專(zhuān)利名稱(chēng):半導(dǎo)體制品檢驗(yàn)臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
半導(dǎo)體制品檢驗(yàn)臺(tái)技術(shù)領(lǐng)域[0001 ] 本申請(qǐng)涉及檢驗(yàn)臺(tái),尤其涉及半導(dǎo)體制品的檢驗(yàn)臺(tái)。
技術(shù)背景[0002]半導(dǎo)體制品在生產(chǎn)過(guò)程中需要進(jìn)行抽檢,傳統(tǒng)的檢驗(yàn)方式是抽取樣品進(jìn)行定點(diǎn)檢驗(yàn),多種不同型號(hào)的半導(dǎo)體制品在抽檢完成后往往出現(xiàn)混淆放置的情況,造成產(chǎn)品制造風(fēng)險(xiǎn)。而且抽檢人員折返次數(shù)與路程較長(zhǎng),影響了抽檢效率。另外,半導(dǎo)體制品在物流運(yùn)送過(guò)程中可能會(huì)出現(xiàn)損傷。實(shí)用新型內(nèi)容[0003]在下文中給出關(guān)于本實(shí)用新型的簡(jiǎn)要概述,以便提供關(guān)于本實(shí)用新型的某些方面的基本理解。應(yīng)當(dāng)理解,這個(gè)概述并不是關(guān)于本實(shí)用新型的窮舉性概述。它并不是意圖確定本實(shí)用新型的關(guān)鍵或重要部分,也不是意圖限定本實(shí)用新型的范圍。其目的僅僅是以簡(jiǎn)化的形式給出某些概念,以此作為稍后論述的更詳細(xì)描述的前序。[0004]本實(shí)用新型的一個(gè)主要目的在于提供一種可對(duì)半導(dǎo)體制品進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)檢驗(yàn)的可移動(dòng)的檢驗(yàn)臺(tái)。[0005]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面,一種半導(dǎo)體制品檢驗(yàn)臺(tái),包括[0006]移動(dòng)臺(tái)車(chē);[0007]檢驗(yàn)裝置,安裝在移動(dòng)臺(tái)車(chē)上;[0008]照明裝置,安裝在檢驗(yàn)裝置上;以及[0009]便攜電池,放置在移動(dòng)臺(tái)車(chē)上并連接至照明裝置以為照明裝置供電。[0010]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面,移動(dòng)臺(tái)車(chē)的底部安裝有多個(gè)可固定式萬(wàn)向輪。[0011]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面,移動(dòng)臺(tái)車(chē)上設(shè)置有防靜電腕帶插孔以及不銹鋼接地鏈。[0012]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面,檢驗(yàn)裝置包括承載底座以及位于承載底座上方的光學(xué)器件。[0013]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面,檢驗(yàn)裝置為顯微鏡。[0014]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面,照明裝置位于檢驗(yàn)裝置的承載底座的上方。[0015]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面,照明裝置包括環(huán)設(shè)在檢驗(yàn)裝置的光學(xué)器件下端用以向承載底座發(fā)光的多個(gè)發(fā)光二極管。[0016]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面,便攜電池為照明裝置提供12V直流電壓。[0017]本實(shí)用新型的半導(dǎo)體制品檢驗(yàn)臺(tái)可在抽檢時(shí)將移動(dòng)臺(tái)車(chē)移動(dòng)至待檢驗(yàn)半導(dǎo)體制品處,通過(guò)安裝在移動(dòng)臺(tái)車(chē)上的檢驗(yàn)裝置進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)抽檢,抽檢完成后可將制品放回原處,避免了與其它半導(dǎo)體制品的混淆放置、提高了抽檢效率同時(shí)不會(huì)造成物流引起的產(chǎn)品損壞。
3[0018]參照
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例的說(shuō)明,會(huì)更加容易地理解本實(shí)用新型的以上和其它目的、特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)。附圖中的部件只是為了示出本實(shí)用新型的原理。在附圖中, 相同的或類(lèi)似的技術(shù)特征或部件將采用相同或類(lèi)似的附圖標(biāo)記來(lái)表示。[0019]圖1為本實(shí)用新型半導(dǎo)體制品檢驗(yàn)臺(tái)一種實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施方式
[0020]下面參照附圖來(lái)說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施例。在本實(shí)用新型的一個(gè)附圖或一種實(shí)施方式中描述的元素和特征可以與一個(gè)或更多個(gè)其它附圖或?qū)嵤┓绞街惺境龅脑睾吞卣飨嘟Y(jié)合。應(yīng)當(dāng)注意,為了清楚的目的,附圖和說(shuō)明中省略了與本實(shí)用新型無(wú)關(guān)的、本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的部件和處理的表示和描述。[0021]參考圖1,本實(shí)用新型的半導(dǎo)體制品檢驗(yàn)臺(tái)的一種實(shí)施方式包括移動(dòng)臺(tái)車(chē)10、檢驗(yàn)裝置20、照明裝置30以及便攜電池40。[0022]可選地,移動(dòng)臺(tái)車(chē)10的底部安裝有多個(gè)可固定式萬(wàn)向輪12,如圖1所示,本實(shí)用新型的實(shí)施例中,移動(dòng)臺(tái)車(chē)10具有四個(gè)可固定式萬(wàn)向輪12,分別安裝在移動(dòng)臺(tái)車(chē)10底部的四個(gè)角處。[0023]可選地,移動(dòng)臺(tái)車(chē)10為不銹鋼材料制成。[0024]可選地,移動(dòng)臺(tái)車(chē)10上設(shè)置有防靜電腕帶插孔(圖中未示出)以及不銹鋼接地鏈 (圖中未示出)。[0025]檢驗(yàn)裝置20安裝在移動(dòng)臺(tái)車(chē)10上,用以檢驗(yàn)半導(dǎo)體制品??蛇x地,檢驗(yàn)裝置20 包括承載底座22以及位于承載底座22上方的光學(xué)器件M,承載底座22用于放置待檢驗(yàn)的半導(dǎo)體制品,檢驗(yàn)員可通過(guò)光學(xué)器件M觀察放置在承載底座22上的半導(dǎo)體制品,例如,觀察半導(dǎo)體制品的整體外觀、表面平整度等。[0026]可選地,檢驗(yàn)裝置20為顯微鏡。[0027]照明裝置30安裝在檢驗(yàn)裝置20上用以照亮檢驗(yàn)中的半導(dǎo)體制品。可選地,照明裝置30位于檢驗(yàn)裝置20的承載底座22的上方??蛇x地,照明裝置30包括環(huán)設(shè)在檢驗(yàn)裝置20的光學(xué)器件M下端用以向承載底座22發(fā)光的多個(gè)發(fā)光二極管。[0028]便攜電池20放置在移動(dòng)臺(tái)車(chē)10上并連接至照明裝置30以為照明裝置30供電。 可選地,便攜電池20為照明裝置30提供12V直流電壓。[0029]本實(shí)用新型的實(shí)施例的半導(dǎo)體制品檢驗(yàn)臺(tái)可移動(dòng)至待檢驗(yàn)半導(dǎo)體制品處進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)抽檢,抽檢完成后可將制品放回原處,避免了與其它半導(dǎo)體制品的混淆放置、提高了抽檢效率、同時(shí)不會(huì)造成物流弓丨起的產(chǎn)品損壞。[0030]在本實(shí)用新型的設(shè)備中,顯然,各部件是可以分解、組合和/或分解后重新組合的。這些分解和/或重新組合應(yīng)視為本實(shí)用新型的等效方案。同時(shí),在上面對(duì)本實(shí)用新型具體實(shí)施例的描述中,針對(duì)一種實(shí)施方式描述和/或示出的特征可以以相同或類(lèi)似的方式在一個(gè)或更多個(gè)其它實(shí)施方式中使用,與其它實(shí)施方式中的特征相組合,或替代其它實(shí)施方式中的特征。[0031]應(yīng)該強(qiáng)調(diào),術(shù)語(yǔ)“包括/包含”在本文使用時(shí)指特征、要素、步驟或組件的存在,但并不排除一個(gè)或更多個(gè)其它特征、要素、步驟或組件的存在或附加。[0032]雖然已經(jīng)詳細(xì)說(shuō)明了本實(shí)用新型及其優(yōu)點(diǎn),但是應(yīng)當(dāng)理解在不超出由所附的權(quán)利要求所限定的本實(shí)用新型的精神和范圍的情況下可以進(jìn)行各種改變、替代和變換。而且,本申請(qǐng)的范圍不僅限于說(shuō)明書(shū)所描述的過(guò)程、設(shè)備、手段、方法和步驟的具體實(shí)施例。本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員從本實(shí)用新型的公開(kāi)內(nèi)容將容易理解,根據(jù)本實(shí)用新型可以使用執(zhí)行與在此所述的相應(yīng)實(shí)施例基本相同的功能或者獲得與其基本相同的結(jié)果的、現(xiàn)有和將來(lái)要被開(kāi)發(fā)的過(guò)程、設(shè)備、手段、方法或者步驟。因此,所附的權(quán)利要求旨在在它們的范圍內(nèi)包括這樣的過(guò)程、設(shè)備、手段、方法或者步驟。
權(quán)利要求1.一種半導(dǎo)體制品檢驗(yàn)臺(tái),其特征在于,包括移動(dòng)臺(tái)車(chē);檢驗(yàn)裝置,安裝在所述移動(dòng)臺(tái)車(chē)上;照明裝置,安裝在所述檢驗(yàn)裝置上;以及便攜電池,放置在所述移動(dòng)臺(tái)車(chē)上并連接至所述照明裝置以為所述照明裝置供電。
2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制品檢驗(yàn)臺(tái),其特征在于,所述移動(dòng)臺(tái)車(chē)的底部安裝有多個(gè)可固定式萬(wàn)向輪。
3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制品檢驗(yàn)臺(tái),其特征在于,所述移動(dòng)臺(tái)車(chē)上設(shè)置有防靜電腕帶插孔以及不銹鋼接地鏈。
4.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制品檢驗(yàn)臺(tái),其特征在于,所述檢驗(yàn)裝置包括承載底座以及位于所述承載底座上方的光學(xué)器件。
5.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制品檢驗(yàn)臺(tái),其特征在于,所述檢驗(yàn)裝置為顯微鏡。
6.如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體制品檢驗(yàn)臺(tái),其特征在于,所述照明裝置位于所述檢驗(yàn)裝置的承載底座的上方。
7.如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體制品檢驗(yàn)臺(tái),其特征在于,所述照明裝置包括環(huán)設(shè)在所述檢驗(yàn)裝置的光學(xué)器件下端用以向所述承載底座發(fā)光的多個(gè)發(fā)光二極管。
8.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制品檢驗(yàn)臺(tái),其特征在于,所述便攜電池為所述照明裝置提供12V直流電壓。
專(zhuān)利摘要本申請(qǐng)涉及一種半導(dǎo)體制品檢驗(yàn)臺(tái),包括移動(dòng)臺(tái)車(chē);檢驗(yàn)裝置,安裝在移動(dòng)臺(tái)車(chē)上;照明裝置,安裝在檢驗(yàn)裝置上;以及便攜電池,放置在移動(dòng)臺(tái)車(chē)上并連接至照明裝置以為照明裝置供電。本實(shí)用新型避免了抽檢的半導(dǎo)體制品與其它半導(dǎo)體制品的混淆放置、提高了抽檢效率、同時(shí)不會(huì)造成物流引起的產(chǎn)品損壞。
文檔編號(hào)B25H5/00GK202259211SQ20112039657
公開(kāi)日2012年5月30日 申請(qǐng)日期2011年10月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月18日
發(fā)明者許海漸 申請(qǐng)人:南通富士通微電子股份有限公司