晶棒線切割的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶棒線切割機(jī)，其特征在于，包括供線倉(cāng)、切割倉(cāng)和繞線倉(cāng)；切割線存儲(chǔ)于所述供線倉(cāng)內(nèi)，經(jīng)切割倉(cāng)內(nèi)切割晶棒后，進(jìn)入繞線倉(cāng)內(nèi)纏繞在線軸上；所述繞線倉(cāng)具有殼體，所述殼體上具有第一通孔，切割線穿過(guò)所述第一通孔進(jìn)入所述繞線倉(cāng)內(nèi)，所述第一通孔處設(shè)置有柔性刮除裝置，所述柔性刮除裝置與穿過(guò)所述第一通孔的切割線相接觸，刮除切割線上的砂漿。本實(shí)用新型中的晶棒線切割機(jī)，可以在切割線回纏至繞線倉(cāng)之前刮除切割線上的砂漿，防止砂漿磨損滑輪及軸承，提高了線切割機(jī)的使用壽命，降低了生產(chǎn)成本。
【專利說(shuō)明】晶棒線切割機(jī)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種晶棒線切割機(jī)。

【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)的日趨激烈，降低能耗、節(jié)省成本、提升良率成為技術(shù)發(fā)展的核心。晶棒的切割通常采用線切割方式。切割線從繞線倉(cāng)內(nèi)進(jìn)入切割倉(cāng)切割，切割后的切割線再纏繞在繞線倉(cāng)內(nèi)。切割晶棒時(shí)會(huì)使用砂漿。砂漿容易粘附在切割線上。粘附有砂漿的切割線再回送至繞線倉(cāng)內(nèi)時(shí)，容易造成滑輪及軸承的磨損。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的之一是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種可清除切割線上的砂漿的晶棒線切割機(jī)。
[0004]為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
[0005]晶棒線切割機(jī)，其特征在于，包括供線倉(cāng)、切割倉(cāng)和繞線倉(cāng)；切割線存儲(chǔ)于所述供線倉(cāng)內(nèi)，經(jīng)切割倉(cāng)內(nèi)切割晶棒后，進(jìn)入繞線倉(cāng)內(nèi)纏繞在線軸上；所述繞線倉(cāng)具有殼體，所述殼體上具有第一通孔，切割線穿過(guò)所述第一通孔進(jìn)入所述繞線倉(cāng)內(nèi)，所述第一通孔處設(shè)置有柔性刮除裝置，所述柔性刮除裝置與穿過(guò)所述第一通孔的切割線相接觸，刮除切割線上的砂漿。
[0006]優(yōu)選地是，所述刮除裝置為柔性擋板，所述柔性擋板設(shè)置有第二通孔；所述柔性擋板安裝于所述殼體上，所述第二通孔與所述第一通孔位置相對(duì)；所述切割線穿過(guò)所述第二通孔時(shí)，與所述柔性擋板相接觸。
[0007]優(yōu)選地是，所述柔性擋板為橡膠板。
[0008]優(yōu)選地是，所述柔性刮除裝置為橡膠條，所述橡膠條設(shè)置在所述第一通孔處。
[0009]本實(shí)用新型中的晶棒線切割機(jī)，可以在切割線回纏至繞線倉(cāng)之前刮除切割線上的砂漿，防止砂漿磨損滑輪及軸承，提高了線切割機(jī)的使用壽命，降低了生產(chǎn)成本。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例1結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例1中的殼體表面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例2中的殼體表面結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)的描述:
[0014]實(shí)施例1
[0015]如圖1、圖2所示，晶棒線切割機(jī)，包括供線倉(cāng)1、切割倉(cāng)2和繞線倉(cāng)3。切割線4存儲(chǔ)于所述供線倉(cāng)I內(nèi)，經(jīng)切割倉(cāng)2內(nèi)切割晶棒后，進(jìn)入繞線倉(cāng)3內(nèi)纏繞在線軸5上。繞線倉(cāng)23內(nèi)設(shè)置有軸承11及多個(gè)滑輪12。所述繞線倉(cāng)2具有殼體6。所述殼體6上具有第一通孔7，切割線4穿過(guò)所述第一通孔7進(jìn)入所述繞線倉(cāng)2內(nèi)。所述第一通孔7處設(shè)置有柔性刮除裝置，所述柔性刮除裝置與穿過(guò)所述第一通孔7的切割線4相接觸，刮除切割線上的砂漿。在如圖所示的示例中，所述刮除裝置為柔性擋板8，所述柔性擋板設(shè)置有第二通孔9 ;所述柔性擋板8安裝于所述殼體6上，所述第二通孔9與所述第一通孔7位置相對(duì)；所述切割線4穿過(guò)所述第二通孔9時(shí)，與所述柔性擋板8相接觸。優(yōu)選地是，所述柔性擋板8為橡膠板。柔性擋板8可將切割線4上的砂漿刮除，防止砂漿磨損軸承11及滑輪12。
[0016]實(shí)施例2
[0017]如圖1、圖3所示，晶棒線切割機(jī)，包括供線倉(cāng)1、切割倉(cāng)2和繞線倉(cāng)3。切割線4存儲(chǔ)于所述供線倉(cāng)I內(nèi)，經(jīng)切割倉(cāng)2內(nèi)切割晶棒后，進(jìn)入繞線倉(cāng)3內(nèi)纏繞在線軸5上。繞線倉(cāng)23內(nèi)設(shè)置有軸承11及多個(gè)滑輪12。所述繞線倉(cāng)2具有殼體6。所述殼體6上具有第一通孔7，切割線4穿過(guò)所述第一通孔7進(jìn)入所述繞線倉(cāng)2內(nèi)。所述第一通孔7處設(shè)置有柔性刮除裝置，所述柔性刮除裝置與穿過(guò)所述第一通孔7的切割線4相接觸，刮除切割線上的砂漿。在如圖3所示的示例中，所述刮除裝置為橡膠擋條10，代替實(shí)施例1中的柔性擋板8。橡膠擋條10設(shè)置在第一通孔7處，所述切割線4穿過(guò)所述第一通孔7時(shí)，與所述橡膠擋條10相接觸。橡膠擋條10可將切割線4上的砂漿刮除，防止砂漿磨損軸承11及滑輪12。
[0018]柔性擋板8和橡膠擋條10均采用橡膠材料，可防止磨損切割線。
[0019]本實(shí)用新型中的實(shí)施例僅用于對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行說(shuō)明，并不構(gòu)成對(duì)權(quán)利要求范圍的限制，本領(lǐng)域內(nèi)技術(shù)人員可以想到的其他實(shí)質(zhì)上等同的替代，均在本實(shí)用新型保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.晶棒線切割機(jī)，其特征在于，包括供線倉(cāng)、切割倉(cāng)和繞線倉(cāng)；切割線存儲(chǔ)于所述供線倉(cāng)內(nèi)，經(jīng)切割倉(cāng)內(nèi)切割晶棒后，進(jìn)入繞線倉(cāng)內(nèi)纏繞在線軸上；所述繞線倉(cāng)具有殼體，所述殼體上具有第一通孔，切割線穿過(guò)所述第一通孔進(jìn)入所述繞線倉(cāng)內(nèi)，所述第一通孔處設(shè)置有柔性刮除裝置，所述柔性刮除裝置與穿過(guò)所述第一通孔的切割線相接觸，刮除切割線上的砂漿。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶棒線切割機(jī)，其特征在于，所述刮除裝置為柔性擋板，所述柔性擋板設(shè)置有第二通孔；所述柔性擋板安裝于所述殼體上，所述第二通孔與所述第一通孔位置相對(duì)；所述切割線穿過(guò)所述第二通孔時(shí)，與所述柔性擋板相接觸。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶棒線切割機(jī)，其特征在于，所述柔性擋板為橡膠板。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶棒線切割機(jī)，其特征在于，所述柔性刮除裝置為橡膠條，所述橡膠條設(shè)置在所述第一通孔處。
【文檔編號(hào)】B28D5/04GK204123542SQ201420425854
【公開(kāi)日】2015年1月28日 申請(qǐng)日期:2014年7月30日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月30日
【發(fā)明者】莊智慧, 黃春峰 申請(qǐng)人:上海合晶硅材料有限公司