專利名稱：一種用于光罩定位的機(jī)械臂的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種用于光罩定位的機(jī)械臂技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體器件生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種用于光罩定位的機(jī)械臂。
背景技術(shù)：
[0002]隨著社會經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，人類生活已經(jīng)進(jìn)入了數(shù)字化時代，眾多的數(shù)字化產(chǎn)品給人們帶來方便的同時，也讓人得以享受高科技的文明進(jìn)步成果，比如，電腦、手機(jī)、汽車、影音設(shè)備等與我們生活息息相關(guān)的產(chǎn)品。而這一切都源于集成電路技術(shù)的飛速發(fā)展。[0003]現(xiàn)有集成電路的生產(chǎn)包括一系列工藝，其中，光刻是制造半導(dǎo)體器件和大規(guī)模集成電路的關(guān)鍵工藝之一。它是利用光學(xué)-化學(xué)反應(yīng)原理和化學(xué)、物理刻蝕的方法，將光罩上的電路圖形傳遞到涂有光刻膠的單晶表面或介質(zhì)上，以便形成有效圖形窗口或功能圖形。 在集成電路制備過程中，將光罩由存儲柜(例如，DMS reticle stocker)中取出或存入通常都是依靠機(jī)械臂。[0004]圖I示出了一種現(xiàn)有機(jī)械臂。該機(jī)械臂前端兩分支上分別設(shè)置有一個定位部件 (即pin)b，用于卡固光罩。由于該定位部件固定在機(jī)械臂上，一旦光罩受到撞擊或者擠壓， 就容易被擠破或者從機(jī)械臂上掉落下來。而一旦光罩受損，重新生產(chǎn)和驗(yàn)證光罩需要相當(dāng)長的時間，這樣將會給生產(chǎn)帶來很大損失。而且，在一些集成電路生產(chǎn)廠商中，都曾發(fā)生過光罩由機(jī)械臂上掉落以致被損壞的事件。[0005]因此，如何保護(hù)光罩的安全，防止處于機(jī)械臂上的光罩因受到擠壓碰撞而受損，是本領(lǐng)域技術(shù)人員需要解決的課題。實(shí)用新型內(nèi)容[0006]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于光罩定位的機(jī)械臂，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中剛性結(jié)構(gòu)不能吸收撞擊或擠壓能量而導(dǎo)致光罩受損的問題。[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種用于光罩定位的機(jī)械臂， 所述用于定位光罩的機(jī)械臂至少包括[0008]機(jī)械臂本體；[0009]設(shè)置在所述機(jī)械臂本體上的定位件，用于固定光罩；[0010]設(shè)置在所述機(jī)械臂本體上的連接件，其與所述定位件相連接，并能使所述定位件在活動空間移動。[0011]優(yōu)選地，所述活動空間包括在所述機(jī)械臂上相對于所述定位件及連接件開設(shè)的通孔。[0012]優(yōu)選地，所述通孔為長方形。[0013]依據(jù)本實(shí)用新型所提供的用于光罩定位的機(jī)械臂，在所述機(jī)械臂上開設(shè)有用于容置所述連接件的槽體。[0014]優(yōu)選地，所述槽體為半圓形。[0015]依據(jù)本實(shí)用新型所提供的用于光罩定位的機(jī)械臂，所述連接件包括與所述定位件 相連接的伸縮件。優(yōu)選地，所述伸縮件包括容置在所述槽體中的壓縮彈簧、和一端連接于壓縮彈簧、 另一端連接所述定位件的活塞。優(yōu)選地，活塞的材料為鋁。優(yōu)選地，在所述機(jī)械臂本體上開設(shè)有用于容置所述活塞的孔體。優(yōu)選地，連接孔為方形。優(yōu)選地，所述伸縮件還包括固定于所述槽體上的蓋體。如上所述，本實(shí)用新型的用于光罩定位的機(jī)械臂，具有以下有益效果減小光罩被 擠破或者從機(jī)械臂上墜落的幾率，降低光罩受損害程度。

圖1顯示為現(xiàn)有技術(shù)中光罩定位的機(jī)械臂俯視圖。圖2顯示為本實(shí)用新型光罩定位的機(jī)械臂俯視圖。圖3顯示為通孔的俯視圖。圖4顯示為槽體的側(cè)視圖。圖5顯示為孔體的側(cè)視圖。圖6顯示為活塞的側(cè)視圖。圖7顯示為蓋體的側(cè)視圖。圖8顯示為本實(shí)用新型光罩定位的機(jī)械臂側(cè)視圖。元件標(biāo)號說明
1機(jī)械臂本體
2，b定位件
3連接件 31壓縮彈簧 ^2活塞
jj蓋體
4通孔
5槽體
6孔體
7光罩
具體實(shí)施方式
以下通過特定的具體實(shí)例說明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本實(shí)用新型還可以通過另外不同的具體實(shí)施方式
加以實(shí)施或應(yīng)用，本說明書中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在沒有背離本實(shí)用新型的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。[0033]請參閱圖2至圖7。需要說明的是，本實(shí)施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本實(shí)用新型的基本構(gòu)想，遂圖式中僅顯示與本實(shí)用新型中有關(guān)的組件而非按照實(shí)際實(shí)施時的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制，其實(shí)際實(shí)施時各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局型態(tài)也可能更為復(fù)雜。[0034]本實(shí)用新型提供了一種用于光罩定位的機(jī)械臂，所述用于光罩定位的機(jī)械臂至少包括機(jī)械臂本體I、定位件2及連接件3。[0035]所述機(jī)械臂本體I的前端呈U字形狀，在其U字形狀的兩個側(cè)支上都設(shè)置有定位件2和連接件3。機(jī)械臂本體I的材質(zhì)不限，優(yōu)選地，包括鋁合金、碳纖維復(fù)合材料等等。[0036]所述定位件2設(shè)置在所述機(jī)械臂本體I上，用于固定光罩7。[0037]所述連接件3設(shè)置在所述機(jī)械臂本體I上，與所述定位件2相連接，能使所述定位件2在活動空間移動。[0038]優(yōu)選地，可在所述機(jī)械臂本體I上開設(shè)槽體5，用于容置所述連接件3。[0039]例如,如圖4所示,所述槽體5包括半圓形沉槽,該沉槽的半徑為3_。[0040]優(yōu)選地,所述連接件3包括與所述定位件2相連接的伸縮件。在本實(shí)施例中,所述伸縮件包括容置在半圓形沉槽中的壓縮彈簧31和活塞32。其中，所述活塞32 —端連接所述壓縮彈簧32、另一端連接所述定位件2。優(yōu)選地，所述活塞32的材料包括但不限于鋁、鋁鈦合金或者錫鈦合金材料等等。[0041]作為一種優(yōu)選的結(jié)構(gòu)，所述槽體5還包括孔體6。所述孔體6開設(shè)在所述機(jī)械臂本體I上，用于容置所述活塞32，孔體6的形狀不限，優(yōu)選地，包括但不限于方形、圓形等等。[0042]例如,如圖5所示,孔體6呈方形,其尺寸為3mm*3mm。[0043]此外，所述伸縮件還包括固定于所述半圓形沉槽上的蓋體33，所述蓋體33形狀不限，優(yōu)選地，包括但不限于帶有凹槽的半圓形，且蓋體33上開有螺孔，通過螺釘或螺栓可將蓋體33固定在半圓形沉槽，防止壓縮彈簧31彈出。[0044]當(dāng)所述連接件包括前述容置在槽體5中的壓縮彈簧31及容置在孔體6中的活塞 32時，優(yōu)選地，在所述機(jī)械臂本體I上相對于所述定位件2及連接件3的位置開設(shè)通孔4，該通孔4作為定位件2的活動空間。所述通孔4的形狀不限，優(yōu)選地，包括但不限于長方形、 弧形等等。[0045]例如,如圖3所示,通孔4呈長方形,其尺寸為12mm*20mm。[0046]需要說明的是，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解，上述所述僅僅只是列示，而非對本實(shí)用新型的限制，事實(shí)上，任何具有伸縮性的伸縮件，例如伸縮桿等，均包含在本實(shí)用新型的范圍內(nèi)；此外，連接件不僅僅限于伸縮件，例如，還可包括導(dǎo)軌等。再請參閱圖8，當(dāng)置于機(jī)械臂的光罩7因受外力作用而產(chǎn)生箭頭方向的位移時，由于卡固光罩的定位件2通過活塞32 連接壓縮彈簧31，故定位件2因光罩7的移動而拉伸壓縮彈簧31，進(jìn)而自身也產(chǎn)生與光罩 7同方向的位移，由此可避免擠壓光罩7。[0047]綜上所述，本實(shí)用新型的用于光罩定位的機(jī)械臂所包含的定位件具有可移動性， 可把光罩受到的力傳遞給伸縮件，伸縮件能夠吸收撞擊或者擠壓的能量掉，從而減小光罩被擠破或者從機(jī)械臂上墜落的幾率，降低光罩受損害程度。所以，本實(shí)用新型有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)而具高度產(chǎn)業(yè)利用價值。[0048] 上述實(shí)施例僅例示性說明本實(shí)用新型的原理及其功效，而非用于限制本實(shí)用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下，對上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者在未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實(shí)用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
權(quán)利要求1.一種用于光罩定位的機(jī)械臂，其特征在于，所述用于定位光罩的機(jī)械臂至少包括 機(jī)械臂本體； 設(shè)置在所述機(jī)械臂本體上且用于固定光罩的定位件； 設(shè)置在所述機(jī)械臂本體上的連接件，其與所述定位件相連接，并能使所述定位件在活動空間移動。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于光罩定位的機(jī)械臂，其特征在于所述活動空間包括在所述機(jī)械臂本體上相對于所述定位件及連接件開設(shè)的通孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于光罩定位的機(jī)械臂，其特征在于所述通孔為長方形。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于光罩定位的機(jī)械臂，其特征在于在所述機(jī)械臂本體上開設(shè)有用于容置所述連接件的槽體。
5.根據(jù)權(quán)利要求I或4所述的用于光罩定位的機(jī)械臂，其特征在于所述連接件包括與所述定位件相連接的伸縮件。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于光罩定位的機(jī)械臂，其特征在于所述伸縮件包括容置在所述槽體中的壓縮彈簧、和一端連接所述壓縮彈簧、另一端連接所述定位件的活塞。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于光罩定位的機(jī)械臂，其特征在于在所述機(jī)械臂本體上開設(shè)有用于容置所述活塞的孔體。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于光罩定位的機(jī)械臂，其特征在于所述伸縮件還包括固定于所述槽體上的蓋體。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于光罩定位的機(jī)械臂，其特征在于活塞的材料為鋁。
10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于光罩定位的機(jī)械臂，其特征在于所述槽體為半圓形。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種用于光罩定位的機(jī)械臂。所述用于光罩定位的機(jī)械臂至少包括機(jī)械臂本體；設(shè)置在所述機(jī)械臂本體且用于固定光罩的定位件；固定在所述機(jī)械臂本體上的連接件，其與所述定位件相連接，并能使所述定位件在活動空間移動。本實(shí)用新型的定位件能在連接件的帶動下在活動空間移動，由此可有效吸收光罩受到撞擊或者擠壓時的能量，避免光罩被擠破甚至從機(jī)械手臂上掉下來，從而更好的保護(hù)產(chǎn)品，降低企業(yè)的損失。
文檔編號B25J15/00GK202805190SQ20122049516
公開日2013年3月20日 申請日期2012年9月25日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月25日
發(fā)明者胡文祥 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司