本發(fā)明涉及噴嘴板，液體排出頭，液體排出裝置以及用于排出液體的設(shè)備。
背景技術(shù)：
：在排出液滴的液體排出頭的噴嘴板中，防液膜形成在液滴排出表面(也簡稱為“排出表面”)上以便進(jìn)行穩(wěn)定的液滴排出。為了形成這樣的防液膜，存在使用在其分子中具有全氟聚醚(pfpe)骨架(skeleton)的化合物的防液材料(專利文獻(xiàn)1)。在一些情況下，防液膜被形成在噴嘴基部構(gòu)件(其中形成用作噴嘴的噴嘴孔)中的液滴排出表面的面上，并且至少形成在噴嘴的內(nèi)壁的液滴排出表面上。在形成在噴嘴內(nèi)壁上的防液膜的表面上，每單位面積的防液基團(tuán)的數(shù)目從液滴排出表面朝向遠(yuǎn)離液滴排出表面的一側(cè)連續(xù)地減少(專利文獻(xiàn)2)。引用文獻(xiàn)列表專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1：日本公開專利公布號(hào)2013-237259專利文獻(xiàn)2：日本公開專利公布號(hào)2014-054788技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：技術(shù)問題優(yōu)選地，僅在噴嘴基部構(gòu)件的表面(液滴排出表面)上形成用于噴嘴板的防液膜，以便減少彎曲的排出方向和液滴速度的波動(dòng)。然而，當(dāng)使用具有高流動(dòng)性的防液材料例如如上所述的pfpe時(shí)，即使僅在液滴排出表面上形成防液膜，由于隨著時(shí)間推移所述防液材料的流動(dòng)，因此防液基團(tuán)侵入內(nèi)噴嘴壁。在這種情況下，如果存在多個(gè)噴嘴，則在所有噴嘴中，通過防液基團(tuán)的內(nèi)噴嘴壁的侵入程度是不同的。結(jié)果，存在在噴嘴中彎液面位置是不同的問題，并且發(fā)生液滴排出特性的不均勻性。鑒于上述問題，本發(fā)明的大體目的是提供一種噴嘴板，其減少由于隨著時(shí)間推移防液材料的流動(dòng)而引起的液滴排出特性的不均勻性。解決技術(shù)問題的技術(shù)方案在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，設(shè)置了噴嘴板。噴嘴板包括：噴嘴基部構(gòu)件，其包括形成穿過其的多個(gè)噴嘴孔，多個(gè)噴嘴孔用作排出液滴的噴嘴；以及形成在所述噴嘴基部構(gòu)件的液滴排出表面上的防液材料的防液膜，所述防液材料包含防液基團(tuán)(group)。所述多個(gè)噴嘴孔中的每個(gè)包括直孔部分，所述直孔部分從所述噴嘴基部構(gòu)件的液滴排出表面延伸并且在所述噴嘴基部構(gòu)件的厚度方向上具有恒定的直徑。包含在防液材料中的防液基團(tuán)被附著在直孔部分的內(nèi)噴嘴壁。當(dāng)噴嘴孔被供給純水時(shí)，純水的彎液面停留在直孔部分中。本發(fā)明的有益效果根據(jù)本發(fā)明，可以減少由隨著時(shí)間推移防液材料的流動(dòng)而引起的液滴排出特性的不均勻性。附圖說明圖1是根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的噴嘴板的截面示意圖；圖2是在噴嘴板中的一個(gè)噴嘴的放大的截面示意圖；圖3是示出侵入噴嘴孔并調(diào)節(jié)侵入位置的防液材料的防液基團(tuán)的示意圖；圖4是示出在噴嘴板中的另一噴嘴孔形狀的示意圖；圖5是制作噴嘴板的步驟的列表；圖6是根據(jù)本發(fā)明的液體排出頭的透視圖；圖7是沿著圖6中的線a-a截得的以示出正交于噴嘴布置方向的方向(液體室的縱向方向)的截面示意圖；圖8是沿著圖6中的線b-b截得的以示出噴嘴布置方向(液體室的側(cè)向方向)的截面示意圖；圖9是在示例1-3和比較示例1中的噴嘴板的噴嘴孔形狀和純水的彎液面位置之間的關(guān)系的示意圖；圖10是用于測量純水的彎液面位置的方法的示意圖；圖11是示出防液膜的膜厚度的曲線圖；圖12a是示出在形成于噴嘴板中的多個(gè)噴嘴之中的直部分和錐形形狀部分的邊界的不均勻性的曲線圖；圖12b是示出在形成于噴嘴板中的多個(gè)噴嘴之中的彎液面位置的不均勻性的曲線圖；圖13是根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的在噴嘴板中的一個(gè)噴嘴的放大的截面示意圖；圖14是根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施例的噴嘴板的平面視圖；圖15是沿圖14的線c-c截得的放大的截面示意圖；圖16是噴嘴板的噴嘴基部構(gòu)件的平面視圖；圖17是沿著圖16的線d-d截得的放大的截面示意圖；圖18是示出其中凹部形成在噴嘴基部構(gòu)件中的區(qū)域的平面視圖；圖19是示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的用于排出液體的設(shè)備的主元件的平面視圖；圖20是用于排出液體的設(shè)備的主元件的側(cè)視圖；圖21是示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的另一液體排出裝置的主元件的平面視圖；圖22是示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的又一個(gè)液體排出裝置的前視圖。具體實(shí)施方式在下文中，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行描述。參照?qǐng)D1和圖2描述根據(jù)本發(fā)明的噴嘴板的第一實(shí)施例。圖1是根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的噴嘴板的截面圖，圖2是噴嘴板中的一個(gè)噴嘴的放大截面圖。噴嘴板1包括噴嘴基部構(gòu)件40，其中形成用作用于排出液滴的噴嘴4的多個(gè)噴嘴孔41。在噴嘴基部構(gòu)件40的液滴排出表面40a上形成有防液膜42。噴嘴孔41包括直部分43，其是從噴嘴基部構(gòu)件40的液滴排出表面40a延伸并具有恒定直徑的直孔部分。噴嘴孔41還包括錐形部分44，該錐形部分形成為在與直部分43的液滴排出方向相反的方向上具有從噴嘴基部構(gòu)件40的液體室表面40b(液滴排出表面的相反側(cè))到直部分43的端部處的邊界41b的錐形形狀。所述防液膜42通過使用是在其分子中具有全氟聚醚(pfpe)骨架的化合物的防液材料而形成在噴嘴基部構(gòu)件40的液滴排出表面40a上，厚度范圍為5到30納米。在下文中，參照?qǐng)D3描述通過防液材料的防液基團(tuán)的噴嘴孔的侵入和侵入位置的調(diào)節(jié)。圖3是示出侵入和調(diào)節(jié)的示意圖。在此假定噴嘴孔41的中心軸線46相對(duì)于與液滴排出表面40a垂直的方向傾斜α°(包括α＝0而不傾斜)。甚至在其中僅在液滴排出表面40a上形成防液膜42的情況下，如果防液材料如在其分子中具有pfpe骨架的化合物中那樣具有可流動(dòng)性，則防液材料或包含在該防液材料中的防液基團(tuán)，即在本實(shí)施例中為氟原子42a，侵入噴射孔41并且隨著時(shí)間的推移而附著在內(nèi)噴嘴壁41a上。因此，內(nèi)噴嘴壁41a也具有防液性。此外，假定內(nèi)噴嘴壁41a是構(gòu)造有直部分43的壁部分43a和錐形部分44的壁部分44a的壁。在本實(shí)施例中，噴嘴孔41包括直部分43，其是從液滴排出表面40a延伸并且具有恒定直徑的直孔。防液膜42中所含的防液基團(tuán)(在這種情況下為氟原子42a)附著到包括噴嘴孔41的直部分43的內(nèi)噴嘴壁41a。當(dāng)噴嘴被供給純水時(shí)，純水的彎液面停留在直部分43中。例如，在本實(shí)施例中，在內(nèi)部噴嘴壁41a上調(diào)節(jié)其中與純水的靜態(tài)接觸角θ為90°或更大的區(qū)域，使得該區(qū)域僅存在于直部分43(直孔)的壁部分43a上并且沒有存在于直線部分43之外的部分上。具體地，在直部分43的壁部分43a上存在其中與純水的靜態(tài)接觸角θ為90°或更大的區(qū)域，并且從直部分43與錐形部分44之間的邊界41b到錐形部分44的壁部分44a并不存在。換句話說，在根據(jù)本實(shí)施例的噴嘴板1中，形成防液膜42的防液材料是在其分子中具有全氟聚醚(pfpe)骨架的化合物。當(dāng)噴嘴孔41被供給純水時(shí)，如果噴嘴孔41的直部分43的長度為l(μm)，則噴嘴孔41的直部分43的直徑為d(μm)，從液滴排出表面40a到噴嘴孔41內(nèi)的純水的液面的距離為x(μm)，直部分43的中心軸線46與相對(duì)于液滴排出表面40a垂直的方向之間形成的角度是α(°)，其中α(°)包括0°并且小于90°，建立下面的公式(1)。[數(shù)學(xué)公式1]l·cosα-(d·tanα)/2＞x·cosα…(1)該公式(1)示出即使直部分43的中心軸線46相對(duì)于液滴排出表面40a傾斜(α°)，純水的彎液面位置(液面位置)在直部分43內(nèi)被調(diào)節(jié)。以這樣的方式，包含在防液膜中的防液基團(tuán)附著到包括噴嘴孔41的直部分43的內(nèi)部噴嘴壁41a。當(dāng)噴嘴被供給純水時(shí)，純水的彎液面停留在直部分43中。因此，形成在噴嘴4中的諸如油墨的液體的彎液面被維持在直部分43的區(qū)域中。即使防液基團(tuán)42a侵入內(nèi)部噴嘴壁41a，液滴排出特性的不均勻性減小。換句話說，因?yàn)椴皇羌兯囊后w(例如油墨)很可能朝向噴嘴孔41內(nèi)的液滴排出表面40a移動(dòng)，當(dāng)噴嘴被供給純水時(shí)純水的彎液面停留在直部分43中時(shí)，要排出的液體的彎液面位置被必定維持在直部分43的區(qū)域中。如果其中與純水的靜止接觸角θ是90°或更大的區(qū)域在內(nèi)部噴嘴壁41a上被控制以使得該區(qū)域僅存在于直部分43(直孔)的壁部分43a上并且沒有存在于不是直部分43(直孔)的壁部分上，其中靜止接觸角θ是90°或更大的區(qū)域和不具有這樣的靜止接觸角的區(qū)域之間的邊界位于所述直部分43中。根據(jù)此，當(dāng)噴嘴被供給純水時(shí)，純水的彎液面必定停留在直部分43中。然而，即使靜止接觸角θ小于90°，這樣的靜止接觸角θ也被包括在本發(fā)明中，主要純水的彎液面停留在直部分43中。根據(jù)以上提到的構(gòu)造，即使與噴嘴孔41連通的壓力室具有壓力波動(dòng)以使得壓力室具有負(fù)壓力，要排出的液體的彎液面位置沒有移動(dòng)到錐形部分44。因此，彎曲的液滴排出減少。在下文中，描述如何測量長度(μm)、直徑d(μm)、距離x(μm)和角度α(°)。長度l：嵌入樹脂中的噴嘴基部構(gòu)件40經(jīng)受拋光直到噴嘴孔41的中心區(qū)段露出以及所述通過例如使用sem(掃描電子顯微鏡)的顯微鏡觀察被測量。對(duì)于這樣的樹脂，室溫凝固的環(huán)氧樹脂可被使用。直徑d：噴嘴孔41從排出表面用金相顯微鏡觀察以測量噴嘴孔41的出口的直徑。距離x：代表從噴嘴基部構(gòu)件40的表面(液滴排出表面40a)到內(nèi)部噴嘴壁41a中的純水的距離。角度α：在拋光之后，噴嘴孔41的中心軸線46的傾斜角α是通過用共焦點(diǎn)的顯微鏡觀察來獲得在液滴排出表面40a上的噴嘴孔41的出口圓的中心和在液體室表面40b上的出口圓的中心之間的差以及通過將獲得的差除以噴嘴板1的厚度，進(jìn)行確定的。接下來，噴嘴板1的具體示例是參照?qǐng)D4進(jìn)行描述的。圖4是示出在噴嘴板1中的另一噴嘴孔形狀的示意圖。在噴嘴板1中的噴嘴孔41的形狀不限于如圖2中的形狀，而是可具有其中倒角部分45形成為如圖4中所示的形狀。如果倒角部分45具有倒角寬度45a和倒角高度45b，那么倒角量可表示為：倒角寬度x倒角厚度/2。優(yōu)選地，倒角量是小的。雖然不銹鋼可以用于噴嘴基部構(gòu)件40，但是用于噴嘴基部構(gòu)件40的材料不限于不銹鋼。可以使用al，bi，cr，insn，ito，nb，nb2o5，nicr，si，sio2，sn，ta2o5，ti，w，zao(zno+al2o3)，zn，以及其形成在另一基礎(chǔ)構(gòu)件上的膜。防液膜42是包含如上所述的在分子中具有全氟聚醚(pfpe)骨架的化合物的膜(層)。對(duì)于全氟聚醚，可以使用已知的材料，并且這些材料沒有特別的限制。這些材料的示例包括krytoxfsl(由dupontco.制造)，krytoxfsh(由dupontco.制造)，fomblinz(由solvaysolexisco.制造)，fluorolinks10(由solvaysolexisco.制造)，fluorolinkc10(由solvaysolexisco.制造)，morescophosfarola20h(由matsumuraoilresearchco.制造)，morescophosfaroladoh(由matsumuraoilresearchco.制造)，morescophosfarolddoh(由matsumuraoilresearchco.制造)，fluorosurffg5010(由fluorotechnologyco.制造)，fluorosurffg5020(由fluorotechnologyco.制造)，fluorosurffg5060(由fluorotechnologyco.制造)和fluorosurffg5070(由fluorotechnologyco.制造)。防液膜42的平均膜厚度(噴嘴板1的排出表面上的平均膜厚度)優(yōu)選為5-30nm。如果平均膜厚度等于或大于5nm或更大，則防液膜42不太可能具有缺陷。如果平均膜厚度等于或小于30nm或更小，那么已經(jīng)變得部分為厚的地方不可能通過擦拭而脫落并成為雜質(zhì)。此外，通過具有該膜厚度，優(yōu)選的是，適當(dāng)?shù)鼐S持流入到內(nèi)部噴嘴壁41a的防液材料的量，防液材料形成防液膜42。在下文中，參照?qǐng)D5描述制造噴嘴板1的步驟。圖5是制造噴嘴板1的步驟的列表。這些步驟包括上游步驟、預(yù)處理步驟、形成防液膜的步驟、后處理步驟和下游步驟。在以下的示例中，雖然不銹鋼板被用于噴嘴基部構(gòu)件40中，但是噴嘴基部構(gòu)件40的材質(zhì)并不局限于不銹鋼板。-上游步驟-上游步驟用于拋光噴嘴基部構(gòu)件40的表面，即排出液滴的排出表面。用于拋光其中形成噴嘴孔41的噴嘴基部構(gòu)件40的表面(液滴排出表面40a)的方法可以使用聚氨酯墊，以超精密振蕩型單側(cè)拋光機(jī)(cmp拋光機(jī))來拋光所述噴嘴基部構(gòu)件40的表面。當(dāng)進(jìn)行拋光時(shí)，優(yōu)選以1-20rpm旋轉(zhuǎn)聚氨酯墊，并且噴嘴基部構(gòu)件40的表面被拋光直到噴嘴基部構(gòu)件40的表面的表面粗糙度ra變?yōu)?.1μm或更小。噴嘴基部構(gòu)件40的排出表面的表面粗糙度ra例如可以如下獲得?？梢允褂美绺鶕?jù)jis0601的探針型表面形狀測量裝置dektak-150(由ulvacco.制造)來測量表面粗糙度ra?？梢酝ㄟ^改變當(dāng)聚氨酯墊壓入噴嘴基部構(gòu)件40的表面時(shí)施加的壓力、當(dāng)聚氨酯墊旋轉(zhuǎn)時(shí)的轉(zhuǎn)速(rpm：每分鐘轉(zhuǎn)數(shù))、拋光溶液的流量和拋光時(shí)間，來調(diào)節(jié)表面粗糙度ra。-預(yù)處理步驟-預(yù)處理步驟用于處理其表面已經(jīng)被拋光的噴嘴基部構(gòu)件40。在預(yù)處理步驟中，進(jìn)行超聲波清洗。除了超聲波清洗之外，還可以進(jìn)行濕式清洗，淋浴清洗(高壓噴灑清洗，超聲波淋浴清洗)，浸泡清洗(流水清洗，噴射清洗，鼓泡清洗)和蒸汽清洗。拋光后的噴嘴基部構(gòu)件40在濕環(huán)境下用有機(jī)溶劑進(jìn)行超聲波清洗，以免干燥拋光的表面。優(yōu)選地，濕環(huán)境的濕度為50％或更大以避免干燥。有機(jī)溶劑的示例包括醇，例如丙酮，乙醇和異丙醇，以及氫氟醚，例如novec(由sumitomo3mco.制造)，vertrel(dupontco.制造)和galden(由solvaysolexisco.制造)。-防液膜形成步驟-在下文中，描述形成防液膜42的步驟。首先，制備具有pfpe以形成防液膜42的浸漬液體。預(yù)處理后的噴嘴基部構(gòu)件40的表面，即液滴排出表面經(jīng)受等離子體處理。除了等離子體處理之外，還可以執(zhí)行諸如真空清洗(離子束清洗)和常壓清洗(uv臭氧清洗，冰洗滌器清洗，激光清洗)之類的干洗。然后根據(jù)浸漬方法將已經(jīng)制備的浸漬液體施加到噴嘴基部構(gòu)件40上。允許在室溫(約25℃)下使噴嘴基部構(gòu)件40靜置之后，對(duì)噴嘴基部件40進(jìn)行加熱并進(jìn)行超聲波清洗以移除剩余的全氟聚醚。優(yōu)選的是，當(dāng)進(jìn)行超聲波清洗時(shí)，移除剩余的pfpe，并將防液膜42的膜厚度以單分子層級(jí)進(jìn)行調(diào)節(jié)。對(duì)于形成防液膜42的浸漬液體，可以使用用氟溶劑稀釋的全氟聚醚衍生物以實(shí)現(xiàn)1％重量或更小。優(yōu)選地，全氟聚醚衍生物在其末端具有極性基團(tuán)。這種極性基團(tuán)的示例在此包括-oh，c＝o，-cooh，-nh2，-no2，-nh3+和-cn。氟溶劑的示例包括氫氟醚，例如novec(由sumitomo3mco.制造)，vertrel(由dupontco.制造)和galden(由solvaysolexisco.制造)進(jìn)一步地，噴嘴基部構(gòu)件40的排出表面經(jīng)受氧等離子體處理。根據(jù)上述的用于形成防液膜42的方法，將噴嘴基部構(gòu)件40浸入浸漬液體中并升高。然后，允許噴嘴基部構(gòu)件40在室溫環(huán)境中進(jìn)行風(fēng)干，并且加熱噴嘴基部構(gòu)件40以固定防液膜42。然而，可以根據(jù)目的改變加熱溫度和加熱時(shí)間。進(jìn)一步地，通過在氟溶劑中進(jìn)行超聲波清洗，可以除去過多地附連在噴嘴基部構(gòu)件40的排出表面上的全氟聚醚。-后處理步驟-在下文中，描述后處理步驟。為了保護(hù)防液膜42的表面，排出表面被(層疊)疊層材料覆蓋，并且噴嘴基部構(gòu)件40的后表面，即排出表面的相反側(cè)經(jīng)受等離子體處理。在如上所述的獲得的噴嘴板1中，當(dāng)噴嘴板1用氧等離子體照射用于進(jìn)行反向?yàn)R射時(shí)，移除附著到液體室表面40b和內(nèi)部噴嘴壁41a的防液材料，同時(shí)噴嘴表面受到保護(hù)。即使以這種方式移除附著到內(nèi)部噴嘴壁41a的防液材料，由于如上所述的防液材料的流動(dòng)性，因此防液基團(tuán)42a侵入內(nèi)部噴嘴壁41a并隨時(shí)間推移而粘合在其上。-下游步驟-必要時(shí)執(zhí)行下游步驟。下游步驟是通過加熱將噴嘴板1結(jié)合(bond)到構(gòu)成液體室的構(gòu)件并加強(qiáng)結(jié)合強(qiáng)度。當(dāng)在下游步驟中執(zhí)行結(jié)合時(shí)，例如，使用冷凝固環(huán)氧樹脂粘合劑將在上述后處理步驟中獲得的噴嘴板1結(jié)合到通道板。優(yōu)選地，通過加熱和擠壓來進(jìn)行結(jié)合以便長期維持結(jié)合狀態(tài)。所使用的粘合劑的示例包括冷凝固環(huán)氧粘合劑。在下文中，將參照?qǐng)D6-8描述根據(jù)本發(fā)明的液體排出頭。圖6是液體排出頭的透視圖。圖7是沿圖6的a-a線截取的截面圖，以示出與噴嘴布置方向正交的方向(液體室的縱向方向)。圖8是沿圖6的b-b線截取的橫截面圖，以示出噴嘴布置方向(液體室的側(cè)向方向)。液體排出頭包括噴嘴板1，通道板2和作為層疊和連結(jié)(join)方式的壁構(gòu)件的振動(dòng)板構(gòu)件3。液體排出頭還包括使振動(dòng)板構(gòu)件3移動(dòng)的壓電致動(dòng)器11和用作公共通道構(gòu)件的框架構(gòu)件20。噴嘴板1，通道板2和振動(dòng)板構(gòu)件3構(gòu)成與排出液滴的噴嘴4連通的單獨(dú)通道5。單獨(dú)通道5從設(shè)置在下游的噴嘴4包括與設(shè)置在下游的噴嘴4連通的單獨(dú)液體室6，給單獨(dú)的液體室6供應(yīng)液體的流體阻力部分7，以及與流體阻力部分7連通的液體引入部分8。通過形成在振動(dòng)板構(gòu)件3上的引入部分(供給端口)9，從作為框架構(gòu)件20的公共通道的公共液體室10將液體引入到各個(gè)通道5內(nèi)。所述液體通過液體引入部分8和流體阻力部分7被提供到單獨(dú)的液體室6。進(jìn)一步地，可以在引入部分9上設(shè)置過濾器。在此假定噴嘴板1是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的上述噴嘴板，并且在其液滴排出表面上形成防液膜。通過蝕刻sus襯底來制備通道板2。通道板2用作形成包括例如單獨(dú)的液體室6、流體阻力部分7和液體引入部分8的單獨(dú)通道5的貫通部分。振動(dòng)板構(gòu)件3是形成通道板2的單獨(dú)的液體室6的壁的壁構(gòu)件。振動(dòng)板構(gòu)件3具有三層結(jié)構(gòu)，其中第一層設(shè)置在通道板2上并且在用于單獨(dú)的液體室6的一部分中形成可變形的振動(dòng)區(qū)域(振動(dòng)板)30。振動(dòng)板構(gòu)件3由鎳(ni)金屬板形成并且以電鑄方法制造。振動(dòng)板構(gòu)件3不限于此，而是可以使用具有樹脂層和金屬層的其他金屬構(gòu)件，樹脂構(gòu)件或?qū)盈B構(gòu)件。壓電致動(dòng)器11相對(duì)于振動(dòng)板構(gòu)件3設(shè)置在單獨(dú)的液體室6的相反側(cè)上。壓電致動(dòng)器11包括作為驅(qū)動(dòng)單元(致動(dòng)器單元，壓力產(chǎn)生單元)的電化學(xué)換能器，其使振動(dòng)板構(gòu)件3的振動(dòng)區(qū)域30變形。壓電致動(dòng)器11包括基部構(gòu)件13和使用粘合劑將多個(gè)層連結(jié)在其上的壓電構(gòu)件12。使用半切割成塊將凹槽施加到壓電構(gòu)件12，使得以預(yù)定間隔形成預(yù)定數(shù)量的壓電柱12a和12b以具有用于一個(gè)壓電構(gòu)件12的梳狀形狀。盡管壓電元件12的壓電柱12a和12b具有相同的構(gòu)造，但壓電柱12a和12b被區(qū)分開，使得設(shè)置有驅(qū)動(dòng)波形的用于驅(qū)動(dòng)的那些壓電柱被稱為從動(dòng)壓電柱(從動(dòng)柱)12a和沒設(shè)置有驅(qū)動(dòng)波形并且簡單地用作支撐件的那些壓電柱被稱為非從動(dòng)壓電柱(非從動(dòng)柱)12b。從動(dòng)柱12a連結(jié)到凸起部分30a，該凸起部分30a用作形成在振動(dòng)板構(gòu)件3的振動(dòng)區(qū)域30上的島狀的厚部分。進(jìn)一步地，非從動(dòng)柱12b與用作振動(dòng)板構(gòu)件3的厚部分的凸起部分30b連結(jié)。壓電構(gòu)件12以層疊方式交替地具有壓電層和內(nèi)部電極。將內(nèi)部電極拉出到其中設(shè)置有外部電極的端表面。用作柔性布線板并具有提供驅(qū)動(dòng)信號(hào)的靈活性的fpc15被連接到壓電柱12a的外部電極?？蚣軜?gòu)件20例如使用環(huán)氧樹脂或?yàn)闊崴苄詷渲木郾搅蛎淹ㄟ^注塑模制而形成?？蚣軜?gòu)件20形成公共液體室10，來自于頭箱(tank)或液體盒(cartridge)(未示出)的液體被提供到該公共液體室。在以這種方式構(gòu)造的液體排出頭中，如果施加到壓電柱12a的電壓從參考電位降低，則壓電柱12a收縮，并且振動(dòng)板構(gòu)件3的振動(dòng)區(qū)域30上升以膨脹單獨(dú)的液體室6的容量，使得液體流入單獨(dú)的液體室6。然后，施加到壓電柱12a的電壓升高以使壓電柱12a在其層疊方向上膨脹，并使振動(dòng)板構(gòu)件3的振動(dòng)區(qū)域30朝向噴嘴4變形，以收縮單獨(dú)的液體室6的容量，以使得在單獨(dú)的液體室6中的液體被加壓，并且從噴嘴4排出(噴射)液滴。當(dāng)施加到壓電柱12a的電壓返回到參考電位時(shí)，振動(dòng)板構(gòu)件3的振動(dòng)區(qū)域30恢復(fù)初始位置，并且單獨(dú)的液體室6膨脹以產(chǎn)生負(fù)壓，使得單獨(dú)的液體室6從公共液體室10被供應(yīng)液體。在噴嘴4的彎液面表面的振動(dòng)被衰減并且彎液面穩(wěn)定之后，該過程進(jìn)行到排出下一個(gè)液滴的操作。此外，用于驅(qū)動(dòng)液體排出頭的方法不限于上述示例(拉推注入)?？梢酝ㄟ^控制要施加的驅(qū)動(dòng)波形來執(zhí)行拉注入或推注入。因?yàn)橐后w排出頭以這種方式包括根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的噴嘴板，所以液體排出頭可以以降低的液滴排出特性的不均勻性進(jìn)行穩(wěn)定的液滴排出。在下文中，將油墨描述為由根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的液體排出頭排出的液體的示例。油墨的組分包括彩色材料，潤濕劑，水溶性有機(jī)溶劑，表面活性劑，其它添加劑(如ph調(diào)節(jié)劑，防腐防霉劑，防銹劑，水溶性紫外線吸收劑，水溶性紅外線吸收劑)，以及樹脂等。-彩色材料-對(duì)于彩色材料，可以在必要時(shí)使用已知的顏料和染料。例如，可以使用無機(jī)顏料和有機(jī)顏料。無機(jī)顏料的示例包括以公知的方法例如接觸法、爐法或熱法制備的氧化鈦，氧化鐵，碳酸鈣，硫酸鋇，氫氧化鋁，鋇黃，鎘紅，鉻黃和炭黑。有機(jī)顏料的示例包括偶氮顏料(包括偶氮色淀，不溶性偶氮顏料，縮合偶氮顏料和螯合偶氮顏料)，多環(huán)顏料(例如酞菁顏料，苝顏料，紫環(huán)酮顏料，蒽醌顏料，喹吖啶酮顏料，二惡嗪顏料，靛藍(lán)顏料，硫靛顏料，異吲哚啉酮顏料和喹酞酮顏料)，染料螯合物(如堿性染料螯合物和酸性染料螯合物)，硝基顏料，亞硝基顏料和苯胺黑。特別地，從上述顏料中優(yōu)選使用對(duì)溶劑具有親和性的顏料。除了上述示例之外，可以使用其中將諸如砜基或羧基的官能團(tuán)添加到顏料(例如碳)的表面中以將其分散在水中的自分散顏料。此外，顏料可以包含在微膠囊中以分散在水中。優(yōu)選地，作為油墨中的彩色材料的顏料的添加量為0.5-25重量％，更優(yōu)選為2-15重量％。-水溶性有機(jī)溶劑-水溶性有機(jī)溶劑的示例包括多元醇如乙二醇，二甘醇，三甘醇，聚乙二醇，聚丙二醇，1,5-戊二醇，1,6-己二醇，甘油，1,2,6-己三醇，1,2,4-丁三醇，1,2,3-丁三醇和3-甲基戊烷-1,3,5-三醇；多元醇烷基醚如乙二醇單乙醚，乙二醇單丁醚，二甘醇單甲醚，二甘醇單乙醚，二甘醇單丁醚，四甘醇單甲醚和丙二醇單甲醚；多元醇芳基醚如乙二醇單苯醚和乙二醇單芐醚；含氮雜環(huán)化合物如n-甲基-2-吡咯烷酮，n-羥乙基-2-吡咯烷酮，2-吡咯烷酮，1,3-二甲基咪唑啉酮和ε-己內(nèi)酰胺；酰胺如甲酰胺，n-甲基甲酰胺和n，n-二甲基甲酰胺；胺如單乙醇胺，二乙醇胺，三乙醇胺，單乙胺，二乙胺和三乙胺；含硫化合物如二甲基亞砜，環(huán)丁砜和硫代二乙醇；碳酸亞丙酯；碳酸亞乙酯；和γ-丁內(nèi)酯。-表面活性劑-必要時(shí)添加表面活性劑，以便提高清洗性能、作為清洗液的供給液體的混合物的穩(wěn)定性和清洗后的補(bǔ)充性能。表面活性劑的示例包括氟表面活性劑，陰離子表面活性劑，陽離子表面活性劑，非離子表面活性劑和兩性表面活性劑。氟表面活性劑的示例包括全氟烷基磺酸鹽，全氟烷基羧酸鹽，全氟烷基磷酸酯，全氟烷基環(huán)氧乙烷加成物，全氟烷基甜菜堿，全氟烷基氧化胺化合物，側(cè)鏈具有全氟烷基醚基團(tuán)的聚氧化烯醚聚合物，其硫酸酯鹽和氟代脂族聚合物酯。可商購的氟表面活性劑的示例包括surflons-111，s-112，s-113，s121，s131，s132，s-141，s-145(由asahiglassco.制造)。陰離子表面活性劑的示例包括烷基芳基或烷基萘磺酸鹽，烷基磷酸鹽，烷基硫酸鹽，烷基磺酸鹽，烷基醚硫酸鹽，烷基磺基琥珀酸鹽，烷基酯硫酸鹽，烷基苯磺酸鹽，烷基二苯基醚二磺酸鹽，烷基芳基醚磷酸鹽，芳基醚硫酸鹽，烷基芳基醚酯硫酸鹽，烯烴磺酸鹽，烷烴烯烴磺酸鹽，聚氧乙烯烷基醚磷酸酯，聚氧乙烯烷基醚硫酸酯鹽，醚羧酸鹽，磺基琥珀酸鹽，α-磺基水楊酸酯，脂肪酸鹽，高級(jí)脂肪酸和氨基酸的縮合產(chǎn)物和環(huán)烷酸鹽。陽離子表面活性劑的示例包括烷基胺鹽，二烷基胺鹽，脂族胺鹽，苯扎氯銨鹽，季銨鹽，烷基吡啶鹽，咪唑啉鎓鹽，锍鹽和鏻鹽。非離子表面活性劑的示例包括聚氧乙烯烷基醚，聚氧乙烯烷基烯丙基醚，聚氧乙烯烷基苯基醚，聚氧乙烯乙二醇酯，聚氧乙烯脂肪酸酰胺，聚氧乙烯脂肪酸酯，聚氧乙烯聚氧丙烯二醇，甘油酯，脫水山梨醇酯，蔗糖酯，聚氧乙烯醚的甘油酯，脫水山梨醇酯的聚氧乙烯醚，山梨糖醇酯的聚氧化乙烯醚，脂肪酸烷醇酰胺，氧化胺，聚氧乙烯烷基胺，甘油脂肪酸酯，脫水山梨醇脂肪酸酯，聚氧乙烯山梨糖醇酐脂肪酸酯，聚氧乙烯山梨糖醇脂肪酸酯，(多)糖苷。兩性表面活性劑的示例包括咪唑啉衍生物，例如咪唑啉甜菜堿，二甲基烷基月桂基甜菜堿，烷基甘氨酸和烷基二(氨基乙基)甘氨酸。-其他添加劑-其他添加劑包括例如ph調(diào)節(jié)劑和防腐防霉劑。ph調(diào)節(jié)劑的示例包括堿金屬元素如氫氧化鋰、氫氧化鈉和氫氧化鉀的氫氧化物；堿金屬碳酸鹽如碳酸鋰、碳酸鈉和碳酸鉀；胺如氫氧化季銨，二乙醇胺和三乙醇胺；氫氧化銨；和季鏻氫氧化物。防腐防霉劑的示例包括1,2-苯并異噻唑啉-3-酮，苯甲酸鈉，脫氫乙酸鈉，山梨酸鈉，五氯苯酚鈉和2-吡啶硫醇-1-氧化物鈉。-樹脂-必要時(shí)添加樹脂，以改善圖像定影，圖像質(zhì)量和顏料分散質(zhì)量。樹脂的示例包括以下親水性聚合物。天然親水性聚合物包括植物聚合物如阿拉伯樹膠，黃蓍膠，瓜爾膠，刺梧桐樹膠，刺槐豆膠，阿拉伯半乳聚糖，果膠和榅桲種子淀粉；海藻聚合物如藻酸，角叉菜膠和瓊脂；動(dòng)物聚合物如明膠，酪蛋白，白蛋白和膠原蛋白；微生物聚合物如黃原膠和葡聚糖。半合成親水性聚合物包括纖維素聚合物如甲基纖維素，乙基纖維素，羥乙基纖維素，羥丙基纖維素和羧甲基纖維素；淀粉聚合物如淀粉羥乙酸鈉和淀粉磷酸鈉酯；和海藻聚合物如藻酸鈉和丙二醇藻酸酯。純合成親水性聚合物包括聚丙烯酸，聚甲基丙烯酸，丙烯酸-丙烯腈共聚物，乙酸乙烯酯-丙烯酸酯共聚物，丙烯酸-丙烯酸烷基酯共聚物，苯乙烯-丙烯酸共聚物，苯乙烯-甲基丙烯酸共聚物，苯乙烯-丙烯酸丙烯酸烷基酯共聚物，苯乙烯-甲基丙烯酸-丙烯酸烷基酯共聚物，苯乙烯-α-甲基苯乙烯-丙烯酸共聚物，丙烯酸烷基酯共聚物，苯乙烯-馬來酸共聚物，乙烯基-馬來酸共聚物，乙酸乙烯酯-乙烯共聚物，乙酸乙烯酯-脂肪酸乙烯基乙烯共聚物，乙酸乙烯酯-馬來酸酯共聚物，乙酸乙烯酯-巴豆酸共聚物，乙酸乙烯酯-丙烯酸共聚物及其鹽。在必要時(shí)考慮其可靠性來確定這些類型的樹脂的添加量。此外，近年來，除了溶解在溶劑中的樹脂以外，在許多情況下使用所謂的將細(xì)顆粒分散在溶劑中的樹脂乳液。在樹脂乳液中，樹脂微粒作為連續(xù)相分散在溶劑中。必要時(shí)，可以在樹脂乳液中包含表面活性劑等分散劑。作為分散相的組分的樹脂微粒的含量(樹脂乳液中的樹脂微粒的含量)通常為10-70重量％?？紤]到噴墨記錄設(shè)備的應(yīng)用，樹脂微粒的平均粒徑優(yōu)選為10-1000nm，更優(yōu)選為20-300nm。然而，樹脂微粒的平均粒徑?jīng)]有特別限定。分散相中的樹脂微粒的組分(component)的示例包括丙烯酸樹脂，乙酸乙烯酯樹脂，苯乙烯樹脂，丁二烯樹脂，苯乙烯-丁二烯樹脂，氯乙烯樹脂，丙烯酸苯乙烯樹脂和丙烯酸硅樹脂。雖然丙烯酸硅樹脂特別有效，但是一種類型的樹脂細(xì)顆粒沒有特別限制。樹脂細(xì)顆粒的組分用于當(dāng)使用已知的顆粒時(shí)確?？煽啃浴？梢允褂檬惺鄣臉渲橐?。油墨中的樹脂微粒的含量通常為0.1-50重量％，優(yōu)選為0.5-20重量％，更優(yōu)選為1-10％。然而，油墨中的樹脂微粒的含量沒有特別限制。-靜態(tài)表面張力-在本發(fā)明的實(shí)施例中使用的油墨優(yōu)選包括上述的氟表面活性劑并且具有30×10-2n/m或更小的靜態(tài)表面張力。當(dāng)制備具有30×10-2n/m或更小的靜態(tài)表面張力的油墨時(shí)，可以使用一定量的諸如2-乙基-1,3-己二醇的滲透劑和一定添加量的氟表面活性劑來調(diào)節(jié)靜態(tài)表面張力。如果靜態(tài)表面張力為30×10-2n/m或更小，則可以提高用于記錄介質(zhì)的油墨的滲透性并可獲得高質(zhì)量的圖像。例如，可以使用zisman方法獲得表面張力的值。根據(jù)該方法，將表面張力已知的液體滴落到防液膜42上，測量接觸角θ，并將液體的表面張力繪制在x軸上，并將cosθ繪制在y軸上，得到右側(cè)下降的直線(稱為zisman圖)。根據(jù)該直線，可以計(jì)算作為臨界表面張力γc的y＝1(θ＝0°)的表面張力。除了上述方法之外，還可以使用fowkes方法，owens和wendt方法或vanoss方法獲得臨界表面張力的值。在下文中，將通過比較示例描述本發(fā)明的具體示例。(示例1-3，比較示例1)拋光其中形成具有直徑為25μm的噴嘴孔41的不銹鋼噴嘴基部構(gòu)件40的排出表面的表面。使用超精密振蕩型的單側(cè)拋光機(jī)(由ebaraco.制造的cmp拋光機(jī))進(jìn)行拋光，同時(shí)在10kpa的拋光壓力下擠壓聚氨酯墊。當(dāng)進(jìn)行拋光時(shí)，為其中分散氧化鋁拋光粉末的液體的polipla103(由fujimico.制造)用4倍純水(體積比，polipla103∶純水＝1∶3)稀釋，并施加到正在拋光的部分上同時(shí)不銹鋼噴嘴板以50rpm的旋轉(zhuǎn)速度旋轉(zhuǎn)。在這種情況下，確認(rèn)排出表面的表面被拋光直到排出表面的表面粗糙度ra變?yōu)?.1μm或更小。使用根據(jù)jis0601的探針型表面形狀測量裝置dektak-150(由ulvacco.制造)測量所述表面粗糙度ra。通過調(diào)節(jié)拋光時(shí)間和壓力來控制噴嘴孔41內(nèi)的直部分43的長度。表1示出了拋光時(shí)間和壓力。[表1]示例1示例2示例3比較示例1拋光時(shí)間(分鐘)361020壓力(千克-重量)105105直部分長度l(μm)8.008.003.003.00接下來，使用由yamatoscientificco.制造的等離子體處理裝置pdc-510，以500w和0.0012g/s持續(xù)1分鐘，使不銹鋼噴嘴基部構(gòu)件40的排出表面進(jìn)行氧等離子體工藝。接下來，fluorosurffg5020(由fluorotechnologyco.制造)被用作全氟聚醚并用氟溶劑(由sumitomo3mco.制造的novechfe7100)稀釋以實(shí)現(xiàn)0.2重量％。這作為浸漬液體被施加到噴嘴基部構(gòu)件40的排出表面。在本申請(qǐng)中，將噴嘴基部構(gòu)件40浸入溶液中，以3mm/s的取出速度取出。如表2中所示的，通過改變等離子體處理時(shí)間和取出速度，具有不同膜量的全氟聚醚防液膜42形成到示例1-3和比較示例1中。[表2]防液膜42的膜厚度為12nm。膜形成之后，使用novechfe7100(由sumitomo3mco.制造)的溶劑進(jìn)行超聲波清洗5分鐘。其上以這種方式形成有防液膜42的噴嘴基部構(gòu)件40的噴嘴表面(排出表面)用icrostape(mitsuichemicalsco.)保護(hù)。然后，使用等離子體處理裝置pdc-510(由yamatoscientificco.制造)用氧等離子體(0.0012g/s持續(xù)1分鐘)照射噴嘴基部構(gòu)件40，用于反向?yàn)R射，從而移除附著于噴嘴孔41的液體室表面和內(nèi)部噴嘴壁41a的防液膜42。接下來，噴嘴基部構(gòu)件40和通道板2在彼此壓靠的同時(shí)在70℃下被加熱5個(gè)小時(shí)，以便通過冷凝固環(huán)氧樹脂粘合劑結(jié)合。此處使用的冷凝固環(huán)氧樹脂粘合劑是ae-901系列(由ajinomotofine-technoco.制造)，其不在室溫下凝固，但在60-100℃下開始凝固。使用等離子處理時(shí)間和從浸漬液體的取出速度來調(diào)節(jié)從噴嘴板1的表面(排出表面)到內(nèi)部噴嘴壁41a的純水彎液面的距離x(μm)。處理時(shí)間、取出速度和距離x(μm)如表2所示。根據(jù)上述工藝，制備示例1-3和比較示例1的噴嘴板1。表3示出了示例1-3和比較示例1的噴嘴板1是否滿足上述公式(1)的確定結(jié)果和公式(1)中的各部分的尺寸。圖9示出了示例1-3和比較示例1的噴嘴板1中的噴嘴孔形狀和純水的彎液面位置之間的關(guān)系。[表3]測量為示例1-3和比較示例1準(zhǔn)備的噴嘴板1的彎液面位置和曲線排出量。(彎液面位置的測量)圖10是用于測量純水的彎液面位置的方法的圖。圖10(a)是示出測量的整個(gè)部分的示意圖。圖10(b)是圖10(a)中的區(qū)段e的放大圖。圖10(c)是圖10(b)中的區(qū)段f的放大圖。純水使用滴管被滴在載玻片上并且噴嘴板1被放置在載玻片上，使得純水與液體室表面接觸。當(dāng)純水與噴嘴板1的液體室表面接觸時(shí)，液體室表面包括噴嘴孔41的開口，純水的彎液面停留在噴嘴孔41的直部分43中。使用激光顯微鏡觀察噴嘴孔41中由毛細(xì)管力升高的水面位置，并且從噴嘴板1的防液膜42的表面到水面位置的距離被限定為純水的彎液面位置。(曲線排出量的測量)使用測量噴墨著陸位置的裝置和觀察墨滴排出方向的裝置可以測量曲線排出量。例如，使用jetscope(由microjetco.制造)進(jìn)行測量。通過打印用于ricohgx-3000(由ricoh，co.制造的噴墨打印機(jī))的噴嘴檢查圖案來進(jìn)行評(píng)估。將正確的排出位置和實(shí)際排出位置之間的差作為曲線排出量(μm)測量。用于評(píng)估的油墨組合物如下。將如下制備的組合物在60℃下攪拌并溶解，在室溫下放置冷卻后，使用氫氧化鋰10％溶液調(diào)節(jié)至ph9-10，經(jīng)0.22μm的過濾器過濾，從而制備油墨1。油墨1的靜態(tài)表面張力為30×10-3n/m。-油墨1的制備-表4示出了測量結(jié)果。[表4]示例1示例2示例3比較示例1彎液面位置(μm)0.460.46曲線排出量(σ)(μm)10.18.79.326.3從該結(jié)果可以看出，與滿足公式(1)的示例1-3相比，不滿足公式(1)的比較示例1具有顯著的排出方向的不均勻性。如表4中所示的，在滿足公式(1)的示例1-3中，彎液面始終能夠保持“在噴嘴孔41的直部43內(nèi)”。相比之下，在不滿足公式(1)的比較示例1中，彎液面定位成穿過“噴嘴孔41的直部分43”和“直部分43與錐形部分44之間的邊界”。因此，認(rèn)為在彎液面和噴嘴板1的表面之間形成的角度是不穩(wěn)定的，結(jié)果排出是不穩(wěn)定的。在下文中，對(duì)防液膜42的膜厚度進(jìn)行描述。當(dāng)包括pfpe的防液膜42的膜厚度增加時(shí)，流入噴嘴孔41中的防液膜42的防液材料的量增加。相比之下，如果包括pfpe的防液膜42的膜厚度減小，則當(dāng)使用擦拭器構(gòu)件進(jìn)行擦拭時(shí)防液膜42會(huì)劣化，并且在防液膜42的性能將在執(zhí)行所需的擦拭次數(shù)之前失去。根據(jù)ft-ir反射吸收光譜(ras)測量包括pfpe的防液膜42的膜厚度?；谒@得的紅外吸收光譜的1333cm-1附近出現(xiàn)的峰基線和吸收波形的峰高度與膜厚度成比例的事實(shí)計(jì)算膜厚度。隨著防液膜42的厚度增加，ir-ras中的峰高度顯示出較高的值。圖11是示出x軸表示ir-ras中的峰高度以及y軸表示純水的彎液面位置的圖的結(jié)果的曲線圖。根據(jù)所述結(jié)果，純水的彎液面位置穩(wěn)定上升，直到ir-ras中的峰高度為0.025，但是隨著峰高度變得越大，特別是近0.04，純水的彎液面位置大大下降。因此，對(duì)于防液膜42的膜厚度，ir-ras中的峰高度優(yōu)選為0.025或更小。相比之下，如果防液膜42的膜厚度在xps中低于45fatm％，則防液性趨向于在擦拭時(shí)立即減小。估計(jì)這是因?yàn)榉酪耗?2的pfpe不能覆蓋噴嘴基部構(gòu)件40。因此，防液膜42的膜厚度優(yōu)選為在xps測量中的45fatm％或更大。在下文中，參照?qǐng)D12a和12b描述在直部分43和錐形部分44之間的邊界41b的不均勻性以及形成在噴嘴板1中的多個(gè)噴嘴之中的彎液面位置的不均勻性。這里使用的噴嘴板1的直部分43的長度l為5(μm)，作為期望值(設(shè)計(jì)值)。與該期望值(設(shè)計(jì)值)相比較，測量實(shí)際噴嘴的直部分43的長度l。圖12a是示出該測量結(jié)果的曲線圖，其中縱軸表示直部43的長度，橫軸表示具有相同長度的噴嘴數(shù)(計(jì)數(shù))。與以該方式的直部分43的長度l的期望值以及直部分43的傾斜度(α°)的不均勻性相比，存在實(shí)際長度l的不均勻性。鑒于此，當(dāng)噴嘴4被供應(yīng)純水時(shí)，通過將純水的彎液面定位在直部分43中，可以相對(duì)于如圖12b中所示的期望值將油墨的彎液面的范圍定位在直部分43的實(shí)際長度l的不均勻性的范圍之外。根據(jù)此，形成在噴嘴板1上的多個(gè)噴嘴4之間的彎液面位置變?yōu)榉€(wěn)定的并且液滴排出特性的不均勻性降低。在下文中，參照?qǐng)D13描述根據(jù)本發(fā)明的噴嘴板1的第二實(shí)施例。圖13是根據(jù)第二實(shí)施例的噴嘴板1的一個(gè)噴嘴的放大截面圖。在根據(jù)本實(shí)施例的噴嘴板1中，基部構(gòu)件48包括噴嘴基部構(gòu)件40和至少形成在噴嘴基部構(gòu)件40的液滴排出表面40a和內(nèi)部噴嘴壁41a上的基膜49?；?9是增加防液膜42和噴嘴基部構(gòu)件40(包括在基部構(gòu)件48中)之間的粘合性的膜?；?9的示例包括sio2膜，ti膜和包含hf、ta或zr的膜。在本實(shí)施例中，噴嘴孔41包括直部分43，該直部分43是從液滴排出表面40a延伸并具有恒定直徑的直孔。防液膜42中所含的防液基團(tuán)(在這種情況下為氟原子42a)粘合到包括噴嘴孔41的直部分43的內(nèi)部噴嘴壁41a。當(dāng)噴嘴被供給純水時(shí)，純水的彎液面停留在直部分43中。例如，在本實(shí)施例中，在內(nèi)部噴嘴壁41a上調(diào)整其中與純水的靜態(tài)接觸角θ為90°或更大的區(qū)域，使得該區(qū)域僅存在于直部分43(直孔)的壁部分43a上，并且沒有存在于直部分43以外的部分上。具體地說，其中與純水的靜態(tài)接觸角θ為90°或更大的區(qū)域存在于直部分43的壁部分43a上，并且從直部分43和錐形部分44之間的邊界41b到錐形部分44的壁部分44a并不存在。包括根據(jù)本實(shí)施例的噴嘴板1的液體排出頭的示例與上述的是相同的。在下文中，參照?qǐng)D14-18描述根據(jù)本發(fā)明的噴嘴板1的第三實(shí)施例。圖14是根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施例的噴嘴板1的平面圖。圖15是沿圖14的c-c線截得的放大截面圖。圖16是噴嘴板1的噴嘴基部構(gòu)件40的平面圖。圖17是沿圖16的d-d線截得的放大截面圖。圖18是示出其中在噴嘴基部構(gòu)件40中形成凹部的區(qū)域的平面圖。在本實(shí)施例中，在噴嘴基部構(gòu)件40的液滴排出表面40a上形成有多個(gè)凹部(以下稱為“凹坑(dimples)”)143。雖然凹坑143的布置為了在附圖中便于描述進(jìn)行了簡化，但是多個(gè)凹坑143形成并布置在其上布置有多個(gè)噴嘴4的噴嘴線周圍。凹坑143的直徑大于噴嘴孔41的直徑。優(yōu)選地，凹坑143的壁具有彎曲形狀。進(jìn)一步地，凹坑143形成在圍繞噴嘴孔41的區(qū)域40b外部的區(qū)域40c中，如圖18中所示的。具體地，凹坑143形成在距噴嘴孔41的中心至少150μm的區(qū)域中。進(jìn)一步地，當(dāng)形成凹坑143時(shí)所述噴嘴基部構(gòu)件40的表面粗糙度ra為0.1μm或更小。防液膜42是通過向噴嘴基部構(gòu)件40的液滴排出表面40a施加具有流動(dòng)性的防液材料形成的，所述防液材料是在其分子中具有全氟聚醚(pfpe)骨架的化合物。在此情況下，形成防液膜42的防液材料在凹坑143中保持具有流動(dòng)性。換句話說，在凹坑143中，當(dāng)防液膜42的分子在與噴嘴基部構(gòu)件40的邊界表面處被結(jié)合到噴嘴基部構(gòu)件40時(shí)，不是位于與噴嘴基部構(gòu)件40的邊界表面的分子(防液膜42的表面?zhèn)?，即在防液?2的表面和與噴嘴基部構(gòu)件40的邊界表面之間)處于自由狀態(tài)。此外，如果噴嘴基部構(gòu)件40包括基膜49，則“與噴嘴基部構(gòu)件40的邊界表面”是指與基膜49的邊界表面。凹坑143優(yōu)選具有例如80-120μm的直徑和2-4μm的深度。進(jìn)一步地，凹坑143優(yōu)選地在其內(nèi)壁上具有平緩的傾斜。在用于排出液體的設(shè)備中，該設(shè)備使用包括根據(jù)本實(shí)施例的噴嘴板1的液體排出頭，用于擦拭的包括彈性構(gòu)件的擦拭器構(gòu)件422(參照?qǐng)D19)在如下所述的噴嘴表面(在此情況下為防液膜42的表面)上執(zhí)行擦拭操作，以便維持和恢復(fù)液體排出頭的性能。在此情況下，當(dāng)擦拭器構(gòu)件422進(jìn)入凹坑143時(shí)，具有保持在凹坑143中的流動(dòng)性的用于防液膜42的防液材料被刮掉。因此，即使在噴嘴4周圍的防液膜42變薄或者在擦拭操作之后被移除，從凹坑143刮掉的防液材料圍繞噴嘴4移動(dòng)以恢復(fù)防液膜42。根據(jù)此，可以防止隨時(shí)間的推移伴隨著擦拭操作的防液膜42的防液性下降，并且維持防液性一增加的時(shí)間段。包括根據(jù)本實(shí)施例的噴嘴板1的液體排出頭的示例與上述的是相同的。在下文中，參考圖9-20描述根據(jù)本發(fā)明的用于排出液體的設(shè)備的示例。圖19是示出該設(shè)備的主元件的平面圖。圖20是示出該設(shè)備的主元件的側(cè)視圖。該設(shè)備是串行類型的。滑架403在主掃描方向上通過主掃描移動(dòng)機(jī)構(gòu)493驅(qū)動(dòng)而往復(fù)運(yùn)動(dòng)。主掃描移動(dòng)機(jī)構(gòu)493包括引導(dǎo)構(gòu)件401，主掃描電機(jī)405，同步帶408等。引導(dǎo)構(gòu)件401安裝在左右側(cè)板491b和491a之間，并以可移動(dòng)方式保持滑架403?；?03通過主掃描電機(jī)405經(jīng)由拉伸并安裝在驅(qū)動(dòng)滑輪406和從動(dòng)滑輪407之間的同步帶408在主掃描方向上往復(fù)運(yùn)動(dòng)。在滑架403上，安裝有液體排出裝置440，其中集成有根據(jù)本發(fā)明的包括根據(jù)本發(fā)明的噴嘴板1和頭箱441的液體排出頭404。液體排出裝置440的液體排出頭404例如排出黃色(y)，青色(c)，品紅色(m)和黑色(k)的顏色的液體。進(jìn)一步地，液體排出頭404具有沿與主掃描方向正交的副掃描方向布置的噴嘴線，噴嘴線包括多個(gè)噴嘴并且被安裝在液體排出頭404上同時(shí)它的排出指向下方。頭箱441通過供給機(jī)構(gòu)494被供給儲(chǔ)存在液體盒450中的液體，所述供給機(jī)構(gòu)494給液體排出頭404供給存儲(chǔ)在液體排出頭404外部的液體。供給機(jī)構(gòu)494包括用作承載液體盒450的供給單元的盒保持器451，管456，具有液體發(fā)送泵的液體發(fā)送單元452等。液體盒450可拆卸地安裝在盒保持器451上。液體經(jīng)由管456通過液體發(fā)送單元452從液體盒450被發(fā)送到頭箱441。該設(shè)備包括輸送紙410的輸送機(jī)構(gòu)495。輸送機(jī)構(gòu)495包括用作輸送單元的輸送帶412和用于驅(qū)動(dòng)輸送帶412的副掃描電機(jī)416。輸送帶412在面向液體排出頭404的位置處吸引并輸送紙410。輸送帶412是環(huán)形帶并被拉伸并安裝在輸送輥413和張力輥414之間。吸引可以是靜電吸引或吸氣，例如。當(dāng)輸送輥413經(jīng)由同步帶417和同步滑輪418由副掃描電機(jī)416旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)時(shí)，輸送帶412沿副掃描方向周向移動(dòng)。進(jìn)一步地，維持和恢復(fù)所述液體排出頭404的維持和恢復(fù)機(jī)構(gòu)420設(shè)置成沿著滑架403的主掃描方向側(cè)向于輸送帶412。維持和恢復(fù)機(jī)構(gòu)420包括蓋住液體排出頭404的噴嘴表面(其中噴嘴得以形成)的帽構(gòu)件421，擦拭所述噴嘴表面的擦拭器構(gòu)件422等。主掃描移動(dòng)機(jī)構(gòu)493，供給機(jī)構(gòu)494，維持和恢復(fù)機(jī)構(gòu)420和輸送機(jī)構(gòu)495被安裝在包括側(cè)板491b和491a及背板491c的的外殼上。在以此方式構(gòu)造的設(shè)備中，紙410被供應(yīng)并被吸引到輸送帶412。紙410通過輸送帶412的周向運(yùn)動(dòng)沿副掃描方向被輸送。因此，通過根據(jù)圖像信號(hào)驅(qū)動(dòng)液體排出頭404同時(shí)在主掃描方向移動(dòng)所述滑架403，所述設(shè)備將液體排出到固定紙410上以形成圖像。由于該設(shè)備以此方式包括根據(jù)本發(fā)明的液體排出頭，所以該設(shè)備能夠以穩(wěn)定的方式形成高質(zhì)量的圖像。在下文中，參照?qǐng)D21描述根據(jù)本發(fā)明的另一液體排出裝置的示例。圖21是示出排液裝置的主元件的平面圖。該液體排出裝置包括構(gòu)成用于排出液體的設(shè)備的一些構(gòu)件。具體地，液體排出裝置包括具有側(cè)板491b和491a以及背板491c的外殼單元，主掃描移動(dòng)機(jī)構(gòu)493，滑架403和液體排出頭404。此外，還可以構(gòu)成液體排出裝置，所述維持和恢復(fù)收機(jī)構(gòu)420和供給機(jī)構(gòu)494中的至少一個(gè)被進(jìn)一步附連到所述液體排出裝置的側(cè)板491b。在下文中，參照?qǐng)D22描述根據(jù)本發(fā)明的又一液體排出裝置的示例。圖22是示出液體排出裝置的前視圖。該液體排出裝置包括其中安裝有通道部分444的液體排出頭404和連接到通道部分444的管456。此外，通道部分444被設(shè)置在蓋442內(nèi)?？梢园^箱441而不是通道部分444。進(jìn)一步地，與液體排出頭404電連接的連接器443被設(shè)置在通道部分444的上部部分上。在本發(fā)明中，“用于排出液體的設(shè)備”是包括液體排出頭或液體排出裝置并且通過驅(qū)動(dòng)液體排出頭來排出液體的設(shè)備。用于排出液體的設(shè)備不僅包括能夠?qū)⒁后w排出到可附著液體的物體上的設(shè)備，而且還包括將液體排出到氣體或液體中的設(shè)備。例如，“用于排出液體的設(shè)備”可以包括與可以附著液體的物體的供應(yīng)、輸送或噴射相關(guān)的單元，預(yù)處理單元或后處理單元。“用于排出液體的設(shè)備”的示例包括：圖像形成設(shè)備，其是用于通過排出油墨在紙上形成圖像的設(shè)備；以及立體成形設(shè)備(三維造型設(shè)備)，其將成形液體排出到粉末層中，其中粉末形成一層以便形成立體形狀的物體(三維造型物體)。進(jìn)一步地，“用于排出液體的設(shè)備”不限于排出液體來顯示具有意義的字符或圖形的設(shè)備。例如，形成不具有意義的圖案等的設(shè)備以及成形三維圖像的設(shè)備也包括在“用于排出液體的設(shè)備”中。上述的“液體可以附著的物體”是指可以至少臨時(shí)附著液體的物體。用于“液體可以附著的物體“的材料可以是任何類型的，例如紙，繩，纖維，布或織物，皮革，金屬，塑料，玻璃，木材，陶瓷等，只要液體可以是至少暫時(shí)附著在其上。進(jìn)一步地，“液體”的示例包括油墨，處理液體，dna樣品，抗蝕劑，圖案材料，粘合劑，成形液體等?！庇糜谂懦鲆后w的設(shè)備“包括移動(dòng)液體排出頭的串聯(lián)型設(shè)備和不移動(dòng)液體排出頭的線型設(shè)備，除非特別指出。進(jìn)一步地，“用于排出液體的設(shè)備”的其他示例包括將處理液體排出到紙上以便為了改善紙的表面而將處理液體涂覆到紙的表面的處理液涂覆設(shè)備，例如，注射造粒設(shè)備，其通過噴嘴將原料分散在溶液中的組合物液體噴射，以便對(duì)原料的細(xì)顆粒進(jìn)行造粒?！耙后w排出裝置”包括與功能部件或機(jī)構(gòu)集成的液體排出頭?！耙后w排出裝置”是與液體排出有關(guān)的部件的集合體?！耙后w排出裝置”的示例包括與頭箱、滑架、供給機(jī)構(gòu)、維持和恢復(fù)機(jī)構(gòu)以及主掃描移動(dòng)機(jī)構(gòu)中的至少一個(gè)特征相結(jié)合的液體排出頭。在此的集成包括其中液體排出頭和功能部件或機(jī)構(gòu)通過連結(jié)，結(jié)合，接合等相對(duì)于彼此固定的這樣的情況，以及其中一個(gè)可移動(dòng)地被另一個(gè)保持的情況。進(jìn)一步地，液體排出頭、功能部件和機(jī)構(gòu)可以被構(gòu)造成是彼此可拆卸的。例如，在液體排出裝置中，液體排出頭和頭箱可以如圖20中所示的液體排出裝置440中那樣集成。進(jìn)一步地，液體排出頭和頭箱可以通過例如經(jīng)由管彼此連接而被集成。在此情況下，可以在液體排出裝置的液體排出頭和頭箱之間另外設(shè)置包括過濾器的單元。進(jìn)一步地，在液體排出裝置中，液體排出頭可以與滑架集成在一起。進(jìn)一步地，在液體排出裝置中，液體排出頭可以由構(gòu)成主掃描移動(dòng)機(jī)構(gòu)的引導(dǎo)構(gòu)件可移動(dòng)地保持，使得液體排出頭與主掃描移動(dòng)機(jī)構(gòu)集成在一起。進(jìn)一步地，在液體排出裝置中，液體排出頭，滑架和主掃描移動(dòng)機(jī)構(gòu)可以如圖21中所示的那樣被集成在一起。進(jìn)一步地，在液體排出裝置中，用作維持和恢復(fù)機(jī)構(gòu)的一部分的帽構(gòu)件可以被固定在其中安裝有液體排出頭的滑架上，使得液體排出頭，滑架及維持和恢復(fù)機(jī)構(gòu)被集成在一起。進(jìn)一步地，在液體排出裝置中，管被連接到其中安裝有頭箱或通道部分的液體排出頭，使得液體排出頭和供給機(jī)構(gòu)如圖22中所示的被集成在一起。主掃描移動(dòng)機(jī)構(gòu)可以包括單個(gè)引導(dǎo)構(gòu)件。供給機(jī)構(gòu)可以包括單個(gè)管或供給單元。用于“液體排出頭”的壓力產(chǎn)生單元不受限制。例如，不是如在上述實(shí)施例中的壓電致動(dòng)器(也可以使用層疊型壓電元件)，包括電熱轉(zhuǎn)換元件(例如加熱電阻器)的熱致動(dòng)器或包括振動(dòng)板和對(duì)電極的靜電致動(dòng)器可以被使用。進(jìn)一步地，在本發(fā)明中，諸如圖像形成、記錄、字符打印、圖像打印、打印、成形、造型等術(shù)語是同義詞。本發(fā)明不限于具體公開的實(shí)施例，而是可以在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下進(jìn)行各種變化和修改。本申請(qǐng)基于2014年10月25日提交的日本優(yōu)先權(quán)專利申請(qǐng)?zhí)?142-217870和2015年7月24日提交的日本優(yōu)先權(quán)專利申請(qǐng)?zhí)?015-146971并要求它們的優(yōu)先權(quán)的權(quán)益，其全部內(nèi)容通過引用并入本文。附圖標(biāo)記列表1噴嘴板2通道板3振動(dòng)板構(gòu)件4噴嘴6單獨(dú)的液體室8液體引入部分10公共的液體室12壓電構(gòu)件20框架構(gòu)件40噴嘴基部構(gòu)件41噴嘴孔41a內(nèi)部噴嘴壁42防液膜43直部分44錐形部分43a,44a壁部分403滑架404液體排出頭440液體排出裝置當(dāng)前第1頁12