專利名稱：線鋸裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型的實(shí)施例涉及線鋸裝置以及用于操作線鋸裝置的方法。更具體地，它們涉及具有改善的高等級(jí)特性并且用于對(duì)硬材料(諸如硅或石英的塊)進(jìn)行切割或鋸切的線鋸裝置，例如，用于切割硅晶片，用于平方體(Squarer)、用于裁剪器等。
背景技術(shù)：
存在一種線鋸裝置，其用于從一件硬的或脆的材料(諸如硅)切割出方塊或磚塊、薄的切片(例如半導(dǎo)體晶片)。在這種裝置中，繃緊的線被從線軸饋送出來并且由用于在切割區(qū)域中對(duì)線進(jìn)行引導(dǎo)的滑輪引導(dǎo)和張緊。用于進(jìn)行鋸切的線主要設(shè)置有研磨劑材料。作為一種選擇，可以作為漿料提供研磨劑材料。這可以在線與被切割的材料接觸之前的短期內(nèi)實(shí)現(xiàn)。因此，通過用于對(duì)材料進(jìn)行切割的線來將研磨劑承載到切割位置。作為另一種選·擇，研磨劑可以被設(shè)置在具有涂層的線上。例如，金剛石顆?？梢员辉O(shè)置在例如具有涂層的金屬線上，其中，金剛石顆粒被鑲嵌在線的涂層中。由此，將研磨劑牢固地與線連接。一般而言，線鋸裝置的產(chǎn)量已經(jīng)處于極為先進(jìn)的水平。然而，特別是考慮到期望在對(duì)于光電(PV)應(yīng)用具有高生產(chǎn)率下的高產(chǎn)量時(shí)，期望進(jìn)一步進(jìn)行改善。由此，已經(jīng)考慮了用于鋸切PV晶片等的線被張緊并且以非常高的速度移動(dòng)。線在提供了線管理和/或線張緊的一個(gè)或多個(gè)滾輪上從線軸饋送出來或者被饋送到線軸。滾輪例如可以使線改變方向。例如在滾輪的慣性可能妨礙立即停止?jié)L輪的緊急停止期間，滾輪的存在可以導(dǎo)致更高的線斷裂的可能性。線斷裂可能導(dǎo)致裝載物(即，在線鋸裝置中一時(shí)處理的工件)的完全損失。對(duì)于千兆瓦廠房的切晶片PV能力要求以及減小PV模塊的$/Watt值的持續(xù)期望要求更大的制造能力。在過去的廠房中已經(jīng)通過提供多個(gè)用于對(duì)PV晶片進(jìn)行切晶片的線鋸裝置來實(shí)現(xiàn)了制造大量晶片。然而，維護(hù)以及線斷裂仍然限制了生產(chǎn)率和產(chǎn)能，并且仍有待改善。多線漿料鋸現(xiàn)在是用于PV應(yīng)用的晶片制造的標(biāo)準(zhǔn)的并且最多產(chǎn)的工具。通常期望獨(dú)立的工具。工具具有五個(gè)功能組切片頭、漿料管理、線管理、冷卻組以及電箱/控制單元。需要改變?cè)摼酆象w來對(duì)于制造PV晶片實(shí)現(xiàn)高生產(chǎn)率下的高產(chǎn)量。

實(shí)用新型內(nèi)容考慮到以上內(nèi)容，提供了根據(jù)獨(dú)立權(quán)利要求I的用于對(duì)工件進(jìn)行鋸切的線鋸裝置。通過權(quán)利要求、說明書和附圖，本實(shí)用新型的其他方面、優(yōu)點(diǎn)和特征將會(huì)變得清楚。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，提供了一種用于對(duì)工件進(jìn)行鋸切的線鋸裝置。該線鋸裝置包括用于支撐殼體的主框架,其中，所述殼體包括第一殼體部分和與所述第一殼體部分分離的第二殼體部分；以及第一線引導(dǎo)組件，其具有至少兩個(gè)第一線引導(dǎo)筒，所述至少兩個(gè)第一線引導(dǎo)筒用于引導(dǎo)第一線，以形成具有至少一個(gè)第一工作區(qū)域的至少一個(gè)第一線網(wǎng)，其中，所述第一線引導(dǎo)組件被容納在所述第一殼體部分中；第二線引導(dǎo)組件，其具有至少兩個(gè)第二線引導(dǎo)筒，所述至少兩個(gè)第二線引導(dǎo)筒用于引導(dǎo)第二線，以形成具有至少一個(gè)第二工作區(qū)域的至少一個(gè)第二線網(wǎng)，其中，所述第二線引導(dǎo)組件被容納在所述第二殼體部分中；用于引導(dǎo)所述第一線的第一線管理單元；以及用于引導(dǎo)所述第二線的第二線管理單元。其中，該線鋸裝置還包括第一漿料或冷卻流體分配系統(tǒng)，其用于將漿料或冷卻流體分配到第一線引導(dǎo)組件；以及第二漿料或冷卻流體分配系統(tǒng)，其用于將漿料或冷卻流體分配到第二線引導(dǎo)組件。該線鋸裝置還包括第一漿料或冷卻流體罐，其用于將漿料或冷卻流體提供給第一漿料或冷卻流體分配系統(tǒng)；以及第二漿料或冷卻流體罐，其用于將漿料或冷卻流體提供給第二漿料或冷卻流體分配系統(tǒng)。第一線引導(dǎo)組件被設(shè)置在主框架的第一偵牝并且第二線引導(dǎo)組件被設(shè)置在主框架的第二側(cè)。第一側(cè)和第二側(cè)是相對(duì)側(cè)。第一線引導(dǎo)組件設(shè)置在第二線引導(dǎo)組件上方。第一線引導(dǎo)組件被設(shè)置為相對(duì)于第二線引導(dǎo)組件水平偏移。至少兩個(gè)第一線引導(dǎo)筒(122)的直徑和至少兩個(gè)第二線引導(dǎo)筒(122)的直徑是250_以上，典型地是在300mm到700mm之間，并且更典型地在500mm到700mm之間。第一線引導(dǎo)組件包括至少兩個(gè)第一工作區(qū)域，并且其中，第二線引導(dǎo)組件包括至少兩個(gè)第二工作區(qū)域。該線鋸裝置還包括控制器，其中控制器控制第一線引導(dǎo)組件和第二線引導(dǎo)組件。該線鋸裝置還包括具有一個(gè)用戶接口的控制器，其中控制器控制第一線引導(dǎo)組件和第二線引導(dǎo)組 件。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，提供了一種用于對(duì)工件進(jìn)行鋸切的線鋸裝置。該線鋸裝置包括用于支撐殼體的主框架,其中，所述殼體包括第一殼體部分和與所述第一殼體部分分離的第二殼體部分；以及第一線引導(dǎo)組件，其具有至少兩個(gè)第一線引導(dǎo)筒，所述至少兩個(gè)第一線引導(dǎo)筒用于引導(dǎo)第一線，以形成具有至少一個(gè)第一工作區(qū)域的至少一個(gè)第一線網(wǎng)，其中，所述第一線引導(dǎo)組件被設(shè)置在所述第一殼體部分中；第二線引導(dǎo)組件，其具有至少兩個(gè)第二線引導(dǎo)筒，所述至少兩個(gè)第二線引導(dǎo)筒用于引導(dǎo)第二線，以形成具有至少一個(gè)第二工作區(qū)域的至少一個(gè)第二線網(wǎng)，其中，所述第二線引導(dǎo)組件被設(shè)置在所述第二殼體部分中其中，第一殼體部分和第二殼體部分適合于維持第一和第二線弓I導(dǎo)組件彼此獨(dú)立；用于引導(dǎo)第一線的第一線管理單元；以及用于引導(dǎo)第二線的第二線管理單元。實(shí)施例還涉及用于執(zhí)行所公開的方法的設(shè)備，并包括用于執(zhí)行上述方法步驟的設(shè)備部件。這些方法步驟可以由硬件組件、通過適當(dāng)軟件編程的計(jì)算機(jī)以及通過這兩種或者任何其他方式的任意組合來實(shí)現(xiàn)。

因此，為了能夠詳細(xì)地理解本實(shí)用新型的上述特征，可以參照實(shí)施例獲得上文中總結(jié)的本實(shí)用新型的更具體的描述。附圖涉及本實(shí)用新型的實(shí)施例并且在下文中描述。圖I示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的線鋸裝置，并且其包括在兩個(gè)獨(dú)立的室部分(即，殼體部分)中的兩個(gè)獨(dú)立的切割區(qū)域；圖2示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的另一個(gè)線鋸裝置，并且其包括在兩個(gè)獨(dú)立的室部分(即，殼體部分)中的兩個(gè)獨(dú)立的切割區(qū)域；圖3示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例布置的線引導(dǎo)組件，并且其包括彼此分離的兩個(gè)獨(dú)立的切割區(qū)域；圖4示出了以另一種方式布置并且根據(jù)這里描述的實(shí)施例的線引導(dǎo)組件，并且其包括彼此分離的兩個(gè)獨(dú)立的切割區(qū)域；圖5示出了以另一種方式布置并且根據(jù)這里描述的實(shí)施例的線引導(dǎo)組件，并且其包括彼此部分地分離的多個(gè)工作區(qū)域；圖6示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例布置的線引導(dǎo)組件，并且其包括彼此分離的兩個(gè)獨(dú)立的切割區(qū)域，其中，沿著兩個(gè)方向設(shè)置了線引導(dǎo)組件之間的偏移；圖7示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的另一個(gè)線鋸裝置，并且其包括在兩個(gè)獨(dú)立的室部分(即，殼體部分)中的兩個(gè)獨(dú)立的切割區(qū)域；并且圖8的流程圖示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的對(duì)線鋸裝置進(jìn)行操作的方法。
具體實(shí)施方式
現(xiàn)在將會(huì)詳細(xì)參照本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，這些實(shí)施例中的一個(gè)或多個(gè)示例在附圖中示出。在附圖的以下描述中，相同的附圖標(biāo)記表示相同的組件。一般而言，僅描述對(duì) 于各個(gè)實(shí)施例的差異。每個(gè)示例是通過本實(shí)用新型的解釋說明的方式提供的，并且不意味著是本實(shí)用新型的限制。此外，作為一個(gè)實(shí)施例的一部分示出或描述的特征可以被用在其他實(shí)施例上或結(jié)合其他實(shí)施例使用，以產(chǎn)生另一個(gè)實(shí)施例。本說明書意圖包括這些修改和變化。圖I示出了線鋸裝置100。線鋸裝置100包括主框架102。例如，主框架102支撐線鋸裝置100的殼體和/或組件。通常，主框架102是剛性框架并且包括其上放置線鋸裝置的基底。根據(jù)可以與這里描述的其他實(shí)施例結(jié)合的不同的實(shí)施例，這里的線鋸裝置可以被用來利用漿料來切割硬材料，例如，硅或其他半導(dǎo)體材料，或者用來利用金剛石線等進(jìn)行切割。在過去，已經(jīng)試圖增加在一個(gè)線鋸裝置中的有效切割區(qū)域，并且由此增加裝置的生產(chǎn)率。然而，特別是對(duì)于切晶片機(jī)器，產(chǎn)量以及因此生產(chǎn)率可能由于線斷裂而劣化。由此，線鋸裝置的整個(gè)裝載物可能不再能被使用。根據(jù)這里描述的實(shí)施例，在有效切割區(qū)域趨向于增加或處于高水平的同時(shí)，可以在相同的機(jī)器中提供獨(dú)立的線網(wǎng)。根據(jù)典型實(shí)施例，獨(dú)立的線網(wǎng)可以被構(gòu)造為獨(dú)立地工作。例如，一個(gè)線網(wǎng)可以切割一個(gè)或多個(gè)工件，而其他線網(wǎng)被維護(hù)。例如，其他網(wǎng)可以被構(gòu)造為用于進(jìn)行維護(hù)，與該其他網(wǎng)相關(guān)的組件可以被修理或者替換來進(jìn)行維護(hù)，并/或工件被裝載到該其他線網(wǎng)或者從其他線網(wǎng)卸下。圖I中示出的線鋸裝置100具有第一線引導(dǎo)組件120以及第二線引導(dǎo)組件120。通常，每個(gè)線引導(dǎo)組件包括至少兩個(gè)用于設(shè)置線網(wǎng)的線引導(dǎo)柱122，在該線引導(dǎo)柱122上切割工件10。通常，線20提供至少一個(gè)工作區(qū)域22。如下文中更具體地描述的，例如，一個(gè)線網(wǎng)也可以提供兩個(gè)工作區(qū)域。線鋸裝置100包括艙104。線軸132和134設(shè)置在各個(gè)艙104中。根據(jù)典型實(shí)施例，線管理單元也可以被設(shè)置在艙104中。通常，線管理單元被構(gòu)造為操作線并且張緊線，其中線被引導(dǎo)到線網(wǎng)。根據(jù)典型實(shí)施例，第一線軸132也可以被設(shè)置為用于將新的線提供給線引導(dǎo)組件120并且第二線軸134也可以被設(shè)置為用于從線引導(dǎo)組件120取回已使用的線。通常，其中提供新線的線軸(例如第一線軸)與其上纏繞了已使用的線的線軸(例如，第二線軸)具有不同的類型。例如，其中提供新線的線軸可以是來自線制造商的一次性線軸。另一方面，這種線軸可以不適合于接收已使用的線，因?yàn)樗鼈冇袝r(shí)不能夠承受已使用的線的高的線張力。為了在主-副線軸鋸切期間支持這些不同的線軸類型，主線軸的軸(即，主線操作部分的線軸的軸)可以適合于承載該第一類型的線軸，并且副線軸的軸(即，副線操作部分的線軸的軸)可以適合于承載該第二類型的線軸，即，與第一類型不同的第二類型。此外，根據(jù)可以與這里描述的其他實(shí)施例結(jié)合的一些實(shí)施例，線管理部分可以支持雙向鋸切。下文中，雙向鋸切可以被理解為如下所述的鋸切工藝在其期間，線首先被從主線軸傳遞到副線軸，并且之后被從副線軸傳遞回主線軸，并且再次從主線軸傳遞到副線軸等。因此，對(duì)于雙向鋸切來說，(主)線軸132適合于向線網(wǎng)提供線，并且也適合于從線網(wǎng)接收已使用的線。類似地，副線軸134可以適合于向線網(wǎng)提供線，并且也適合于從線網(wǎng)接收已使用的線。對(duì)于雙向鋸切，控制器適合于將致動(dòng)指令發(fā)送到主線軸的軸以及副線軸的軸，該致動(dòng)指令在第一步驟中使得第一線軸的軸將線展開到第二線軸，并且在第二步驟中使得第二線軸的軸將線展開到第一線軸。根據(jù)可以與這里描述的其他實(shí)施例結(jié)合的另外的實(shí)施例，第一線引導(dǎo)組件120被設(shè)置在室或殼體部分106中，而第二線引導(dǎo)組件被設(shè)置在室或殼體部分108中。其中設(shè)置了線引導(dǎo)組件120的室或殼體部分也可以被稱作為切割室。為了能夠在各個(gè)切割室中采用線引導(dǎo)組件的獨(dú)立和分離的操作，可以獨(dú)立地實(shí)現(xiàn)各個(gè)切割室中的參數(shù)的控制。例如，可以控制各個(gè)殼體部分或切割室中的壓力、溫度、濕度和/或其它參數(shù)。工件10通常被用于工件10的支撐臺(tái)或支撐梁支撐在線鋸裝置100中。工件的切割由線網(wǎng)相對(duì)于工件10的相對(duì)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)。由此,工件10通常相對(duì)于由線引導(dǎo)組件120提供的線網(wǎng)移動(dòng)。此外，在一些情況下也可以移動(dòng)網(wǎng)或者移動(dòng)網(wǎng)和工件兩者。因此，可以分別對(duì)于各個(gè)線引導(dǎo)組件或切割機(jī)構(gòu)提供其他的操作條件，類似于線速度、支撐臺(tái)或支撐梁的移動(dòng)速度、漿料流速和/或漿料條件。如圖I所示，提供了第一漿料罐142和第二漿料罐142，其中，每個(gè)漿料罐對(duì)于分配系統(tǒng)143提供漿料，該分配系統(tǒng)143對(duì)應(yīng)于線引導(dǎo)組件120中的一者。由此，每個(gè)分配系統(tǒng)將漿料提供給噴嘴144，該噴嘴144將漿料提供給各個(gè)切割區(qū)域或多個(gè)切割區(qū)域。即使這樣，示例性地相較于這里的漿料，在利用金剛石線進(jìn)行切割的情況下，槽和分配系統(tǒng)也可以用于被設(shè)置在切割區(qū)域中的冷卻流體。即，包括研磨劑材料并且對(duì)于切割區(qū)域提供冷卻的漿料可以由冷卻流體代替，這是因?yàn)檠心┎牧显谑褂媒饎偸€的情況下已經(jīng)設(shè)置在線上。根據(jù)可以與這里描述的其他實(shí)施例結(jié)合的另外的實(shí)施例，除了在工件10的一側(cè)上示出的噴嘴144之外，在工件的另一側(cè)上的其他噴嘴144可以被提供給相同的工作區(qū)域。由此，因?yàn)橛糜谔峁{料或冷卻流體的噴嘴被提供用于兩個(gè)鋸切方向，所以例如可以應(yīng)用雙向鋸切。圖2示出了線鋸裝置100的又一些實(shí)施例。例如，根據(jù)一些實(shí)施例，圖2可以被認(rèn)為是圖I的俯視圖。線鋸裝置100包括主框架102和殼體部分104。在圖2的俯視圖中，可以看到線20通過使得線被引導(dǎo)到線引導(dǎo)柱122上方而提供了線網(wǎng)。由此，提供了至少一個(gè)工作區(qū)域并且工件10可以被切割為片，例如，半導(dǎo)體晶片。在圖2中示出的線引導(dǎo)組件120被設(shè)置在殼體部分或切割室108中。第二線引導(dǎo)組件例如可以被設(shè)置在圖2中示出的第一引導(dǎo)組件下方。圖2為了簡(jiǎn)單的目的而僅示出了一個(gè)線軸134。線20由包括一個(gè)或多個(gè)滑輪136的線管理單元分別提供給線引導(dǎo)柱122和工作區(qū)域。[0032]如這里所描述的，線管理單元將會(huì)被理解為對(duì)于向線鋸裝置(例如，切晶片線鋸裝置)的切割區(qū)域或工作區(qū)域以及從線鋸裝置的切割區(qū)域或工作區(qū)域進(jìn)行的線的供應(yīng)進(jìn)行操作處理的裝置。通常，線鋸包括用于沿著線移動(dòng)方向傳遞和引導(dǎo)線的至少兩個(gè)線引導(dǎo)件，而線管理單元提供線張力的控制。此外，由線管理單元提供的線在切割區(qū)域中形成線網(wǎng)。通常，線網(wǎng)的一部分將會(huì)被認(rèn)為是由單個(gè)線管理單元形成的網(wǎng)。根據(jù)一些實(shí)施例，可以設(shè)置一根以上的線，使得整個(gè)線網(wǎng)由一個(gè)以上的線網(wǎng)部分形成。應(yīng)當(dāng)理解，線網(wǎng)可以含有一個(gè)以上的工作區(qū)域部分，工作區(qū)域部分被限定為執(zhí)行鋸切操作的區(qū)域。因此，根據(jù)這里描述的一些實(shí)施例，線網(wǎng)可以具有由來自不同線管理單元的線形成的多個(gè)區(qū)域。對(duì)于當(dāng)代的線鋸裝置，例如切晶片線鋸裝置，期望高速切割硬材料，諸如半導(dǎo)體材料(例如，硅、石英等)。線速度(即線分別移動(dòng)通過線鋸裝置、線管理單元和被鋸切的材料的速度)可以是例如lOm/s以上。通常，線速度可以在8到20m/s的范圍內(nèi)。然而，25m/s、30m/s或甚至40m/s以上的更高的線速度也是可期的，并且能夠在特定條件下實(shí)現(xiàn)。為了以期望的線速度將線展開和卷繞，線軸以高達(dá)數(shù)千轉(zhuǎn)每分的旋轉(zhuǎn)速度旋轉(zhuǎn)。例如，1000到2000rpm可以被用來將線展開和卷繞。滾輪可以被用于線跟蹤，即，補(bǔ)償線離·開線軸134的位置、線張緊和/或線引導(dǎo)。如可以理解的，對(duì)于在這里描述的其他實(shí)施例中示出的全部線軸來說，類似的滑輪組件可以被設(shè)置在工作區(qū)域與線軸之間。特別地為了雙向鋸切，線管理單元(即，各個(gè)線軸組件)可以對(duì)于展開側(cè)和纏繞側(cè)類似的或者甚至對(duì)稱的方式設(shè)置。對(duì)于線跟蹤，第一滾輪可以被設(shè)置為沿著與線軸軸線平行的方向縱向移動(dòng)的可移動(dòng)滾輪?？梢苿?dòng)滾輪可以具有允許其跟隨從線軸的一側(cè)移動(dòng)到另一側(cè)的線的位置的跟蹤系統(tǒng)，使得線總是沿切線進(jìn)入線軸。例如在通過引用全文結(jié)合在這里的歐洲專利申請(qǐng)No. EP09153051. 9中描述了這種滑輪，具體參見關(guān)于歐洲專利申請(qǐng)No. EP 09153051. 9中的說明書的圖3A和圖3B以及相應(yīng)描述的跟蹤系統(tǒng)的描述。然而，鑒于線的有時(shí)非常可觀的張緊力，難以支持使得動(dòng)滑輪足夠可靠，使得動(dòng)滑輪能夠承受高的線張力的。在線鋸裝置100中，存在線管理單元。根據(jù)不同的實(shí)施例，線鋸裝置可以是裁剪器、用于將硬材料切方為磚塊的切方器、用于對(duì)工件進(jìn)行切片或切晶片的線鋸裝置或者用于將工件切割為多個(gè)切片或晶片的多重線鋸裝置。如果使用了具有涂層(例如金剛石涂層)的一根或多根細(xì)線，上述線管理單元特別有用。因此，在可以與這里描述的其他實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，對(duì)于切晶片來說，這里描述的線操作部分和線鋸裝置適合于具有約200 μ m以下的直徑的細(xì)線，諸如在約80 μ m到約150 μ m之間的直徑。此外，這里描述的線操作部分和線鋸裝置適合于具有涂層的線，例如，具有其中嵌入了金剛石顆粒的鎳涂層的線。這種線可以通常具有約200 μ m的芯部直徑，例如約80 μ m到約150 μ m的直徑。對(duì)于這些線來說，線的扭轉(zhuǎn)可能增加線斷裂或涂層損壞的風(fēng)險(xiǎn)，因此無扭轉(zhuǎn)操作是有利的。對(duì)于切方應(yīng)用，線直徑可以是約400 μ m以下，例如250 μ m至Ij 350 μ m0圖3示出了描繪第一實(shí)施例的線鋸裝置的部分。提供了第一線引導(dǎo)組件120和第二線引導(dǎo)組件120。如由分離元件306所示，線引導(dǎo)組件被分離為使得它們可以彼此獨(dú)立地工作。通常，線鋸裝置可以具有兩個(gè)獨(dú)立的室或殼體部分。例如，如圖I和圖3所示，其中的一者可以在另一者上方。在例如通過分離元件306分離的每個(gè)殼體部分中，提供了具有線引導(dǎo)筒122的線引導(dǎo)組件120。線20在線引導(dǎo)筒122上形成線網(wǎng)。如上所述，每個(gè)切割室或殼體部分和/或每個(gè)線引導(dǎo)組件分別可以具有獨(dú)立的線管理。由此，可以獨(dú)立地設(shè)置線的控制，例如線張緊和向切割區(qū)域的線供應(yīng)。通常，將會(huì)存在用于各個(gè)線引導(dǎo)組件的饋送線軸和取回線軸。如參照?qǐng)DI描述的，也可以對(duì)于各個(gè)線引導(dǎo)組件120獨(dú)立地提供漿料或冷卻劑分配。例如，可以存在分離的分配系統(tǒng)。由此，根據(jù)一些實(shí)施例，每個(gè)分配系統(tǒng)可以分別包括槽、泵、管線或管道，以及漿料或冷卻流體控制。如圖3所示，工件10被設(shè)置在對(duì)于每個(gè)線引導(dǎo)組件120的工件支撐件310處。如工件支撐件310中的箭頭所示，工件10可以相對(duì)于線20向下移動(dòng)。各工件10的移動(dòng)可以由此彼此獨(dú)立地進(jìn)行。因此，圖3中示出的一個(gè)工作區(qū)域中的鋸切操作可以與圖3中示出的另一個(gè)工作區(qū)域中的鋸切操作獨(dú)立地進(jìn)行。由此，在一個(gè)工作區(qū)域中線斷裂的事件中，另一個(gè)工件10可以繼續(xù)鋸切操作并且減少了被處理的工件的損失。此外，如果一個(gè)部分需要維護(hù)并/或已切割工件需要用未切割工件來替換，可以在其他部分中繼續(xù)進(jìn)行鋸切。這增 加了工具的可用性，并且由此增加了生產(chǎn)率。根據(jù)可以與這里描述的其他實(shí)施例結(jié)合的一些實(shí)施例，這里描述的線鋸裝置特別是切晶片線鋸裝置。對(duì)于切晶片線鋸裝置來說，鋸切處理的中斷可以被認(rèn)為是特別困難的。因此，將機(jī)械的裝載物劃分為多個(gè)更小的件可以對(duì)于線鋸裝置的產(chǎn)量有益。這是因?yàn)樵谝粋€(gè)區(qū)域中的工件損失不一定會(huì)導(dǎo)致在另一個(gè)區(qū)域中的工件的損失。圖4示出了另一個(gè)實(shí)施例。其中。提供了第一線引導(dǎo)組件120和第二線引導(dǎo)組件120,它們?cè)俅稳鐖D所示由分離元件306分離。相比于圖3,圖4中示出的實(shí)施例包括四個(gè)工件11-14。由此，兩個(gè)工件被安裝到工件支撐件310并且兩個(gè)其他工件被安裝到另一個(gè)工件支撐件310，它們可以與第一工件支撐件獨(dú)立地被控制。由此，線鋸裝置的各個(gè)部分中的兩個(gè)工件的切割可以獨(dú)立地進(jìn)行和/或彼此分離地進(jìn)行。在圖5中示出的實(shí)施例中，四個(gè)工件由工件支撐件310中的各個(gè)支撐。因此，四個(gè)工件在其中提供了第一線引導(dǎo)組件120的殼體部分中。在其中提供了第二線引導(dǎo)組件120的分離的殼體部分中切割另外四個(gè)工件。圖4和圖5中示出的實(shí)施例包括線網(wǎng)，線網(wǎng)由線20形成并且每個(gè)具有兩個(gè)工作區(qū)域。根據(jù)可以與這里描述的其他實(shí)施例結(jié)合的一些實(shí)施例，一對(duì)線引導(dǎo)筒122可以使線網(wǎng)具有上工作區(qū)域和下工作區(qū)域。可以在工作區(qū)域中的每一者中處理一個(gè)或多個(gè)工件10-18。根據(jù)其他實(shí)施例，作為圖6中示出的示例，可以相比于圖3到圖5重新布置第一線引導(dǎo)組件120和第二線引導(dǎo)組件120。由此，第一線引導(dǎo)組件120和第二線引導(dǎo)組件120可以被布置在彼此上方，而存在水平偏移。這允許使得工件12和工件13在水平平面上至少部分彼此相鄰。由此，可以減少由線引導(dǎo)裝置使用的豎直空間。如上所述，在第一線引導(dǎo)組件120與第二線引導(dǎo)組件120之間存在分離元件306。由此，可以提供其獨(dú)立和分離的操作。根據(jù)這里描述的實(shí)施例，如果引導(dǎo)線的各個(gè)部分設(shè)置在殼體部分中，則線引導(dǎo)組件和線管理單元的分離允許可靠的工作。由此，用于線引導(dǎo)組件或線管理單元中的一者的殼體部分可以被打開并且操作者可以在另一個(gè)殼體部分關(guān)閉的情況下對(duì)這些組件進(jìn)行工作，使得可以高速傳遞線而不對(duì)操作者產(chǎn)生任何危險(xiǎn)。因此，根據(jù)可以與這里描述的其他實(shí)施例結(jié)合的一些實(shí)施例，不同的殼體部分具有分離的開口和/或訪問門，使得可能仍然在工作狀態(tài)下的線引導(dǎo)組件、線管理單元和其他組件可以在封閉環(huán)境中工作，而其他組件可以被維護(hù)，或者工件可以被裝載或卸載等。根據(jù)一些實(shí)施例并且如圖6所示，分離單元306和各個(gè)殼體部分被成形為使得第一殼體部分和第二殼體部分中的組件的至少一部分被布置為水平地彼此相鄰。如圖6所示，線引導(dǎo)組件具有支撐臺(tái)610。如箭頭所示，一個(gè)支撐臺(tái)610可以在線引導(dǎo)組件120的工作區(qū)域上向下移動(dòng)，同時(shí)另一個(gè)支撐臺(tái)610可以相對(duì)于相同的線引導(dǎo)組件120的另一個(gè)工作區(qū)域向上移動(dòng)。如上所述，根據(jù)一些典型實(shí)施例，線引導(dǎo)組件120的兩個(gè)線引導(dǎo)筒122可以具有相當(dāng)大的直徑，例如500、600、700或甚至800mm以上，以允許至少一個(gè)工件或兩個(gè)工件的一部分在切割的過程中位于線引導(dǎo)筒之間的區(qū)域中。根據(jù)可以與這里描述的其他實(shí)施例結(jié)合的另外的實(shí)施例，第一線引導(dǎo)組件120和第二線引導(dǎo)組件120可能不一定設(shè)置在彼此上方。如圖7所示，第一線引導(dǎo)組件設(shè)置在線引導(dǎo)裝置100的一側(cè)，并且第二線引導(dǎo)組件設(shè)置在線引導(dǎo)裝置的另一側(cè)。由此，線引導(dǎo)組件 120通常可以設(shè)置為背靠背并/或在線鋸裝置100的相對(duì)側(cè)上。線鋸裝置100包括主框架102和殼體部分104。線通過使得在各個(gè)(例如兩個(gè))線引導(dǎo)筒122上對(duì)線進(jìn)行引導(dǎo)來提供線網(wǎng)。由此，提供了至少一個(gè)工作區(qū)域，并且由支撐臺(tái)310支撐的工件10可以被切割為片，例如半導(dǎo)體晶片。線引導(dǎo)組件120設(shè)置在殼體部分或切割室108中。第二線引導(dǎo)組件可以設(shè)置在另一個(gè)殼體部分108中。圖8示出了操作線鋸裝置的方法的典型實(shí)施例。其中，在步驟802，線鋸裝置的第一線引導(dǎo)組件可以在殼體的第一部分中工作，其中，第一線形成線網(wǎng)。在步驟804，第二線引導(dǎo)組件可以在殼體的第二部分中工作，其中，殼體的第二部分與殼體的第一部分獨(dú)立。如上所述，各殼體部分可以彼此獨(dú)立地打開和關(guān)閉，使得可以在線引導(dǎo)組件的訪問開口或門處于打開位置的情況下提供一個(gè)線引導(dǎo)組件的可靠操作。在其他步驟806和808中，可以對(duì)于線鋸裝置的各個(gè)部分獨(dú)立地控制類似于溫度、濕度、壓力、線速度、工件支撐臺(tái)速度和/或線張緊的參數(shù)。此外，如步驟810所示，線鋸裝置的各個(gè)部分可以由通常具有公共用戶接口的公共控制單元控制。雖然上文涉及本實(shí)用新型的實(shí)施例，但是，可以在不超出其基本范圍的情況下得出本實(shí)用新型的其他和另外的實(shí)施例，其范圍由所附權(quán)利要求所決定。
權(quán)利要求1.一種線鋸裝置，其用于對(duì)工件進(jìn)行鋸切，并且所述線鋸裝置的特征在于包括 用于支撐殼體的主框架,其中，所述殼體包括第一殼體部分和與所述第一殼體部分分離的第二殼體部分；以及 第一線引導(dǎo)組件(120)，其具有至少兩個(gè)第一線引導(dǎo)筒(122)，所述至少兩個(gè)第一線引導(dǎo)筒(122)用于引導(dǎo)第一線(20)，以形成具有至少一個(gè)第一工作區(qū)域(22)的至少一個(gè)第一線網(wǎng)，其中，所述第一線弓I導(dǎo)組件被容納在所述第一殼體部分中； 第二線引導(dǎo)組件(120)，其具有至少兩個(gè)第二線引導(dǎo)筒(122)，所述至少兩個(gè)第二線引導(dǎo)筒(122)用于引導(dǎo)第二線(20)，以形成具有至少一個(gè)第二工作區(qū)域(22)的至少一個(gè)第二線網(wǎng)，其中，所述第二線弓I導(dǎo)組件被容納在所述第二殼體部分中； 用于引導(dǎo)所述第一線的第一線管理單元；以及 用于引導(dǎo)所述第二線的第二線管理單元。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的線鋸裝置，還包括 第一漿料或冷卻流體分配系統(tǒng)，其用于將漿料或冷卻流體分配到所述第一線引導(dǎo)組件；以及 第二漿料或冷卻流體分配系統(tǒng)，其用于將漿料或冷卻流體分配到所述第二線引導(dǎo)組件。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的線鋸裝置，還包括 第一漿料或冷卻流體罐，其用于將漿料或冷卻流體提供給所述第一漿料或冷卻流體分配系統(tǒng)；以及 第二漿料或冷卻流體罐，其用于將漿料或冷卻流體提供給所述第二漿料或冷卻流體分配系統(tǒng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的線鋸裝置，其中，所述第一線引導(dǎo)組件被設(shè)置在所述主框架的第一側(cè)，并且所述第二線引導(dǎo)組件被設(shè)置在所述主框架的第二側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的線鋸裝置，其中，所述第一側(cè)和所述第二側(cè)是相對(duì)側(cè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求I至3中任一項(xiàng)所述的線鋸裝置，其中，所述第一線引導(dǎo)組件設(shè)置在所述第二線引導(dǎo)組件上方。
7.根據(jù)權(quán)利要求I至5中任一項(xiàng)所述的線鋸裝置，其中，所述第一線引導(dǎo)組件被設(shè)置為相對(duì)于所述第二線弓I導(dǎo)組件水平偏移。
8.根據(jù)權(quán)利要求I至5中任一項(xiàng)所述的線鋸裝置，其中，所述至少兩個(gè)第一線引導(dǎo)筒(122)的直徑和所述至少兩個(gè)第二線引導(dǎo)筒(122)的直徑是250mm以上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的線鋸裝置，其中，所述至少兩個(gè)第一線引導(dǎo)筒(122)的直徑和所述至少兩個(gè)第二線引導(dǎo)筒(122)的直徑是在300_到700_之間。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的線鋸裝置，其中，所述至少兩個(gè)第一線引導(dǎo)筒(122)的直徑和所述至少兩個(gè)第二線引導(dǎo)筒(122)的直徑是在500_到700_之間。
11.根據(jù)權(quán)利要求I至5中任一項(xiàng)所述的線鋸裝置，其中，所述第一線引導(dǎo)組件包括至少兩個(gè)第一工作區(qū)域，并且其中，所述第二線引導(dǎo)組件包括至少兩個(gè)第二工作區(qū)域。
12.根據(jù)權(quán)利要求I至5中任一項(xiàng)所述的線鋸裝置，還包括 控制器，其中所述控制器控制所述第一線引導(dǎo)組件和所述第二線引導(dǎo)組件。
13.根據(jù)權(quán)利要求I至5中任一項(xiàng)所述的線鋸裝置，還包括具有一個(gè)用戶接口的控制器，其中所述控制器控制所述第一線引導(dǎo)組件和所述第二線引導(dǎo)組件。
專利摘要本實(shí)用新型提供了線鋸裝置。線鋸裝置用于對(duì)工件進(jìn)行鋸切，并且線鋸裝置的特征在于包括用于支撐殼體的主框架，其中，殼體包括彼此分離的第一和第二殼體部分；第一線引導(dǎo)組件，其具有至少兩個(gè)第一線引導(dǎo)筒，用于引導(dǎo)第一線以形成具有至少一個(gè)第一工作區(qū)域的至少一個(gè)第一線網(wǎng)，第一線引導(dǎo)組件被設(shè)置在第一殼體部分中；第二線引導(dǎo)組件，其具有至少兩個(gè)第二線引導(dǎo)筒，用于引導(dǎo)第二線以形成具有至少一個(gè)第二工作區(qū)域的至少一個(gè)第二線網(wǎng)，第二線引導(dǎo)組件被設(shè)置在第二殼體部分中，第一和第二殼體部分適于維持第一和第二線導(dǎo)引組件彼此獨(dú)立；用于引導(dǎo)第一線的第一線管理單元；以及用于引導(dǎo)第二線的第二線管理單元。
文檔編號(hào)B28D5/04GK202727133SQ20112057884
公開日2013年2月13日 申請(qǐng)日期2011年12月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月27日
發(fā)明者弗蘭克·基諾賽奧, 安德烈亞斯·施密特 申請(qǐng)人:應(yīng)用材料瑞士股份有限公司