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刀片夾具的制作方法

文檔序號:11034630閱讀:1607來源:國知局
刀片夾具的制造方法與工藝

本實用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,尤其涉及一種刀片夾具。



背景技術(shù):

晶圓切割(Sawing)是半導(dǎo)體封裝中常用的技術(shù)之一,其工作原理是利用刀片刀刃上的鉆石顆粒進(jìn)行劃片晶圓(Wafer),同時容屑槽帶離碎屑廢物,及時清理。其目的是將整個晶圓上每個獨立的芯片(IC)通過高速旋轉(zhuǎn)的鉆石刀片切割開來,并分離IC,為后續(xù)的PNP、ILB等工序方便提取IC做準(zhǔn)備。圖1是現(xiàn)有技術(shù)中刀片夾具的結(jié)構(gòu)示意圖,在將刀片12安裝到切割裝置的過程中,由于刀片夾具的結(jié)構(gòu)過于簡單,刀片12的刀刃是暴露于刀片夾具的外側(cè),刀片夾具并沒有給刀片的刀刃任何保護(hù)措施。在切割制造工序之前,必須將特定刀片安裝在特定的切割裝置上,在安裝過程中需要用專用刀片夾具將刀片安裝在切割裝置上。而且,切割過程所使用的刀片主要由鉆石顆粒及粘合劑構(gòu)成,價格昂貴。在采用刀片夾具安裝刀片的過程中,如果受到外力的輕微撞擊或碰撞,刀片12的刀刃就會產(chǎn)生變形或破損,導(dǎo)致刀片不良、報廢,進(jìn)而使得制造成本較高,且刀片報廢后,需要更換刀片再次進(jìn)行安裝,步驟繁瑣,浪費時間,安裝效率較低。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本實用新型提供了一種刀片夾具,用以保護(hù)刀片的刀刃,降低生產(chǎn)成本,提高切割裝置的安裝效率。

為了解決上述問題,本實用新型提供了一種刀片夾具,包括多個夾臂和一連接架,多個所述夾臂環(huán)繞一所述連接架連接為一體,相鄰?qiáng)A臂之間形成有一間隙,由多個所述夾臂的一端形成用于夾持刀片的夾持部,其特征在于,所述夾持部還設(shè)置有外罩,所述外罩與至少一個夾臂的底部連接,且所述外罩呈圓環(huán)狀環(huán)繞于刀片刀刃的邊緣。

優(yōu)選的,所述外罩由多個圓弧形支罩構(gòu)成,每個所述支罩分別與一所述夾臂連接。

優(yōu)選的,相鄰的所述支罩之間具有一間隙。

優(yōu)選的,所述多個夾臂呈均勻彎曲的板狀結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的,相鄰?qiáng)A臂之間的間隙大于相鄰保護(hù)板之間的間隙。

優(yōu)選的,所述外罩為一體成型的圓環(huán)狀結(jié)構(gòu),其與至少一所述夾臂的底部連接。

優(yōu)選的,所述連接架由多個支架組成,每個所述支架分別連接一夾臂的中部。

優(yōu)選的,所述刀刃的邊緣與保護(hù)板的最短距離為2~4mm。

采用本實用新型所述的刀片夾具,通過刀片夾具的外罩保護(hù)刀片刀刃,避免因刀片的刀刃暴露在外而受到的碰撞,從而提高切割裝置的安裝效率,降低生產(chǎn)成本。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中刀片夾具的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2是本實用新型具體實施方式的刀片夾具結(jié)構(gòu)示意圖;

圖3是本實用新型具體實施方式的刀片置于刀片夾具上時的結(jié)構(gòu)示意圖;

附圖標(biāo)記說明:11,21-夾臂、12,32-刀片、23-外罩、24-連接架、25-支架、26-支罩。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本實用新型的方案做詳細(xì)說明。

本實用新型提供一種刀片夾具,圖2是本實用新型具體實施方式的刀片夾具結(jié)構(gòu)示意圖,圖3是本實用新型具體實施方式的刀片置于刀片夾具上時的結(jié)構(gòu)示意圖。

如圖2、3所示,本實用新型所述的刀片夾具包括多個夾臂21、連接架24及外罩23,多個所述夾臂21環(huán)繞所述連接架24連接為一體,由多個所述夾臂的一端形成用于夾持刀片的夾持部。所述連接架24包括多個支架25,每個所述夾臂21的中部分別與連接架24的一支架25連接。本實用新型實施方式以三個夾臂為例進(jìn)行說明,當(dāng)然,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實際需要改變夾臂的數(shù),與所述夾臂數(shù)量對應(yīng)的,所述連接架具有三個支架25,三個所述夾臂21在其中部分別與三個所述支架25連接。為了便于操作者抓握,所述的夾臂21呈均勻彎曲的板狀結(jié)構(gòu),即夾臂21上任何位置的曲率一致,本實施方式附圖2、3中以所述夾臂21的彎曲弧度為120度為例進(jìn)行說明,且所述三個夾臂21的結(jié)構(gòu)完全相同。為了便于夾持刀片,且使得操作者可以觀察到刀片安裝情況,相鄰的夾臂并不相互接觸,而是形成有一間隙。所述刀片夾具的一端形成用于夾持刀片的夾持部,另一端用于操作者抓握。夾臂和連接架的形狀不限于上述描述的形式,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實際需要改變夾臂和連接架的形狀及連接方式。

為了保護(hù)刀片的刀刃免受碰撞,本實用新型所述的刀片夾具上還設(shè)置外罩23。所述外罩23與至少一個夾臂21的底部連接,且所述外罩23呈圓環(huán)狀環(huán)繞于刀片32的刀刃的邊緣。所述圓環(huán)狀的外罩23可以為一個完整的圓環(huán)狀,可以由多個圓弧狀支罩構(gòu)成。如圖2、3所示,本實用新型實施方式以所述外罩23由三個支罩26構(gòu)成為例進(jìn)行說明,所述支罩26是呈圓弧狀結(jié)構(gòu),三個所述支罩26分別與三個所述夾臂21的底部連接,三個所述支罩26組成一圓環(huán)狀,相鄰所述支罩26之間存在一間隙,且該間隙小于相鄰?qiáng)A臂21之間的間隙,三個所述支罩26形成的圓環(huán)狀外罩23環(huán)繞在刀片2的刀刃的邊緣。當(dāng)然,本領(lǐng)域技術(shù)人員在其掌握的普通技術(shù)知識基礎(chǔ)之上可以知曉,所述外罩可以為一體成型的不具有間隙的完整的圓環(huán)狀結(jié)構(gòu),此時,該外罩與至少一所述夾臂21連接。

如圖3所示,所述外罩23的直徑應(yīng)大于刀片32的直徑,使得刀片32能夠完全容納在外罩23的圓環(huán)形區(qū)域中,但是為了便于將刀片32安裝在切割裝置上,刀片32的刀刃邊緣與外罩23的距離也不宜過大,優(yōu)選的,所述刀片32的刀刃的邊緣與外罩23的最短距離為2~4mm。

采用本實用新型所述的刀片夾具,通過刀片夾具的外罩保護(hù)刀片刀刃,避免因刀片的刀刃暴露在外而受到的碰撞,從而提高切割裝置的安裝效率,降低生產(chǎn)成本。

以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式,應(yīng)當(dāng)指出,對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員,在不脫離本實用新型原理的前提下,還可以做出若干改進(jìn)和潤飾,這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本實用新型的保護(hù)范圍。

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