技術(shù)編號：9769069
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。微機電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems)或MEMS可以被定義為其中至少一些元件具有機械功能的小型化機械和機電系統(tǒng)。由于利用用于創(chuàng)建集成電路的相同工具來創(chuàng)建MEMS裝置，因此可以在相同的硅片上制造微機械元件和微電子元件以實現(xiàn)先進的 目.0MEMS結(jié)構(gòu)可以應(yīng)用于迅速地且精確地檢測物理性能的非常小的變化。例如，微機電陀螺儀可以應(yīng)用于迅速地且精確地檢測非常小的角位移。運動具有六個自由度三個正交方向上的平移和圍繞三個正交軸的...
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