專利名稱：特征的增強(qiáng)成像的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及成像系統(tǒng)以及用于對(duì)特征和特征的圖案進(jìn)行成像的方 法。本發(fā)明可以應(yīng)用于制造用于例如電子顯示器的濾色器。
背景技術(shù)：
用于制造顯示器和半導(dǎo)體電子裝置的常見技術(shù)包括多個(gè)成像步驟。 通常在每個(gè)步驟中，覆蓋有保護(hù)層或其他敏感材料的襯底暴露于穿過光 工具掩模的輻射以發(fā)生一些改變。每個(gè)步驟具有有限的失敗風(fēng)險(xiǎn)。每個(gè) 步驟的失敗幾率降低整個(gè)處理的產(chǎn)量并且提高了成品的成本。
一個(gè)特殊的例子是用于例如液晶顯示器的平板顯示器的濾色器的制 造。由于材料的高成本和通常的低處理產(chǎn)量，濾色器制造可能是非常昂 貴的處理。常規(guī)的光刻處理包括將彩色保護(hù)材料應(yīng)用到襯底，使用例如 旋轉(zhuǎn)涂覆、狹縫和旋轉(zhuǎn)或非旋轉(zhuǎn)涂覆的涂覆技術(shù)。然后將材料經(jīng)由光工 具掩模曝光以及顯影。
激光誘發(fā)熱轉(zhuǎn)印處理已經(jīng)提出使用在顯示器尤其是濾色器的制造 中。在這些處理中，同樣已知為接收元件的濾色器襯底覆蓋有供體元件， 然后成圖像膝光以選擇性地將著色劑從供體元件轉(zhuǎn)印到接收元件。優(yōu)選 的曝光方法使用激光束降低著色劑到接收元件的轉(zhuǎn)印。二極管激光器尤 其優(yōu)選，因?yàn)槠湟子谡{(diào)制、低成本和小尺寸。
激光誘發(fā)"熱轉(zhuǎn)印"處理包括激光誘發(fā)"染料轉(zhuǎn)印，，處理、激光 誘發(fā)"熔融轉(zhuǎn)印"處理、激光誘發(fā)"燒蝕轉(zhuǎn)印"處理、以及激光誘發(fā)"質(zhì) 量轉(zhuǎn)印"處理。在激光誘發(fā)熱轉(zhuǎn)印過程中轉(zhuǎn)印的著色劑包含合適的基于 染料或基于顏料的成份。可以轉(zhuǎn)印其他元件，例如一種或多種粘合劑。
常規(guī)的直接成像系統(tǒng)已經(jīng)采用有限數(shù)量的成像光束。常規(guī)的直接成 像系統(tǒng)也已經(jīng)采用具有高斯強(qiáng)度分布的光束。授予Kwon等人的美國專利 6242140描述了具有均勻能量分布的激光光束、或者抖動(dòng)掃描的激光光束的使用。其他常規(guī)系統(tǒng)已經(jīng)采用平行的數(shù)百個(gè)獨(dú)立調(diào)制光束，以降低完 成成像所花的時(shí)間。具有大量這種"通道"的成像頭是易于獲得的。例
如由加拿大British Columbia的Kodak Graphic Communications Canada Company制造的SQUAREspot⑧型熱成像頭具有幾百個(gè)獨(dú)立的通道。每個(gè)通 道可以具有超過25mW的功率?？梢钥刂瞥上裢ǖ赖年嚵幸詫D像寫入一 系列長條，這些長條緊密鄰接以形成連續(xù)圖像。
在激光誘發(fā)熱轉(zhuǎn)印處理中，入射到成像媒介上的輸出輻射條件的非 常小的變化也可能造成成像假象，例如輝紋和粗糙邊緣。由成像通道陣 列發(fā)射的輸出輻射中的變化可以產(chǎn)生于通道-通道之間的功率、光束尺 寸、光束形狀、聚焦和光束一致性的變化。假象可能可以單獨(dú)歸因于成 像系統(tǒng)。所成像媒介本身也可以歸因于輝紋和其他成像假象。
一些現(xiàn)有技術(shù)多通道成像系統(tǒng)應(yīng)用校準(zhǔn)方法，其將成像陣列中所有 通道的輻射輸出調(diào)整為相等。其他校準(zhǔn)方法通過調(diào)整陣列中通道的輸出， 同時(shí)操作一個(gè)成像頭的所有通道以成像一個(gè)長條以及嘗試橫越長條在所 記錄光學(xué)屬性中建立一致性。EP434449A2和US6618158描述了用于建立 橫越多通道成像陣列的均勻功率分布、或者降低成像陣列的通道之間的 變化的方法。
圖像質(zhì)量在濾色器的生產(chǎn)中是尤其重要的。濾色器通常具有間隔分 離的彩色元件(這些元件通常具有三種顏色例如紅、綠和藍(lán))的重復(fù)圖 案。由于彩色元件形成重復(fù)圖案，由成像處理引入的任何周期變化可能 導(dǎo)致人類眼睛可察覺的視覺差拍。沿著彩色元件邊界的粗糙邊緣可能導(dǎo) 致無色的空位，這進(jìn)一步不利地影響了濾色器的質(zhì)量。
需要成本高效且實(shí)用的成像方法和系統(tǒng)，允許產(chǎn)生高質(zhì)量的特征圖 案圖像。仍然需要成像方法，使用多通道成像頭減輕與重復(fù)特征圖案的 成像、例如濾色器中彩色元件的圖案相關(guān)聯(lián)的成像假象可見性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個(gè)方面提供一種用于通過激光誘發(fā)熱轉(zhuǎn)印對(duì)特征進(jìn)行成 像的方法。所述方法包括在包括供體元件和接收元件的襯底上在沿著對(duì) 應(yīng)于掃描線的掃描方向上掃描多個(gè)獨(dú)立可控的光束。所述方法通過操作 連續(xù)的光束組對(duì)特征進(jìn)行成像，以將材料從所述供體元件轉(zhuǎn)印到所述接 收元件；以及在對(duì)特征進(jìn)行成像時(shí)，控制第一邊緣子組和第二邊緣子組 的強(qiáng)度以具有不同于內(nèi)部子組強(qiáng)度的強(qiáng)度，所述第一子組為對(duì)應(yīng)于沿著所述特征的第一邊緣延伸的特征的第一部分的一個(gè)或多個(gè)光束構(gòu)成的子 組，所述第二子組為對(duì)應(yīng)于沿著所述特征第二邊緣延伸的特征的第二部 分的一個(gè)或多個(gè)光束構(gòu)成的子組，所述內(nèi)部子組為對(duì)應(yīng)于所述特征的內(nèi) 部部分的一個(gè)或多個(gè)光束構(gòu)成的子組。
在本發(fā)明的一些實(shí)施例子中由多通道成像頭產(chǎn)生光束。所述光束不 必是可見光束，而是可以是紅外光束、可見光束和一些其他合適波長范 圍內(nèi)的光束。多個(gè)特征可以在所述多通道成像頭的一次掃描過程中成像。 在一些實(shí)施例中，所述光束提供不對(duì)稱的強(qiáng)度輪廓。
本發(fā)明的一些實(shí)施例子具有一個(gè)或多個(gè)下面的特征
多個(gè)特征在所述多通道成像頭的一次掃描過程中成像，并且控制所
述成像頭以使得第 一特征的本地邊緣由具有不同于用于對(duì)第二特征的本
地邊緣進(jìn)行成像的光束強(qiáng)度的強(qiáng)度的光束進(jìn)行成像；
多個(gè)特征在所述多通道成像頭的一次掃描過程中成像，并且控制所
述成像頭以使得笫一特征的遠(yuǎn)離邊緣由具有不同于用于對(duì)第二特征的遠(yuǎn)
離邊緣進(jìn)行成像的光束強(qiáng)度的強(qiáng)度的光束進(jìn)行成像；
對(duì)多個(gè)特征進(jìn)行成像，并且用于對(duì)所述特征中的一個(gè)進(jìn)行成像的多
個(gè)光束提供不同于由用于對(duì)所述特征中的另一個(gè)進(jìn)行成像的光束所提供
強(qiáng)度輪廓的強(qiáng)度輪廓；
使用關(guān)于所述特征不對(duì)稱的強(qiáng)度輪廓對(duì)特征進(jìn)行成像；
使用彼此不同的第一和第二強(qiáng)度輪廓對(duì)第 一 和第二特征進(jìn)行成像。
本發(fā)明的其他方面提供了用于對(duì)特征圖案進(jìn)行成像的程序產(chǎn)品。
下面說明了本發(fā)明的另一些方面以及本發(fā)明實(shí)施例的特征。


通過所附的非限定性附圖例示本發(fā)明的實(shí)施例和應(yīng)用例。所述的附
圖用于例示本發(fā)明原理的目的，并且不是按比例的。 圖1A是現(xiàn)有技術(shù)濾色器一部分的平面視圖。 圖1B是另一種現(xiàn)有技術(shù)濾色器一部分的平面視圖。 圖2是現(xiàn)有技術(shù)多通道成像頭一個(gè)例子的光學(xué)系統(tǒng)的部分示意性透視圖。
圖3是多通道頭的示意圖，將非連續(xù)特征的圖案成像在可成像媒介上。
圖4是出現(xiàn)在由激光誘發(fā)熱轉(zhuǎn)印處理所產(chǎn)生濾色器中的邊緣不連續(xù)
8的照片。
圖5是由依照本發(fā)明一個(gè)方面的多通道成像頭成像的媒介的示意圖。
圖6是圖5所示部分的細(xì)節(jié)視圖。
圖6A是按照本發(fā)明實(shí)施例子的對(duì)稱能量強(qiáng)度輪廓。
圖6B是按照本發(fā)明實(shí)施例子的不對(duì)稱能量強(qiáng)度輪廓。
圖7是依照本發(fā)明實(shí)施例子產(chǎn)生的濾色器一部分的照片。
圖8是圖7中所示濾色器另一部分的照片。
圖9A是圖5所示媒介處于圖像形成材料從供體元件轉(zhuǎn)印到接收元件 之前的剖面視圖。
圖9B是圖5所示媒介處于圖像形成材料從供體元件轉(zhuǎn)印到接收元件 過程中的剖面視圖。
圖IO是由依照本發(fā)明實(shí)施例子的多通道成像頭成像的媒介的局部示 意圖。
圖ll是依照本發(fā)明實(shí)施例子的系統(tǒng)。
附圖標(biāo)記清單
10 濾色器
12 (紅)色元件
12，(紅)色元件
14 (綠)色元件
14，(綠)色元件
16 (藍(lán))色元件
16，(藍(lán))色元件
18 接收元件
20 黑色矩陣
22 區(qū)域
24 供體元件
26 多通道成像頭
30 紅條帶
32 紅條帶
34 條帶
34' 部分
34" 部分36紅條帶
38第一位置
38，新位置
40獨(dú)立可尋址成像通道
41虛線
42主掃描方向
44子掃描方向
45最后通道
116孔徑光闌
118透鏡
120成圖像調(diào)制光束
200系統(tǒng)
212可成像媒介
220平移單元
230系統(tǒng)控制器
232強(qiáng)度信息
240數(shù)據(jù)
250程序產(chǎn)品
說明書第5/17頁
具體實(shí)施例方式
貫穿后面的說明，呈現(xiàn)了特定的細(xì)節(jié)以便本領(lǐng)域技術(shù)人員更加徹底 地理解。然而，為了避免使本公開產(chǎn)生不必要的模糊，沒有詳細(xì)顯示或 說明公知的元件。因此，這里的說明和附圖應(yīng)當(dāng)視為示例性的，而非限 制性的。
顯示面板中使用的濾色器通常包含矩陣，該矩陣包括多個(gè)彩色元件。 這樣的彩色元件可以包含例如紅、綠和/或藍(lán)色元件的圖案?？梢允褂闷?他顏色的彩色元件制造濾色器?？梢砸愿鞣N適當(dāng)?shù)慕Y(jié)構(gòu)排列彩色元件。
現(xiàn)有技術(shù)的條帶結(jié)構(gòu)具有交替列的紅、綠和藍(lán)色元件，如圖1A所示?，F(xiàn) 有技術(shù)的馬賽克結(jié)構(gòu)具有在兩個(gè)方向上(例如沿著列和行)均交替的彩
色元件，如圖1B所示?，F(xiàn)有技術(shù)的三角形結(jié)構(gòu)(未示出)具有彼此排列 為三角形關(guān)系的紅、綠和藍(lán)色元件的組。濾色器也可以具有其他的結(jié)構(gòu)。 圖1A顯示了現(xiàn)有技術(shù)"條帶結(jié)構(gòu)"濾色器10的一部分，具有分別
10在才黃跨接收器元件18的交替列中形成的多個(gè)紅、綠和藍(lán)色元件12、 14 和16。彩色元件12、 14和16由黑色矩陣20的多個(gè)部分描繪輪廓。矩陣 20可以減少多個(gè)元件之間的背光泄漏。列通常被成像為細(xì)長的條帶，由 矩陣20細(xì)分為單獨(dú)的彩色元件12、 14和16。相關(guān)LCD面板(未示出) 上的TFT晶體管可以由矩陣20的區(qū)域22掩蔽。
圖IB顯示了排列為馬賽克結(jié)構(gòu)的現(xiàn)有技術(shù)濾色器10的一部分，其 中彩色元件12、 14和16在列方向上排列，并且在橫跨和沿著列的兩個(gè) 方向上交替。
每個(gè)彩色元件12、 14和16可以與相鄰的矩陣20的一部分相重疊。 彩色元件與矩陣20的重疊是一種降低彩色元件必須與矩陣20對(duì)準(zhǔn)所需 達(dá)到的精度。可以通過激光誘發(fā)熱轉(zhuǎn)印處理加工彩色元件。激光誘發(fā)熱 轉(zhuǎn)印處理包含一個(gè)或多個(gè)圖像形成材料的成圖像轉(zhuǎn)印。圖像形成材料可 以包括而不限于染料或其他適合的圖像形成材料，例如顏料和其他著色 劑成分。激光誘發(fā)熱轉(zhuǎn)印處理包含這樣的處理，使用激光輻射引起具有 或者沒有粘合劑的著色劑的轉(zhuǎn)印。激光誘發(fā)熱轉(zhuǎn)印處理的非限定性例子 包括，激光誘發(fā)"染料轉(zhuǎn)印，，處理、激光誘發(fā)"熔融轉(zhuǎn)印"處理、激光 誘發(fā)"燒蝕轉(zhuǎn)印，，處理、以及激光誘發(fā)"質(zhì)量轉(zhuǎn)印，，處理。
圖3顯示了用于構(gòu)造濾色器IO的常規(guī)激光誘發(fā)熱轉(zhuǎn)印處理。多通道 成像頭26被用于將圖像形成材料從供體元件24轉(zhuǎn)印到位于下層的接收 元件18。接收元件18通常具有形成于其上的矩陣20 (未示出)。雖然熱 轉(zhuǎn)印處理可以用于在接收元件18上形成矩陣20，矩陣20通常通過光刻 技術(shù)形成。
供體元件24包含圖像形成材料(未示出)，當(dāng)多通道成像頭26發(fā)射 的輻射掃描經(jīng)過供體元件24時(shí)可以成圖像轉(zhuǎn)印其到接收元件18上。通 常在不同的成像步驟中對(duì)濾色器10的紅色、綠色和藍(lán)色部分成像，每個(gè) 成像步驟使用適合于待成像顏色的不同彩色供體元件。濾色器的紅色、 綠色和藍(lán)色元件通常轉(zhuǎn)印到接收元件18上，使得每個(gè)彩色元件與矩陣20 中的相應(yīng)開口對(duì)準(zhǔn)。每個(gè)供體元件24在相應(yīng)成像步驟完成后被移除。在 彩色元件被轉(zhuǎn)印之后，所成像的濾色器可能經(jīng)歷一個(gè)或多個(gè)附加的處理 步驟，例如退火步驟，以改變所成像彩色元件的一個(gè)或多個(gè)物理性質(zhì)(例 如硬度)。
圖2示意性顯示了常規(guī)的基于激光的多通道成像頭的一個(gè)例子，使用空間光調(diào)制器或光閥以產(chǎn)生多個(gè)成像通道。在所示例子中，線性光閥
陣列100包含在半導(dǎo)體襯底102上構(gòu)造的多個(gè)可變形鏡面元件101。鏡面 元件101是獨(dú)立可尋址的。鏡面元件101可以是微機(jī)電(MEMS)元件， 例如可變形鏡面微元件。使用包括柱面透鏡108和110的變形光束擴(kuò)展 器，激光器104可以在光閥IOO上產(chǎn)生照明線106。照明線106橫向伸展 跨越多個(gè)元件101，從而每個(gè)鏡面元件IOI被照明線106的一部分照亮。 授予Gelbart的美國專利5517359描述了用于形成照明線的方法。
元件101處于未激活狀態(tài)時(shí)，透鏡112通常穿過孔徑114將激光照 明聚焦在孔徑光闌116中。來自激活的元件的光被孔徑光闌116阻擋。 透鏡118對(duì)光岡IOO成像，以形成多個(gè)單獨(dú)的成圖像調(diào)制光束120，其可 以在襯底的區(qū)域上掃描以形成成像的長條。每個(gè)束由多個(gè)元件101中的 一個(gè)控制。每個(gè)束可以操作用于依照相應(yīng)元件101的驅(qū)動(dòng)狀態(tài)使"像素，， 成像或者不成像在成像襯底上。每個(gè)元件101控制多通道成像頭的一個(gè) 通道。
再次參見圖3，當(dāng)響應(yīng)于圖像數(shù)據(jù)以控制成像頭26的通道以產(chǎn)生成 像長條時(shí)，接收元件18或多通道成像頭26的圖像或者兩者的組合相對(duì) 于彼此發(fā)生移位。在一些實(shí)施例中，成像頭26的圖像是靜止的而接收元 件18是移動(dòng)的。在另一些實(shí)施例中，接收元件18是靜止的而成像頭26 的圖像是移動(dòng)的。在其他一些實(shí)施例中，成像頭26和接收元件18兩者 都是移動(dòng)的，以便沿著一個(gè)或多個(gè)掃描路徑產(chǎn)生成像頭26和接收元件18 之間的所希望相對(duì)運(yùn)動(dòng)。
可以使用任何適當(dāng)?shù)臋C(jī)制在接收元件18上移動(dòng)成像頭26。通常使用 平板成像器成像相對(duì)為剛性的接收元件18，如在顯示面板的制造中常見 的。平板成像器具有支撐物，其將接收元件18固定在水平方向。授予 Gelbart的美國專利6957773描述了適用于顯示面板成像的高速平板成 像器。作為替代，撓性接收元件18可以固定到"鼓型"支撐物的外部或 內(nèi)部表面，以實(shí)現(xiàn)長條的成像。即使按照慣例認(rèn)為是剛性的接收元件、 例如玻璃，也可以在基于鼓型的成像器上成像，只要襯底足夠薄并且支 撐物的直徑足夠大。
圖3顯示了濾色器接收元件18的一部分，已經(jīng)在激光誘發(fā)熱轉(zhuǎn)印處 理中形成多個(gè)紅色條帶30、 32、 34和36的圖案。在這個(gè)處理中，供體 元件24放置于接收元件18上并且使對(duì)應(yīng)于多個(gè)紅色條帶30、 32、 34和36的區(qū)域在接收元件18上成像。這致使圖像形成材料從供體元件24轉(zhuǎn) 印到接收元件18上以形成條帶30、 32、 34和36。在圖3中，僅為了清 楚的目的，供體元件24顯示為小于接收元件18。供體元件24根據(jù)需要 可以與接收元件18的一個(gè)或多個(gè)部分重疊。
每組濾色器構(gòu)成特征的圖案。在此情況下，特征是不連續(xù)的。條帶 30、 32、 34和36是這種非連續(xù)特征的圖案的一個(gè)例子。條帶30、 32、 34和36沿著子掃描方向44彼此空間分離。多通道成像頭26包含多個(gè)獨(dú) 立可尋址的成像通道40。在圖3中，成像頭26位于第一部分38。圖3 以虛線41描繪成像通道40和所轉(zhuǎn)印的圖案之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。例如條帶 30、 32、 34和36的特征通常在子掃描方向44上具有比由成像通道40 所成像的像素的寬度大的尺寸。這樣的特征可以通過開啟一組通道來成 像，當(dāng)沿著掃描路徑在方向42上對(duì)通道進(jìn)行掃描時(shí)，這組通道橫越子掃 描方向44上特征的寬度。
雖然多通道成像頭26在圖3中顯示為與所成像圖案是相同大小，但 這不是必須的。由成像頭26發(fā)射的成像光束可以由合適的光學(xué)系統(tǒng)成像， 該光學(xué)系統(tǒng)可以修改襯底平面上成像長條的尺寸和/或形狀。當(dāng)依照確定 待寫入特征圖案的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行成圖像調(diào)制時(shí)，由多通道成像頭26產(chǎn)生 的成像光束沿著主掃描方向42在接收元件18上掃描。恰當(dāng)?shù)仳?qū)動(dòng)通道 組48以在希望形成特征處產(chǎn)生活動(dòng)的成像光束。驅(qū)動(dòng)不對(duì)應(yīng)于特征的通 道40從而^f吏對(duì)應(yīng)區(qū)域不進(jìn)行成l象。
成像頭26的通道40可以成像一個(gè)長條，該長條所具有的寬度與由 第一個(gè)通道成像的第一個(gè)像素和最后一個(gè)通道成像的最后一個(gè)像素之間 的距離相關(guān)聯(lián)。接收元件18通常太大以致于無法在單個(gè)長條內(nèi)成像。因 而，通常需要成像頭26的多次掃描來完成接收元件18上的一個(gè)圖像。
多通道成像頭26在子掃描方向"上的運(yùn)動(dòng)可以出現(xiàn)在主掃描方向 42上每個(gè)長條的成像完成之后。作為替代，成像頭26可以在主掃描運(yùn)動(dòng) 的同時(shí)沿著子掃描方向44相對(duì)于接收元件18平移，以便補(bǔ)償由成像系 統(tǒng)實(shí)現(xiàn)的主掃描方向與圖像關(guān)于接收元件18的期望定位之間可能存在的 偏斜。作為替代，使用鼓型成像器，可以同時(shí)在主掃描42和子掃描方向 "上移動(dòng)成像頭26，從而在鼓上螺旋狀延伸的長條上寫入圖像。本領(lǐng)域 技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，存在其他可能的成像頭26和接收元件18之間相對(duì) 運(yùn)動(dòng)的圖案，可以在接收元件18上成像所希望的成像區(qū)域。存在若干的可選方案對(duì)準(zhǔn)不同的長條，包括使鄰近的長條重疊一 個(gè)或多個(gè)成像像素寬度，并且使后續(xù)成像長條的第 一個(gè)通道與先前成像 長條的最后一個(gè)通道間隔一定距離，所述距離與所成像像素之間的間距 相關(guān)聯(lián)。
返回參見圖3，在成像頭26第一次掃描過程中成像紅色條帶30、 32、 和條帶34的一部分34，。在第一次掃描完成時(shí)，成像頭26在子掃描方向 44上從第一位置38移位到新的位置38，(以虛線顯示)。在新的位置38，， 成像頭26的第一個(gè)通道46定位于鄰近成像頭26的最后一個(gè)通道45的 先前位置。在位置38，，成像頭在主掃描方向42上掃描，從而對(duì)條帶34 的其余部分34"進(jìn)行成像。難以避免在條帶34的部分34，和34"之間的邊 界處出現(xiàn)如線47所示的可見的不連續(xù)。相鄰成像長條之間的這種可見的 不連續(xù)可以產(chǎn)生一個(gè)成像假象的形式，稱為輝紋。
當(dāng)產(chǎn)生規(guī)則的特征圖案時(shí)，輝紋可能變得更加顯著。圖案的重復(fù)特 征可以導(dǎo)致差拍效應(yīng)，其加重由成像特征中密度變化所產(chǎn)生的任何輝紋。 在激光誘發(fā)熱轉(zhuǎn)印處理中也可以產(chǎn)生其他的成像假象。例如，當(dāng)激光誘 發(fā)熱轉(zhuǎn)印處理用于對(duì)特征的圖案進(jìn)行成像時(shí)，例如濾色器的元件，在特 征的邊緣可能出現(xiàn)粗糙邊緣和各種的邊緣不連續(xù)。這些邊緣不連續(xù)可能 因許多原因出現(xiàn)，例如成像頭成像通道的輸出功率中的微小功率變化。 即使微小的功率變化也可能影響從供體元件轉(zhuǎn)印到接收元件的圖像形成 材料的數(shù)量，尤其在供體元件顯示出非線性成像特性的情況下。所成像 的特征的外側(cè)和內(nèi)側(cè)部分之間的差異熱效應(yīng)可能導(dǎo)致粗糙邊緣，尤其當(dāng) 所成像特征為非連續(xù)時(shí)，這樣的特征通過非成像區(qū)域與其他特征相分離。 機(jī)械效應(yīng)，例如與轉(zhuǎn)印到特征邊緣的圖像形成材料相關(guān)聯(lián)的不足剝離強(qiáng) 度或者剝離速度、角度或方向的不足控制，在剝?nèi)ニ上窆w元件時(shí)可 能導(dǎo)致粗糙邊緣。可以通過矩陣20與所轉(zhuǎn)印圖像形成材料的重疊來掩蔽 這些邊緣假象。然而，圖像形成材料可能在退火后收縮并且暴露出邊緣 不連續(xù)。圖4是濾色器一部分的照片，具有紅色元件12、綠色元件14 和藍(lán)色元件16。在三個(gè)元件之間可以看到邊緣不連續(xù)49。即使邊緣不連 續(xù)49相對(duì)于元件12、 14和16非常小，也可能對(duì)濾色器整體的視覺均勻 性產(chǎn)生不利影響，降低其品質(zhì)。邊緣不連續(xù)可能包含特征邊緣中的凸出 或凹口 。
本發(fā)明提供的系統(tǒng)和方法中，以可產(chǎn)生增強(qiáng)效果的方式調(diào)整成像光
14束的強(qiáng)度。圖5示意性地描繪了依照本發(fā)明的一方面在激光誘發(fā)熱轉(zhuǎn)印 處理中所成像的接收元件18的一部分。特征的重復(fù)圖案50成像在接收 元件18的一部分上。在所示例子中，圖案50由十六個(gè)特征51組成。在 這個(gè)例子中，圖案50位于由成像頭26成像的單個(gè)長條內(nèi)。換句話說， 特征圖案50在單個(gè)長條內(nèi)成像，從而可以在成像頭26的單次掃描過程 中成像。
圖案50可以構(gòu)成另一個(gè)圖案例如濾色器的一部分。為了清楚起見， 在圖5中沒有示出彩色供體元件24 (其可以定位在接收元件18的頂部 上)?？刂瞥上耦^26的通道以將圖像形成材料從供體元件24轉(zhuǎn)印到接收 元件18。后續(xù)掃描可以被執(zhí)行。在這些后續(xù)掃描中，在圖5所示特征51 之間的空間中可以成像其他特征。所述其他特征可以包括不同顏色的特 征。在圖5的例子中，每個(gè)特征51包括條帶。
在這個(gè)例子中，成像頭26具有數(shù)百個(gè)成像通道40。每個(gè)特征51由 一組48的成像通道40進(jìn)行成像。為清楚起見，在圖5中沒有各個(gè)地顯 示成像通道40。在這個(gè)例子中，每個(gè)組48由大約二十個(gè)相鄰放置的成像 通道40構(gòu)成。每個(gè)通道40是獨(dú)立可控的。通道40可以"接通，，以沿著 對(duì)應(yīng)于該通道的掃描線將圖像形成材料從供體元件24轉(zhuǎn)印到接收元件 l8，或者可以"關(guān)斷，，從而在該通道所指向的對(duì)應(yīng)掃描線的部分中不轉(zhuǎn) 印圖像形成材料。為清楚起見，沒有顯示"關(guān)斷"的通道40。當(dāng)通道40 "接通"時(shí)所產(chǎn)生光束的強(qiáng)度也是可調(diào)節(jié)的。強(qiáng)度的調(diào)節(jié)可以包括例如 光束功率的調(diào)節(jié)。
在一個(gè)特別的例子中，每個(gè)獨(dú)立成像通道40能夠成像大約5微米寬 的像素。因而，每個(gè)組48對(duì)(沿子掃描方向44)大約IOO微米寬的特征 51進(jìn)行成像。特征51在子掃描方向44以大約300微米的間距空間分離。 在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，使用激光誘發(fā)熱轉(zhuǎn)印處理對(duì)特征進(jìn)行成像， 其中對(duì)所成像特征的邊緣部分進(jìn)行增強(qiáng)以降低邊緣的不連續(xù)。參考圖5 所示圖案50將說明本發(fā)明各個(gè)方面的非限定性例子。
圖6是細(xì)節(jié)示意圖，顯示了所成像媒介的一部分以及用于對(duì)單個(gè)特 征51進(jìn)行成l象的一個(gè)通道組48 (明確標(biāo)記為通道組48，)。組48，中的每 個(gè)通道可以單獨(dú)控制以發(fā)射光束。控制組49中通道的強(qiáng)度以提供強(qiáng)度輪 廓57。
邊緣通道子組54，和54"(共同稱為子組54)分別與位于特征51的
15邊緣56，和56，，的區(qū)域成像相關(guān)聯(lián)。關(guān)于子掃描方向44，邊緣56，可以稱 作"本地邊緣(homne edge )"而邊緣56"可以稱作"遠(yuǎn)離邊緣(away edge)，，。 每個(gè)邊緣通道子組54包括一個(gè)或多個(gè)通道(在圖6中顯示的實(shí)施例中為 兩個(gè)通道)。每個(gè)子組54中所包含通道的數(shù)量可以基于多個(gè)因素確定， 例如通道的分辨率、子組48，中通道的數(shù)量以及媒介特性。
曝光量在光學(xué)中定義為光強(qiáng)度隨時(shí)間的積分。很多媒介對(duì)曝光量具 有響應(yīng)。曝光量與成像光束的強(qiáng)度以及成像光束相關(guān)的曝光時(shí)間相關(guān)聯(lián)。 在一些媒介中，當(dāng)成像光束所產(chǎn)生曝光量等于或超過與媒介相關(guān)的曝光 量閾值時(shí)形成圖像。在一些媒介中，曝光量閾值取決于強(qiáng)度。在一些媒 介中，必須等于或超過最小強(qiáng)度閾值以便形成圖像。在圖6中，控制組 48，中全部通道的強(qiáng)度使其處于或高于對(duì)應(yīng)于媒介曝光量閾值需求的 (Ith^)的水平。所成像的特征51的內(nèi)側(cè)或內(nèi)部部分52，由內(nèi)部通道子組 58的通道成4象?？刂七吘壨ǖ雷咏M54以產(chǎn)生具有不同于內(nèi)部子組58中 通道強(qiáng)度的強(qiáng)度的光束。在這個(gè)例子中，子組54中的通道驅(qū)動(dòng)以提供比 內(nèi)部子組58中通道更高的強(qiáng)度。這在沿著特征51的邊緣56，和56"延伸 的邊緣區(qū)域中產(chǎn)生增強(qiáng)曝光量等級(jí)。
邊緣子組54，和54"中通道輸出的增大在邊緣56，和56"處所成像區(qū) 域與周圍非成像區(qū)域60之間產(chǎn)生強(qiáng)度梯度，該梯度相比較于組48，中全 部通道驅(qū)動(dòng)產(chǎn)生與子組58中內(nèi)部通道相關(guān)聯(lián)的較低能量強(qiáng)度等級(jí)情況下 陡哨。
雖然不希望受特定操作原理的約束，發(fā)明人認(rèn)為，這一較陡峭強(qiáng)度 梯度導(dǎo)致在沿著特征51的邊緣56，和56"的邊緣區(qū)域中，圖像形成材料 "較完全"的轉(zhuǎn)印到接收元件。
在圖6中，控制子組54，和54"的通道以產(chǎn)生基本上彼此相等的強(qiáng)度。 在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，控制子組54，和54"的通道以具有不同的強(qiáng)度。
不必控制任意子組中全部通道具有相同的強(qiáng)度。例如
可以控制邊緣通道子組54，和54"中一個(gè)或兩個(gè)內(nèi)的選定通道具有不 同于其他通道的強(qiáng)度；
可以控制內(nèi)部通道子組58內(nèi)的選定通道具有不同于其他通道的強(qiáng)
度；
可以控制內(nèi)部通道子組58內(nèi)的選定通道具有高于或低于邊緣通道子 組54，和54"中一個(gè)或兩個(gè)內(nèi)通道強(qiáng)度的強(qiáng)度；可以控制內(nèi)部子組58內(nèi)的通道具有如圖6A中所示的對(duì)稱強(qiáng)度輪廓 57或者如圖6B中所示的不對(duì)稱強(qiáng)度輪廓57。在本發(fā)明一些方面的范圍 內(nèi)，可以提供其他形狀的強(qiáng)度輪廓57。
在一些情況下，需要或者希望獲得這樣的特性，例如所需范圍內(nèi)的 特征51的光密度或色彩濃度。通過選擇性地提高子組54，和54"中通道 的強(qiáng)度，可以保持所希望的圖像特性而維持較平滑的邊緣?？梢钥刂苾?nèi) 部通道子組58中通道的強(qiáng)度等級(jí)和分布以對(duì)于特征51獲得所希望的總 密度。
子組54，和54，，中通道與內(nèi)部子組58中通道的強(qiáng)度等級(jí)之間的所希 望關(guān)系可能取決于各種各樣的因素，包含但不限于
所使用激光誘發(fā)熱轉(zhuǎn)印媒介的類型(例如激光誘發(fā)"染料轉(zhuǎn)印"媒 介、激光誘發(fā)"熔融轉(zhuǎn)印"媒介、激光誘發(fā)"燒蝕轉(zhuǎn)印，，媒介、激光誘 發(fā)"質(zhì)量轉(zhuǎn)印"媒介等)；
所采用媒介的特定配方(例如不同的色彩配方)；
供體至接收元件的間隔，其可以作為矩陣20的厚度和/或另一個(gè)供 體元件24的先前成像過程中轉(zhuǎn)印到接收元件18的圖像形成材料的存在 的函數(shù)進(jìn)行變化；以及
成像頭26的特性。
圖7是依照本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例子產(chǎn)生的一部分濾色器的照片，包含 紅色元件12、綠色元件14和藍(lán)色元件16。使用激光誘發(fā)熱轉(zhuǎn)印處理完 成每個(gè)元件的成像，以類似于參照?qǐng)D6所說明方法的方式完成。每個(gè)元 件在獨(dú)立的成像步驟中產(chǎn)生，在此步驟中對(duì)恰當(dāng)色彩的供體進(jìn)行成像以 產(chǎn)生有色元件中的一個(gè)。采用多通道成像頭26,其中使用大約二十個(gè)通 道的組48對(duì)每個(gè)元件12、 14和16進(jìn)行成^(象。每個(gè)成像通道產(chǎn)生大約5 微米寬的像素。使用每個(gè)組48中的邊緣通道子組54，和54"對(duì)每個(gè)特征 的邊緣56，和56"進(jìn)行成像。
在這個(gè)例子中，控制兩個(gè)邊緣通道子組54，和54"以產(chǎn)生具有較高強(qiáng) 度的光束，比由每個(gè)相應(yīng)組48的內(nèi)側(cè)子組58的通道發(fā)射的光束強(qiáng)度高 大約12°/ 。如圖7中所示，每個(gè)元件12、 14和16具有基本平滑的邊緣。 相比較于圖4，邊緣不連續(xù)性降低，使這部分濾色器具有改善的視覺特性。
圖8是相同于圖7所示濾色器的不同部分的照片。圖8顯示了如上 說明產(chǎn)生的紅色元件12，、綠色元件14，和藍(lán)色元件16，。每個(gè)彩色元件
1712，、 14，和16，在與圖7所示元件12、 14和16對(duì)應(yīng)之一相同的時(shí)間以及 相同的長條中成像。元件12和12，在成像頭位于紅色供體元件上的單次 掃描過程中形成；元件13和13，在成像頭位于綠色供體元件上的單次掃 描過程中形成；元件14和14，在成像頭位于藍(lán)色供體元件上的單次掃描 過程中形成。每個(gè)元件12，、 14，和16，使用與元件l2、 14和16中對(duì)應(yīng)一
個(gè)所用相同的邊緣增強(qiáng)條件進(jìn)行成像。
在圖8所示濾色器部分中存在一些邊緣不連續(xù)49。在這個(gè)例子中， 邊緣不連續(xù)49似乎在綠色元件14中較突出。激光誘發(fā)熱轉(zhuǎn)印媒介可能 具有非線性性質(zhì)。在這里例子中，綠色供體的特定曝光量性質(zhì)可能促成 了邊緣不連續(xù)49的形成。其他附加和替代因素可能促成邊緣不連續(xù)49 的形成。在圖8中，邊緣不連續(xù)49首先出現(xiàn)在元件14，的遠(yuǎn)離邊緣56"。 元件14，的本地邊緣56，似乎基本上不存在不連續(xù)49。
圖9A和9B例示了這一結(jié)果可能的原因。圖9A和圖9B是在圖像形 成材料轉(zhuǎn)印之前圖5所示系統(tǒng)的局部示意剖面圖。在圖9A和9B中僅顯 示了對(duì)應(yīng)于通道組48的那些成像通道40。在成像過程中，供體元件24 通常固定到接收元件18，通過包括真空裝置的一些裝置。為了清楚起見 省略矩陣20。矩陣20通常具有獨(dú)特的厚度。固定裝置可以使供體元件 24在矩陣20中形成在空腔中。
供體元件24和接收元件18之間的間隔可以影響轉(zhuǎn)印到接收元件18 的材料的特性。間隔的變化可能引起從供體元件24轉(zhuǎn)印到接收元件18 的圖像形成材料數(shù)量的變化。在激光誘發(fā)熱轉(zhuǎn)印成像處理過程中，供體 元件24的一部分圖像形成材料可能不轉(zhuǎn)印到位于下面的接收元件，而是 可能經(jīng)歷相變成為氣態(tài)。
圖9B顯示了供體元件24的變形，這可能是由于供體元件24和接收 元件18之間的"氣泡"產(chǎn)生的。由供體元件24的一部分的成像所產(chǎn)生 的供體元件變形可能引起^f黃越長條的可變供體-接收元件間距。在這個(gè)例 子中，對(duì)十六個(gè)分離特征51進(jìn)行成像。每個(gè)特征51可能具有不同的供 體-接收元件間距。
如圖9B中所示，各個(gè)特征51經(jīng)受可變的供體-接收元件特征。如圖 9B中所示，可變的供體-接收元件間距存在于不同的特征51之間以及橫 越給定的特征51。例如可變的供體-接收間距的因素可能需要對(duì)各個(gè)特征 進(jìn)行不同于其他特征的成像?？赡苄枰獙?duì)特征的一個(gè)邊緣進(jìn)行不同于相
18同特征的另一個(gè)邊緣的成像。在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，不同特征51的
邊緣子組54，和54，，可以操作于不同的強(qiáng)度條件下。在本發(fā)明的一些實(shí)施 例中，相同特征51的邊緣子組54，和54，，可以操作于不同的強(qiáng)度條件下。
圖10顯示了用于對(duì)單個(gè)特征51進(jìn)行成像的通道組48，。同樣顯示了 強(qiáng)度輪廓57。組48，中的每個(gè)通道具有獨(dú)立于組48，中其他通道可控的強(qiáng) 度。通道組48，的強(qiáng)度輪廓57已經(jīng)被調(diào)整以便降低所成像的特征51中的 邊緣不連續(xù)。第一邊緣通道子組54，負(fù)責(zé)成像沿著本地邊緣56，伸展的第 一邊緣區(qū)域。第二邊緣通道子組54"負(fù)責(zé)成像沿著遠(yuǎn)離邊緣56"伸展的第 二邊緣區(qū)域。在這個(gè)非限定性例子中，每個(gè)邊緣子組54，和54"包含兩個(gè) 通道。在本發(fā)明的其他實(shí)施例子中，邊緣子組54，和54"包含其他適當(dāng)數(shù) 量的通道。在本發(fā)明的另一些實(shí)施例子中，邊緣子組54，由不同于邊緣子 組54"的數(shù)量的通道組成。
在圖10中，控制兩個(gè)邊緣子組54，和54"以產(chǎn)生具有不同于內(nèi)部子 組58中通道的強(qiáng)度等級(jí)的的強(qiáng)度等級(jí)的光束。在所例示的實(shí)施例中，控 制兩個(gè)邊緣子組54，和54，，以便在靠近特征51的邊緣56，和56"提供比在 由內(nèi)部子組58的通道所成像的特征51的區(qū)域中所提供的強(qiáng)度等級(jí)更高 的強(qiáng)度等級(jí)?？刂七吘壸咏M54"以發(fā)射具有高于由邊緣子組54，所發(fā)射光 束的強(qiáng)度的強(qiáng)度的光束。在所例示實(shí)施例中，對(duì)應(yīng)于邊緣子組54"的強(qiáng)度 不同于對(duì)應(yīng)于邊緣子組54，的強(qiáng)度，強(qiáng)度差為AI。這一強(qiáng)度差導(dǎo)致強(qiáng)度輪 廓57的不對(duì)稱。
不對(duì)稱強(qiáng)度分布也可以用于降低源于在子掃描方向44上的運(yùn)動(dòng)(或 增強(qiáng))的假象。在一些實(shí)施例中，在特征51的成像過程中，在子掃描方 向44上發(fā)生成像頭26與供體元件24之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)。這樣的相對(duì)運(yùn)動(dòng) 可能造成特征51的第一和第二邊緣具有不同的圖像特性。在這樣的情況 下，通過使用通道子組54，對(duì)沿著邊緣56，展開的特征51的部分進(jìn)行成像， 可以降低假象，通道子組54，產(chǎn)生的光束具有不同于子組54"中的光束的 強(qiáng)度的強(qiáng)度，子組54"對(duì)沿著第二邊緣56"展開的特征51的部分進(jìn)行成 像。在這樣的情況下，強(qiáng)度輪廓57是不對(duì)稱的。
在本發(fā)明的另外的例子中，使用不同的強(qiáng)度輪廓57對(duì)不同的供體元 件24進(jìn)行成像。
圖11示意性地顯示了依照本發(fā)明實(shí)施例子的成像系統(tǒng)200。系統(tǒng)200 包含多通道成像頭26、平移單元220，在成像頭26對(duì)可成像媒介212進(jìn)行成像的過程中平移單元220在可成像媒介212和成像頭26之間建立相 對(duì)運(yùn)動(dòng)。這一相對(duì)運(yùn)動(dòng)可以沿著與成像相關(guān)聯(lián)的子掃描方向44和/或主 掃描方向42。成像頭26和可成像媒介212之間沿著子掃描方向44的相 對(duì)運(yùn)動(dòng)可能出現(xiàn)或者可能不出現(xiàn)在成像頭26的每個(gè)相繼掃描之間。
成像頭26可以包括任何合適的具有獨(dú)立可尋址通道的多通道成像 頭，每個(gè)通道能夠產(chǎn)生具有可以控制的強(qiáng)度的成像光束。成像頭26可以 提供成像通道的一維或二維陣列?？梢允褂萌魏魏线m的機(jī)制產(chǎn)生成像光 束?？梢砸匀魏芜m當(dāng)?shù)姆绞脚帕谐上窆馐?br> 本發(fā)明的一些實(shí)施例使用紅外激光。采用150nm的發(fā)射器的紅外二 極管激光陣列已經(jīng)成功地用在發(fā)明中，該發(fā)射器在830nm波長具有50W 左右的總功率輸出。包含可見光激光的替代激光器也可以用于實(shí)踐本發(fā) 明。所采用激光源的選擇可以由待成像的媒介的性質(zhì)促成。
可成像媒介212可以包含供體元件24和接收元件18 (兩者均未示 出)。系統(tǒng)200還包含系統(tǒng)控制器230?？刂破?30可以包含微計(jì)算機(jī)、 微處理器、微控制器或任何其他合適的電的、機(jī)電的或電-光電路和系統(tǒng) 的裝置，能夠可靠地將信號(hào)發(fā)射到多通道成像頭26和平移單元220以依 照輸入到控制器230的各種數(shù)據(jù)來對(duì)媒介212進(jìn)行成像?？刂破?30可 以包含單個(gè)控制器或多個(gè)控制器。
如圖11中所示，代表特征51 (在圖11中未示出)的圖案50的數(shù)據(jù) 240輸入到系統(tǒng)控制器230。圖案50可以代表形成濾色器的一部分的彩 色特征圖案，而這并非是限定性的。
程序產(chǎn)品250可以由系統(tǒng)控制器230使用以便實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)200所需的 各種功能。 一個(gè)功能包含設(shè)置用于成像頭26的控制參數(shù)以降低如這里所 說明的圖案50特征51中的邊緣不連續(xù)。不作為限定，程序產(chǎn)品250可 以由攜帶包括指令的計(jì)算機(jī)可讀信號(hào)集合的任何介質(zhì)構(gòu)成，當(dāng)由計(jì)算機(jī) 處理器執(zhí)行時(shí)所述指令使計(jì)算機(jī)處理器執(zhí)行如這里所說明的方法。程序 產(chǎn)品250可以是任意廣泛的各種形式。程序產(chǎn)品250可以由例如物理介 質(zhì)構(gòu)成，例如包括軟盤、硬盤驅(qū)動(dòng)器的磁存儲(chǔ)介質(zhì)，包括CD ROM、 DVD 的光學(xué)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)介質(zhì)，包括ROM、閃存的電子數(shù)據(jù)存儲(chǔ)介質(zhì)等等。指令可 選地^皮壓縮和/或加密在所述介質(zhì)上。
在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例子中，程序產(chǎn)品250將系統(tǒng)控制器230配置 用于分析數(shù)據(jù)240，以確定通道40的特定組48用于對(duì)給定特征51進(jìn)行
20成像。系統(tǒng)控制器230還選擇子組54，和54"以用于對(duì)特征51的邊緣部 分進(jìn)行成像。組48和子組54，、 54"和58的確定可以由系統(tǒng)控制器230 自動(dòng)完成。作為替代或補(bǔ)充，控制器230可以允許在操作者的指引下手 動(dòng)選擇通道組48 (包含子組54，、 54"和58)，操作者通過適當(dāng)?shù)挠脩艚?面與系統(tǒng)控制器2 30進(jìn)行通信。
控制器230設(shè)置控制參數(shù)，包含設(shè)置用于子組54，和54"中通道和內(nèi) 部子組58中通道的強(qiáng)度的參數(shù)。強(qiáng)度被選擇為至少等于與被成像的供體 元件24相關(guān)聯(lián)的Iu^h?；谕ǖ朗欠裨谶吘壸咏M54內(nèi)來確定用于每個(gè) 通道的強(qiáng)度。在一些情況下，附加基于其他的因素來確定強(qiáng)度，例如
通道在成像頭26中的哪里(例如通道號(hào)是多少)；
通道在哪個(gè)邊緣子組(54，或54")中；
如果子組包含多于一個(gè)通道，則通道位于子組中什么位置；
圖案50內(nèi)被成像的特征51的大小和位置；
對(duì)不同供體元件進(jìn)行成像的順序；以及附加的考慮因素。 強(qiáng)度可以由控制器230基于上述因素中的一些或全部自動(dòng)設(shè)置。通道控 制參數(shù)的確定可以基于合適的算法和/或輸入到控制器230的、或編程在 程序產(chǎn)品250內(nèi)的數(shù)據(jù)進(jìn)行?？刂茀?shù)可以在成像之前確定，或者可以 在成像處理時(shí)"動(dòng)態(tài)"地確定。
作為替代或補(bǔ)充，控制器230可以允許通道強(qiáng)度在操作者的指引下 手動(dòng)調(diào)整，操作者通過適當(dāng)?shù)挠脩艚缑媾c系統(tǒng)控制器230通信。
在一些實(shí)施例中，控制器230維持強(qiáng)度信息232，其規(guī)定用于成像頭 26的每個(gè)通道40的強(qiáng)度(或者等效地，強(qiáng)度中的增加量)。強(qiáng)度信息可 能橫越成像頭26的通道而變化。如果確定通道屬于對(duì)于特定特征51的 邊緣子組54，和54"(即該通道40將對(duì)特征的邊緣部分進(jìn)行成像)，則控 制器230可以自動(dòng)將用于該通道的強(qiáng)度設(shè)置為由強(qiáng)度信息所規(guī)定的數(shù)值。
在一些實(shí)施例中，控制器230維持用于本地側(cè)邊緣子組54，和遠(yuǎn)離側(cè) 邊緣子組54"的單獨(dú)的強(qiáng)度信息。在這樣的實(shí)施例中，控制器230確定通 道是否在一個(gè)子組54，和54"中。如果是，則控制器230查找到適合于該 子組和通道的強(qiáng)度信息并且依照該強(qiáng)度信息設(shè)置通道的強(qiáng)度。
然后控制器230操作成像頭26和平移單元220以對(duì)媒介212成像， 使用為每個(gè)通道所確定的強(qiáng)度。在一些實(shí)施例中，對(duì)沿著特征51的邊緣 56，和56"的邊緣部分進(jìn)行成像的邊緣子組54，和54"中至少一個(gè)(在一些實(shí)施例中為兩個(gè))中通道的強(qiáng)度超過相同特征51的內(nèi)部子組56中通道 的強(qiáng)度為至少3%。
對(duì)于這里說明的方法來說，特征51具有條帶形式是便利的，具有平 行于主掃描方向42延伸的邊緣。條帶可以是連續(xù)的或中斷的。在這樣的 情況下，沿著特征，特征的邊緣部分全部由相同的通道40進(jìn)行成像。在 多個(gè)這樣的條帶特征可以在成像頭26的單個(gè)長條中進(jìn)行成像的情況下， 這是尤其便利的。然而，本發(fā)明不限于對(duì)條帶進(jìn)行成像。
在本發(fā)明的一些實(shí)施例子中，特征51在成像頭26的一次或多次掃 描過程中成像。特征51可以是具有其他特征的連續(xù)的或非連續(xù)的。
特征51可以依照包含半色調(diào)屏幕數(shù)據(jù)成像數(shù)據(jù)進(jìn)行成像。在半色調(diào) 成像中，特征由半色調(diào)的點(diǎn)構(gòu)成。半色調(diào)點(diǎn)依照所成像特征所希望的亮 度或暗度改變大小。每個(gè)半色調(diào)點(diǎn)通常比由成像頭26所成像的像素大， 并且通常由多個(gè)成像通道所成像像素的矩陣構(gòu)成。半色調(diào)點(diǎn)的成像通常 按照通常由每單位長度半色調(diào)點(diǎn)的數(shù)量所限定的選定屏幕劃線以及通常 由半色調(diào)點(diǎn)定位的角度所限定的屏幕角度。在本發(fā)明的實(shí)施例子中，特
度進(jìn)^成像。 ； 、
在本發(fā)明的其他實(shí)施例子中，特征51可以使用由相等尺寸點(diǎn)的不同 空間頻率構(gòu)成的隨機(jī)屏幕進(jìn)行成像。在本發(fā)明的另外的其他實(shí)施例子中， 非連續(xù)特征可以使用組合的半色調(diào)和隨機(jī)屏幕(通常稱作"混合，，屏幕) 進(jìn)行成像。
雖然使用顯示和電子裝置制造作為例子對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了說明，但這 里所說明的方法可以直接用于對(duì)任何的特征圖案進(jìn)行成像，包括對(duì)于芯 片上實(shí)驗(yàn)室(lab-on-a-chip， LOC )制造的生物醫(yī)學(xué)成l象中所使用的。 LOC裝置可能包含多個(gè)重復(fù)的特征圖案。本發(fā)明可以應(yīng)用于其他技術(shù)，例 如醫(yī)療、印刷和電子制造技術(shù)。
應(yīng)當(dāng)理解，這些示例性實(shí)施例僅是本發(fā)明的例示，在不脫離本發(fā)明
可以對(duì)上面描述的實(shí)施例進(jìn)行刮
權(quán)利要求
1. 一種用于通過激光誘發(fā)熱轉(zhuǎn)印對(duì)特征進(jìn)行成像的方法，所述方法包括在包括供體元件和接收元件的襯底上，在沿著對(duì)應(yīng)于掃描線的掃描方向上掃描多個(gè)獨(dú)立可控的光束，每個(gè)光束可操作地用于在所述接收元件上形成對(duì)應(yīng)的圖像像素；通過操作連續(xù)的光束組對(duì)特征進(jìn)行成像，以將圖像形成材料從所述供體元件轉(zhuǎn)印到所述接收元件；以及在對(duì)特征進(jìn)行成像時(shí)，控制第一邊緣子組和第二邊緣子組的強(qiáng)度以具有不同于內(nèi)部子組的強(qiáng)度的強(qiáng)度，所述第一子組為對(duì)應(yīng)于沿著所述特征的第一邊緣延伸的特征的第一部分的一個(gè)或多個(gè)光束構(gòu)成的子組，所述第二子組為對(duì)應(yīng)于沿著所述特征的第二邊緣延伸的特征的第二部分的一個(gè)或多個(gè)光束構(gòu)成的子組，所述內(nèi)部子組為對(duì)應(yīng)于所述特征的內(nèi)部部分的一個(gè)或多個(gè)光束構(gòu)成的子組。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l的方法，包括將所述第一和第二邊緣子組中的至 少一個(gè)的光束強(qiáng)度設(shè)置為超出所述內(nèi)部子組的至少一些光束的強(qiáng)度為3% 或更多。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1的方法，包括將所述第一邊緣子組的光束強(qiáng)度設(shè) 置為不同于所述第二邊緣子組的光束強(qiáng)度。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l的方法，包括設(shè)置光束組的強(qiáng)度以提供橫越所述 特征為不對(duì)稱的強(qiáng)度輪廓。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4的方法，包括設(shè)置所述內(nèi)部子組的光束強(qiáng)度以提 供在所述特征的內(nèi)部部分中不對(duì)稱的強(qiáng)度輪廓。
6. 根據(jù)權(quán)利要求l的方法，包括維持與每個(gè)光束相關(guān)聯(lián)的強(qiáng)度信息，所述強(qiáng)度信息規(guī)定在對(duì)于任何 特征該光束在所述第一和第二邊緣子組中的情況下對(duì)該光束設(shè)置的強(qiáng) 度；確定對(duì)于所述特征哪些光束在所述第一邊緣子組中；以及 依照對(duì)應(yīng)于所述光束的強(qiáng)度信息設(shè)置所述第一邊緣子組的光束強(qiáng)度。
7. 根據(jù)權(quán)利要求l的方法，包括維持與每個(gè)光束相關(guān)聯(lián)的第一強(qiáng)度信息，所述第一強(qiáng)度信息規(guī)定在對(duì)于任何特征在所述第一邊緣子組中的條件下對(duì)該光束設(shè)置的強(qiáng)度； 維持與每個(gè)光束相關(guān)聯(lián)的第二強(qiáng)度信息，所述第二強(qiáng)度信息規(guī)定在對(duì)于任何特征在所述第二邊緣子組中的條件下對(duì)該光束設(shè)置的強(qiáng)度； 確定對(duì)于所述特征哪些光束在所述第 一邊緣子組中； 依照對(duì)應(yīng)于所述光束的第一強(qiáng)度信息設(shè)置所述第一邊緣子組的光束強(qiáng)度；確定對(duì)于所述特征哪些光束在所述第二邊緣子組中；以及 依照對(duì)應(yīng)于所述光束的第二強(qiáng)度信息設(shè)置所述第二邊緣子組的光束 強(qiáng)度。
8. —種用于在接收元件上形成特征的方法，所述特征包括第一邊緣 部分和第二邊緣部分，所述方法包括操作包括多個(gè)獨(dú)立可尋址通道的成像頭以指引對(duì)應(yīng)于所述通道的光 束在所述供體元件上沿著對(duì)應(yīng)掃描路徑進(jìn)行掃描，并且通過激光誘發(fā)熱 轉(zhuǎn)印處理將材料從所述供體元件轉(zhuǎn)印到所述接收元件，同時(shí)控制對(duì)應(yīng)所 述通道的光束強(qiáng)度，從而對(duì)應(yīng)于所述特征的第一邊緣部分的光束操作于 第一強(qiáng)度而對(duì)應(yīng)于所述特征的第二邊緣部分的光束操作于不同于所述第 一強(qiáng)度的第二強(qiáng)度。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8的方法，包括以第三強(qiáng)度操作對(duì)應(yīng)于所述特征的 內(nèi)部部分的光束，所述第三強(qiáng)度不同于所述第一和第二強(qiáng)度中的至少一 個(gè)。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9的方法，其中所述第三強(qiáng)度不同于所述第一和 第二強(qiáng)度兩者。
11. 根據(jù)權(quán)利要求9的方法，其中所述第三強(qiáng)度低于所述第一和第 二強(qiáng)度中中的至少一個(gè)。
12. 根據(jù)權(quán)利要求ll的方法，其中所述第三強(qiáng)度低于所述第一和第 二強(qiáng)度中的至少一個(gè)為至少3%。
13. 根據(jù)權(quán)利要求8的方法，其中所述第一邊緣部分和第二邊緣部 分在子掃描方向上彼此空間分離。
14. 根據(jù)權(quán)利要求8的方法，其中所述特征包括在平行于所述掃描 路徑的方向上連續(xù)的條帶。
15. 根據(jù)權(quán)利要求8的方法，其中所述特征包括在平行于所述掃描 路徑的方向上中斷的條帶。
16. 根據(jù)權(quán)利要求8的方法，其中所述特征是包括多個(gè)特征的圖案 的一個(gè)特征，并且所述方法包括操作所述成像頭以同時(shí)形成所述特征和 所述圖案的至少一個(gè)其他特征。
17. 根據(jù)權(quán)利要求16的方法，其中所述第一邊緣部分對(duì)應(yīng)于所述特 征的本地邊緣，并且所述方法包括設(shè)置對(duì)應(yīng)于所述特征的本地邊緣部分 的光束強(qiáng)度不同于對(duì)應(yīng)于至少一個(gè)其他特征的本地邊緣部分的光束強(qiáng) 度。
18. 根據(jù)權(quán)利要求16的方法，其中所述第二邊緣部分對(duì)應(yīng)于所述特 征的遠(yuǎn)離邊緣，并且所述方法包括設(shè)置對(duì)應(yīng)于所述特征的遠(yuǎn)離邊緣部分 的光束強(qiáng)度不同于對(duì)應(yīng)于至少一個(gè)其他特征的遠(yuǎn)離邊緣部分的光束強(qiáng) 度。
19. 根據(jù)權(quán)利要求16的方法，包括設(shè)置對(duì)應(yīng)于所述至少一個(gè)其他特 征的第一和第二邊緣部分的通道強(qiáng)度不同于為對(duì)應(yīng)于所述特征的所述第 一和第二邊緣部分的通道所設(shè)置的強(qiáng)度。
20. 根據(jù)權(quán)利要求16的方法，其中所述特征的圖案是重復(fù)圖案。
21. 根據(jù)權(quán)利要求20的方法，其中所述特征的圖案是平行于所述掃 描路徑延伸的條帶的重復(fù)圖案。
22. 根據(jù)權(quán)利要求16的方法，其中所述特征的圖案包括彩色特征的 圖案，所述彩色特征形成濾色器的一部分。
23. —種用于成像多個(gè)特征的方法，所述方法包括 沿著掃描路徑相關(guān)于接收元件推進(jìn)成像頭以便通過激光誘發(fā)熱轉(zhuǎn)印處理將所述多個(gè)特征從供體元件轉(zhuǎn)印到所述接收元件，所述成像頭包括 可操作地用于單獨(dú)控制多個(gè)光束的光閥，每個(gè)光束能夠?qū)D像形成材料 從所述供體元件轉(zhuǎn)印到所述接收元件；以及操作所述光閥以控制所述多個(gè)光束，其中轉(zhuǎn)印特征的邊緣部分的光 束具有不同于轉(zhuǎn)印所述特征的內(nèi)部部分的光束的強(qiáng)度。
24. 根據(jù)權(quán)利要求23的方法，包括調(diào)制所述多個(gè)光束以使用強(qiáng)度低 于用于轉(zhuǎn)印所述特征的邊緣部分的光束的光束來轉(zhuǎn)印所述特征的內(nèi)部部 分。
25. —種用于通過激光誘發(fā)熱轉(zhuǎn)印處理對(duì)多個(gè)特征成像的方法，所 述方法包括沿著掃描路徑相關(guān)于接收元件推進(jìn)成像頭以便將所述多個(gè)特征從供體元件轉(zhuǎn)印到所述接收元件，所述成像頭包括相鄰定位的成像通道的陣 列，每個(gè)成像通道可操作地用于形成獨(dú)立可控的光束，每個(gè)光束能夠?qū)D像形成材料從所述供體元件轉(zhuǎn)印到所述接收元件；以及操作所述成像頭以選擇性地調(diào)制每個(gè)光束，其中使用能量強(qiáng)度變化 的光束轉(zhuǎn)印每個(gè)特征的邊緣部分。
26. —種用于通過激光誘發(fā)熱轉(zhuǎn)印處理對(duì)特征成像的方法，所述方 法包括沿著掃描路徑相關(guān)于接收元件推進(jìn)成像頭；以及 控制所述成像頭以形成具有不對(duì)稱強(qiáng)度輪廓的多個(gè)光束，以通過將 圖像形成材料從供體元件轉(zhuǎn)印到接收元件來形成所述特征。
27. 根據(jù)權(quán)利要求26的方法，包括控制所述成像頭以選擇性地調(diào)制 所述多個(gè)光束，以使用強(qiáng)度變化的光束來轉(zhuǎn)印所述特征的邊緣部分。
28. —種用于通過激光誘發(fā)熱轉(zhuǎn)印處理形成多個(gè)特征的方法，所述 方法包括沿著掃描路徑相關(guān)于接收元件推進(jìn)成像頭，以便將所述多個(gè)特征從 供體元件轉(zhuǎn)印到所述接收元件，以及控制所述成像頭以使用笫 一多個(gè)成像光束將第 一特征從所述供體元 件轉(zhuǎn)印到所述接收元件；以及使用笫二多個(gè)成像光束將第二特征從所述 供體元件轉(zhuǎn)印到所述接收元件；其中所述第一多個(gè)成像光束和所述第二多個(gè)成像光束具有不同的強(qiáng)度輪廓。
29. —種載有包括指令的計(jì)算機(jī)可讀信號(hào)集的程序產(chǎn)品，所述指令 在由系統(tǒng)控制器執(zhí)行時(shí)促使所述系統(tǒng)控制器用于操作包括多個(gè)獨(dú)立可控通道的成像頭以在激光誘發(fā)熱轉(zhuǎn)印處理中沿 著掃描路徑將一個(gè)或多個(gè)特征從供體元件轉(zhuǎn)印到接收元件；以及選擇性地激勵(lì)所述多個(gè)獨(dú)立可控通道中的通道以便在第一強(qiáng)度轉(zhuǎn)印 所述一個(gè)或多個(gè)特征的第一邊緣部分以及在第二強(qiáng)度轉(zhuǎn)印所述一個(gè)或多 個(gè)特征的第二邊緣部分，所述第二強(qiáng)度不同于所述第一強(qiáng)度。
全文摘要
用于通過熱轉(zhuǎn)印對(duì)特征的圖案進(jìn)行成像的方法，包括控制多個(gè)光束的強(qiáng)度。對(duì)特征到邊緣部分進(jìn)行成像的光束強(qiáng)度可以設(shè)置為不同于對(duì)特征的內(nèi)部部分進(jìn)行成像的光束強(qiáng)度?？梢钥刂茖?duì)特征的本地和遠(yuǎn)離邊緣進(jìn)行成像的光束具有不同的強(qiáng)度。用于對(duì)特征的圖案進(jìn)行成像的設(shè)備可以包括配置用于為多通道成像頭的通道維持強(qiáng)度信息的控制器。所述控制器使用所述強(qiáng)度信息設(shè)置某些通道的強(qiáng)度，這些通道對(duì)應(yīng)于所述成像頭的當(dāng)前長條中被成像的特征的邊緣部分。
文檔編號(hào)G03C8/00GK101506735SQ200780028375
公開日2009年8月12日 申請(qǐng)日期2007年7月11日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月28日
發(fā)明者S·H·斯蒂芬森, V·卡拉休克 申請(qǐng)人:加拿大柯達(dá)圖形通信公司