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具有降低的導通阻抗的垂直fet的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:9922937

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諸如硅基溝槽型場效應晶體管(溝槽FET)的IV族功率晶體管用于各種應用。例如,硅基溝槽金屬氧化物半導體FET (溝槽M0SFET)可以用于實現(xiàn)功率轉(zhuǎn)換器(同步整流器)或直流(DC)到DC轉(zhuǎn)換器。對于很多溝槽FET應用,需要顯著地最小化晶體管的導通阻抗(Rd_)。此外,由于利用功率MOSFET的電子器件和系統(tǒng)在尺寸上持續(xù)減小,故存在減小MOSFET自身尺寸的對應需求。然而,用于減小溝槽MOSFET尺寸的傳統(tǒng)策略可能會不如所愿地增加那些器件的Rdson °發(fā)明...
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