間隔體散布時的風壓等而與周圍摩擦且容易產(chǎn)生靜電的樹脂制基板上均勻地配置間隔體。為了解決上述課題，提供了具有壓板機構(gòu)部和控制部，并在基板上形成的電極圖案上散布間隔體的間隔體散布裝置。壓板機構(gòu)部具有壓板，在間隔體散布裝置的容器內(nèi)，朝電極圖案連續(xù)的方向輸送以規(guī)定間隔連續(xù)地形成了多個電極圖案的樹脂制基板，并散布間隔體時，該壓板抑制間隔體散布裝置的容器內(nèi)的樹脂制基板的運動，該壓板機構(gòu)部根據(jù)指示而切換使壓板離開樹脂制基板的第1狀態(tài)和將壓板配置在樹脂制基板上的第2狀態(tài)?？刂撇吭谳斔蜆渲苹鍟r，對壓板機構(gòu)部指示第1狀態(tài)，使得能夠輸送樹脂制基板。另外， 在樹脂制基板上的散布對象電極圖案到達規(guī)定位置，并對該散布對象電極圖案進行間隔體的散布時，對壓板機構(gòu)部指示第2狀態(tài)，抑制樹脂制基板的運動。另外，為了解決上述課題，還提供進行與上述同樣處理過程的間隔體散布方法以及液晶面板制造方法。根據(jù)所公開的間隔體散布裝置、間隔體散布方法以及液晶面板制造方法，針對由于間隔體散布時的風壓等與周圍摩擦而容易產(chǎn)生靜電的樹脂制基板，在間隔體散布時通過壓板機構(gòu)部來抑制樹脂制基板的運動，由此能夠防止與周圍的摩擦而引起的靜電。并且，通過防止該靜電的發(fā)生，可以在樹脂制基板上均勻地配置間隔體。



17電動機18控制部20膜基板21a、21b、21c 電極圖案30間隔體
具體實施例方式以下，參照附圖對本發(fā)明的實施方式進行說明。圖1是示出實施方式的間隔體散布裝置的結(jié)構(gòu)例的圖。間隔體散布裝置對在膜狀的薄型樹脂制基板上連續(xù)地形成有獨立的電極圖案的膜基板20進行間隔體散布處理。間隔體散布裝置具有外殼容器11、將間隔體30輸送至容器11內(nèi)的配管12、散布間隔體30的噴嘴13、按壓膜基板20的壓板機構(gòu)部14a、14b、載置膜基板20的工作臺16、使工作臺16移動的電動機17以及控制部18。容器11是間隔體散布裝置的外殼，其能夠使間隔體散布裝置內(nèi)密閉或接近密閉的狀態(tài)。在其下部設(shè)置有排氣口 11a，該排氣口 Ila將與間隔體30 —起釋放到容器11內(nèi)的壓縮空氣排出。在圖1的例子中，排氣口 Ila還兼作將膜基板20輸送到間隔體散布裝置內(nèi)的輸送口。這些排氣口和輸送口可分別設(shè)置。配管12與配置在容器11上端的噴嘴13連接，將間隔體30與壓縮空氣一起送出至噴嘴13。噴嘴13將經(jīng)由配管12流入的間隔體30與壓縮空氣一起向配置在噴嘴13下方的電極圖案21a散布。壓板機構(gòu)部14a、14b分別配置在排氣口 Ila附近的容器11側(cè)面，該排氣口 Ila兼作輸送膜基板20的輸送口。設(shè)置在容器11內(nèi)側(cè)的壓板機構(gòu)部14a、14b分別具有根據(jù)指示而工作的壓板15a、15b。該壓板15a、15b具有在配置于膜基板20上的狀態(tài)下可封堵排氣口 11a、使容器11內(nèi)密閉或接近密閉狀態(tài)的形狀。另外，圖1例子的壓板1如、1恥能夠以與壓板機構(gòu)部14a、14b主體的連接點(旋轉(zhuǎn)軸)為中心進行旋轉(zhuǎn)。將壓板15a、1 離開膜基板 20的方向稱為上方向(在圖1中，壓板15a為逆時針轉(zhuǎn)動，壓板1 為順時針轉(zhuǎn)動)，將配置于膜基板20上的方向稱為下方向(在圖1中，壓板1 為順時針轉(zhuǎn)動，壓板15b為逆時針轉(zhuǎn)動)。另外，將壓板15a、Mb朝上方向旋轉(zhuǎn)并離開膜基板20的狀態(tài)稱為第1狀態(tài)或開放狀態(tài)。在第1狀態(tài)(開放狀態(tài))下，壓板15a、1 離開膜基板20，成為排氣口 Ila開放的狀態(tài)。還可以自由地進行膜基板20向輸送方向的移動。另一方面，將壓板15a、Mb朝下方向(接近膜基板20的方向)旋轉(zhuǎn)以配置在膜基板20上并按下膜基板的狀態(tài)稱為第2狀態(tài)或運動抑制狀態(tài)。在第2狀態(tài)(運動抑制狀態(tài))中，壓板15a、Mb被配置在膜基板20上， 抑制膜基板20的運動。在圖1的例子中，通過配置于膜基板20下側(cè)的工作臺16的與膜基板20相對的臺面和壓板15a、1 來夾住膜基板20，并抑制臺面上的膜基板20的運動。由此，能夠防止在間隔體散布時膜基板20與臺面摩擦而產(chǎn)生的靜電。此外，根據(jù)控制部18的指示來執(zhí)行第1狀態(tài)(開放狀態(tài))以及第2狀態(tài)(運動抑制狀態(tài))的切換。另外，在圖1 的例子中，壓板15a、Mb朝上方向或下方向旋轉(zhuǎn)，不過也可以沿著垂直方向升起或降下。工作臺16配置在容器11的下部，其具有從下側(cè)支撐膜基板20的臺面。另外，還具有利用電動機17所產(chǎn)生的驅(qū)動力來使臺面的位置上下活動的上下動作機構(gòu)。上下動作機構(gòu)可適當?shù)夭捎霉臋C構(gòu)。例如，具有滑動機構(gòu)，該滑動機構(gòu)以與電動機17的連接部分為中心，使整個工作臺16沿上下方向滑動。控制部18與壓板機構(gòu)部14a、14b以及電動機17連接，并按照間隔體散布處理的處理順序?qū)喊鍣C構(gòu)部14a、14b以及電動機17提供動作指示。這里，在輸送膜基板20，散布對象電極圖案21a到達噴嘴13下方的規(guī)定位置，進行間隔體30的散布時停止輸送，對工作臺16指示升起，對壓板機構(gòu)部14a，14b指示運動抑制狀態(tài)，使工作臺16朝上方向運動， 使壓板15a、1 朝下方向運動。由此，膜基板20被下側(cè)的工作臺16和上側(cè)的壓板15a、15b 相夾，在散布間隔體30的期間，抑制其運動。當朝著輸送方向輸送膜基板20時，對工作臺 16指示降下，對壓板機構(gòu)部14a、14b指示開放狀態(tài)，使工作臺16沿著下方向動作，使壓板 15a、Mb沿著上方向動作。由此，在膜基板20的上方向以及下方向產(chǎn)生空間，膜基板20可向輸送方向移動。膜基板20是具有在卷狀的原料膜基板上形成的電極圖案21a、21b、21c的樹脂制基板。作為原料膜基板例如具有PET (Polyethylene 1Ter印hthalate 聚對苯二甲酸乙二酯)、PEN(Polyethylene Naphthalate 聚萘二甲酸乙二醇酯)等。在原料膜基板上形成電極圖案21a、21b、21c，該電極圖案21a、21b、21c是在蒸鍍ITOandium Tin Oxide 透明電極膜)后進行規(guī)定的構(gòu)圖而形成的。在膜基板20的一個面上空出規(guī)定間隔而連續(xù)地配置電極圖案21a、21b、21c。這里，相對于輸送方向，將電極圖案21a、21b、21c配置為一列。另外，在以下的說明中，當不需要特別區(qū)分電極圖案21a、21b、21c時，表述為電極圖案21。對這種結(jié)構(gòu)的間隔體散布裝置的動作以及間隔體散布方法進行說明。在圖1所示的膜基板20的上表面以固定的間隔形成有電極圖案21a、21b、21c。向著輸送方向(在圖1中為從左向右)依次輸送膜基板20。以下，將電極圖案21a作為散布對象進行說明?，F(xiàn)在，是散布對象電極圖案21a到達噴嘴13下方的規(guī)定位置而停止的狀態(tài)。控制部18驅(qū)動電動機17，對處于離開膜基板20的位置(下方)的工作臺16指示升起，對壓板機構(gòu)部14a、14b指示運動抑制狀態(tài)，使壓板15a、1 朝下方向動作。通過電動機17的驅(qū)動力，處于離開膜基板20的位置(下方)的工作臺16升起，臺面在膜基板20的緊下方的位置處停止。并且，壓板機構(gòu)部14a、14b使各個壓板15a、Mb朝下方向旋轉(zhuǎn)。并且，壓板15a、 1 在與膜基板20接觸的位置(按壓膜的狀態(tài))處停止。由此，在散布對象電極圖案21a 的輸送方向的前后位置處，利用工作臺16和壓板15a、Mb夾住膜基板20，抑制運動。特別是，前后被壓板15a、Mb夾住的電極圖案21a及其周圍被固定在工作臺16的臺面上。另外此時，通過壓板15a、Mb堵塞排氣口 11a。在此狀態(tài)下，從噴嘴13散布間隔體30。因為通過壓板15a、15b以及工作臺16抑制了電極圖案21a及其周圍的運動，所以即使吹過壓縮空氣也難以運動，從而難以產(chǎn)生膜基板20與周圍摩擦所引起的靜電。由此，可在電極圖案21a 上均勻地配置間隔體30。在對電極圖案21a的間隔體散布結(jié)束之后，控制部18驅(qū)動電動機17對工作臺16 指示降下，并對壓板機構(gòu)部14a、14b指示開放狀態(tài)，使壓板15a、1 朝上方向旋轉(zhuǎn)。由此， 從壓緊散布對象電極圖案21a的壓板15a、Mb和工作臺16松開膜基板20。另外此時，還開放被壓板15a、Mb堵塞的排氣口 11a。此外，希望在排出未配置于電極圖案21a上的容器 11內(nèi)的間隔體30以防止不需要的間隔體30附著在周圍的電極圖案21b、21c上之后，使壓板15a、1 成為開放狀態(tài)。這樣，夾著膜基板20的壓板15a、15b以及工作臺16離開膜基板20，膜基板20可在輸送方向上移動。并且，將膜基板20朝輸送方向輸送，將完成了散布處理的電極圖案21a搬運至容器11之外。此時，在容器11中，放入下一散布對象電極圖案 21c。當該電極圖案21c到達噴嘴13下方的規(guī)定位置時，停止膜基板20的輸送，將電極圖案21c作為散布對象，重復(fù)與上述相同的處理。通過執(zhí)行以上的處理過程，在散布間隔體時，利用壓板機構(gòu)部14a、14b以及工作臺16夾住膜基板20，由此可抑制散布對象電極圖案21及其周圍的運動，并防止靜電。因此，可在電極圖案21上均勻地散布間隔體30。另外，在輸送膜基板20時，可以使壓板機構(gòu)部14a、14b以及工作臺16離開膜基板20，由此松開膜基板20，使膜基板20自由移動。此外在上述說明中，工作臺16與壓板機構(gòu)部14a、14b的運動對應(yīng)地進行升起或降下，不過即使固定工作臺16，僅利用壓板機構(gòu)部14a、14b的動作來抑制膜基板20的運動，也能夠獲得同樣的效果。接著，對采用間隔體散布裝置的間隔體散布處理進行說明。首先，對執(zhí)行間隔體散布處理的間隔體散布系統(tǒng)的總體結(jié)構(gòu)進行說明。圖2是示出間隔體散布系統(tǒng)的總體結(jié)構(gòu)的一例的圖。間隔體散布系統(tǒng)具有圖1 所示的間隔體散布裝置和膜卷取輥40a、40b、間隔體供給裝置50以及控制裝置60。構(gòu)成間隔體散布裝置的容器11、配管12、噴嘴13、壓板機構(gòu)部14a、14b、工作臺16 以及電動機17與圖1所示的相同標號的構(gòu)成要素相同。圖1所示的控制部18在圖2的結(jié)構(gòu)中被內(nèi)建于控制裝置60中。在膜卷取輥40a上卷繞有進行間隔體散布處理之前的膜基板20。在膜卷取輥40b 上卷繞有實施間隔體散布處理后的膜基板20。膜卷取輥40a、40b根據(jù)控制裝置60的指示進行間歇動作，將膜基板20從膜卷取輥40a向膜卷取輥40b輸送。此時的膜基板20進入的方向為輸送方向。間隔體供給裝置50根據(jù)來自控制裝置60的指示，將間隔體30與壓縮空氣(空氣或氮氣(N2)) —起釋放至配管12。間隔體30在通過配管12時，同樣地帶正(+)或負(_) 電。以下，假設(shè)帶正⑴電進行說明?？刂蒲b置60具有與控制部18同樣的功能，并且控制膜卷取輥40a、40b以及間隔體供給裝置50，管理整個間隔體散布處理。這里，對控制裝置60的硬件結(jié)構(gòu)進行說明。圖3是示出控制裝置的硬件結(jié)構(gòu)例的框圖?？刂蒲b置60利用CPU (Central Processing Unit 中央處理器)601來控制整個裝置。CPU 601經(jīng)由總線607與RAM (Random Access Memory 隨機訪問存儲器)602、硬盤驅(qū)動器(HDD =Hard Disk Drive) 603、圖形處理裝置604、輸入接口 605以及通信接口 606連接。在RAM 602中臨時存儲使CPU 601執(zhí)行的OS (Operating System:操作系統(tǒng))的程序或應(yīng)用程序的至少一部分。另外，在RAM 602中存儲CPU 601進行處理所需的各種數(shù)據(jù)。 在HDD 603中存儲有OS及應(yīng)用程序。圖形處理裝置604與監(jiān)視器608連接，根據(jù)來自CPU 601的命令將圖像顯示到監(jiān)視器608的畫面上。輸入接口 605與鍵盤609a及鼠標609b連接，將從鍵盤609a及鼠標609b發(fā)送來的信號經(jīng)由總線607發(fā)送到CPTO01。通信接口 606經(jīng)由通信路徑與壓板機構(gòu)部14a、14b、電動機17、膜卷取輥40a、40b以及間隔體供給裝置50 等連接，并發(fā)送從CPU 601接收到的動作指示。另外，接收來自各部的應(yīng)答，并經(jīng)由總線607 發(fā)送到CPU 601。通過這樣的硬件結(jié)構(gòu)可實現(xiàn)控制裝置60的處理功能。接著，對間隔體散布處理進行說明。圖4是示出間隔體散布處理中的間隔體散布裝置的狀態(tài)的圖。㈧示出膜基板輸送時的狀態(tài)，⑶示出間隔體散布時的狀態(tài)。(A)在膜基板輸送時，根據(jù)控制裝置60的指示，膜基板20下側(cè)的工作臺16降下， 壓板機構(gòu)部14a、14b的壓板15a、Mb朝上方向移動。另外，排氣口 Ila也開放。在此狀態(tài)時，膜基板20可朝著輸送方向移動。控制裝置60使膜卷取輥40a、40b動作，使膜基板20 移動，直至下一對象電極圖案21c到達噴嘴13下方的規(guī)定位置。(B)在間隔體散布時，根據(jù)控制裝置60的指示，膜基板20下側(cè)的工作臺16升起到膜基板20的緊下方，壓板機構(gòu)部14a、14b的壓板15a、15b降至膜基板20上。另外，排氣口 Ila由壓板15a、Mb堵塞。在此狀態(tài)下，對于膜基板20，散布對象電極圖案21c的前后被工作臺16的表面和壓板15a、1 夾住。因此，能夠抑制膜基板20的運動，并防止臺面與膜基板20摩擦而產(chǎn)生的靜電(該靜電妨礙間隔體30的均勻散布)。另外，因為堵塞了排氣口 11a，所以不用擔心未附著在電極圖案21a上的間隔體30與壓縮空氣一起從排氣口 Ila排出。由此，能夠防止從排氣口 Ila與壓縮空氣一起排出的間隔體30散布在電極圖案21c前后的電極圖案21a、21d上。在上述結(jié)構(gòu)中，在間隔體散布時利用壓板機構(gòu)部14a、14b和工作臺16來夾住膜基板20，以抑制膜基板20的運動，由此來防止靜電。除此之外，還可以通過使圖案間的帶電狀態(tài)均勻化，來進行更均勻的間隔體散布。如圖4(B)中間隔體散布時所示，在間隔體散布時， 壓板15a、15b與散布對象電極圖案21a周圍的膜基板20接觸。因此，設(shè)置短接夾具，該短接夾具在壓板15a、15b朝下方向運動而與膜基板20接觸時，使散布對象電極圖案21短接。 例如，在壓板15a、15b的與膜基板20接觸的接觸面上預(yù)先形成與電極圖案21電連接并使電極圖案21短接的圖案。圖5是示出與電極圖案接觸的短接夾具區(qū)域的圖。電極圖案21示出形成于膜基板20上的電極圖案的一例。短接夾具區(qū)域151a、151b示出了在將壓板15a、15b配置在膜基板20上時與膜基板20重疊的區(qū)域。短接夾具區(qū)域151a、151b與電極圖案21的端部重疊，在壓板15a、Mb壓緊膜基板20時，與形成于短接夾具上的圖案電連接。此外，在電極圖案21側(cè)的與短接夾具區(qū)域151a、151b重疊的區(qū)域中，例如預(yù)先準備與功能電極連接并能夠使功能電極成為相同電位的虛設(shè)電極。由此，能夠使電極圖案21的整個圖案短接，能夠使圖案間的帶電狀態(tài)均勻。另外，通過使圖案間的帶電狀態(tài)均勻，能夠使配置在電極圖案21 上的間隔體30的配置更加均勻。接著，對控制裝置60的間隔體散布處理的執(zhí)行順序進行說明。圖6是示出控制裝置的間隔體散布處理順序的流程圖的一例。將連續(xù)地形成有電極圖案的膜基板20設(shè)置在膜卷取輥40a、40b上，并開始間隔體散布處理。[步驟S01]控制裝置60啟動膜卷取輥40a、40b，并使膜基板20在輸送方向上移動。并且，對膜卷取輥40a、40b進行指示，使膜基板20移動，直至形成有間隔體散布處理對象電極圖案21的部分到達噴嘴13下方的規(guī)定位置。通過膜卷取輥40a、40b的動作來輸送膜基板20，散布對象電極圖案21到達噴嘴13的下方。同時，將完成了間隔體散布處理的電極圖案21輸送到容器11之外。[步驟S02]控制裝置60檢查有無作為間隔體30散布對象的電極圖案21?？梢灾苯哟_認電極圖案21的有無，也可以預(yù)先登記作為對象的電極圖案21的個數(shù)，并在每次完成散布時對該個數(shù)進行遞減，來檢測最后的電極圖案21。在具有散布對象電極圖案21時， 使處理進到步驟S03。在沒有散布對象電極圖案21時，結(jié)束間隔體散布處理。[步驟S03]控制裝置60在具有散布對象電極圖案21時，停止膜卷取輥40a、40b， 開始間隔體散布處理。驅(qū)動電動機17并且對工作臺16指示升起，使工作臺16的臺面移動到膜基板20的緊下方的規(guī)定位置，并停止。由此，固定膜基板20的下側(cè)位置。[步驟S04]控制裝置60對壓板機構(gòu)部14a、14b指示運動抑制狀態(tài)，并使各個壓板 15a、1 朝下方向旋轉(zhuǎn)。壓板15a、1 在壓緊膜基板20的狀態(tài)下停止，并固定膜基板20的上側(cè)位置。另外，堵塞容器11的排氣口 11a。[步驟S05]控制裝置60在利用工作臺16和壓板機構(gòu)部14a、14b抑制了膜基板 20運動的狀態(tài)下，控制間隔體供給裝置50以及噴嘴13，使間隔體30從噴嘴13與壓縮空氣一起散布。此外，在間隔體散布結(jié)束時刻，在容器11內(nèi)存在未配置到散布對象電極圖案21 上的間隔體30。當打開排氣口 Ila時，以該間隔體30不會附著到前后的電極圖案21上的方式，排出容器11內(nèi)所殘留的間隔體30。[步驟S06]在步驟S05的間隔體散布處理結(jié)束之后，控制裝置60對壓板機構(gòu)部 14a、14b指示開放狀態(tài)，使各個壓板15a、15b朝上方向旋轉(zhuǎn)。由此，解除膜基板20的上側(cè)位置的固定。另外，打開容器11的排氣口 11a。[步驟S07]控制裝置60對電動機17進行指示，使工作臺16降下。由此，解除膜基板20的下側(cè)位置的固定，使得能夠?qū)δせ?0進行輸送。因此返回步驟S01，執(zhí)行從輸送膜基板20開始的處理。此外，可以使計算機執(zhí)行上述處理順序。在此情況下，提供記述了控制裝置所應(yīng)具有的功能的處理內(nèi)容的程序。由計算機執(zhí)行該程序，由此通過計算機執(zhí)行上述處理順序。記述了處理內(nèi)容的程序可預(yù)先記錄在計算機可讀記錄介質(zhì)中。在使程序流通的情況下，例如可銷售記錄有該程序的DVD(Digital Versatile Disc 數(shù)字通用光盤)、CD-ROM (Compact Disc Read Only Memory 只讀光盤)等可移動記錄介質(zhì)。另外，還可以將程序預(yù)先存儲到服務(wù)器計算機的存儲裝置內(nèi)，并經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)從服務(wù)器計算機向其它計算機轉(zhuǎn)發(fā)該程序。執(zhí)行程序的計算機例如將可移動記錄介質(zhì)所記錄的程序或者從服務(wù)器計算機轉(zhuǎn)發(fā)來的程序存儲到自己的存儲裝置內(nèi)。并且，計算機從自己的存儲裝置內(nèi)讀取程序，并執(zhí)行根據(jù)程序的處理。此外，計算機還可以從可移動記錄介質(zhì)中直接讀取程序，并執(zhí)行根據(jù)該程序的處理。另外，計算機還可以每當從服務(wù)器計算機轉(zhuǎn)發(fā)程序時，逐次執(zhí)行根據(jù)所接收到的程序的處理。
權(quán)利要求
1.一種間隔體散布裝置，其在基板上形成的電極圖案上散布間隔體，其特征在于，該間隔體散布裝置具備壓板機構(gòu)部，其具有壓板，在上述間隔體散布裝置的容器內(nèi)，朝上述電極圖案連續(xù)的方向輸送以規(guī)定間隔連續(xù)地形成有多個電極圖案的樹脂制基板，并散布上述間隔體時，該壓板抑制上述間隔體散布裝置的容器內(nèi)的上述樹脂制基板的運動，該壓板機構(gòu)部按照指示而切換使上述壓板離開上述樹脂制基板的第1狀態(tài)和將上述壓板配置在上述樹脂制基板上的第2狀態(tài)；以及控制部，其在輸送上述樹脂制基板時，對上述壓板機構(gòu)部指示上述第1狀態(tài)，使得能夠輸送上述樹脂制基板，在上述樹脂制基板上的散布對象電極圖案到達規(guī)定位置并在該散布對象電極圖案上進行上述間隔體的散布時，對上述壓板機構(gòu)部指示上述第2狀態(tài)，抑制上述樹脂制基板的運動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的間隔體散布裝置，其特征在于，上述壓板機構(gòu)部具有在上述第2狀態(tài)下堵塞上述容器的排氣口的形狀，該排氣口在上述間隔體的散布時排出與上述間隔體一起釋放出的空氣。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的間隔體散布裝置，其特征在于，上述壓板機構(gòu)部在上述第2狀態(tài)下與上述散布對象電極圖案的一部分接觸的接觸面上具有短接夾具，該短接夾具與上述散布對象電極圖案電連接，并使該散布對象電極圖案短接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的間隔體散布裝置，其特征在于，上述間隔體散布裝置具有工作臺，該工作臺具備上下動作機構(gòu)部，該上下動作機構(gòu)部配置在上述間隔體散布裝置的容器內(nèi)的下方，從下側(cè)保持上述間隔體散布裝置內(nèi)的上述樹脂制基板，并且根據(jù)指示而升起或降下，上述控制部在對上述壓板機構(gòu)部指示上述第1狀態(tài)時，對上述工作臺進行降下指示， 使與上述樹脂制基板相對的臺面離開上述樹脂制基板，在對上述壓板機構(gòu)部指示上述第2 狀態(tài)時，對上述工作臺進行升起指示，由上述臺面保持上述樹脂制基板。
5.一種間隔體散布方法，在基板上形成的電極圖案上散布間隔體，其特征在于，在輸送樹脂制基板時，控制部對壓板機構(gòu)部指示第1狀態(tài)，使得能夠輸送上述樹脂制基板，在上述樹脂制基板上的散布對象電極圖案被配置到規(guī)定位置時，上述控制部對上述壓板機構(gòu)部指示第2狀態(tài)，抑制上述樹脂制基板的運動，其中該壓板機構(gòu)部具有壓板，在間隔體散布裝置的容器內(nèi)，朝電極圖案連續(xù)的方向輸送以規(guī)定間隔連續(xù)地形成有多個獨立的上述電極圖案的上述樹脂制基板，并散布上述間隔體時，該壓板抑制上述間隔體散布裝置的容器內(nèi)的上述樹脂制基板的運動，該壓板機構(gòu)部按照指示而切換使上述壓板離開上述樹脂制基板的上述第1狀態(tài)和將上述壓板配置在上述樹脂制基板上的上述第2狀態(tài)。
6.一種液晶面板的制造方法，該方法具有在基板上形成的電極圖案上散布間隔體的工序，其特征在于，在輸送樹脂制基板時，控制部對壓板機構(gòu)部指示第1狀態(tài)，使得能夠輸送上述樹脂制基板，在上述樹脂制基板上的散布對象電極圖案被配置到規(guī)定位置時，上述控制部對上述壓板機構(gòu)部指示第2狀態(tài)，抑制上述樹脂制基板的運動，其中該壓板機構(gòu)部具有壓板，在間隔體散布裝置的容器內(nèi)，朝電極圖案連續(xù)的方向輸送以規(guī)定間隔連續(xù)地形成有多個獨立的上述電極圖案的上述樹脂制基板，并散布上述間隔體時，該壓板抑制上述間隔體散布裝置的容器內(nèi)的上述樹脂制基板的運動，該壓板機構(gòu)部按照指示而切換使上述壓板離開上述樹脂制基板的上述第1狀態(tài)和將上述壓板配置在上述樹脂制基板上的上述第2狀態(tài)。
全文摘要
間隔體散布裝置、間隔體散布方法以及液晶面板制造方法。本發(fā)明的課題是在樹脂制基板上均勻地配置間隔體。作為解決手段，控制部(18)在輸送膜基板(20)時，對壓板機構(gòu)部(14a、14b)進行指示，使壓板(15a、15b)升起而離開膜基板(20)，使得能夠輸送膜基板(20)。然后，在散布對象電極圖案(21a)到達規(guī)定位置并散布間隔體(30)時，對壓板機構(gòu)部(14a、14b)進行指示，使壓板(15a、15b)降下，配置在膜基板(20)上，以抑制膜基板(20)的運動。
文檔編號G02F1/1333GK102169258SQ201010556959
公開日2011年8月31日 申請日期2010年11月12日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月26日
發(fā)明者高梨哲也 申請人:富士通先端科技株式會社