專利名稱：刻劃裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及刻劃裝置，特別是用于在作為工件的脆性材料基板上形成多條刻劃線的刻劃裝置。
背景技術(shù)：
例如在分割玻璃基板的情況下，將刀輪等工具的刀尖壓接在玻璃基板上，使該刀尖沿著刻劃預(yù)定線移動(dòng)，由此形成刻劃線。接著，沿著刻劃線向玻璃基板施加規(guī)定的力來分割玻璃基板。在進(jìn)行上面那樣的玻璃基板的分割時(shí)，使用例如專利文獻(xiàn)I中示出的刻劃裝置。該專利文獻(xiàn)I中示出的裝置是用于分割例如由2片玻璃基板貼合而得到的LCD基板的裝置，具備保持搬運(yùn)單元和2個(gè)刻劃頭。為了分別刻劃基板的正面和背面，2個(gè)刻劃頭配置成 上下相對(duì)。此外，保持搬運(yùn)單元在2個(gè)刻劃頭之間搬運(yùn)基板。在專利文獻(xiàn)I中示出的裝置中，存在在上下的玻璃基板的相同位置形成刻劃線的情況和在上下的玻璃基板的不同位置形成刻劃線的情況。當(dāng)對(duì)上下的玻璃基板在相同位置形成刻劃線時(shí)，分別裝有刀輪的刻劃頭以從上下將兩玻璃基板夾入的方式進(jìn)行壓碾，而形成刻劃線。另一方面，當(dāng)在上下的玻璃基板的不同位置形成刻劃線時(shí)，使裝有一方的刻劃頭的橋架(bridge)移動(dòng)，使用上下的刻劃頭在基板正面和背面的不同位置形成刻劃線。此外，在專利文獻(xiàn)2中，示出了以縮短加工時(shí)間為目的的基板分割方法。在此處，當(dāng)從母基板切出多個(gè)單位基板時(shí)，能夠使刻劃頭在始終保持與基板接觸的狀態(tài)下移動(dòng)而進(jìn)行加工，以使得刀輪對(duì)基板的壓碾不會(huì)中途中斷。在先技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :W0 02/057192A1專利文獻(xiàn)2 :W0 2005/113212A1在專利文獻(xiàn)I和2中示出的以往的亥找Ij裝置中，當(dāng)刻劃頭的移動(dòng)方向變更時(shí)，必須使刀輪平穩(wěn)地追隨變更后的移動(dòng)方向。因此，安裝有刀輪的夾具相對(duì)于夾具保持部件，以能夠繞與基板正面垂直的軸自由旋轉(zhuǎn)的方式被支撐。另一方面，特別是在通過刻劃線而分割的截面直接成為產(chǎn)品的截面而露出的情況下，必須避免加工的刻劃線的起伏。為了避免刻劃線的起伏，期望對(duì)裝有刀輪的夾具的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行限制。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的課題在于提供一種刻劃裝置，該刻劃裝置能夠根據(jù)刻劃線的種類使用適當(dāng)?shù)目虅濐^來形成刻劃線。第I發(fā)明的刻劃裝置用于在作為工件的脆性材料基板上形成多條刻劃線，其具備第I刻劃單元，其具有第I刻劃頭，在脆性材料基板上形成第I刻劃線；以及第2刻劃單元，其具有第2刻劃頭，在脆性材料基板上形成第2刻劃線。第I刻劃頭具有第I夾具保持部件；以及第I夾具，其前端可安裝刀具，被支撐為能夠相對(duì)于第I夾具保持部件繞與工件表面垂直的軸旋轉(zhuǎn)自如。第2刻劃頭具有第2夾具保持部件；以及第2夾具，其前端可安裝刀具，其相對(duì)于第2夾具保持部件的繞與工件表面垂直的軸的旋轉(zhuǎn)被限制。在此，在變更刻劃頭的移動(dòng)方向而形成刻劃線的情況下，通過使用第I刻劃單元，裝有刀具的第I夾具能夠平穩(wěn)地追隨第I刻劃頭的移動(dòng)而形成刻劃線。此外，在形成直線的刻劃線的情況下，通過使用第2刻劃單元，能夠限制裝有刀具的第2夾具的旋轉(zhuǎn)，形成抑制了起伏的刻劃線。第2發(fā)明的刻劃裝置是在第I發(fā)明的裝置中，在第I刻劃單元與第2刻劃單元之間還具備用于變更脆性材料基板的姿勢(shì)的姿勢(shì)變更單元。例如，當(dāng)在脆性材料基板上形成互相垂直的X方向以及y方向的刻劃線時(shí)，在使用 第I刻劃單元形成了 X方向的刻劃線之后，在姿勢(shì)變更單元中，將脆性材料基板在工作臺(tái)面上旋轉(zhuǎn)90度。然后，在第2刻劃單元中形成7方向的刻劃線。因此，能夠高效地進(jìn)行加工。第3發(fā)明的刻劃裝置是在第I或者第2發(fā)明的裝置中，第I刻劃單元還具有第3刻劃頭，該第3刻劃頭隔著欲被加工的脆性材料基板與第I刻劃頭相向配置。而且，第3刻劃頭具有第3夾具保持部件；以及第3夾具，其前端可安裝刀具，其相對(duì)于第3夾具保持部件的繞與工件表面垂直的軸的旋轉(zhuǎn)被限制，第3刻劃頭在脆性材料基板上形成第3刻劃線。在此處，在第I刻劃單元中，能夠在基板的兩個(gè)面上形成刻劃線。此時(shí)，能夠在基板的一個(gè)面上平穩(wěn)地形成變更了刻劃頭的移動(dòng)方向的刻劃線，能夠在基板的另一個(gè)面上形成抑制了起伏的直線的刻劃線。第4發(fā)明的刻劃裝置是在第I至第3發(fā)明中的任意一個(gè)裝置中，第2刻劃單元還具有第4刻劃頭，該第4刻劃頭隔著欲被加工的脆性材料基板與第2刻劃頭相向配置。而且，第4刻劃頭具有第4夾具保持部件；第4夾具，其前端可安裝刀具，其相對(duì)于第4夾具保持部件的繞與工件表面垂直的軸的旋轉(zhuǎn)被限制，第4刻劃頭在脆性材料基板上形成第4刻劃線。在此處，在基板的正面和背面，能夠形成抑制了起伏的直線的刻劃線，能夠高效地形成質(zhì)量穩(wěn)定的刻劃線。如上所述，在本發(fā)明中，能夠根據(jù)刻劃線的種類使用適當(dāng)?shù)目虅濐^來形成刻劃線。


圖I是示出使用本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的刻劃裝置加工的基板的一例的圖。圖2是說明所述刻劃裝置中的刻劃線的圖。圖3是示出使用本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的刻劃裝置加工的基板的一例的圖。圖4是所述刻劃裝置的示意俯視圖。圖5是所述刻劃裝置的示意正視圖。圖6是刻劃頭的外觀立體圖。圖7是刻劃頭的局部剖面圖。圖8是中心立軸裝配體的部分剖面圖。
標(biāo)號(hào)說明10 :刻劃裝置11:第I刻劃單元12 :第2刻劃單元13 :基板姿勢(shì)變更裝置20 :刻劃頭23 :夾具保持部件24 :夾具
35c :旋轉(zhuǎn)限制用孔42 :刀輪45 :螺紋部件
具體實(shí)施例方式下面以分割液晶顯示面板制造用的母基板時(shí)的刻劃裝置為例進(jìn)行說明。[工件]首先，對(duì)作為加工對(duì)象的工件進(jìn)行說明。如圖I所示，液晶顯示面板制造用的母基板MG由形成有多個(gè)單位顯示面板(單位基板)的圖案P的2個(gè)基板G1、G2 (參照?qǐng)D2)貼合而構(gòu)成。具體而言，如圖2所示，夾著封入液晶的密封材料，將形成有多個(gè)濾色器的第I基板(也稱為CF側(cè)基板)Gl與形成有多個(gè)TFT及端子區(qū)域的第2基板(也稱為TFT基板)G2貼合。在此處，第2基板G2的端子區(qū)域T(在圖I的放大圖中，利用假想線示出端子的一部分)是內(nèi)部的TFT與外部設(shè)備之間連接信號(hào)線的區(qū)域，因此在分割的最后階段需要使其在外部露出。另一方面，除在2個(gè)基板Gl、G2之間封入液晶的密封材料外，在母基板MG的外周邊部設(shè)置有外部封條I。該外部封條I是用于粘接2片基板Gl、G2的封條，以防止分割母基板MG時(shí)產(chǎn)生的切片飛散。當(dāng)沿X方向刻劃這樣的母基板MG時(shí)，如圖I所示，需要使形成在下面的TFT基板G2上的電極端子2露出。另外，在圖I中，實(shí)線SI是上方的刀具刻劃出的刻劃線，虛線S2是下方的刀具刻劃出的刻劃線。因此，需要使CF基板Gl的刻劃線SI與TFT基板G2的刻劃線S2的位置僅相差端子的量而進(jìn)行刻劃。但是，即便在使刻劃線錯(cuò)開的情況下，也需要使上下的刻劃線SI、S2在從母基板MG的端部到外部封條I的內(nèi)端為止的范圍內(nèi)一致而進(jìn)行刻劃。假如，圖2 (a)、(b)所示，在沒有使上下的刻劃線SI、S2在從母基板MG的端部到外部封條I為止的范圍內(nèi)一致的情況下，外部封條I將殘留在2個(gè)基板G1、G2之間。于是，在外部封條I殘留的部分中，CF基板Gl與TFT基板G2保持貼合狀態(tài)，端子部分不能露出。因此，如前所述，在從母基板MG的端部到外部封條I的內(nèi)端為止的范圍內(nèi)，使上下的刻劃線S1、S2—致而進(jìn)行刻劃，然后，需要將上下的刻劃線S1、S2錯(cuò)開。另外，圖2 (b)是該圖(a)的A向視圖。此外，如圖3所示，當(dāng)在y方向上刻劃時(shí)，上下的刻劃線S3、S4從刻劃線的起點(diǎn)開始成為單位基板P的完成品的截面，因此為了抑制分割面的質(zhì)量劣化，需要避免刻劃線產(chǎn)生起伏。
[刻劃裝置的整體結(jié)構(gòu)]本實(shí)施方式的刻劃裝置用于在上面那樣的工件上形成刻劃線SI S4，并分割成多個(gè)單位基板P，在圖4和圖5中示出其整體結(jié)構(gòu)。圖4是示出裝置整體的概略情況的俯視圖，圖5是示意性示出裝置的一部分的正視圖。如圖4所示，刻劃裝置10主要具有第I刻劃單元11 ;2個(gè)第2刻劃單元12 ;以及基板姿勢(shì)變更裝置13。此外，設(shè)置有用于在這些裝置間搬運(yùn)基板的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)(未圖示)。在第I刻劃單元11的搬運(yùn)方向的上游側(cè)設(shè)置有等待工作臺(tái)15。此外，在基板姿勢(shì)變更裝置13的搬運(yùn)方向上游側(cè)和下游側(cè)分別設(shè)置有姿勢(shì)變更用工作臺(tái)16、17。另外，在該實(shí)施方式中，在基板姿勢(shì)變更裝置13的搬運(yùn)方向下游側(cè)配置有2列加工線，但也可配置I列加工線。在I列加工線的情況下，設(shè)置I個(gè)第2刻劃單元12。第I刻劃單元11針對(duì)搬入的母基板MG形成X方向的刻劃線。此外，第2刻劃單元12針對(duì)已經(jīng)執(zhí)行了 X方向的刻劃及分割處理的基板形成y方向的刻劃線。 如圖5所示，在各刻劃單元11、12中，設(shè)置有隔著基板對(duì)置的I對(duì)刻劃頭SH (在圖5中只示出構(gòu)成刻劃頭的刀輪)。另外，關(guān)于刻劃頭SH將在后面詳細(xì)敘述。在本裝置中，通過上下的刻劃頭SH，在上下基板上同時(shí)形成刻劃線，由此不用執(zhí)行作為另外工序的斷開工序就能夠分割基板。圖5 (a)示意性示出了刻劃處理，圖5 (b)示出了分割后的基板。通過這樣的裝置結(jié)構(gòu)，不需要用于在基板的正面和背面形成刻劃線的反轉(zhuǎn)工序和在形成刻劃線之后的斷開工序。[刻劃頭]在本裝置中，第I和第2刻劃單元11、12分別設(shè)置有2個(gè)刻劃頭。各刻劃頭的結(jié)構(gòu)如后所述，除了或者安裝有刀輪的夾具能夠旋轉(zhuǎn)自如、或者夾具的旋轉(zhuǎn)被限制這一點(diǎn)不同之外，其他的結(jié)構(gòu)完全相同。下面，基于圖6 圖8來說明刻劃頭的基本結(jié)構(gòu)。刻劃頭20用于在母基板MG上形成刻劃線SI S4,其可以沿著設(shè)于刻劃裝置10的導(dǎo)向桿lla、12a (參照?qǐng)D4)在水平方向上移動(dòng)。刻劃頭20具備基底部件21，其內(nèi)部配置有旋轉(zhuǎn)電機(jī)裝配體和滾珠螺桿等機(jī)構(gòu)(未圖示);壓碾用電機(jī)22，其安裝在基底部件21的上部；夾具保持部件23 ;以及具有夾具24的中心立軸裝配體25。〈夾具保持部件〉如圖7所示，夾具保持部件23具有圓筒部件28 ;插入圓筒部件28的內(nèi)面的殼體29;以及頂蓋30。圓筒部件28被支撐于基底部件21的下方。頂蓋30在中央部具有貫通孔，固定于圓筒部件28的下端。< 夾具 >如圖7和圖8所示，夾具24作為中心立軸裝配體25的構(gòu)成部件之一而設(shè)置。即，中心立軸裝配體25具有夾具24 ;上軸承32、下軸承33 ;間隔裝置34 ;軸承蓋35 ;以及支撐部件36。夾具24具有在上下方向上延伸的桿部24a ;以及在桿部24a的前端設(shè)置的刀具保持部24b。在桿部24a的上端借助螺栓41安裝著聯(lián)軸節(jié)40。聯(lián)軸節(jié)40可以與設(shè)置在基底部件21內(nèi)部的旋轉(zhuǎn)用電機(jī)裝配體連結(jié)，可以使夾具24在規(guī)定的角度范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。如圖7所示，刀具保持部24b從一個(gè)側(cè)面觀察，前端部分形成為三角形狀。此外，如圖8所示，在刀具保持部24b的前端部，從下方起形成規(guī)定長(zhǎng)度的切槽24c。在該切槽24c的下端部安裝著刀輪42。如圖7所示，從與刻劃頭的移動(dòng)方向垂直的方向觀察，刀輪42的安裝中心Cl與夾具24的桿部24a的中心C2偏移距離δ。由于該偏移δ，當(dāng)刻劃頭20的移動(dòng)方向變更時(shí)，夾具24能效仿該變更而旋轉(zhuǎn)。另外，如圖8所示，當(dāng)從沿著刻劃頭20的移動(dòng)方向的方向觀察時(shí)，刀輪42的中心與夾具24的桿部24a的中心一致。上軸承32和下軸承33將夾具24支撐為相對(duì)于夾具支撐部件23旋轉(zhuǎn)自如。間隔裝置34設(shè)置于上軸承32和下軸承33之間，上端與上軸承32的內(nèi)輪抵接，下端與下軸承33的內(nèi)輪抵接。軸承蓋35是大致圓筒狀的部件，具有固定部35a和防塵密封部35b。固定部35a以不能相對(duì)旋轉(zhuǎn)的方式固定在桿部24a的下端部。此外，在固定部35a的上下方向的大致中間部處，形成有在半徑方向上貫通的用于限制轉(zhuǎn)動(dòng)的孔35c。防塵密封部35b具有從固定部35a的下端部向徑向外側(cè)延伸并且向上方突出的環(huán)狀的突出部。
支撐部件36是配置于軸承蓋35的外周部的圓筒狀的部件。支撐部件36的外周面被壓入夾具保持部件23的頂蓋30的內(nèi)周面中。此外，在支撐部件36的內(nèi)周面與軸承蓋35的外周面之間設(shè)置了間隙。另外，在頂蓋30上設(shè)置有貫通頂蓋30的半徑方向的銷43。該銷43的前端被螺紋部件44壓在形成于支撐部件36的外周面的環(huán)狀槽36a中。由此，能夠防止支撐部件36從頂蓋30落下。此外，在支撐部件36的內(nèi)周面與軸承蓋35的外周面之間設(shè)置了間隙。在支撐部件36的上下方向的大致中間部處，在與軸承蓋35的孔35c對(duì)應(yīng)的位置處形成有在半徑方向上貫通的螺紋孔。在該螺紋孔中安裝有螺紋部件45。螺紋部件45的前端一直延伸至軸承蓋35的孔35c內(nèi)。另外，孔35c的內(nèi)徑比螺紋部件45的外徑大，軸承蓋35以及夾具24可以相對(duì)于支撐部件36旋轉(zhuǎn)相當(dāng)于這兩徑的差異的角度。在支撐部件36的下端面形成有環(huán)狀的槽。在該環(huán)狀槽中插入了軸承蓋35的突出部。通過這樣的結(jié)構(gòu)，防止了因加工而產(chǎn)生的加工片進(jìn)入軸承32、33。<夾具的旋轉(zhuǎn)限制>根據(jù)以上的說明可知，通過將螺紋部件45安裝于支撐部件36并將螺紋部件45的前端插入軸承蓋35的轉(zhuǎn)動(dòng)限制用孔35c中，能夠限制軸承蓋35相對(duì)于支撐部件36的旋轉(zhuǎn)。即，能夠限制夾具24相對(duì)于夾具保持部件23的繞與工件表面垂直的軸的旋轉(zhuǎn)。另外，如前所述，孔35c的內(nèi)徑形成為比螺紋部件45的外徑大，在兩者之間形成有間隙，因此夾具24能夠相對(duì)于支撐部件36旋轉(zhuǎn)相當(dāng)于該間隙部分的角度(優(yōu)選為5°以下)。下面將這樣設(shè)置的刻劃頭表述為“固定頭”。另一方面，通過從支撐部件36拆下螺紋部件45，由此使軸承蓋35能夠相對(duì)于支撐部件36自由旋轉(zhuǎn)。即，夾具24能夠相對(duì)于夾具保持部件23，繞與工件表面垂直的軸自由旋轉(zhuǎn)。下面將這樣設(shè)置的刻劃頭表述為“旋轉(zhuǎn)頭”。[加工動(dòng)作]在此處，對(duì)分割在圖I 3中示出的液晶顯示面板制造用的母基板時(shí)的加工動(dòng)作進(jìn)行說明。這種情況下，作為第I刻劃單元11的上方的刻劃頭設(shè)置固定頭，作為下方的刻劃頭設(shè)置旋轉(zhuǎn)頭。并且，作為第2刻劃單元12的上下的刻劃頭均設(shè)置固定頭。首先，通過搬運(yùn)機(jī)構(gòu)將母基板MG搬入等待工作臺(tái)15。將搬入的母基板MG向設(shè)置有第I刻劃單元11的工作臺(tái)搬運(yùn)。在此處，在X方向上刻劃母基板MG。具體而言，如圖I所示，使用上方的固定頭來形成刻劃線SI，使用下方的旋轉(zhuǎn)頭來形成刻劃線S2。由此，露出形成在下面的TFT基板G2上的電極端子2。此外，在此處，通過上下的刻劃頭同時(shí)形成刻劃線SI、S2，因此無需特別進(jìn)行斷開工序，母基板MG即沿著X方向的刻劃線SI、S2被分割。在上面的加工中，如圖I中虛線S2所示，對(duì)于下方的旋轉(zhuǎn)頭而言，雖然在移動(dòng)中改變了方向，但夾具24能夠相對(duì)于夾具保持部件23自由旋轉(zhuǎn)，因此夾具24能夠在平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，模仿并追隨刻劃線S2。此外，對(duì)于上方的固定頭而言，因?yàn)閵A具24相對(duì)于夾具保持部件23的旋轉(zhuǎn)被限制，因此上方的固定頭抑制了所形成的刻劃線SI的起伏。因此，能夠抑制產(chǎn)品的切斷質(zhì)量的劣化。將被第I刻劃單元11進(jìn)行了 X方向的分割的基板搬運(yùn)到基板姿勢(shì)變更裝置13。在基板姿勢(shì)變更裝置13中，使基板的姿勢(shì)在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)90度，并搬運(yùn)到設(shè)置了第2刻劃單元12的工作臺(tái)。接著在第2刻劃單元12中執(zhí)行y方向的刻劃。由此，母基板MG被分割為各單位基 板P。在此處，與上述相同，通過上下的刻劃頭同時(shí)形成刻劃線S3、S4，無需設(shè)置斷開工序，就能分割為單位基板P。在該第2刻劃單元12中，通過上下的固定頭分別形成上下的刻劃線S3、S4。在此處，從刻劃線S3、S4的起點(diǎn)成為單位基板P的完成品的截面，因?yàn)榭虅澗€S3、S4是由固定頭形成，所以能夠抑制刻劃線S3、S4產(chǎn)生起伏。[特征](I)在需要變更刻劃頭的移動(dòng)方向的加工臺(tái)上，設(shè)置夾具能夠自由旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)頭。此外，在無需變更刻劃頭的移動(dòng)方向，特別是刻劃線直接成為產(chǎn)品的截面的情況下，設(shè)置夾具的旋轉(zhuǎn)被限制的固定頭。因此，能夠根據(jù)刻劃線的種類使用適當(dāng)?shù)目虅濐^進(jìn)行加工。(2)通過安裝或拆下螺紋部件，能夠?qū)⒖虅濐^切換為固定式或旋轉(zhuǎn)式，能夠廉價(jià)地構(gòu)成2種刻劃頭。[其他實(shí)施方式]本發(fā)明不限定于上面那樣的實(shí)施方式，可以在不脫離本發(fā)明的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變形或者修正。在所述實(shí)施方式中，將本發(fā)明應(yīng)用到了分割液晶顯示面板用的母基板的情況，但也能夠同樣地應(yīng)用于在其他脆性材料基板上形成刻劃線的情況。在所述實(shí)施方式中，對(duì)在各刻劃單元上設(shè)置了上下的刻劃頭的情況進(jìn)行了說明，但本發(fā)明也同樣適用于只在上方或下方中的一方設(shè)置了刻劃頭的裝置。用于限制夾具相對(duì)于夾具保持部件的旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)不限定于所述實(shí)施方式。在所述實(shí)施方式中，將螺紋部件插入到了貫通孔中，但也可使用銷來代替螺紋部件。
權(quán)利要求
1.一種刻劃裝置，用于在作為工件的脆性材料基板上形成多條刻劃線， 所述刻劃裝置具備 第I刻劃單元，其用于在脆性材料基板上形成第I刻劃線，且具有第I刻劃頭，該第I刻劃頭具有 第I夾具保持部件；以及第I夾具，該第I夾具的前端可安裝刀具，被支撐為能夠相對(duì)于所述第I夾具保持部件繞與工件表面垂直的軸旋轉(zhuǎn)自如；以及 第2刻劃單元，其用于在脆性材料基板上形成第2刻劃線，且具有第2刻劃頭，該第2刻劃頭具有第2夾具保持部件；以及第2夾具，該第2夾具的前端可安裝刀具，其相對(duì)于所述第2夾具保持部件的繞與工件表面垂直的軸的旋轉(zhuǎn)被限制。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的刻劃裝置，其中， 所述刻劃裝置在所述第I刻劃單元與所述第2刻劃單元之間還具備用于變更脆性材料基板的姿勢(shì)的姿勢(shì)變更單元。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的刻劃裝置，其中， 所述第I刻劃單元還具有第3刻劃頭，該第3刻劃頭隔著欲被加工的脆性材料基板與所述第I刻劃頭相向配置， 所述第3刻劃頭在脆性材料基板上形成第3刻劃線，其具有第3夾具保持部件；以及第3夾具，該第3夾具的前端可安裝刀具，相對(duì)于所述第3夾具保持部件的繞與工件表面垂直的軸的旋轉(zhuǎn)被限制。
4.根據(jù)權(quán)利要求I至3中任意一項(xiàng)所述的刻劃裝置，其中， 所述第2刻劃單元還具有第4刻劃頭，該第4刻劃頭隔著欲被加工的脆性材料基板與所述第2刻劃頭相向配置， 所述第4刻劃頭在脆性材料基板上形成第4刻劃線，其具有第4夾具保持部件；以及第4夾具，該第4夾具的前端可安裝刀具，相對(duì)于所述第4夾具保持部件的繞與工件表面垂直的軸的旋轉(zhuǎn)被限制。
全文摘要
一種刻劃裝置。能夠根據(jù)刻劃線的種類使用適當(dāng)?shù)目虅濐^來形成刻劃線。該裝置用于在基板上形成多條刻劃線，其具備第1刻劃單元(11)，其具有第1刻劃頭，在基板上形成第1刻劃線；以及第2刻劃單元(12)，其具有第2刻劃頭，在基板上形成第2刻劃線。第1刻劃頭具有夾具保持部件(23)；以及夾具(24)，其前端可安裝刀輪(42)，被支撐為能夠相對(duì)于夾具保持部件(23)繞與工件表面垂直的軸旋轉(zhuǎn)自如。第2刻劃頭具有夾具保持部件(23)；以及夾具(24)，其前端可以安裝刀輪(42)，其相對(duì)于夾具保持部件(23)的繞與工件表面垂直的軸的旋轉(zhuǎn)被限制。
文檔編號(hào)C03B33/02GK102887635SQ201210206270
公開日2013年1月23日 申請(qǐng)日期2012年6月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月20日
發(fā)明者成尾徹 申請(qǐng)人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司