一種光罩人工擦拭裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種光罩人工擦拭裝置，包括支撐架，支撐架上設(shè)置有與光罩尺寸相匹配的旋轉(zhuǎn)平臺，旋轉(zhuǎn)平臺通過支撐旋轉(zhuǎn)軸承安裝在支撐架上；旋轉(zhuǎn)平臺的兩側(cè)設(shè)置有用于照亮旋轉(zhuǎn)平臺上的光罩的兩個表面檢查燈。本實用新型的旋轉(zhuǎn)臺的尺寸與光罩的尺寸相匹配，光罩能夠準確卡在旋轉(zhuǎn)臺上，擦拭時不會前后左右移動；另外，旋轉(zhuǎn)平臺通過支撐旋轉(zhuǎn)軸承能在支撐架旋轉(zhuǎn)任意角度，保證能夠看到光罩上面任何一點的異物；最后，旋轉(zhuǎn)平臺的兩邊各有一臺燈頭可任意轉(zhuǎn)動的表面檢查燈，以達到所需要照射的角度；本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，成本低，完全適用于在小型生產(chǎn)線或?qū)嶒炇覂?nèi)對光罩的人工擦拭。
【專利說明】一種光罩人工擦拭裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬涉及一種平板顯示器生產(chǎn)中使用的光罩人工擦拭裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在平板顯示器的圖形加工生產(chǎn)中，為了將光罩上的圖案印到涂過光刻膠的玻璃板上，需要使用光罩作為模版來進行曝光，而光罩的潔凈程度直接決定印出圖案的質(zhì)量。如果光罩上有大量的灰塵存在，曝光時它就會遮擋光線，在產(chǎn)品上產(chǎn)生殘留、短路等不良。在大型自動化生產(chǎn)線上，一般使用光罩自動清洗機進行清洗，自動清洗機一般投資較高。而在沒有自動清洗裝置的小型生產(chǎn)線或?qū)嶒炇覂?nèi)，就需要專門的擦拭臺進行人工擦拭。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型的目的在于提供一種光罩人工擦拭裝置。
[0004]為達到上述目的，本實用新型所采用的技術(shù)方案是:包括支撐架，支撐架上設(shè)置有與光罩尺寸相匹配的旋轉(zhuǎn)平臺，旋轉(zhuǎn)平臺通過支撐旋轉(zhuǎn)軸承安裝在支撐架上；旋轉(zhuǎn)平臺的兩側(cè)設(shè)置有用于照亮旋轉(zhuǎn)平臺上的光罩的兩個表面檢查燈。
[0005]上述的旋轉(zhuǎn)平臺外側(cè)的三個面上設(shè)置有三塊相互垂直的防反光板。
[0006]在相對的兩個防反光板的外側(cè)設(shè)置有用于放置擦拭工具的擦拭工具箱。
[0007]上述的旋轉(zhuǎn)平臺為厚度為IOmm的鋁板。
[0008]上述的防反光板為經(jīng)過黑化處理的鋁板。
[0009]上述的支撐架上方還設(shè)置有一橫梁，橫梁上設(shè)置有用于懸掛離子風(fēng)槍的離子風(fēng)槍掛鉤。
[0010]上述表面檢查燈的燈頭能夠任意轉(zhuǎn)動。
[0011]上述的表面檢查燈為FY-100R表面檢查燈。
[0012]上述支撐架的四個角設(shè)置有墊塊。
[0013]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下有益效果:
[0014]本實用新型的旋轉(zhuǎn)臺的尺寸與光罩的尺寸相匹配，光罩能夠準確卡在旋轉(zhuǎn)臺上，擦拭時不會前后左右移動；另外，旋轉(zhuǎn)平臺通過支撐旋轉(zhuǎn)軸承能在支撐架旋轉(zhuǎn)任意角度，保證能夠看到光罩上面任何一點的異物；最后，旋轉(zhuǎn)平臺的兩邊各有一臺燈頭可任意轉(zhuǎn)動的表面檢查燈，以達到所需要照射的角度；本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，成本低，完全適用于在小型生產(chǎn)線或?qū)嶒炇覂?nèi)對光罩的人工擦拭。
[0015]進一步的，本實用新型在旋轉(zhuǎn)平臺的三邊上安裝防反光黑化處理的鋁板，支撐架的整體架構(gòu)采用不銹鋼材料，旋轉(zhuǎn)平臺采用重量較輕的IOmm鋁板，支撐架底部四角的墊塊采用防塵、防靜電、耐磨的PEEK材料；這些材料的選取進一步保證了光罩擦拭后的潔凈效果，防止二次污染。
【專利附圖】

【附圖說明】[0016]圖1為本實用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]其中，I為支撐架；2為表面檢查燈；3為防反光板；4為離子風(fēng)槍掛鉤；5為旋轉(zhuǎn)平臺；6為支撐旋轉(zhuǎn)軸承；7為擦拭工具箱。
【具體實施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖對本實用新型做進一步詳細的說明:
[0019]參加圖1，本實用新型包括底部四角安裝有墊塊的支撐架1，支撐架I上設(shè)置有與光罩尺寸相匹配的旋轉(zhuǎn)平臺5，旋轉(zhuǎn)平臺5采用厚度為IOmm的鋁板，旋轉(zhuǎn)平臺5通過支撐旋轉(zhuǎn)軸承6安裝在支撐架I上；在旋轉(zhuǎn)平臺5外側(cè)的三個面上設(shè)置有三塊相互垂直的防反光板3，防反光板3為經(jīng)過黑化處理的鋁板；其中，相對的兩個防反光板3的外側(cè)均設(shè)置有擦拭工具箱7和用于照亮旋轉(zhuǎn)平臺5上的光罩的兩個燈頭能夠任意轉(zhuǎn)動的表面檢查燈2，表面檢查燈2為FY-100R表面檢查燈；支撐架I的上方還設(shè)置有一橫梁，橫梁上設(shè)置有用于懸掛離子風(fēng)槍的離子風(fēng)槍掛鉤4。
[0020]本實用新型在擦拭時使用10級無塵布蘸上酒精進行擦拭，擦拭過后用離子風(fēng)槍將上面的液體吹干；擦拭時所使用的工具可放置在工具箱內(nèi)。另外，本實用新型人工擦拭裝置需放置在無塵室內(nèi)進行。
【權(quán)利要求】
1.一種光罩人工擦拭裝置，其特征在于:包括支撐架(I)，支撐架(I)上設(shè)置有與光罩尺寸相匹配的旋轉(zhuǎn)平臺(5)，旋轉(zhuǎn)平臺(5)通過支撐旋轉(zhuǎn)軸承(6)安裝在支撐架(I)上；旋轉(zhuǎn)平臺(5 )的兩側(cè)設(shè)置有用于照亮旋轉(zhuǎn)平臺(5 )上的光罩的兩個表面檢查燈(2 )。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩人工擦拭裝置，其特征在于:所述的旋轉(zhuǎn)平臺(5)外側(cè)的三個面上設(shè)置有三塊相互垂直的防反光板(3)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光罩人工擦拭裝置，其特征在于:在相對的兩個防反光板(3)的外側(cè)設(shè)置有用于放置擦拭工具的擦拭工具箱(J)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光罩人工擦拭裝置，其特征在于:所述的旋轉(zhuǎn)平臺(5)為厚度為IOmm的招板。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光罩人工擦拭裝置，其特征在于:所述的防反光板(3)為經(jīng)過黑化處理的鋁板。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩人工擦拭裝置，其特征在于:所述的支撐架(I)上方還設(shè)置有一橫梁，橫梁上設(shè)置有用于懸掛離子風(fēng)槍的離子風(fēng)槍掛鉤(4)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩人工擦拭裝置，其特征在于:所述表面檢查燈(2)的燈頭能夠任意轉(zhuǎn)動。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或7所述的光罩人工擦拭裝置，其特征在于:所述的表面檢查燈(2)為FY-1OOR表面檢查燈。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩人工擦拭裝置，其特征在于:所述支撐架(I)的四個角設(shè)置有墊塊。
【文檔編號】B08B13/00GK203385992SQ201320366113
【公開日】2014年1月8日 申請日期:2013年6月24日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月24日
【發(fā)明者】丁和平 申請人:彩虹（佛山）平板顯示有限公司