技術(shù)編號：9925554
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。為了在壓電晶片中獲取多個壓電振動片，將多個壓電振動片經(jīng)由連結(jié)部支撐在框部，并在該連結(jié)部處折取壓電振動片來進行單片化。并且，在現(xiàn)有的壓電晶片中，當(dāng)從框部在連結(jié)部的位置處折取壓電振動片時，為了使該折取變得容易，在所述連結(jié)部形成槽狀的狹縫(參照專利文獻I)。專利文獻1特開2013-207509號公報在使用光刻技術(shù)制造壓電晶片的工序中，多個壓電振動片加工成經(jīng)由連結(jié)部支撐于框部的外形，此時還同時加工用于從框部容易折取各壓電振動片的槽狀的狹縫。如此，對于被加工成多個壓...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學(xué)習(xí)。