專利名稱：曝光機(jī)的近似平行光控制增益結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種曝光機(jī)。
目前，因紫外線燈管的光線為向四面八方放射，放射的光線為0°至40°以上，參考


圖1所示，定點(diǎn)曝光方式0°至40°以上的光線放射經(jīng)透光臺(tái)面101、原稿(棕片)12、受曝光物13，其中除了放射光線的0°至10°左右曝光區(qū)不失真外，其余的曝光區(qū)都漸漸誤差失真而無精密度可言。
本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是在燈箱的底部設(shè)置一反光板、一紫外線燈管，在紫外線燈管上方設(shè)有數(shù)片橫向間隔排列的阻光片，另設(shè)一隔熱玻璃和數(shù)片縱向間隔排列的阻光板。
所述縱向間隔排列的阻光板可是同步活動(dòng)開、閉的阻光板。
本實(shí)用新型的有益效果是，燈箱設(shè)置在曝光機(jī)內(nèi)近透光臺(tái)面一定距離處，并可位移活動(dòng)，利用阻光片、阻光板加以阻斷0°至10°左右以外的紫外線燈管放射光線，僅令0°至10°左右以內(nèi)的光線通過，形成近似平行光的光源，再利用往復(fù)位移曝光方式，以達(dá)提高曝光的準(zhǔn)確精密度。
參考圖3所示中，本實(shí)用新型是在燈箱200的底部設(shè)置一反光板20、一紫外線燈管21，在紫外線燈管21上方設(shè)有數(shù)片橫向間隔排列的阻光片22，另設(shè)一隔熱玻璃23和數(shù)片縱向間隔排列的阻光板24，該阻光板24亦可設(shè)置為可同步活動(dòng)開、閉的阻光板24，可便于曝光完畢后完全阻斷光源。
參考圖4、圖5所示，燈箱200設(shè)置于曝光機(jī)內(nèi)透光臺(tái)面101一定距離并可位移活動(dòng)，利用阻光片22、阻光板24加以阻斷0°至10°左右以外的紫外線燈管21放射光線，僅令0°至10°左右以內(nèi)的光線通過。參考圖6(a)(b)所示，以往復(fù)方式位移放射于透光臺(tái)面101、原稿(棕片)12、受曝光物13進(jìn)行曝光，以達(dá)降低誤差與失真率、提高曝光的準(zhǔn)確精密度。
權(quán)利要求1.一種曝光機(jī)的近似平行光控制增益結(jié)構(gòu)，其特征是在燈箱的底部設(shè)置一反光板、一紫外線燈管，在紫外線燈管上方設(shè)有數(shù)片橫向間隔排列的阻光片，另設(shè)一隔熱玻璃和數(shù)片縱向間隔排列的阻光板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的曝光機(jī)的近似平行光控制增益結(jié)構(gòu)，其特征是所述縱向間隔排列的阻光板是可同步活動(dòng)開、閉的阻光板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的曝光機(jī)的近似平行光控制增益結(jié)構(gòu)，其特征是所述燈箱設(shè)置在曝光機(jī)內(nèi)近透光臺(tái)面一定距離，并可位移活動(dòng)。
專利摘要一種曝光機(jī)的近似平行光控制增益結(jié)構(gòu)，在燈箱的底部設(shè)置一反光板、一紫外線燈管，在紫外線燈管上方設(shè)有數(shù)片橫向間隔排列的阻光片，另設(shè)一隔熱玻璃和數(shù)片縱向間隔排列的阻光板。燈箱設(shè)置在曝光機(jī)內(nèi)近透光臺(tái)面一定距離處，并可位移活動(dòng)，利用阻光片、阻光板加以阻斷0°至10°左右以外的紫外線燈管放射光線，僅令0°至10°左右以內(nèi)的光線通過，并形成近似平行光的光源，再利用往復(fù)位移曝光方式，以達(dá)提高曝光的準(zhǔn)確精密度。
文檔編號(hào)G03F7/20GK2539206SQ02205980
公開日2003年3月5日 申請日期2002年3月18日 優(yōu)先權(quán)日2002年3月18日
發(fā)明者林嚴(yán)信 申請人:北京大祥機(jī)械國際有限公司