專利名稱：自動清洗機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種自動清洗機(jī)，更具體是涉及一種用于清洗光盤生產(chǎn)線
中Mask工件的自動清洗機(jī)。
背景技術(shù)：
目前絕大部分廠家清洗光盤生產(chǎn)線中Mask工件都是用人工清洗的。人工清 洗的Mask不僅耗費(fèi)時間長，而且清洗后的Mask工件還不夠干凈，達(dá)不到預(yù)想 的效果；特別是酸堿液在沒有科學(xué)配比的前提下，往往過多地浪費(fèi)原料，造成 原材料的浪費(fèi)；同時人工清洗容易把Mask損傷工件，這樣容易直接造成產(chǎn)品質(zhì) 量上的缺陷。 發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，提供一種用于清洗光盤 生產(chǎn)線中Mask工件的自動清洗才幾。
為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采取了如下技術(shù)方案
自動清洗機(jī)，包括機(jī)架、清洗箱、HCL箱、NA0H箱及電器控制部分；清洗 箱、HCL箱及NAOH箱設(shè)于機(jī)架內(nèi)，HCL箱與NAOH箱相互獨(dú)立，設(shè)于相鄰位置， 且高度齊平；清洗箱設(shè)于機(jī)架內(nèi)的位置則高于HCL箱及NAOH箱；電器控制部分 則設(shè)于清洗箱與HCL箱及NA0H箱之間。
作為上述技術(shù)方案的改進(jìn)，所述的電器控制部分依次由用于自動清洗流程 的控制的可編程控制器、用于顯示自動清洗機(jī)的清洗信息的觸摸屏、用于抽取 液體的離心泵、用于回收液體的氣動閥及用于切換壓縮氣體以帶動氣動閥工作 的電^f茲閥構(gòu)成。
作為上述技術(shù)方案的更進(jìn)一步的改進(jìn)，在機(jī)架的頂部設(shè)有控制面板。
與現(xiàn)有沖支術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下優(yōu)點(diǎn)
1、 本實(shí)用新型只需設(shè)定好相應(yīng)的程序，機(jī)器即可自動對Mask工件進(jìn)行清 洗，清洗過程簡單，快速，清洗效杲良好且不容易損傷Mask工件的表面；
2、 本實(shí)用新型可直接設(shè)定好科學(xué)的酸堿液配比，從而達(dá)到節(jié)省原材料的目 的，避免造成不必要的浪費(fèi)；
3、 本實(shí)用新型操作簡便，清洗速度較之現(xiàn)有技術(shù)快了許多。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本實(shí)用新型的清洗箱的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3為本實(shí)用新型的HCL箱與NAOH箱的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合說明書附圖來對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述，但本實(shí)用新型所要 求保護(hù)的范圍并不局限于實(shí)施方式所描述之范圍。
圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型的清洗箱的結(jié)構(gòu)示意 圖；圖3為本實(shí)用新型的HCL箱與NA0H箱的結(jié)構(gòu)示意圖。
如圖卜3所示自動清洗機(jī)，包括機(jī)架5、清洗箱2、 HCL箱3、 NAOH箱4 及電器控制部分；清洗箱、HCL箱及NAOH箱設(shè)于機(jī)架內(nèi)，HCL箱與NAOH箱相互 獨(dú)立，設(shè)于相鄰位置，且高度齊平；清洗箱設(shè)于機(jī)架內(nèi)的位置則高于HCL箱及 NAOH箱；電器控制部分則設(shè)于清洗箱與HCL箱及NAOH箱之間。
上述的清洗箱主要用于清洗和放置Mask工件。當(dāng)NAOH液體清洗結(jié)束后，清 洗箱內(nèi)NAOH液體會通過管道自動回收到NAOH箱。而當(dāng)HCL液體清洗結(jié)束后，清 洗箱內(nèi)HCL液體會通過管道自動回收到HCL箱。
HCL箱與NAOH箱兩個箱體則分別用于儲存HCL液體和NAOH液體，兩個箱體
是獨(dú)立分開的，互不干涉。
作為上述技術(shù)方案的改進(jìn)，所述的電器控制部分依次由用于自動清洗流程 的控制的可編程控制器、用于顯示自動清洗機(jī)的清洗信息的觸摸屏、用于抽取 液體的離心泵、用于回收液體的氣動閥及用于切換壓縮氣體以帶動氣動閥工作 的電》茲閥構(gòu)成。
作為上述技術(shù)方案的更進(jìn)一步的改進(jìn)，在機(jī)架的頂部設(shè)有控制面板。
本實(shí)用新型的清洗流程如下
1、 清洗機(jī)先將NAOH箱的NAOH液體通過離心泵抽到清洗箱內(nèi)和Mask 工件反應(yīng)約一個小時；
2、 NAOH液體通過氣動閥回收到NAOH箱后，注入清水到清洗箱內(nèi)清洗 Mask工件約1.5分鐘；
3、 清洗機(jī)將HCL箱的HCL液體通過離心泵抽到清洗箱內(nèi)和Mask工件反 應(yīng)約5分鐘；
4、 HCL液體通過氣動閥回收到HCL箱后,注入清水到清洗箱內(nèi)清洗Mask 工件約1.5分鐘；
5、 清洗結(jié)束。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下優(yōu)點(diǎn)
1、 本實(shí)用新型只需設(shè)定好相應(yīng)的程序，機(jī)器即可自動對Mask工件進(jìn)行清 洗，清洗過程簡單，快速，清洗效果良好且不容易損傷Mask工件的表面；
2、 本實(shí)用新型可直接設(shè)定好科學(xué)的酸堿液配比，從而達(dá)到節(jié)省原材料的目 的，避免造成不必要的浪費(fèi)；
3、 本實(shí)用新型操作簡便，清洗速度較之現(xiàn)有技術(shù)快了許多。
權(quán)利要求1、自動清洗機(jī)，其特征在于包括機(jī)架、清洗箱、HCL箱、NAOH箱及電器控制部分；清洗箱、HCL箱及NAOH箱設(shè)于機(jī)架內(nèi)，HCL箱與NAOH箱相互獨(dú)立，設(shè)于相鄰位置，且高度齊平；清洗箱設(shè)于機(jī)架內(nèi)的位置則高于HCL箱及NAOH箱；電器控制部分則設(shè)于清洗箱與HCL箱及NAOH箱之間；所述的電器控制部分依次由用于自動清洗流程的控制的可編程控制器、用于顯示自動清洗機(jī)的清洗信息的觸摸屏、用于抽取液體的離心泵、用于回收液體的氣動閥及用于切換壓縮氣體以帶動氣動閥工作的電磁閥構(gòu)成。
1、 自動清洗機(jī)，其特征在于包括機(jī)架、清洗箱、HCL箱、NAOH箱及電器控 制部分；清洗箱、HCL箱及NAOH箱設(shè)于機(jī)架內(nèi)，HCL箱與NAOH箱相互獨(dú)立，設(shè) 于相鄰位置，且高度齊平；清洗箱設(shè)于機(jī)架內(nèi)的位置則高于HCL箱及NAOH箱； 電器控制部分則設(shè)于清洗箱與HCL箱及NAOH箱之間；所述的電器控制部分依次 由用于自動清洗流程的控制的可編程控制器、用于顯示自動清洗機(jī)的清洗信息 的觸摸屏、用于抽取液體的離心泵、用于回收液體的氣動閥及用于切換壓縮氣 體以帶動氣動閥工作的電》茲閥構(gòu)成。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動清洗機(jī)，其特征在于在機(jī)架的頂部設(shè)有控制 面板。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種用于清洗光盤生產(chǎn)線中Mask工件的自動清洗機(jī)。本實(shí)用新型包括機(jī)架、清洗箱、HCL箱、NAOH箱及電器控制部分；清洗箱、HCL箱及NAOH箱設(shè)于機(jī)架內(nèi)，HCL箱與NAOH箱相互獨(dú)立，設(shè)于相鄰位置，且高度齊平；清洗箱設(shè)于機(jī)架內(nèi)的位置則高于HCL箱及NAOH箱；電器控制部分則設(shè)于清洗箱與HCL箱及NAOH箱之間。本實(shí)用新型具有如下優(yōu)點(diǎn)1.可自動對Mask工件進(jìn)行清洗，清洗過程簡單，快速，清洗效果良好且不容易損傷Mask工件的表面；操作簡便，清洗速度較之現(xiàn)有技術(shù)快了許多；2.可直接設(shè)定好科學(xué)的酸堿液配比，從而達(dá)到節(jié)省原材料的目的。
文檔編號B08B3/08GK201008856SQ20062006502
公開日2008年1月23日 申請日期2006年9月28日 優(yōu)先權(quán)日2006年9月28日
發(fā)明者黃端權(quán) 申請人:黃端權(quán)