專利名稱：一種光罩夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種光罩夾具。
背景技術(shù)：
在生產(chǎn)半導(dǎo)體器件中的光罩時，需要通過夾具夾持光罩進(jìn)行移動，檢測，安裝，或者其他的工藝。目前，橫向光罩與光罩盒之間是無縫隙的，因此，現(xiàn)有的光罩夾具的結(jié)構(gòu)如圖1所示，包括第一手柄1、第一支架2，第一卡頭3，以及第二卡頭4。其中，第一手柄1與第一支架2的第一端連接；第一卡頭3與第一支架2的第一端活動連接，并且，第一卡頭3通過一個彈簧與第一手柄1連接；第二卡頭4與第一支架的第二端連接。第一卡頭3和第二卡頭4為帶有彎勾的結(jié)構(gòu)，這樣，操作第一手柄1，讓其上下運(yùn)動，這樣，通過第一卡頭3與第一手柄1之間的彈簧即可帶動第一卡頭3以第一支架2為軸進(jìn)行運(yùn)動，從而，可以抓起或松開光罩。一般，第一卡頭3和第二卡頭4的彎勾處于同一水平面，這樣，可以防止該夾具在夾持光罩過程中帶來的變形。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)可知，目前的光罩夾具只有一個方向上有定位，如圖1所示，只有與第一手柄1平行的方向上有定位，即該夾具只定位了光罩平面的縱向，這樣，在夾具夾持光罩進(jìn)行轉(zhuǎn)移或者檢查時，光罩容易從另一方向滑落，這里，光罩容易從橫向滑落。因此，目前的光罩夾具在夾持光罩時還不是很穩(wěn)固，容易滑落。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實施例提供一種光罩夾具，用以防止光罩夾具夾持光罩時，光罩的滑落。本發(fā)明實施例提供一種光罩夾具，包括第一手柄(1)、第一支架(21)、第二支架 (22)和第一卡頭(3)，其中，第一支架的一端與所述第一手柄(1)連接，另一端設(shè)置有第二卡頭；所述第二支架0 兩端分別設(shè)置有第三卡頭( 和第四卡頭(6)，并和第一支架 (21)十字型連接；所述第一卡頭C3) —端與所述第一支架的一端活動連接，另一端通過第一彈性件(7)與第一手柄⑴連接，且受所述第一手柄⑴通過第一彈性件(7)施加的牽引力向第一手柄⑴方向旋轉(zhuǎn)。本發(fā)明實施例中，通過夾具第一支架和第二支架，以及與每個支架對應(yīng)的卡頭，在兩個方向?qū)庹诌M(jìn)行了定位，從而有效地防止了夾具夾持光罩時，光罩的滑落。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)中光罩夾具的結(jié)構(gòu)圖；圖2為本發(fā)明實施例一中光罩夾具的結(jié)構(gòu)圖；圖3為本發(fā)明實施例二中光罩夾具的結(jié)構(gòu)圖4為本發(fā)明實施例三中光罩夾具的結(jié)構(gòu)圖。
具體實施例方式本發(fā)明實施例中，對現(xiàn)有的光罩夾具進(jìn)行了改造，不僅定位了光罩平面的縱向，還定位了光罩平面的橫向，避免了光罩夾具在夾持光罩時，光罩容易滑落的現(xiàn)象。下面結(jié)合說明書附圖對本發(fā)明實施例作進(jìn)一步詳細(xì)描述。實施例一，參見圖2，本實施例中光罩夾具包括第一手柄1、第一支架21、第二支架22，第一卡頭3，第二卡頭4，第三卡頭5和第四卡頭6。其中，第一支架21與第二支架22之間十字型連接，可是是正十字型連接，或者斜十字型連接。一般，第一支架21與第二支架22垂直，第一支架21與第二支架22之間的交叉點可以位于第一支架21或第二支架22上的任意位置。較佳地，第一支架21關(guān)于交叉點中心對稱，第二支架22也關(guān)于交叉點中心對稱。在本實施例中，第一手柄1、第一支架21、第一卡頭3和第二卡頭4的連接關(guān)系可以與現(xiàn)有技術(shù)中的光罩夾具一致。即可以由第一手柄1、第一支架21、第一卡頭3和第二卡頭4組成現(xiàn)有技術(shù)中的光罩夾。具體結(jié)構(gòu)為第一支架21的一端與第一手柄1連接，另一端設(shè)置第二卡頭4。本發(fā)明實施例中與第一手柄1平行的方向可設(shè)定為縱向，如圖2所示，第一手柄1與第一支架21的一端一般為平行的固定連接，即第一支架為縱向架。這里，第一支架21與第二卡頭4可以是一體結(jié)構(gòu)，或者，第二卡頭4與第一支架21 的另一端連接，該連接包括固定連接，或者活動連接。當(dāng)為活動連接時，該第二卡頭4的另一端還需通過一個彈性件與第一支架21連接。在如圖2所示的結(jié)構(gòu)中，第二卡頭4與第一支架21是一體結(jié)構(gòu)。第一卡頭3的一端與第一支架21的一端活動連接，并且，該第一卡頭3的另一端通過第一彈性件7與第一手柄1連接，并且受到第一手柄1通過第一彈性件7施加的牽引力向第一手柄1方向旋轉(zhuǎn)。在上述結(jié)構(gòu)中，第一卡頭3和第二卡頭4 一般都為帶有彎勾的結(jié)構(gòu)，這樣，操作第一手柄1，讓其上下運(yùn)動，這樣，通過第一彈性件7即可帶動第一卡頭3以第一支架21為軸向第一手柄方向旋轉(zhuǎn)，從而，可以抓起或松開光罩。為防止光罩夾具在夾持光罩時，光罩從橫向滑落，本發(fā)明實施中，還包括了第二支架22。第二支架22與第一支架21十字型連接，當(dāng)?shù)谝恢Ъ?1為縱向架時，第二支架22為橫向架。并且，該第二支架22兩端分別設(shè)置有第三卡頭5和第四卡頭6。第三卡頭5，第四卡頭6，和第二支架22可以為一體結(jié)構(gòu)，或者，第三卡頭5與第二支架22為一體結(jié)構(gòu)，而第四卡頭6與第二支架22進(jìn)行連接，或者，第三卡頭5與第二支架 22進(jìn)行連接，而而第四卡頭6與第二支架22為一體結(jié)構(gòu)。其中，連接包括固定連接或者活動連接。在如圖2所示的夾具中，第三卡頭5、第四卡頭，和第二支架22為一體結(jié)構(gòu)。這樣，可根據(jù)光罩的橫向大小，確定第三卡頭5與第四卡頭6之間的距離，使得該距離略大于光罩的橫向大小，或者，距離略等于光罩的橫向大小，這樣，便于光罩的夾持。并且，第三卡頭5或第四卡頭6為擋板，從而，在該夾具夾持光罩時，由于第三卡頭5以及第四卡頭6的阻擋，光罩不容易從橫向滑落。實施例二、在上述實施例中，第三卡頭5，第四卡頭6與第二支架22組成一體結(jié)構(gòu)。 當(dāng)?shù)谌^5與第四卡頭6之間的距離略大于光罩的橫向大小時，在該夾具夾持光罩時，還是容易造成光罩的移動。為進(jìn)一步提供該夾具的穩(wěn)固性，在該實施例中，分別改進(jìn)第三卡頭 5以及第四卡頭6與第二支架22之間的連接。參見圖3，該夾具包括第一手柄1、第一支架21、第二支架22、第一卡頭3，第二卡頭4，第三卡頭5、第四卡頭6、第一彈性件7、第二彈性件8以及第三彈性件9。本實施例中，第一手柄1、第一支架21、第一卡頭3、第二卡頭4和第一彈性件7的連接關(guān)系如實施例一中所述，具體就不再累述了。但是第三卡頭5以及第四卡頭6與第二支架22之間的連接進(jìn)行了改進(jìn)，具體為第三卡頭5 —端與第二支架22的第一端活動連接，并且，第三卡頭5的另一端通過第二彈性件8與第二支架22連接。第四卡頭6 —端與第二支架22的第二端活動連接，并且，第四卡頭6的另一端通過第三彈性件9與第二支架22連接。如圖3所示，第三卡頭5 —端與第二支架22的第一端采用活動軸聯(lián)，以及第四卡頭6 —端與第二支架22的第二端也采用活動軸聯(lián)。這樣，第三卡頭5能以第二支架22為軸上下翻轉(zhuǎn)，同樣，第四卡頭6也以第二支架 22為軸上下翻轉(zhuǎn)。在使用該夾具時，先將第三卡頭5以及第四卡頭6翻上去，然后待該夾具夾持光罩后，再將第三卡頭5以及第四卡頭6翻下來，從而，該夾具可以牢牢的固定住光罩，防止光罩的移動以及滑落，進(jìn)一步提高了夾具的穩(wěn)固性。在上述兩個實施例中，第三卡頭5，第四卡頭6與第二支架22組成一體結(jié)構(gòu)。或者，第三卡頭5與第二支架22的第一端活動連接，第四卡頭6與第二支架22的第二端活動連接。當(dāng)然，在本發(fā)明其他實施例中，第三卡頭5與第二支架22的第一端固定連接，第四卡頭6與第二支架22的第二端活動連接。或者，第三卡頭5與第二支架22的第一端活動連接，第四卡頭6與第二支架22的第二端固定連接?；蛘?，第三卡頭5與第二支架22的第一端固定連接，第四卡頭6與第二支架22組成一體結(jié)構(gòu)?；蛘撸谌^5與第二支架22的第一端活動連接，第四卡頭6與第二支架22組成一體結(jié)構(gòu)。或者，第三卡頭5與第二支架 22組成一體結(jié)構(gòu)，第四卡頭6與第二支架22的第二端活動連接?；蛘?，第三卡頭5與第二支架22組成一體結(jié)構(gòu)，第四卡頭6與第二支架22的第二端固定連接。具體的連接結(jié)構(gòu)就不再累述。實施例三、本實施例對光罩夾具進(jìn)行了進(jìn)一步的改造，通過增加一個第二手柄來控制第三卡頭、或、第四卡頭、或、第三卡頭和第四卡頭。從而，可以更加方便地操作光罩夾具。參見圖4，該夾具不僅包括第一手柄1、第一支架21，第二支架22，第一卡頭3，第二卡頭4，第三卡頭5、第四卡頭6、第一彈性件7、第二彈性件8以及第三彈性件9。并且，還包括第二手柄10。其中，第二手柄10與第二支架22活動連接。連接點可以位于第二支架22的任意位置，較佳地，該連接點為第二支架22的中心點。第一手柄1、第一支架21、第一卡頭3、第二卡頭4和第一彈性件7的連接關(guān)系如實施例一或?qū)嵤┒兴觯唧w就不再累述了。這里，第三卡頭5，以及第四卡頭6的連接方式又進(jìn)行了改動，具體為第三卡頭5 —端與第二支架22的第一端活動連接，并且，第三卡頭5另一端通過第二彈性件8與第二手柄10連接，從而，第三卡頭5受到第二手柄10通過第二彈性件8施加的牽引力向與第二支架22垂直的方向旋轉(zhuǎn)。第四卡頭6 —段與第二支架22的第二端活動連接，并且，第四卡頭6另一端通過第三彈性件9與第二手柄10連接，從而，第四卡頭6受到第二手柄10通過第三彈性件9施加的牽引力向與第二支架22垂直的方向旋轉(zhuǎn)。這樣，由于第二手柄10與第二支架22活動連接，操作第二手柄10，就可以通過第二彈性件8控制第三卡頭5以第二支架22為軸進(jìn)行擺動，以及通過第三彈性件9控制第四卡頭6以第二支架22為軸進(jìn)行擺動。本實施例中，在使用該夾具時，先如圖4中箭頭1方向壓下第二手柄10，這樣，通過第二彈性件8帶動第三卡頭5朝箭頭2方向擺動，通過第三彈性件9帶動第四卡頭6也朝箭頭2方向擺動，然后，待該夾具夾持光罩后，再松開第二手柄10使其恢復(fù)到最初位置，這樣，第三卡頭5以及第四卡頭6也恢復(fù)到初始位置，從而，該夾具也牢牢的固定住光罩，防止光罩的移動以及滑落，提高了夾具的穩(wěn)固性。并且，使用過程中，可以通過手柄來控制卡頭的運(yùn)動，方便了該夾具的使用，增加了該夾具的實用性。同樣，在該實施例中，第二手柄10同時控制了第三卡頭5和第四卡頭6的運(yùn)動。當(dāng)然，在本發(fā)明其他實施例中，第二手柄10可以只控制第三卡頭5或第四卡頭6的運(yùn)動。這樣，第三卡頭一端5與第二支架22的第一端活動連接，并且，第三卡頭另一端通過第二彈性件8與第二手柄10連接，而第四卡頭6 —端與第二支架22的第二端的連接可以如上述實施例一或?qū)嵤├?。或者，第三卡頭5與中的第二支架22的連接可以如上述實施例一或?qū)嵤├荆谒目^6 —端與第二支架22的第二端活動連接，并且，第四卡頭另一端通過第三彈性件9與第二手柄10連接。在上述所有實施例中，活動連接包括折頁或活動軸聯(lián)。彈性件包括彈簧或氣壓桿。在上述所有實施例中，較佳地，第一卡頭3和第二卡頭4為帶有彎勾的結(jié)構(gòu)。第三卡頭5和第四卡頭6為擋板結(jié)構(gòu)，其形狀包括矩形或圓柱形。當(dāng)然，本發(fā)明其他實施例中， 也可以是第一卡頭3和第二卡頭4為擋板結(jié)構(gòu)，而第三卡頭5和第四卡頭6為帶有彎勾的結(jié)構(gòu)。或者，第一卡頭3、第二卡頭4、第三卡頭5和第四卡頭6都為帶有彎勾的結(jié)構(gòu)。在上述所有實施例中，卡頭的材質(zhì)一般為防靜電材料，例如特氟隆或陶瓷。本發(fā)明實施例中，光罩夾具包括第一支架和第二支架，以及與第一支架和第二支架的每端分別對應(yīng)的卡頭，這樣，該夾具可以在兩個方向?qū)庹诌M(jìn)行了定位，從而有效地防止了夾具夾持光罩時，光罩的滑落。并且，夾具夾持光罩可以隨意變化角度，從而方便從各個方向?qū)庹诌M(jìn)行檢查。并且，本發(fā)明實施例中，與第二支架連接的每個卡頭可以上下或前后擺動，可以進(jìn)一步提高夾具的穩(wěn)固性。另外，本發(fā)明實施例中，通過第一手柄控制與第一支架連接的卡頭，通過第二手柄控制與第二支架連接的卡頭，便于該光罩夾具的使用，提高了光罩夾具的實用性。
顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本發(fā)明進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種光罩夾具，其特征在于，包括第一手柄(1)、第一支架(21)、第二支架02)和第一卡頭(3)，其中，第一支架的一端與所述第一手柄(1)連接，另一端設(shè)置有第二卡頭；所述第二支架0 兩端分別設(shè)置有第三卡頭( 和第四卡頭(6)，并和第一支架十字型連接；所述第一卡頭C3) —端與所述第一支架的一端活動連接，另一端通過第一彈性件 (7)與第一手柄(1)連接，且受所述第一手柄(1)通過第一彈性件(7)施加的牽引力向第一手柄(1)方向旋轉(zhuǎn)。
2.如權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，所述第三卡頭( 一端與所述第二支架 (22)的第一端活動連接，另一端通過第二彈性件(8)與第二支架0 連接。
3.如權(quán)利要求1或2所述的夾具，其特征在于，所述第四卡頭(6)—端與所述第二支架 (22)的第二端活動連接，另一端通過第三彈性件(9)與第二支架0 連接。
4.如權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，還包括第二手柄(10)；所述第二手柄(10)與所述第二支架0 活動連接。
5.如權(quán)利要求4所述的夾具，其特征在于，所述第三卡頭(5)—端與所述第二支架 (22)的第一端活動連接，另一端通過第二彈性件(8)與第二手柄(10)連接，且受所述第二手柄(10)通過第二彈性件(8)施加的牽引力向與第二支架0 垂直的方向旋轉(zhuǎn)。
6.如權(quán)利要求4或5所述的夾具，其特征在于，所述第四卡頭(6)—端與所述第二支架 (22)的第二端活動連接，另一端通過第三彈性件(9)與第二手柄(10)連接，且受所述第二手柄(10)通過第三彈性件(9)施加的牽引力向與第二支架0 垂直的方向旋轉(zhuǎn)。
7.如權(quán)利要求1或4所述的夾具，其特征在于，所述第一卡頭(3)和第二卡頭(4)為帶有彎勾的結(jié)構(gòu)。
8.如權(quán)利要求1或4所述的夾具，其特征在于，所述第二卡頭( 或第四卡頭(6)為擋板結(jié)構(gòu)，其形狀包括矩形或圓柱形。
9.如權(quán)利要求1或4所述的夾具，其特征在于，所述第一卡頭(3)、第二卡頭、第二卡頭(5)、或第四卡頭(6)為防靜電材料。
10.如權(quán)利要求1或4所述的夾具，其特征在于，所述活動連接包括折頁或活動軸聯(lián)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種光罩夾具，用以防止光罩夾具夾持光罩時，光罩的滑落。該光罩夾具包括第一手柄(1)、第一支架(21)、第二支架(22)和第一卡頭(3)，其中，第一支架(21)的一端與所述第一手柄(1)連接，另一端設(shè)置有第二卡頭(4)；所述第二支架(22)兩端分別設(shè)置有第三卡頭(5)和第四卡頭(6)，并和第一支架(21)十字型連接；所述第一卡頭(3)一端與所述第一支架(21)的一端活動連接，另一端通過第一彈性件(7)與第一手柄(1)連接，且受所述第一手柄(1)通過第一彈性件(7)施加的牽引力向第一手柄(1)方向旋轉(zhuǎn)。
文檔編號G03F1/66GK102455590SQ201010522288
公開日2012年5月16日 申請日期2010年10月22日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月22日
發(fā)明者馬玉玲 申請人:北大方正集團(tuán)有限公司, 深圳方正微電子有限公司