專利名稱：清洗機(jī)圓片保護(hù)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種清洗機(jī)輔助裝置。
背景技術(shù)：
原有的清洗機(jī)對(duì)圓片的保護(hù)是通過(guò)真空的吸附力使圓片不會(huì)在旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中被 甩出去，但實(shí)際應(yīng)用過(guò)程中，圓片還是會(huì)因?yàn)槭盏降妆P(pán)真空度，以及擺放圓片位置等的影響 而產(chǎn)生真空無(wú)法完全能吸得住，最終還是會(huì)有圓片被甩出去的的情況發(fā)生。原來(lái)等設(shè)備真 空?qǐng)?bào)警的時(shí)候，實(shí)際這時(shí)圓片已經(jīng)被甩出去了，異常已經(jīng)發(fā)生。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)合理，使圓片在整個(gè)清洗的過(guò)程中受到保護(hù)，同 時(shí)還不影響原有的真空吸附功能的清洗機(jī)圓片保護(hù)裝置。本發(fā)明的技術(shù)解決方案是
一種清洗機(jī)圓片保護(hù)裝置，其特征是包括設(shè)置在圓片邊緣外側(cè)的固定限位座，固定限 位座上裝通過(guò)銷軸與固定限位座連接的活動(dòng)座，且活動(dòng)座的上端位于圓片邊緣的上方，活 動(dòng)座的下端懸在銷軸的下方?；顒?dòng)座的上端呈抵壓圓片的彎鉤形式。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理，解決了原來(lái)部分人員在放圓片的時(shí)候未能放正，致使旋轉(zhuǎn)過(guò)程 中離心力過(guò)大，真空不能保護(hù)，而甩片的問(wèn)題，同時(shí)也解決了部分人員有時(shí)對(duì)底盤(pán)的水吹不 干凈，而影響了底盤(pán)真空度的問(wèn)題；再加上原有的底盤(pán)真空功能仍然可以使用，這樣的話， 就是在整個(gè)清洗過(guò)程中是多重保護(hù)，保證了產(chǎn)品品質(zhì)的安全，解決了原有意外的甩片問(wèn)題。


下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明。圖1是本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是活動(dòng)座的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是固定限位座的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4是本發(fā)明安裝狀態(tài)示意圖。
具體實(shí)施例方式
一種清洗機(jī)圓片保護(hù)裝置，包括設(shè)置在圓片1邊緣外側(cè)的固定限位座2，固定限位座2 上裝通過(guò)銷軸3與固定限位座連接的活動(dòng)座4，且活動(dòng)座的上端位于圓片邊緣的上方，活動(dòng) 座的下端懸在銷軸的下方?；顒?dòng)座的上端5呈抵壓圓片的彎鉤形式。
權(quán)利要求
1.一種清洗機(jī)圓片保護(hù)裝置，其特征是包括設(shè)置在圓片邊緣外側(cè)的固定限位座，固 定限位座上裝通過(guò)銷軸與固定限位座連接的活動(dòng)座，且活動(dòng)座的上端位于圓片邊緣的上 方，活動(dòng)座的下端懸在銷軸的下方。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗機(jī)圓片保護(hù)裝置，其特征是活動(dòng)座的上端呈抵壓圓片 的彎鉤形式。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種清洗機(jī)圓片保護(hù)裝置，包括設(shè)置在圓片邊緣外側(cè)的固定限位座，固定限位座上裝通過(guò)銷軸與固定限位座連接的活動(dòng)座，且活動(dòng)座的上端位于圓片邊緣的上方，活動(dòng)座的下端懸在銷軸的下方。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理，解決了原來(lái)部分人員在放圓片的時(shí)候未能放正，致使旋轉(zhuǎn)過(guò)程中離心力過(guò)大，真空不能保護(hù)，而甩片的問(wèn)題，同時(shí)也解決了部分人員有時(shí)對(duì)底盤(pán)的水吹不干凈，而影響了底盤(pán)真空度的問(wèn)題；再加上原有的底盤(pán)真空功能仍然可以使用，這樣的話，就是在整個(gè)清洗過(guò)程中是多重保護(hù)，保證了產(chǎn)品品質(zhì)的安全，解決了原有意外的甩片問(wèn)題。
文檔編號(hào)B08B3/00GK102059225SQ20101055425
公開(kāi)日2011年5月18日 申請(qǐng)日期2010年11月23日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月23日
發(fā)明者陳建斌, 陳斌 申請(qǐng)人:南通富士通微電子股份有限公司