技術編號：9864389
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。掩膜板是在薄膜晶體管液晶顯示器(英文Thin Film Transistor LiquidCrystal Display;簡稱TFT-1XD)的光刻工藝中用于進行圖形制作的一種組件，掩膜板主要由透明基板和形成在該透明基板上的具有特定圖形的不透光區(qū)域組成。相關技術中，在制作掩膜板時，主要是在透明基板上沉積一層不透光膜層(例如鉻層)，然后采用電子束或激光按照預設的特定圖形對該不透光膜層進行刻畫，再經(jīng)過顯影、刻蝕和脫膜等圖形化工藝，即可在透明基板上形成具有特定圖...
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