技術編號：9932822
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 硅光子涉及光子系統(tǒng)，這種情況下，由于材料的低損耗，硅用于光傳播的介質。硅 光子使用互補性金屬氧化物半導體(CMOS)電子元件中利用的眾所熟知的硅制造原理。通常 以次微米精度將特征圖案化至微光子部件中（以在紅外光中操作）。絕緣體上硅(SOI)典型 地用作選擇的材料。硅光子器件的制造可另外涉及已知的半導體制造技術；因為大多數(shù)集 成集成電路已將硅用作基板選擇，創(chuàng)建混合式器件是可能的，在該混合式器件中將光學及 電子部件集成至單芯片上。 為滿足未來計算系統(tǒng)的要求，...
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