陶瓷旋轉(zhuǎn)靶注漿成形模具及其制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及鍍膜材料的陶瓷旋轉(zhuǎn)靶材成型，尤其涉及一種陶瓷旋轉(zhuǎn)靶注漿成形模具及其制作方法。
【背景技術(shù)】
[0002]陶瓷靶材是一類(lèi)應(yīng)用廣泛的鍍膜材料，如氧化銦錫(ITO)，氧化鋅鋁(AZO)，氧化鋅(ZnO)，氧化銦鎵鋅(IGZO)等。這些陶瓷靶材有多種成形方式，其中壓力注漿成形方式具有顯著地技術(shù)特點(diǎn)和明確的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。
[0003]目前采用壓力注漿成形的一般過(guò)程是:粉體原料，分散劑，消泡劑和水混合后球磨制漿，漿液在壓力下注入模具脫水成形，脫坯后經(jīng)干燥即可得到用于燒結(jié)的素坯。該成形方法的優(yōu)點(diǎn)是設(shè)備投入少，成本低，產(chǎn)品密度大且密度均勻性好、適合大尺寸和異形產(chǎn)品成形。而陶瓷靶材目前有兩種形式的產(chǎn)品，一種是平板狀的，一種是管狀的，也就是旋轉(zhuǎn)靶，旋轉(zhuǎn)靶屬于異形產(chǎn)品，具有利用率高的優(yōu)點(diǎn)，是今后發(fā)展的主流趨勢(shì)。旋轉(zhuǎn)靶目前有三種制作形式，一種是噴涂法，一種是等靜壓法，還有一種是壓力注漿法，在壓力注漿成形中，需要使用到能夠承受較大壓力，不污染產(chǎn)品，易于制作的模具材料。
[0004]目前旋轉(zhuǎn)靶注漿成形用的多是石膏模具，石膏模具由于強(qiáng)度低，不能承受較大的料漿壓力，制作的靶材密度低；另外石膏材料不耐水，容易被水侵蝕，導(dǎo)致產(chǎn)品被污染。
[0005]在現(xiàn)有的一些技術(shù)中，提到了一些壓力注漿成形用的模具，但是它們只適合成形平板狀陶瓷靶材且其所使用的微孔過(guò)濾材料是過(guò)濾膜，而且過(guò)濾膜不適宜鋪設(shè)在曲面形狀的模具材料表面，例如成形旋轉(zhuǎn)靶所使用的模具。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于提供一種陶瓷旋轉(zhuǎn)靶注漿成形模具及其制作方法，解決了目前用于旋轉(zhuǎn)靶注漿成形用的模具強(qiáng)度低，制作而成的靶材密度低，模具本身容易被水侵蝕導(dǎo)致產(chǎn)品被污染的問(wèn)題。
[0007]為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明所采取的技術(shù)方案是:
[0008]一種陶瓷旋轉(zhuǎn)靶注漿成形模具，包括內(nèi)模和外模，所述外模中空并上方開(kāi)口，所述內(nèi)模為T(mén)形并安裝固定在外模的中空位置，所述內(nèi)模的上邊緣緊壓在所述外模的上邊緣，所述內(nèi)模的外側(cè)壁和外模的內(nèi)側(cè)壁之間有空腔，所述外模的底部設(shè)置有與空腔相通的進(jìn)漿孔道；所述內(nèi)模內(nèi)設(shè)置有吹氣孔道，所述外模內(nèi)設(shè)置有排水通道，所述吹氣孔道和排水通道均是由塑料管或金屬管構(gòu)成，所述塑料管或金屬管的管壁帶有微孔；所述內(nèi)模的上方設(shè)置有上背板，在外模的下方設(shè)置有下背板。
[0009]進(jìn)一步的，所述內(nèi)模和外模的模壁上均布有由成孔劑制成的微孔。
[0010]進(jìn)一步的，所述微孔的孔徑在0.1?I μπι。
[0011]進(jìn)一步的，所述內(nèi)模和外模均是由粉末狀聚丙稀酸酯微孔樹(shù)脂、表面活性劑、催化劑、促進(jìn)劑和水混合而成。
[0012]一種陶瓷旋轉(zhuǎn)靶注漿成形模具的制作方法，包括以下步驟:
[0013]步驟一:將粉末狀聚丙稀酸酯微孔樹(shù)脂、丙烯酸酯單體、表面活性劑、催化劑、促進(jìn)劑和水先制成油包水型乳液，按重量比所述粉末狀聚丙稀酸酯微孔樹(shù)脂為35?55%，表面活性劑為2?20%，丙烯酸酯單體為15?25%，催化劑為0.1?2%，促進(jìn)劑為0.01?
0.3%，水為 18 ?28% ；
[0014]步驟二:將該油包水型乳液在不斷攪拌情況下，注入與所制作模具對(duì)應(yīng)的母模內(nèi)；
[0015]步驟三:待固化并溫度降至室溫后從母模內(nèi)脫出；
[0016]步驟四，經(jīng)過(guò)反應(yīng)固化好的材料從母模內(nèi)脫出后，對(duì)需要與上背板、.下背板相接觸的一面加工平整，然后用螺栓將其分別與上背板、下背板連接。
[0017]進(jìn)一步的，按重量比所述粉末狀聚丙稀酸酯微孔樹(shù)脂為50%，丙烯酸酯單體為21%,表面活性劑為3.3%，催化劑為0.5%，促進(jìn)劑為0.2%，水為25%。
[0018]進(jìn)一步的，所述油包水型乳液的制備方法具體是:所述表面活性劑和所述促進(jìn)劑先溶解到所述丙烯酸酯單體內(nèi)，然后再加入溫度在12?20°C的水、粉末狀聚丙稀酸酯微孔樹(shù)脂和催化劑，并不斷攪拌，直至該乳液變得粘稠。
[0019]進(jìn)一步的，所述表面活性劑是司班-80，所述丙烯酸酯單體是甲基丙烯酸甲酯，所述催化劑是過(guò)氧化苯甲酰，所述促進(jìn)劑是有機(jī)胺。
[0020]采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:有本模具制得的陶瓷靶材素坯密度高，可以有效防止料將顆粒堵塞模具微孔，又可以減少過(guò)濾阻力，提高生產(chǎn)效率；制作條件簡(jiǎn)單，制作周期短；樹(shù)脂材質(zhì)為純樹(shù)脂材料，不含任何可溶性無(wú)機(jī)離子成分，對(duì)產(chǎn)品無(wú)污染。
【附圖說(shuō)明】
[0021]圖1是本發(fā)明陶瓷旋轉(zhuǎn)靶注漿成形模具一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]圖2是本發(fā)明陶瓷旋轉(zhuǎn)靶注漿成形模具的制作方法流程示意圖；
[0023]圖中:1-內(nèi)模，2-外模，3-空腔，4-進(jìn)漿孔道，5-吹氣孔道，6_排水通道，7_上背板，8-下背板。
【具體實(shí)施方式】
[0024]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0025]圖1示出了本發(fā)明一種陶瓷旋轉(zhuǎn)靶注漿成形模具的一個(gè)實(shí)施例:一種陶瓷旋轉(zhuǎn)靶注漿成形模具，包括內(nèi)模I和外模2，所述外模2中空并上方開(kāi)口，所述內(nèi)模I為T(mén)形并安裝固定在外模2的中空位置，所述內(nèi)模I的上邊緣緊壓在所述外模2的上邊緣，所述內(nèi)模I的外側(cè)壁和外模2的內(nèi)側(cè)壁之間有空腔3，所述外模2的底部設(shè)置有與空腔3相通的進(jìn)漿孔道4 ;所述內(nèi)模I內(nèi)設(shè)置有吹氣孔道5，所述外模2內(nèi)設(shè)置有排水通道6，所述吹氣孔道5和排水通道6均是由塑料管或金屬管構(gòu)成，所述塑料管或金屬管的管壁帶有微孔；所述內(nèi)模I的上方設(shè)置有上背板7，在外模2的下方設(shè)置有下背板8。
[0026]根據(jù)本發(fā)明一種陶瓷旋轉(zhuǎn)靶注漿成形模具的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例，所述內(nèi)模I和外模2的模壁上均布有由成孔劑制成的微孔，所述成孔劑可以直接采用水為成孔劑。
[0027]根據(jù)本發(fā)明一種陶瓷旋轉(zhuǎn)靶注漿成形模具的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例，所述微孔的孔徑在0.1 ?I μ m0
[0028]根據(jù)本發(fā)明一種陶瓷旋轉(zhuǎn)靶注漿成形模具的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例，所述內(nèi)模I和外模2均是由粉末狀聚丙稀酸酯微孔樹(shù)脂、表面活性劑、催化