專利名稱：多晶錠或單晶棒的開方工具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種多晶錠或單晶棒的開方工具。
背景技術(shù)：
在對(duì)多晶錠或單晶棒切片之前，首先需要對(duì)多晶錠或單晶棒進(jìn)行開方，目前開方的方法主要有帶鋸開方、結(jié)構(gòu)鋼線開方以及金剛線開方。這幾種開方方法各有優(yōu)缺點(diǎn)，各自優(yōu)缺點(diǎn)分別為1.帶鋸開方的優(yōu)點(diǎn)是產(chǎn)能相對(duì)結(jié)構(gòu)鋼線開方較大，缺點(diǎn)是成本高，工藝穩(wěn)定性一般，硅料損失嚴(yán)重，開方以后晶棒表面質(zhì)量較差；2.結(jié)構(gòu)鋼線開方的優(yōu)點(diǎn)工藝穩(wěn)定性較好，硅料損失較少，晶棒表面質(zhì)量較好，成本較少，缺點(diǎn)是產(chǎn)能一般；3.金剛線開方的優(yōu)點(diǎn)是產(chǎn)能較大，成本較少，硅料損失較少，缺點(diǎn)是工藝穩(wěn)定性較差，晶棒表面質(zhì)量一般，開方時(shí)易斷線導(dǎo)致晶錠報(bào)廢；在現(xiàn)硅片切片行業(yè)，要保證切片的整體效益，開方階段的重要性也非常突出，保證開方工藝的高產(chǎn)能、高穩(wěn)定性、高質(zhì)量、低成本、低硅料損耗、低故障率特點(diǎn)已成為開方工藝的發(fā)展方向。目前國內(nèi)外行業(yè)內(nèi)所有開方方法及工藝均在不斷完善中，但就目前的開方工藝， 無論是結(jié)構(gòu)鋼線開方、金剛線開方還是帶鋸開方，均存在較明顯的缺點(diǎn)，尋找一種新的能夠?qū)⒛壳八虚_方工藝的優(yōu)點(diǎn)結(jié)合起來的開方工藝方法已迫在眉睫。本發(fā)明通過結(jié)合目前各開方方法的優(yōu)點(diǎn)，創(chuàng)建了一種新的開方工藝，從根本上保證了開方過程中晶棒的質(zhì)量，提高了開方產(chǎn)能，降低了硅料損耗和成本的同時(shí)工藝穩(wěn)定性好，為提高切片車間的產(chǎn)能及效益提供了充分保障。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是為了解決現(xiàn)多晶錠或單晶棒開方時(shí)，無論是結(jié)構(gòu)鋼線開方、金剛線開方還是帶鋸開方，均存在較明顯的缺點(diǎn)帶鋸開方成本高，工藝穩(wěn)定性一般，硅料損失嚴(yán)重，開方以后晶棒表面質(zhì)量較差；結(jié)構(gòu)鋼線開方產(chǎn)能受限制；金剛線開方工藝穩(wěn)定性較差，晶棒表面質(zhì)量一般，開方時(shí)易斷線導(dǎo)致晶錠報(bào)廢，造成車間產(chǎn)能及原材料輔材的讓費(fèi)，嚴(yán)重影響了切片車間的效益，本實(shí)用新型提供一種多晶錠或單晶棒的開方工具。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種多晶錠或單晶棒的開方工具，包括金剛線，金剛線外壁鑲嵌有第一金剛砂顆粒，金剛線外包裹有金剛砂漿層，金剛砂漿層中含有第二金剛砂顆粒。開方時(shí)根據(jù)金剛線上第一金剛砂顆粒的大小調(diào)整金剛砂漿層中第二金剛砂顆粒的尺寸。本實(shí)用新型的有益效果是，本實(shí)用新型多晶錠或單晶棒的開方工具的根本技術(shù)革新在于一是把目前的結(jié)構(gòu)鋼線開方系統(tǒng)中的結(jié)構(gòu)鋼線轉(zhuǎn)換金剛線，二是根據(jù)金剛線上金剛砂的大小調(diào)整砂漿中金剛砂尺寸，從而形成一種新的開方工具，和以往的開方工具相比， 本實(shí)用新型的開方工具切割能力大大增強(qiáng)。本實(shí)用新型不僅保留了結(jié)構(gòu)鋼線開方的工藝穩(wěn)定性好、硅料損失較少、晶棒表面質(zhì)量好以及成本少等優(yōu)點(diǎn)；而且本實(shí)用新型在開方工藝中，金剛砂及金剛線同時(shí)對(duì)晶錠或晶棒進(jìn)行切割，切割能力大大增加，切割效率大大改善； 尤其是在對(duì)多晶錠開方過程中，以往的開方工藝由于多晶錠頂部雜質(zhì)層硬度大造成的鋼線或金剛線斷線、帶鋸鋸條扭曲或變形等引起的晶棒開方尺寸偏差報(bào)廢、車間產(chǎn)能損失、原材料輔材讓費(fèi)等問題非常嚴(yán)重，本實(shí)用新型從根本上解決了該問題。本實(shí)用新型在提高切片車間的開方產(chǎn)能及開方質(zhì)量上產(chǎn)生了質(zhì)的飛躍，為提高切片車間的產(chǎn)能及效益提供了充分保障。
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、金剛線，2、第一金剛砂顆粒，3、金剛砂漿層，3-1、第二金剛砂顆粒。
具體實(shí)施方式
現(xiàn)在結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。這些附圖均為簡化的示意圖， 僅以示意方式說明本實(shí)用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實(shí)用新型有關(guān)的構(gòu)成。如圖1所示的本實(shí)用新型的多晶錠或單晶棒的開方工具，包括金剛線1，金剛線1 外壁鑲嵌有第一金剛砂顆粒2，金剛線1外包裹有金剛砂漿層3，金剛砂漿層3中含有第二金剛砂顆粒3-1。開方時(shí)根據(jù)金剛線1上第一金剛砂顆粒2的大小調(diào)整金剛砂漿層3中第二金剛砂顆粒3-1的尺寸。本實(shí)用新型的使用方法是(一 )、對(duì)多晶錠或單晶棒進(jìn)行電阻率及型號(hào)測試，無異常情況下進(jìn)行開方；(二)、多晶錠開方時(shí)，對(duì)用于固定多晶錠的晶托進(jìn)行異物清除及清洗，并在晶托表面噴涂適量晶錠粘合泡沫膠，為粘粘及固定多晶錠作準(zhǔn)備；單晶棒開方時(shí)，將單晶棒洗干凈后用固溶膠固定于晶托上，將晶托固定于工作臺(tái)上為開方作準(zhǔn)備；(三)、將粘有多晶錠或單晶棒的晶托固定于開方機(jī)臺(tái)上，開方工具選用本實(shí)用新型的多晶錠或單晶棒的開方工具，開方式根據(jù)金剛線1上第一金剛砂顆粒2的大小調(diào)整金剛砂漿層3中第二金剛砂顆粒3-1的尺寸，同時(shí)截除晶錠四周雜質(zhì)層。(四)、晶塊卸出機(jī)臺(tái)經(jīng)過清洗檢測后便是成品晶棒，經(jīng)檢測后便可用于切片工序。以上述依據(jù)本實(shí)用新型的理想實(shí)施例為啟示，通過上述的說明內(nèi)容，相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項(xiàng)實(shí)用新型技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項(xiàng)實(shí)用新型的技術(shù)性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來確定其技術(shù)性范圍。
權(quán)利要求1. 一種多晶錠或單晶棒的開方工具，其特征在于包括金剛線(1)，金剛線(1)外包裹有金剛砂漿層(3)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種多晶錠或單晶棒的開方工具，包括金剛線，金剛線外壁鑲嵌有第一金剛砂顆粒，金剛線外包裹有金剛砂漿層，金剛砂漿層中含有第二金剛砂顆粒。本實(shí)用新型不僅保留了結(jié)構(gòu)鋼線開方的工藝穩(wěn)定性好、硅料損失較少、晶棒表面質(zhì)量好以及成本少等優(yōu)點(diǎn)；而且本實(shí)用新型在開方工藝中，金剛砂及金剛線同時(shí)對(duì)晶錠或晶棒進(jìn)行切割，切割能力大大增加，切割效率大大改善；尤其是在對(duì)多晶錠開方過程中，以往的開方工藝由于多晶錠頂部雜質(zhì)層硬度大造成的鋼線或金剛線斷線、帶鋸鋸條扭曲或變形等引起的晶棒開方尺寸偏差報(bào)廢、車間產(chǎn)能損失、原材料輔材讓費(fèi)等問題非常嚴(yán)重，本實(shí)用新型從根本上解決了該問題。
文檔編號(hào)B28D5/04GK202071230SQ201020696210
公開日2011年12月14日 申請(qǐng)日期2010年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月31日
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