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一種背照式傳感器的制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:9549552

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隨著半導(dǎo)體技術(shù)的快速發(fā)展,半導(dǎo)體器件用于各種電子應(yīng)用,諸如個(gè)人計(jì)算機(jī)、移動電話、數(shù)碼相機(jī)和其他電子設(shè)備。其中,背照式(BSI)傳感器是光從襯底的背面而不是正面進(jìn)入襯底的CMOS圖像傳感器。因?yàn)闇p少了光反射,BSI傳感器能夠比前照式傳感器捕捉更多的圖像信號。目前,背照式傳感器作為攝像頭芯片的一種,已經(jīng)占據(jù)的絕大部分市場,其中的背面金屬柵格層的工藝優(yōu)化一直在被研究;背照式傳感器金屬柵格由于具有不透光特性,從而可以防止不同像素(光電二極管)之間的光的串?dāng)_;但是這...
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