專利名稱：門的安全開關(guān)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及門的安全開關(guān)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及ー種門的安全開關(guān)裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體エ藝設(shè)備進(jìn)行半導(dǎo)體加工的過程中，對生產(chǎn)所處的微環(huán)境有特殊的要求，例如需要微環(huán)境具有較高的潔凈度和較低的含氧量等，以保證生產(chǎn)出的硅晶片質(zhì)量以及人身安全。因此對位于半導(dǎo)體エ藝設(shè)備上、用于隔絕微環(huán)境與外界環(huán)境之間的門的打開與關(guān)閉進(jìn)行控制是非常有必要的。在本領(lǐng)域中，傳統(tǒng)微環(huán)境門的打開與關(guān)閉控制應(yīng)用最多的是只安裝門鎖，并且該門鎖在門的外側(cè)手動可打開。采用這樣的方法，不能保證門的開關(guān)絕對安全，例如若半導(dǎo)體エ藝設(shè)備的微環(huán)境中正在進(jìn)行加工エ藝過程，開門后會導(dǎo)致整個エ藝過程中斷，會對產(chǎn)品 エ藝質(zhì)量造成不良影響以及發(fā)生人身生命危險。

實用新型內(nèi)容(一 )要解決的技術(shù)問題本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種門的安全開關(guān)裝置，以避免加工設(shè)備在工作過程中設(shè)備腔室的門被不小心打開時，造成人身生命危險以及使得產(chǎn)品エ藝質(zhì)量降低并造成的巨大經(jīng)濟損失現(xiàn)象的發(fā)生。( ニ )技術(shù)方案為解決上述問題，本實用新型提供一種門的安全開關(guān)裝置，包括固定在所述門上的門鎖主體，以及固定在與門配合的腔壁上的鎖塊，所述門鎖主體設(shè)有與所述鎖塊配合鎖扣的活動鎖扣部，安全開關(guān)裝置還包括具有活動部的鎖定單元、驅(qū)動所述鎖定單元的活動部運動的驅(qū)動單元、以及向所述驅(qū)動単元發(fā)送控制指令的控制模塊，所述活動部在運動路徑上具有限制所述活動鎖扣部運動的鎖定工作位置。優(yōu)選地，所述控制模塊包括用于人工輸入控制指令的人機交互単元。優(yōu)選地,所述鎖定單元為氣缸組件,所述活動部包括所述氣缸組件的活動氣缸桿。優(yōu)選地,所述活動部還包括與所述活動氣缸桿固定的銷釘。優(yōu)選地，所述驅(qū)動単元包括與所述氣缸組件的進(jìn)氣ロ通過氣管連接的氣源組件、和設(shè)置在所述氣管上的電磁閥。優(yōu)選地，所述電磁閥與所述氣源組件之間的氣管上還設(shè)有調(diào)壓閥。優(yōu)選地，所述控制模塊向所述電磁閥發(fā)送控制指令。優(yōu)選地，所述活動鎖扣部與所述門鎖主體通過樞軸樞接，所述鎖塊上設(shè)有與所述活動鎖扣部在鎖閉位置配合的卡扣缺ロ。優(yōu)選地，所述銷釘?shù)倪\動路徑位于所述鎖塊的卡扣缺ロ ー側(cè)。(三)有益效果本實用新型通過控制模塊發(fā)出控制命令來限制設(shè)備腔室的門(如微環(huán)境)的開關(guān)，避免加工設(shè)備在工作過程中設(shè)備腔室的門被不小心打開，保證了產(chǎn)品的エ藝質(zhì)量以及人身安全，并避免經(jīng)濟損失。

圖I為根據(jù)本實用新型實施例門的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為根據(jù)本實用新型實施例安全開關(guān)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為根據(jù)本實用新型實施例安全開關(guān)裝置圖2中A-A方向的結(jié)構(gòu)示意圖；其中1 :鎖塊；2 :門鎖主體；3 :門；4 :腔壁；5 :氣缸組件；6 :氣源組件；7 :氣管；8 :電磁閥；9 :調(diào)壓閥；10 :密封件；11 卡扣缺ロ ；21 :活動鎖扣部；22 :樞軸；51 :活動氣缸桿；52 :銷釘；53 :進(jìn)氣ロ。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖及實施例對本實用新型進(jìn)行詳細(xì)說明如下。如圖I至圖3所示，本實用新型的安全開關(guān)裝置可以被應(yīng)用在任何合適的加工設(shè)備腔室的門上，本實施例中以半導(dǎo)體加工設(shè)備具有供加工半導(dǎo)體用的微環(huán)境腔為例對本實用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。所述微環(huán)境腔壁上設(shè)有門開ロ，該門開口上設(shè)有隔絕微環(huán)境腔與外界環(huán)境的微環(huán)境門3，微環(huán)境門3的門邊朝向與門配合的腔壁4的一側(cè)設(shè)有密封件10。本實施例的門的安全開關(guān)裝置，包括固定在所述微環(huán)境門3上的門鎖主體2，以及固定在與門配合的微環(huán)境腔壁4上并與所述門鎖主體2的活動鎖扣部21配合的鎖塊I，本實施例中，所述活動鎖扣部21為與所述門鎖主體2通過樞軸22樞接的鎖舌，所述鎖塊I上設(shè)有與所述鎖舌在鎖閉位置配合的卡扣缺ロ 11。通過旋轉(zhuǎn)用于開關(guān)鎖的鑰匙或把手，使得鎖舌繞所述樞軸22轉(zhuǎn)動在卡扣缺ロ 11或離開卡扣缺ロ 11，實現(xiàn)鎖舌與鎖塊I的鎖扣和解鎖。安全開關(guān)裝置還包括具有活動部的鎖定單元、驅(qū)動所述鎖定単元的活動部運動的驅(qū)動單元、以及向所述驅(qū)動単元發(fā)送控制指令的控制模塊，所述活動部在運動路徑上具有限制所述鎖舌運動的鎖定工作位置。所述控制模塊包括用于人工輸入控制指令的人機交互単元。當(dāng)需要開關(guān)門時，人エ通過所述人機交互単元，向所述控制模塊的程序輸入打開或關(guān)閉控制指令。所述鎖定單元為氣缸組件5,所述活動部包括所述氣缸組件5的活動氣缸桿51。所述活動部還包括與所述活動氣缸桿51固定的銷釘52。所述銷釘52的運動路徑位于所述鎖塊I的卡扣缺ロ 11 ー側(cè)。所述驅(qū)動単元包括與所述氣缸組件5的進(jìn)氣ロ 53通過氣管7連接的氣源組件6、和設(shè)置在所述氣管7上的電磁閥8。所述電磁閥8與所述氣源組件6之間的氣管7上還設(shè)有調(diào)壓閥9。所述控制模塊向所述電磁閥8發(fā)送控制指令。人工通過控制模塊向所述電磁閥8發(fā)送打開或關(guān)閉控制指令，控制電磁閥8的開閉，來控制氣源組件6與氣缸組件5之間氣管7的暢通和關(guān)閉，進(jìn)而使得氣缸組件5的活動汽缸桿51帶動所述銷釘52做前后運動。當(dāng)銷釘52運動至鎖定工作位置時，所述鎖舌無法轉(zhuǎn)動，門3的打開和關(guān)閉被禁止；當(dāng)所述銷釘52運動至離開所述鎖定工作位置時，所述鎖舌 可以自由轉(zhuǎn)動，實現(xiàn)門3的打開和關(guān)閉。[0033]具體的，上述微環(huán)境門的安全開關(guān)裝置的使用過程為a)需要微環(huán)境門保持關(guān)閉時閉合所述微環(huán)境門并將所述門鎖主體2的鎖舌與所述鎖塊I鎖扣配合；控制模塊發(fā)送關(guān)閉控制指令到驅(qū)動單元；在本實施例中，操作者通過人機交互單元向所述電磁閥8發(fā)送指令；驅(qū)動單元收到所述關(guān)閉控制指令后驅(qū)動所述鎖定單元的活動部運動；在本實施例中，電磁閥8收到關(guān)閉控制指令后關(guān)閉，使得氣缸組件5的活動汽缸桿51帶動銷釘52伸出；所述鎖定單元的活動部運動至鎖定工作位置使得微環(huán)境門保持關(guān)閉；在本實施例中，銷釘52伸出到卡扣缺口 11的一側(cè)，限制鎖舌的轉(zhuǎn)動，使得微環(huán)境門保持關(guān)閉，在不輸入新的指令時無法打開； b)需要打開微環(huán)境門時；控制模塊發(fā)送打開控制指令到驅(qū)動單元；在本實施例中，操作者通過人機交互單元輸入打開控制指令到電磁閥8 ；所述驅(qū)動單元收到所述打開控制指令后驅(qū)動所述鎖定單元的活動部運動；在本實施例中，電磁閥8接收到所述打開控制指令后打開，使得氣源組件6到氣缸組件5之間的氣管7暢通，進(jìn)而使得活動汽缸桿51帶動銷釘51縮回；所述鎖定單元的活動部運動至離開鎖定工作位置；即銷釘51縮回至離開鎖定工作位置；解除所述門鎖主體2的鎖舌與所述鎖塊I之間的鎖扣狀態(tài)并打開所述微環(huán)境門，本實施例中旋轉(zhuǎn)鎖舌使得鎖舌離開所述卡扣缺口 11。本實用新型通過控制模塊發(fā)出控制命令來限制微環(huán)境門的開關(guān)，避免加工設(shè)備在工作過程中微環(huán)境門被不小心打開，保證了產(chǎn)品的工藝質(zhì)量以及人身安全，并避免經(jīng)濟損失。以上實施方式僅用于說明本實用新型，而并非對本實用新型的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本實用新型的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術(shù)方案也屬于本實用新型的范疇，本實用新型的專利保護(hù)范圍應(yīng)由權(quán)利要求限定。
權(quán)利要求1.一種門的安全開關(guān)裝置，包括固定在所述門(3)上的門鎖主體(2)，以及固定在與門配合的腔壁(4)上的鎖塊(I)，所述門鎖主體(2)設(shè)有與所述鎖塊(I)配合鎖扣的活動鎖扣部(21)，其特征在于，安全開關(guān)裝置還包括具有活動部的鎖定單元、驅(qū)動所述鎖定單元的活動部運動的驅(qū)動單元、以及向所述驅(qū)動單元發(fā)送控制指令的控制模塊，所述活動部在運動路徑上具有限制所述活動鎖扣部(21)運動的鎖定工作位置。
2.如權(quán)利要求I所述的安全開關(guān)裝置，其特征在于，所述控制模塊包括用于人工輸入控制指令的人機交互單元。
3.如權(quán)利要求I所述的安全開關(guān)裝置，其特征在于，所述鎖定單元為氣缸組件(5)，所述活動部包括所述氣缸組件(5)的活動氣缸桿(51)。
4.如權(quán)利要求3所述的安全開關(guān)裝置，其特征在于，所述活動部還包括與所述活動氣缸桿(51)固定的銷釘(52)。
5.如權(quán)利要求3所述的安全開關(guān)裝置，其特征在于，所述驅(qū)動單元包括與所述氣缸組件(5)的進(jìn)氣口(53)通過氣管(7)連接的氣源組件￠)、和設(shè)置在所述氣管(7)上的電磁閥⑶。
6.如權(quán)利要求5所述的安全開關(guān)裝置，其特征在于，所述電磁閥(8)與所述氣源組件(6)之間的氣管(7)上還設(shè)有調(diào)壓閥(9)。
7.如權(quán)利要求5所述的安全開關(guān)裝置，其特征在于，所述控制模塊向所述電磁閥(8)發(fā)送控制指令。
8.如權(quán)利要求4所述的安全開關(guān)裝置，其特征在于，所述活動鎖扣部(21)與所述門鎖主體(2)通過樞軸(22)樞接，所述鎖塊(I)上設(shè)有與所述活動鎖扣部(21)在鎖閉位置配合的卡扣缺口(11)。
9.如權(quán)利要求8所述的安全開關(guān)裝置，其特征在于，所述銷釘(52)的運動路徑位于所述鎖塊(I)的卡扣缺口(11) 一側(cè)。
專利摘要本實用新型公開了一種門的安全開關(guān)裝置，包括固定在所述門上的門鎖主體，以及固定在與門配合的腔壁上并與所述門鎖主體的活動鎖扣部配合的鎖塊，安全開關(guān)裝置還包括具有活動部的鎖定單元、驅(qū)動所述鎖定單元的活動部運動的驅(qū)動單元、以及向所述驅(qū)動單元發(fā)送控制指令的控制模塊，所述活動部在運動路徑上具有限制所述活動鎖扣部運動的鎖定工作位置。本實用新型提供的門安全開關(guān)裝置可以避免加工設(shè)備在工作過程中門被不小心打開時，造成人身安全問題或產(chǎn)品工藝質(zhì)量降低并造成的巨大經(jīng)濟損失現(xiàn)象的發(fā)生。
文檔編號E05B47/00GK202544542SQ20112051126
公開日2012年11月21日 申請日期2011年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月8日
發(fā)明者王麗榮, 白鵬, 董金衛(wèi) 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司