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一種基于ltcc的超材料諧振子及制備方法

文檔序號(hào):1984146閱讀:286來源:國(guó)知局
專利名稱:一種基于ltcc的超材料諧振子及制備方法
一種基于LTCC的超材料諧振子及制備方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及濾波器領(lǐng)域,尤其涉及一種基于LTCC的超材料諧振子及制備方法。背景技木超材料是近十年來發(fā)展起來的對(duì)電磁波起調(diào)制作用的材料。超材料一般是由一定數(shù)量的金屬微結(jié)構(gòu)附在具有一定力學(xué)、電磁學(xué)的基板上,這些具有特定圖案和材質(zhì)的微結(jié)構(gòu)會(huì)對(duì)經(jīng)過其身的特定頻段的電磁波產(chǎn)生調(diào)制作用。諧振子就是指產(chǎn)生諧振頻率的電子元件,常用的分為石英晶體諧振子和陶瓷諧振子,起產(chǎn)生頻率的作用,具有穩(wěn)定,抗干擾性能良好的特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于各種電子產(chǎn)品中。諧振子重要起頻率控制的作用,所有電子產(chǎn)品涉及頻率的發(fā)射和接收都需要諧振子。介質(zhì)諧振子具有體積小,重量輕,品質(zhì)因數(shù)高,穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)。特別是便于應(yīng)用在微帶電路或微 波集成電路中和毫米波段,受到很大重視,發(fā)展很快?,F(xiàn)有陶瓷諧振子介電常數(shù)在20-40之間,介電常數(shù)高于40的陶瓷材料,其損耗迅速増加,其品質(zhì)因數(shù)與諧振頻率的乘積往往低于40000GHz,因而不利于制作諧振子。

發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供ー種將含有金屬微結(jié)構(gòu)的LTCC部分與具有高Qf的調(diào)節(jié)部分連接在一起的超材料諧振子及其制備方法,這種結(jié)構(gòu)的超材料諧振子不僅介電常數(shù)高、而且Qf也高,滿足超材料諧振子對(duì)介電常數(shù)和Qf的要求。本發(fā)明解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種基于LTCC的超材料諧振子,所述超材料諧振子包括由Qf為50000GHz 200000GHz的陶瓷粉制成的調(diào)節(jié)部分和由燒結(jié)溫度低于950°C的陶瓷粉制備的LTCC部分,所述LTCC部分包括陶瓷基板和附著在所述陶瓷基板上的多個(gè)金屬微結(jié)構(gòu)。所述超材料諧振子還包括連接調(diào)節(jié)部分和LTCC部分的粘接層部分。制備所述調(diào)節(jié)部分的陶瓷粉的介電常數(shù)為40 70。制備所述LTCC部分的陶瓷粉的介電常數(shù)為30 50。制備所述調(diào)節(jié)部分的陶瓷粉為A(B1/3C2/3)03-Xwt% SnO2,其中A為Ba、Sr或Ca,B為Ni、Co、Sr、Ca、Mn、Cd、Zn或Mg,C為Nb或Ta,X為O 10 ;或者制備所述調(diào)節(jié)部分的陶瓷粉為 ZnTiNb2O8-O. 8Ti02。制備所述LTCC 部分的陶瓷粉為 BaZn2Ti4O11-Xwt % TeO2、BaTi4O9-Ywt % Nd203、(Li1/2Nd1/2)TiO3 或(Li1/2Sm1/2)Ti03,其中 X 為 O 6、Y 為 O 10。一種基于LTCC的超材料諧振子的制備方法,所述制備方法包括以下步驟制備調(diào)節(jié)部分將Qf為50000GHz 200000GHz的陶瓷粉制成所述超材料諧振子的調(diào)節(jié)部分;制備LTCC部分將燒結(jié)溫度低于950°C的陶瓷粉配制成陶瓷漿料,然后流延制成生瓷帶,在生瓷帶上加工出多個(gè)金屬微結(jié)構(gòu)后排膠,最后在850°C 950°C下保溫I 5小時(shí)進(jìn)行燒結(jié),獲得LTCC部分;將制備的調(diào)節(jié)部分和LTCC部分連接形成所需的超材料諧振子。制備所述LTCC部分吋,向所述陶瓷粉中加入助燒劑。一種基于LTCC的超材料諧振子的制備方法,所述制備方法包括以下步驟制備調(diào)節(jié)部分將Qf為50000GHz 200000GHz的陶瓷粉制成所述超材料諧振子的調(diào)節(jié)部分;制備LTCC部分將燒結(jié)溫度低于950°C的陶瓷粉 配制成陶瓷漿料,然后流延制成多片生瓷帶,在需要金屬微結(jié)構(gòu)的生瓷帶上加工出多個(gè)金屬微結(jié)構(gòu),然后根據(jù)設(shè)計(jì)疊壓無金屬微結(jié)構(gòu)的生瓷帶和含金屬微結(jié)構(gòu)的生瓷帶、排膠,最后在850°C 950°C下保溫I 5小時(shí)進(jìn)行燒結(jié),獲得含有多層金屬微結(jié)構(gòu)的LTCC部分;將制備的調(diào)節(jié)部分和LTCC部分連接形成所需的超材料諧振子。制備所述LTCC部分吋,向所述陶瓷粉中加入助燒劑。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果為采用LTCC技術(shù)(低溫共燒技術(shù))制備出的超材料諧振子的介電常數(shù)能夠達(dá)到80,但由于能夠低溫共燒的陶瓷的損耗比較大,所以使超材料諧振子的Qf降低了,為了既滿足高介電(介電常數(shù)為50 70)、又滿足高Qf (Qf可達(dá)20000GHz)的性能,因此本發(fā)明制備出含有金屬微結(jié)構(gòu)的LTCC部分與具有高Qf的調(diào)節(jié)部分連接在一起的基于LTCC超材料諧振子,通過具有高Qf的調(diào)節(jié)部分來提高整個(gè)超材料諧振子的Qf ;并且該制備エ藝簡(jiǎn)單、操作方便,可大規(guī)模エ業(yè)制作。

圖I為本發(fā)明基于LTCC超材料諧振子的一種結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本發(fā)明基于LTCC超材料諧振子的另ー種結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白,以下結(jié)合實(shí)施例和附圖,對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)ー步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解,此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明,并不用于限定本發(fā)明。一種基于LTCC的超材料諧振子,如圖I所示,超材料諧振子包括由Qf為50000GHz 200000GHz、介電常數(shù)為40 70的陶瓷粉制成的調(diào)節(jié)部分I、由介電常數(shù)為30 50、燒結(jié)溫度低于950°C的陶瓷粉(即低溫共燒陶瓷粉)制備的LTCC部分2及連接調(diào)節(jié)部分和LTCC部分的粘接層部分3,其中LTCC部分2包括陶瓷基板和附著在陶瓷基板上的多個(gè)金屬微結(jié)構(gòu)。調(diào)節(jié)部分和LTCC部分的介電常數(shù)不能相差太遠(yuǎn),是為了使這兩部分的性能相匹配。采用這種結(jié)構(gòu)的超材料諧振子,是由于采用LTCC技術(shù)制備出的超材料諧振子的介電常數(shù)能夠達(dá)到80,但由于能夠低溫共燒的陶瓷的損耗比較大,所以使超材料諧振子的Qf降低了,為了既滿足高介電(介電常數(shù)為50 70)、又滿足高Qf (Qf可達(dá)20000GHz)的性能,因此本發(fā)明制備出含有金屬微結(jié)構(gòu)的LTCC部分與具有高Qf的調(diào)節(jié)部分連接在一起的基于LTCC超材料諧振子,通過具有高Qf的調(diào)節(jié)部分來提高整個(gè)超材料諧振子的Qf。其中金屬微結(jié)構(gòu)是由金屬絲構(gòu)成的具有一定幾何形狀的平面或者立體結(jié)構(gòu),如エ字型、雪花型等;制備調(diào)節(jié)部分I的陶瓷粉為A(B1/3C2/3)O3-Xwt^ SnO2或者為ZnTiNb2O8-O. 8Ti02,其中 A 為 Ba、Sr 或 Ca,B 為 Ni、Co、Sr、Ca、Mn、Cd、Zn 或 Mg,C 為 Nb 或Ta,X 為 O 10 ;制備 LTCC 部分 2 的陶瓷粉為 BaZn2Ti4O11-Xwt^ TeO2^BaTi4O9-Ywt% Nd203、(Lil72Ndl72) TiO3或(Li1/2Sm1/2) TiO3等,其中X為O 6、Y為O 10,只要陶瓷粉符合低溫共燒基本都可以米用。一種基于LTCC的超材料諧振子的制備方法,所述制備方法包括以下步驟制備調(diào)節(jié)部分將Qf為50000GHz 200000GHz、介電常數(shù)為40 70的陶瓷粉制成所述超材料諧振子的調(diào)節(jié)部分,可以采用干壓成型法或其它技術(shù)制備調(diào)節(jié)部分;制備LTCC部分將介電常數(shù)為30 50、燒結(jié)溫度低于950°C的陶瓷粉(即低溫共燒陶瓷粉)配制成陶瓷漿料,然后流延制成生瓷帶,在生瓷帶上加工出多個(gè)金屬微結(jié)構(gòu)后排膠,最后在850°C 950°C下保溫I 5小時(shí)進(jìn)行燒結(jié),獲得LTCC部分;或者將介電常數(shù)為30 50、燒結(jié)溫度低于950°C的陶瓷粉(即低溫共燒陶瓷粉)配制成陶瓷漿料,然后流 延制成多片生瓷帶,在需要金屬微結(jié)構(gòu)的生瓷帶上加工出多個(gè)金屬微結(jié)構(gòu),然后根據(jù)設(shè)計(jì)疊壓無金屬微結(jié)構(gòu)的生瓷帶和含金屬微結(jié)構(gòu)的生瓷帶、排膠,最后在850°C 950°C下保溫I 5小時(shí)進(jìn)行燒結(jié),獲得含有多層金屬微結(jié)構(gòu)的LTCC部分;將調(diào)節(jié)部分和LTCC部分按波導(dǎo)模式和諧振頻率加工出預(yù)設(shè)要求的外形尺寸,如圓柱或圓環(huán)形,然后連接形成所需的超材料諧振子。其中,在制備LTCC部分時(shí),如果所采用的低溫共燒陶瓷粉的燒結(jié)溫度不是很理想,可以向其制備的陶瓷粉中加入7wt% 10wt%助燒劑,如BaO-CuO-B2O3體系,降低燒結(jié)過程中的溫度;金屬微結(jié)構(gòu)是由金屬絲構(gòu)成的具有一定幾何形狀的平面或者立體結(jié)構(gòu),如エ字型、雪花型等,可以采用絲網(wǎng)印刷技術(shù)制備出金屬微結(jié)構(gòu),也可以采用其他蝕刻、光刻、離子刻等技術(shù)。實(shí)施例一以下涉及的原材料純度為99. 5%及以上。用Ba (Znl73Nb273) 0s-3wt % SnO2 陶瓷粉制備調(diào)節(jié)部分Ba (Zn1/3Nb2/3) O3 陶瓷粉使用的原材料為BaC03、ZnO和Nb2O5,以摩爾比3:1:1稱取,用氧化鋯或氧化鋁小球以去離子水或無水こ醇球磨2 24小時(shí);烘干后在以I 10°C /min的升溫速度加熱至1000°C 1300°C保溫I 24小吋,隨爐降溫;降至室溫后,取出Ba(Zn1/3Nb2/3)03粉料并加入3wt%的SnO2充分混合后使用氧化鋯或氧化鋁小球以去離子水或無水こ醇球磨I 24小時(shí),烘干后添加PVA造粒并干壓成圓柱或圓環(huán)形樣品,樣品以I 10°C /min的升溫速度先加熱至300°C 600°C排膠后再以I 10°C /min的升溫速度加熱至1400°C 1500°C保溫3 24小時(shí)進(jìn)行燒結(jié),燒結(jié)完畢后隨爐降溫,燒結(jié)后的樣品最后以2 7°C /min的升溫速度加熱至1250°C 1350°C保溫3 24小時(shí)回火,隨爐冷卻后進(jìn)行表面拋光待用,獲得調(diào)節(jié)部分待用;用BaZn2Ti4O11-Iwt % TeO2陶瓷粉制備LTCC部分=BaZn2Ti4O11陶瓷粉使用的原材料為Ba0、Zn0和TiO2,以摩爾比I : 2 4稱取,用氧化鋯或氧化鋁小球以去離子水或無水こ醇球磨2 24小時(shí);烘干后在以2 7V Mn的升溫速度加熱至900°C 1100°C保溫3_24小吋,隨爐降溫;向預(yù)燒后的BaZn2Ti4O11陶瓷粉加入lwt%W Te02、10wt%W BaCu(B2O5)助燒劑充分混合后采用流延技術(shù)制備厚度為20 μ m 200 μ m的生瓷帶,再在生瓷帶上采用325目以上的絲網(wǎng)印刷金屬微結(jié)構(gòu),所采用的金屬為銀漿或鈀含量較低的銀鈀漿料,按照設(shè)計(jì)需要的外形切割后并排膠,排膠過程為先以1°C 2°C升溫至400°C,保溫I 2小時(shí),再以3°C 5°C升溫至850°C 950°C,最后在850°C 920°C下保溫I 5小時(shí),隨爐冷卻后進(jìn)行表面拋光待用,獲得LTCC部分;將調(diào)節(jié)部分和LTCC部分按波導(dǎo)模式和諧振頻率加工出符合設(shè)計(jì)要求的外形尺寸,然后將兩者連接形成所需的基于LTCC的超材料諧振子。其中連接兩者的粘合劑為氰基丙烯酸類粘合劑,也可以是其他類型的低損耗粘合 劑等。該制備エ藝簡(jiǎn)單、操作方便,可大規(guī)模エ業(yè)制作。實(shí)施例ニ以下涉及的原材料純度為99. 5%及以上。用ZnTiNb2O8-O. 8Ti02陶瓷粉制備調(diào)節(jié)部分=ZnTiNb2O8陶瓷粉使用的原材料為Zn0、Ti02和Nb2O5,以摩爾比I : I : I稱取,用氧化鋯或氧化鋁小球以去離子水或無水こ醇球磨2 24小時(shí);烘干后在以2 7V Mn的升溫速度加熱至1000°C 1300°C保溫I 12小時(shí),隨爐降溫;降至室溫后,取出粉料以ZnTiNb2O8 TiO2 = I O. 8摩爾比混合并用氧化鋯或氧化鋁小球以去離子水或無水こ醇球磨2 24小時(shí),烘干后添加PVA造粒并干壓成圓柱或圓環(huán)形樣品,樣品以2 TC /min的升溫速度先加熱至300°C 600°C排膠后再以2 7V Mn的升溫速度加熱至1100°C 1300°C保溫3 24小時(shí)進(jìn)行燒結(jié),此后的樣品最后以I 5°C /min的降溫速度到500°C,隨爐冷卻后進(jìn)行表面拋光待用,獲得調(diào)節(jié)部分待用;用BaTi409_2wt % Nd2O3陶瓷粉制備LTCC部分=BaTi4O9陶瓷粉使用的原材料為BaCO3和TiO2,以摩爾比I : 4稱取,用氧化鋯或氧化鋁小球以去離子水或無水こ醇球磨2 24小時(shí);烘干后在以2 7V Mn的升溫速度加熱至900°C 1100°C保溫3_24小吋,隨爐降溫;降至室溫后,向預(yù)燒后的BaTi4O9陶瓷粉中加入2wt%的Nd203、7wt%的BaCu(B2O5)助燒劑充分混合后采用流延技術(shù)制備厚度為20 μ m 200 μ m的生瓷帶,再在生瓷帶上采用325目以上的絲網(wǎng)印刷金屬微結(jié)構(gòu),所采用的金屬為銀漿或鈀含量較低的銀鈀漿料,按照設(shè)計(jì)需要的外形切割后并排膠,排膠過程為先以1°C 2°C升溫至400°C,保溫I 2小時(shí),再以3°C 5°C升溫至850°C 950°C,最后在850°C 920°C下保溫I 5小時(shí),隨爐冷卻后進(jìn)行表面拋光待用,獲得LTCC部分;將調(diào)節(jié)部分和LTCC部分按波導(dǎo)模式和諧振頻率加工出符合設(shè)計(jì)要求的外形尺寸,然后將兩者連接形成所需的基于LTCC的超材料諧振子。其中連接兩者的粘合劑為氰基丙烯酸類粘合劑,也可以是其他類型的低損耗粘合劑等。該制備エ藝簡(jiǎn)單、操作方便,可大規(guī)模エ業(yè)制作。實(shí)施例三實(shí)施例三相對(duì)于上述兩個(gè)實(shí)施例的不同點(diǎn)在于在制備諧振子LTCC部分時(shí),可以流延出多片生瓷帶,在需要金屬微結(jié)構(gòu)的生瓷帶上加工出多個(gè)金屬微結(jié)構(gòu),然后根據(jù)實(shí)際設(shè)計(jì)所需的厚度疊壓無金屬微結(jié)構(gòu)的生瓷帶和含金屬微結(jié)構(gòu)的生瓷帶,具體過程為先將疊合后的生瓷片加熱至60 V 80°C,使用2 20MPa的壓カ壓合,隨后排膠過程先以以
O.5°C 3°C升溫至400 V 600 V,保溫I 2小時(shí),再以3°C 5°C升溫至850°C 950°C,最后在850°C 950°C下保溫I 5小時(shí)進(jìn)行燒結(jié),獲得含有多層金屬微結(jié)構(gòu)的LTCC部分。其它步驟與上述相同,在此不再贅述。實(shí)施例四實(shí)施例四相對(duì)于上述三個(gè)實(shí)施例的不同點(diǎn)在于分別制備多片調(diào)節(jié)部分和LTCC部分,如圖2所示,將調(diào)節(jié)部分I和LTCC部分2交替層疊、連接在一起形成超材料諧振子,其它步驟與上述相同,在此不再贅述。根據(jù)實(shí)際所需超材料諧振子的厚度來控制兩部分的片數(shù),這種結(jié)構(gòu)的超材料諧振子相對(duì)于上述制備的調(diào)節(jié)部分和LTCC部分各自只有ー層的超材料諧振子對(duì)電磁波的響應(yīng)更好、性能更匹配。實(shí)施例五實(shí)施例五相對(duì)于上述四個(gè)實(shí)施例的不同點(diǎn)在于粘接層部分的粘合劑采用 的是玻璃漿料,在調(diào)解部分和LTCC部分之間涂覆ー層玻璃漿料,然后燒結(jié)固化,形成所需的諧振子,用玻璃漿料作為粘合剤,使兩者的粘合強(qiáng)度更大,并且玻璃材料的損耗低,更適合作為諧振子的粘接層。其他步驟相同,就不在贅述了。在上述實(shí)施例中,僅對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了示范性描述,但是本領(lǐng)域技術(shù)人員在閱讀本專利申請(qǐng)后可以在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種修改。
權(quán)利要求
1.一種基于LTCC的超材料諧振子,其特征在干,所述超材料諧振子包括由Qf為50000GHz 200000GHz的陶瓷粉制成的調(diào)節(jié)部分和由燒結(jié)溫度低于950°C的陶瓷粉制備的LTCC部分,所述LTCC部分包括陶瓷基板和附著在所述陶瓷基板上的多個(gè)金屬微結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基于LTCC的超材料諧振子,其特征在于,所述超材料諧振子還包括連接調(diào)節(jié)部分和LTCC部分的粘接層部分。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基于LTCC的超材料諧振子,其特征在于,制備所述調(diào)節(jié)部分的陶瓷粉的介電常數(shù)為40 70。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基于LTCC的超材料諧振子,其特征在干,制備所述LTCC部分的陶瓷粉的介電常數(shù)為30 50。
5.根據(jù)權(quán)利要求I或3所述的基于LTCC的超材料諧振子,其特征在于,制備所述調(diào)節(jié)部分的陶瓷粉為 A(B1/3C2/3)03-Xwt% SnO2,其中 A 為 Ba、Sr 或 Ca,B 為 Ni、Co、Sr、Ca、Mn、Cd、Zn或Mg,C為Nb或Ta,X為O 10 ;或者制備所述調(diào)節(jié)部分的陶瓷粉為ZnTiNb2O8-O. 8Ti02。
6.根據(jù)權(quán)利要求I或4所述的基于LTCC的超材料諧振子,其特征在干,制備所述LTCC部分的陶瓷粉為 BaZn2Ti4O11-Xwt^ TeO2^BaTi4O9-Ywt % Nd203> (Li1/2Nd1/2) TiO3 或(Li1/2Sm1/2)TiO3,其中X為O 6、Y為O 10。
7.一種基于LTCC的超材料諧振子的制備方法,其特征在于所述制備方法包括以下步驟 制備調(diào)節(jié)部分將Qf為50000GHz 200000GHz的陶瓷粉制成所述超材料諧振子的調(diào)節(jié)部分; 制備LTCC部分將燒結(jié)溫度低于950°C的陶瓷粉配制成陶瓷漿料,然后流延制成生瓷帶,在生瓷帶上加工出多個(gè)金屬微結(jié)構(gòu)后排膠,最后在850°C 950°C下保溫I 5小時(shí)進(jìn)行燒結(jié),獲得LTCC部分; 將制備的調(diào)節(jié)部分和LTCC部分連接形成所需的超材料諧振子。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基于LTCC的超材料諧振子的制備方法,其特征在于制備所述LTCC部分吋,向所述陶瓷粉中加入助燒劑。
9.一種基于LTCC的超材料諧振子的制備方法,其特征在于所述制備方法包括以下步驟 制備調(diào)節(jié)部分將Qf為50000GHz 200000GHz的陶瓷粉制成所述超材料諧振子的調(diào)節(jié)部分; 制備LTCC部分將燒結(jié)溫度低于950°C的陶瓷粉配制成陶瓷漿料,然后流延制成多片生瓷帶,在需要金屬微結(jié)構(gòu)的生瓷帶上加工出多個(gè)金屬微結(jié)構(gòu),然后根據(jù)設(shè)計(jì)疊壓無金屬微結(jié)構(gòu)的生瓷帶和含金屬微結(jié)構(gòu)的生瓷帶、排膠,最后在850°C 950°C下保溫I 5小時(shí)進(jìn)行燒結(jié),獲得含有多層金屬微結(jié)構(gòu)的LTCC部分; 將制備的調(diào)節(jié)部分和LTCC部分連接形成所需的超材料諧振子。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基于LTCC的超材料諧振子的制備方法,其特征在于制備所述LTCC部分吋,向所述陶瓷粉中加入助燒劑。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基于LTCC的超材料諧振子,所述超材料諧振子包括由Qf為50000GHz~200000GHz的陶瓷粉制成的調(diào)節(jié)部分和由燒結(jié)溫度低于950℃的陶瓷粉制備的LTCC部分,LTCC部分包括陶瓷基板和附著在陶瓷基板上的多個(gè)金屬微結(jié)構(gòu)。還涉及該結(jié)構(gòu)超材料諧振子的制備方法。采用LTCC技術(shù)制備出的超材料諧振子的介電常數(shù)能夠達(dá)到80,但由于能夠低溫共燒的陶瓷的損耗比較大,所以使超材料諧振子的Qf降低了,為了既滿足高介電(介電常數(shù)為50~70)、又滿足高Qf(Qf可達(dá)20000GHz)的性能,因此本發(fā)明制備出含有金屬微結(jié)構(gòu)的LTCC部分與具有高Qf的調(diào)節(jié)部分連接在一起的基于LTCC超材料諧振子,通過具有高Qf的調(diào)節(jié)部分來提高整個(gè)超材料諧振子的Qf;并且該制備工藝簡(jiǎn)單、操作方便,可大規(guī)模工業(yè)制作。
文檔編號(hào)C04B35/462GK102683788SQ20121013305
公開日2012年9月19日 申請(qǐng)日期2012年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月28日
發(fā)明者劉若鵬, 徐冠雄, 朱建華, 熊曉磊, 繆錫根 申請(qǐng)人:深圳光啟創(chuàng)新技術(shù)有限公司
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