技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體光電子技術(shù)領(lǐng)域，具體公開一種基于無機(jī)微米LED的全彩色微顯示芯片及其制備方法。本發(fā)明包括由高效率氮化鎵基LED外延片材料制備藍(lán)光和綠光微米LED陣列，由高效率砷化鎵基LED外延片材料制備紅光微米LED陣列，每個(gè)陣列單獨(dú)成為單色微顯示芯片；將上述三種微米LED陣列以紅光、綠光和藍(lán)光的次序按垂直方向上對準(zhǔn)鍵合，集成紅光、綠光和藍(lán)光三種發(fā)光波長的微顯示芯片。本發(fā)明工藝簡單，這有利于降低芯片成本。本發(fā)明中的芯片可用于微投影和微顯示領(lǐng)域，包括可穿戴智能眼鏡、智能手表、虛擬現(xiàn)實(shí)、增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)等設(shè)備。

技術(shù)研發(fā)人員：田朋飛;劉曉艷;劉冉;鄭立榮
受保護(hù)的技術(shù)使用者：復(fù)旦大學(xué)
文檔號碼：201611090359
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.01
技術(shù)公布日：2017.02.15